JPH06141564A - 波動循環型アクチュエータ - Google Patents
波動循環型アクチュエータInfo
- Publication number
- JPH06141564A JPH06141564A JP4289163A JP28916392A JPH06141564A JP H06141564 A JPH06141564 A JP H06141564A JP 4289163 A JP4289163 A JP 4289163A JP 28916392 A JP28916392 A JP 28916392A JP H06141564 A JPH06141564 A JP H06141564A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wave
- surface group
- rod
- group
- longitudinal direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 4
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 2
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000000750 progressive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/08—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 駆動部外に帰還路を必要としないアクチュエ
ータを提供することを目的とする。 【構成】 対向する２面からなる第１面群と、該第１面
群とは異なる対向する２面からなる第２面群との、２つ
の面群を長手方向に有する棒状振動体と、前記第１面群
に設けられ、該第１面群の長手方向に進行する波動を発
生させる励振体と、前記棒状振動体の両端部に設けら
れ、前記第１面群の長手方向に進行する波動を反射して
前記第２面群に伝送する第１反射部と、前記第２面群に
伝送され長手方向に進行する波動を反射して前記第１面
群に循環させる第２反射部と、前記棒状振動体に圧接さ
れ、前記進行の波動により移動する移動体とを備えた。
ータを提供することを目的とする。 【構成】 対向する２面からなる第１面群と、該第１面
群とは異なる対向する２面からなる第２面群との、２つ
の面群を長手方向に有する棒状振動体と、前記第１面群
に設けられ、該第１面群の長手方向に進行する波動を発
生させる励振体と、前記棒状振動体の両端部に設けら
れ、前記第１面群の長手方向に進行する波動を反射して
前記第２面群に伝送する第１反射部と、前記第２面群に
伝送され長手方向に進行する波動を反射して前記第１面
群に循環させる第２反射部と、前記棒状振動体に圧接さ
れ、前記進行の波動により移動する移動体とを備えた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、棒状振動体内を波動を
循環させ、この波動により移動体を移動させるアクチュ
エータに関する。
循環させ、この波動により移動体を移動させるアクチュ
エータに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来この種の装置としては、例えば特開
昭５９−１２２３８５号公報の様なものがあった。そこ
には、図１１に記載の環状型、図１２に記載の振動帰還
型、図１３に記載のエネルギー帰還型等が開示されてい
る。
昭５９−１２２３８５号公報の様なものがあった。そこ
には、図１１に記載の環状型、図１２に記載の振動帰還
型、図１３に記載のエネルギー帰還型等が開示されてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、以上の様な従
来の装置においては、いずれも駆動部とは別のところに
帰還路を必要とする為、全体の寸法が大きくなるという
問題点があった。そこで本発明は、駆動部外に帰還路を
必要としないアクチュエータを提供することを目的とす
る。
来の装置においては、いずれも駆動部とは別のところに
帰還路を必要とする為、全体の寸法が大きくなるという
問題点があった。そこで本発明は、駆動部外に帰還路を
必要としないアクチュエータを提供することを目的とす
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、対向する２面からなる第１面群と該第１
面群とは異なる対向する２面からなる第２面群との２つ
の面群を長手方向に有する棒状振動体と、該棒状振動体
の第１面群に設けられ、該第１面群の長手方向に進行す
る波動を発生させる励振体と、前記棒状振動体の両端部
に設けられ、前記第１面群の長手方向に進行する波動を
反射して前記第２面群に伝送する第１反射部と該第２面
群に伝送され、長手方向に進行する波動を反射して前記
第１面群に循環させる第２反射部と、前記棒状振動体に
圧接され、前記進行の波動により移動する移動体と、か
ら、波動循環型アクチュエータを構成した。
に、本発明は、対向する２面からなる第１面群と該第１
面群とは異なる対向する２面からなる第２面群との２つ
の面群を長手方向に有する棒状振動体と、該棒状振動体
の第１面群に設けられ、該第１面群の長手方向に進行す
る波動を発生させる励振体と、前記棒状振動体の両端部
に設けられ、前記第１面群の長手方向に進行する波動を
反射して前記第２面群に伝送する第１反射部と該第２面
群に伝送され、長手方向に進行する波動を反射して前記
第１面群に循環させる第２反射部と、前記棒状振動体に
圧接され、前記進行の波動により移動する移動体と、か
ら、波動循環型アクチュエータを構成した。
【０００５】
【作用】本発明においては、棒状振動体の両端部に反射
部を設けて波動を循環する様になしたので、駆動部外に
帰還路を必要としないアクチュエータが得られる。
部を設けて波動を循環する様になしたので、駆動部外に
帰還路を必要としないアクチュエータが得られる。
【０００６】
【実施例】図１は、本発明による波動循環型アクチュエ
ータの斜視図である。１は棒状振動体で、長手方向にＡ
〜Ｄの４面を有し、Ａ面とＣ面は対向して第１面群を構
成し、Ｂ面とＤ面は対向して第２面群を構成している。
また波動の進行方向の説明を行う都合上、以後長手方向
の左端を『Ｎ端』、右端を『Ｓ端』と呼ぶことにする。
形状の詳細は図２で後述する。
ータの斜視図である。１は棒状振動体で、長手方向にＡ
〜Ｄの４面を有し、Ａ面とＣ面は対向して第１面群を構
成し、Ｂ面とＤ面は対向して第２面群を構成している。
また波動の進行方向の説明を行う都合上、以後長手方向
の左端を『Ｎ端』、右端を『Ｓ端』と呼ぶことにする。
形状の詳細は図２で後述する。
【０００７】２は励振体で、複数の板状の圧電体により
構成される。圧電体の分極方向は２個を１組に交互に逆
方向に配列されている。詳細は図１０で後述する。３は
移動体で、３ａと３ｂとで棒状振動体１の対向するＢ面
とＤ面とを、挟む様に圧接している。３ｃ〜３ｆ（３
ｅ、３ｆは不図示）は圧接の為の付勢部材で、３ａと３
ｂとを互いに引き寄せる方向に働く。
構成される。圧電体の分極方向は２個を１組に交互に逆
方向に配列されている。詳細は図１０で後述する。３は
移動体で、３ａと３ｂとで棒状振動体１の対向するＢ面
とＤ面とを、挟む様に圧接している。３ｃ〜３ｆ（３
ｅ、３ｆは不図示）は圧接の為の付勢部材で、３ａと３
ｂとを互いに引き寄せる方向に働く。
【０００８】図２は図１の棒状振動体１の詳細図で、第
３角法によって描いてある。（イ）は正面図、（ロ）は
平面図、（ハ）は左側面図、（ニ）は右側面図である。
長手方向の４面には、Ａ〜Ｄの名称を付けてある。ま
た、Ｎ端は２個の３角形状面から構成され、Ｅ、Ｆの名
称を付けてある。Ｓ端も２個の３角形状面から構成さ
れ、Ｇ、Ｈの名称を付けてある。Ｅ〜Ｈ面は長手方向に
進行する波動を反射させる為に設けた反射部で、Ｅ面・
Ｆ面に対しＧ面・Ｈ面を９０゜捻って配置してあるとこ
ろが、駆動部外に帰還路を設けずに波動を循環させる要
点である。
３角法によって描いてある。（イ）は正面図、（ロ）は
平面図、（ハ）は左側面図、（ニ）は右側面図である。
長手方向の４面には、Ａ〜Ｄの名称を付けてある。ま
た、Ｎ端は２個の３角形状面から構成され、Ｅ、Ｆの名
称を付けてある。Ｓ端も２個の３角形状面から構成さ
れ、Ｇ、Ｈの名称を付けてある。Ｅ〜Ｈ面は長手方向に
進行する波動を反射させる為に設けた反射部で、Ｅ面・
Ｆ面に対しＧ面・Ｈ面を９０゜捻って配置してあるとこ
ろが、駆動部外に帰還路を設けずに波動を循環させる要
点である。
【０００９】図３は、棒状振動体１中を進行する屈曲波
の循環の様子を説明する図である。棒状振動体１のＡ面
に設けられた励振体２に高周波電圧を印加することによ
り発生した、Ａ面及びＣ面に垂直な方向に振動する屈曲
波は、図３中の右下に示す様にＳ端からＮ端方向に進行
する。そしてＮ端のＥ面及びＦ面で反射されることによ
り、Ｂ面及びＤ面に垂直な方向に振動する屈曲波にな
り、Ｎ端からＳ端方向に進行する。
の循環の様子を説明する図である。棒状振動体１のＡ面
に設けられた励振体２に高周波電圧を印加することによ
り発生した、Ａ面及びＣ面に垂直な方向に振動する屈曲
波は、図３中の右下に示す様にＳ端からＮ端方向に進行
する。そしてＮ端のＥ面及びＦ面で反射されることによ
り、Ｂ面及びＤ面に垂直な方向に振動する屈曲波にな
り、Ｎ端からＳ端方向に進行する。
【００１０】さらにＳ端のＧ面及びＨ面で反射されるこ
とにより、再びＡ面及びＣ面に垂直な方向に振動する屈
曲波になり、循環することになる。なお、Ａ面及びＣ面
に垂直な方向に振動する屈曲波と、Ｂ面及びＤ面に垂直
な方向に振動する屈曲波とは、互いに垂直に偏る偏波の
為、たとえ位相が一致していようとも非干渉性である。
とにより、再びＡ面及びＣ面に垂直な方向に振動する屈
曲波になり、循環することになる。なお、Ａ面及びＣ面
に垂直な方向に振動する屈曲波と、Ｂ面及びＤ面に垂直
な方向に振動する屈曲波とは、互いに垂直に偏る偏波の
為、たとえ位相が一致していようとも非干渉性である。
【００１１】図４は、棒状振動体１中を進行する表面波
の循環の様子を説明する図である。棒状振動体１のＡ面
に設けられた励振体２に高周波電圧を印加することによ
り発生した、Ａ面に垂直な方向に振動する表面波は、図
４中の左上に示す様にＳ端からＮ端方向に進行する。そ
してＮ端のＥ面に達し、Ｅ面とＦ面の交線で反射され、
Ｂ面に達してＢ面に垂直な方向に振動する表面波にな
り、Ｎ端からＳ端方向に進行する。
の循環の様子を説明する図である。棒状振動体１のＡ面
に設けられた励振体２に高周波電圧を印加することによ
り発生した、Ａ面に垂直な方向に振動する表面波は、図
４中の左上に示す様にＳ端からＮ端方向に進行する。そ
してＮ端のＥ面に達し、Ｅ面とＦ面の交線で反射され、
Ｂ面に達してＢ面に垂直な方向に振動する表面波にな
り、Ｎ端からＳ端方向に進行する。
【００１２】そしてＳ端のＧ面に達し、Ｇ面とＨ面の交
線で反射され、Ｃ面に達してＣ面に垂直な方向に振動す
る表面波になり、Ｓ端からＮ端方向に進行する。そして
Ｎ端のＦ面に達し、Ｆ面とＥ面の交線で反射され、Ｄ面
に達してＤ面に垂直な方向に振動する表面波になり、Ｎ
端からＳ端方向に進行する。そしてＳ端のＨ面に達し、
Ｈ面とＧ面の交線で反射され、再びＡ面に達して循環す
ることになる。
線で反射され、Ｃ面に達してＣ面に垂直な方向に振動す
る表面波になり、Ｓ端からＮ端方向に進行する。そして
Ｎ端のＦ面に達し、Ｆ面とＥ面の交線で反射され、Ｄ面
に達してＤ面に垂直な方向に振動する表面波になり、Ｎ
端からＳ端方向に進行する。そしてＳ端のＨ面に達し、
Ｈ面とＧ面の交線で反射され、再びＡ面に達して循環す
ることになる。
【００１３】図５は棒状振動体１の表面を展開して示し
た図である。前述の図３では屈曲波の循環について説明
し、図４では表面波の循環について説明したが、これら
２種類の波動は、棒状振動体１の深部の減衰が小さい場
合や励振体２による振動振幅が大きい場合には屈曲波が
支配的になる。また逆に、棒状振動体１の深部の減衰が
大きい場合や励振体２による振動振幅が小さい場合には
表面波が支配的になる。
た図である。前述の図３では屈曲波の循環について説明
し、図４では表面波の循環について説明したが、これら
２種類の波動は、棒状振動体１の深部の減衰が小さい場
合や励振体２による振動振幅が大きい場合には屈曲波が
支配的になる。また逆に、棒状振動体１の深部の減衰が
大きい場合や励振体２による振動振幅が小さい場合には
表面波が支配的になる。
【００１４】図５はこの両波動を同一図面上に描いたも
のである。この図でわかる重要なことは、屈曲波と表面
波との両波動が、長手方向のＡ〜Ｄ面においては共に同
一方向に進行するということである。これにより、屈曲
波と表面波が互いに打ち消し合う様なことが発生しない
ことが確認される。図６は励振体２の構成と、電源の印
加方法とを説明する図である。
のである。この図でわかる重要なことは、屈曲波と表面
波との両波動が、長手方向のＡ〜Ｄ面においては共に同
一方向に進行するということである。これにより、屈曲
波と表面波が互いに打ち消し合う様なことが発生しない
ことが確認される。図６は励振体２の構成と、電源の印
加方法とを説明する図である。
【００１５】励振体２は、８個の駆動用圧電体２ａ〜２
ｈと、振動検出用圧電体２ｉとから構成される。駆動用
圧電体２ａ〜２ｈは、図の様に２個１組で分極方向が交
互に逆になる様に配置されている。図中『＋』は分極方
向が紙面表側から裏側へ、『−』は分極方向が紙面裏側
から表側へ向いていることを表す。
ｈと、振動検出用圧電体２ｉとから構成される。駆動用
圧電体２ａ〜２ｈは、図の様に２個１組で分極方向が交
互に逆になる様に配置されている。図中『＋』は分極方
向が紙面表側から裏側へ、『−』は分極方向が紙面裏側
から表側へ向いていることを表す。
【００１６】そして、駆動用圧電体２ａ、２ｃ、２ｅ、
２ｇと１個おきに表面電極に高周波電圧Ｖ1 が印加さ
れ、残りの駆動用圧電体２ｂ、２ｄ、２ｆ、２ｈには表
面電極に高周波電圧Ｖ2 が印加される。高周波電圧Ｖ2
は、高周波電圧Ｖ1 と同じ周波数で、π／２の時間的位
相差を有している。駆動用圧電体２ａ〜２ｈの裏面は、
棒状振動体１のＡ面に電気的導通をとりながら接着され
ている。従って、棒状振動体１が共通電極『ＧＮＤ』に
なっている。
２ｇと１個おきに表面電極に高周波電圧Ｖ1 が印加さ
れ、残りの駆動用圧電体２ｂ、２ｄ、２ｆ、２ｈには表
面電極に高周波電圧Ｖ2 が印加される。高周波電圧Ｖ2
は、高周波電圧Ｖ1 と同じ周波数で、π／２の時間的位
相差を有している。駆動用圧電体２ａ〜２ｈの裏面は、
棒状振動体１のＡ面に電気的導通をとりながら接着され
ている。従って、棒状振動体１が共通電極『ＧＮＤ』に
なっている。
【００１７】高周波電圧Ｖ1 とＶ2 との印加により駆動
用圧電体２ａ〜２ｈが伸縮し、棒状振動体１に進行性の
波動が発生する。波動の発生に関する更に詳しい模様
は、本出願人による特開昭６０−２４５４８２号公報に
記載してあるので、ここでは説明を省略する。振動検出
用圧電体２ｉは、棒状振動体１に発生した振動を電圧に
変換する為のもので、発生する電圧の大きさや位相差を
モニターしながら入力を制御することが可能になる。詳
細は、本出願人による特開昭５９−２０４４７７号公報
や特開昭６１−２５１４９０号公報等に記載してあるの
で、ここでは説明を省略する。
用圧電体２ａ〜２ｈが伸縮し、棒状振動体１に進行性の
波動が発生する。波動の発生に関する更に詳しい模様
は、本出願人による特開昭６０−２４５４８２号公報に
記載してあるので、ここでは説明を省略する。振動検出
用圧電体２ｉは、棒状振動体１に発生した振動を電圧に
変換する為のもので、発生する電圧の大きさや位相差を
モニターしながら入力を制御することが可能になる。詳
細は、本出願人による特開昭５９−２０４４７７号公報
や特開昭６１−２５１４９０号公報等に記載してあるの
で、ここでは説明を省略する。
【００１８】図７は、第１実施例で、図１の棒状振動体
１と励振体２と移動体３との関係を説明するための断面
図である。励振体２は棒状振動体１のＡ面に配置され、
移動体３は棒状振動体１のＢ面とＤ面とを挟みながら摺
動する。図８は、図７に対する第２実施例である。
１と励振体２と移動体３との関係を説明するための断面
図である。励振体２は棒状振動体１のＡ面に配置され、
移動体３は棒状振動体１のＢ面とＤ面とを挟みながら摺
動する。図８は、図７に対する第２実施例である。
【００１９】第１実施例と異なるところは、励振体がＡ
面とＣ面に２個（２、１１）設けられているところにあ
る。移動体３を強力に動作させたい時に有効である。図
９は、図７図に対する第３実施例である。第１実施例と
異なるところは、棒状振動体１において、移動体１２に
対する摺動面が、励振体と同じＡ面に設けられていると
ころにある。棒状振動体１の励振体２が接着される面や
移動体１２が摺動する面は、高精度の平面加工が要求さ
れるが、本第３実施例では、摺動面と励振面とを共通に
なしたので、加工工程を短縮でき低コスト化が図れる。
なお、１２ｃ、１２ｅは圧接の為の付勢部材で、１２ａ
と１２ｂとを互いに引き寄せる方向に働く。
面とＣ面に２個（２、１１）設けられているところにあ
る。移動体３を強力に動作させたい時に有効である。図
９は、図７図に対する第３実施例である。第１実施例と
異なるところは、棒状振動体１において、移動体１２に
対する摺動面が、励振体と同じＡ面に設けられていると
ころにある。棒状振動体１の励振体２が接着される面や
移動体１２が摺動する面は、高精度の平面加工が要求さ
れるが、本第３実施例では、摺動面と励振面とを共通に
なしたので、加工工程を短縮でき低コスト化が図れる。
なお、１２ｃ、１２ｅは圧接の為の付勢部材で、１２ａ
と１２ｂとを互いに引き寄せる方向に働く。
【００２０】図１０は、図７に対する第４実施例であ
る。特徴は、第２実施例の特徴と第３実施例の特徴とを
共に採用したもので、２個励振体２、１１を設けると共
に、摺動面と励振面とを共通になしている。移動体１２
の強力に動作と、低コスト化とが図れる。
る。特徴は、第２実施例の特徴と第３実施例の特徴とを
共に採用したもので、２個励振体２、１１を設けると共
に、摺動面と励振面とを共通になしている。移動体１２
の強力に動作と、低コスト化とが図れる。
【００２１】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、棒状振動
体の両端部に反射部を設けて波動を循環する様になした
ので、駆動部外に帰還路を必要としないアクチュエータ
が得られ、低コスト化と簡易構造化、小型化が可能とな
った。
体の両端部に反射部を設けて波動を循環する様になした
ので、駆動部外に帰還路を必要としないアクチュエータ
が得られ、低コスト化と簡易構造化、小型化が可能とな
った。
【図１】は、本発明による波動循環型アクチュエータの
斜視図である。
斜視図である。
【図２】は、図１の棒状振動体１の詳細図である。
【図３】は、屈曲波の循環の様子を説明する図である。
【図４】は、表面波の循環の様子を説明する図である。
【図５】は、棒状振動体１の表面を展開して示した図で
ある。
ある。
【図６】は、励振体２の構成と、電源の印加方法とを説
明する図である。
明する図である。
【図７】は、第１実施例で、図１の棒状振動体１と励振
体２と移動体３との関係を説明するための断面図であ
る。
体２と移動体３との関係を説明するための断面図であ
る。
【図８】は、図７に対する第２実施例である。
【図９】は、図７に対する第３実施例である。
【図１０】は、図７に対する第４実施例である。
【図１１】は、公知の環状型のアクチュエータである。
【図１２】は、公知の振動帰還型のアクチュエータであ
る。
る。
【図１３】は、公知のエネルギー帰還型のアクチュエー
タである。
タである。
１ 棒状振動体、 ２ 励振体、 ３ 移動体
Claims (5)
- 【請求項１】 対向する２面からなる第１面群と、該第
１面群とは異なる対向する２面からなる第２面群との、
２つの面群を長手方向に有する棒状振動体と、 該棒状振動体の第１面群に設けられ、該第１面群の長手
方向に進行する波動を発生させる励振体と、 前記棒状振動体の両端部に設けられ、前記第１面群の長
手方向に進行する波動を反射して前記第２面群に伝送す
る第１反射部と、前記第２面群に伝送され長手方向に進
行する波動を反射して前記第１面群に循環させる第２反
射部と、 前記棒状振動体に圧接され、前記進行の波動により移動
する移動体と、 を有する波動循環型アクチュエータ。 - 【請求項２】 前記第１面群を構成する２面をＡ面とＣ
面とし、前記第２面群を構成する２面をＢ面とＤ面とす
るとき、 前記第１反射部と前記第２反射部とはそれぞれ三角形状
の２面からなり、 該第１反射部を構成するの一方の三角形状はその２辺を
該Ａ面上と該Ｂ面上とに有し、他方の三角形状はその２
辺を該Ｃ面上と該Ｄ面上とに有し、各々の三角形状の残
りの１辺を共通とし、 前記第２反射部を構成するの一方の三角形状はその２辺
を該Ａ面上と該Ｄ面上とに有し、他方の三角形状はその
２辺を該Ｂ面上と該Ｃ面上とに有し、各々の三角形状の
残りの１辺を共通としたことを特徴とする請求項１記載
の波動循環型アクチュエータ。 - 【請求項３】 前記励振体は、複数の圧電素子から構成
されることを特徴とする請求項１記載の波動循環型アク
チュエータ。 - 【請求項４】 前記励振体は前記第１面群に設けられ、
前記移動体は前記第２面群に圧接されることを特徴とす
る請求項１記載の波動循環型アクチュエータ。 - 【請求項５】 前記励振体は前記第１面群に設けられ、
前記移動体は前記第１面群に圧接されることを特徴とす
る請求項１記載の波動循環型アクチュエータ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4289163A JPH06141564A (ja) | 1992-10-28 | 1992-10-28 | 波動循環型アクチュエータ |
| US08/140,400 US5404065A (en) | 1992-10-28 | 1993-10-25 | Ultrasonic actuator |
| DE69316315T DE69316315T2 (de) | 1992-10-28 | 1993-10-27 | Ultraschalantrieb |
| EP93203019A EP0595426B1 (en) | 1992-10-28 | 1993-10-27 | Ultrasonic actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4289163A JPH06141564A (ja) | 1992-10-28 | 1992-10-28 | 波動循環型アクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06141564A true JPH06141564A (ja) | 1994-05-20 |
Family
ID=17739580
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4289163A Pending JPH06141564A (ja) | 1992-10-28 | 1992-10-28 | 波動循環型アクチュエータ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5404065A (ja) |
| EP (1) | EP0595426B1 (ja) |
| JP (1) | JPH06141564A (ja) |
| DE (1) | DE69316315T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008512073A (ja) * | 2004-09-03 | 2008-04-17 | フィジック インストゥルメント（ピーアイ）ゲーエムベーハー アンド ツェーオー．カーゲー | リニア超音波圧電モータ |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06189568A (ja) * | 1992-12-11 | 1994-07-08 | Nikon Corp | 波動循環型アクチュエータ |
| CN100587991C (zh) * | 2004-09-03 | 2010-02-03 | 物理设备（Pi）两合公司 | 线性超声电动机 |
| DE202005021150U1 (de) * | 2005-03-21 | 2007-04-05 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Optische Objektivbaugruppe |
| JP2007151238A (ja) * | 2005-11-24 | 2007-06-14 | Fujinon Corp | 駆動装置 |
| DE102008026770A1 (de) * | 2008-06-04 | 2009-12-10 | Robert Bosch Gmbh | Linearbewegungsvorrichtung mit Piezoaktuator |
Family Cites Families (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL154076B (nl) * | 1966-12-28 | 1977-07-15 | Philips Nv | Werkwijzen voor het vervaardigen van een ultrasone vertragingslijn, alsmede ultrasone vertraginslijnen vervaardigd volgens die werkwijzen. |
| US2661432A (en) * | 1951-05-14 | 1953-12-01 | Clevite Corp | Piezoelectric device |
| FR2068014A5 (ja) * | 1969-11-25 | 1971-08-20 | Thomson Csf | |
| US4042845A (en) * | 1976-03-25 | 1977-08-16 | Sontrix Division Of Pittway Corporation | Transducer assembly and method for radiating and detecting energy over controlled beam width |
| EP0067683B1 (en) * | 1981-06-12 | 1986-08-20 | Kabushiki Kaisha Meidensha | Electric field detector |
| CA1208269A (en) * | 1982-02-25 | 1986-07-22 | Toshiiku Sashida | Motor device utilizing ultrasonic oscillation |
| JPH0687671B2 (ja) * | 1984-05-18 | 1994-11-02 | 株式会社ニコン | 超音波モータ |
| JPH072023B2 (ja) * | 1985-04-26 | 1995-01-11 | 株式会社ニコン | 超音波モータの駆動回路 |
| US4742260A (en) * | 1986-02-06 | 1988-05-03 | Hiroshi Shimizu | Piezoelectrically driving device |
| US4882500A (en) * | 1986-06-04 | 1989-11-21 | Nippon Seimitsu Kogyo Kabushiki Kaisha | Method for converting standing wave vibrations into motion and standing wave motor therefor |
| JP2632811B2 (ja) * | 1986-08-29 | 1997-07-23 | キヤノン株式会社 | 振動駆動モータ |
| DE3856235T2 (de) * | 1987-05-22 | 1998-12-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | Methode und System zum Antrieb von magnetischen Bändern |
| JPS6417672A (en) * | 1987-07-10 | 1989-01-20 | Shikishima Canvas Kk | Surfing board |
| JPH0223070A (ja) * | 1988-07-07 | 1990-01-25 | Toyota Motor Corp | リニア型超音波モータ |
| US5140215A (en) * | 1988-09-19 | 1992-08-18 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Vibrator and ultrasonic motor employing the same |
| US5039899A (en) * | 1989-02-28 | 1991-08-13 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Piezoelectric transducer |
| JPH03289372A (ja) * | 1990-04-04 | 1991-12-19 | Kenwood Corp | 超音波リニアモータ |
| JPH0552572A (ja) * | 1991-08-28 | 1993-03-02 | Akai Electric Co Ltd | 振動子の支持構造 |
| JP2574577B2 (ja) * | 1991-10-31 | 1997-01-22 | 松下電器産業株式会社 | リニア型アクチュエータ |
| US5233261A (en) * | 1991-12-23 | 1993-08-03 | Leybold Inficon Inc. | Buffered quartz crystal |
-
1992
- 1992-10-28 JP JP4289163A patent/JPH06141564A/ja active Pending
-
1993
- 1993-10-25 US US08/140,400 patent/US5404065A/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-10-27 DE DE69316315T patent/DE69316315T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1993-10-27 EP EP93203019A patent/EP0595426B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008512073A (ja) * | 2004-09-03 | 2008-04-17 | フィジック インストゥルメント（ピーアイ）ゲーエムベーハー アンド ツェーオー．カーゲー | リニア超音波圧電モータ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69316315D1 (de) | 1998-02-19 |
| EP0595426B1 (en) | 1998-01-14 |
| DE69316315T2 (de) | 1998-07-23 |
| US5404065A (en) | 1995-04-04 |
| EP0595426A1 (en) | 1994-05-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN111464070B (zh) | 一种直线超声电机定子及其电激励方法 | |
| KR19990014005A (ko) | 초음파 장치 | |
| JP2006149180A (ja) | 平板型圧電超音波モーター | |
| JPH06189568A (ja) | 波動循環型アクチュエータ | |
| JPH06141564A (ja) | 波動循環型アクチュエータ | |
| JP2847758B2 (ja) | 超音波モータの駆動方法および超音波モータ用振動子 | |
| JPH02188169A (ja) | 超音波モータ | |
| JPH0223070A (ja) | リニア型超音波モータ | |
| JP2001054290A (ja) | 弾性表面波モータ | |
| JPH0697863B2 (ja) | 圧電駆動装置 | |
| JP2971971B2 (ja) | 超音波アクチュエータ | |
| JPH08149862A (ja) | 超音波振動子 | |
| JPH0795776A (ja) | 波動循環型アクチュエータ | |
| JPH0552137B2 (ja) | ||
| JP2874174B2 (ja) | 超音波振動子及び超音波モータ | |
| JPH0787757A (ja) | 波動循環型アクチュエータ | |
| JPH06339288A (ja) | 波動循環型アクチュエータ | |
| JPH05316756A (ja) | 超音波振動子およびこの振動子を有する駆動装置 | |
| JPS62262676A (ja) | リニア駆動モ−タ | |
| JPH0767366A (ja) | 波動循環型アクチュエータ | |
| JP2538026B2 (ja) | 平面型超音波アクチュエ―タ | |
| JPH02168868A (ja) | 複数自由度アクチュエータ | |
| JPH01308172A (ja) | 超音波駆動装置 | |
| JPH08149863A (ja) | 超音波振動子 | |
| JPH01270775A (ja) | リニア超音波モータ |