JPH06133959A - 断層撮影用ベッド - Google Patents
断層撮影用ベッドInfo
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- JPH06133959A JPH06133959A JP4315763A JP31576392A JPH06133959A JP H06133959 A JPH06133959 A JP H06133959A JP 4315763 A JP4315763 A JP 4315763A JP 31576392 A JP31576392 A JP 31576392A JP H06133959 A JPH06133959 A JP H06133959A
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- Japan
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- tomography
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Links
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- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 7
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 4
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 11
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 2
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Landscapes
- Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 搬送時に粉塵等が発生しない断層撮影用ベッ
ドを提供する。 【構成】 ガントリ4の空洞5内を貫通して設けられた
支持台11の上面には、複数個のベッド移動用電磁石1
2が支持台11の長手方向に2列に凹設されている。ベ
ッド移動用電磁石12は、支持台11の長手方向に移動
磁界を形成する。この移動磁界の上方には、被検体13
が載置された断層撮影用ベッド14が、ベッド浮上用電
磁石15により支持台11上に空隙を設け、非接触状態
で浮上されている。断層撮影用ベッド14は導体で形成
された本体部と磁性材で形成された浮上支持部とで構成
される。ベッド浮上用電磁石15の磁力と、断層撮影用
ベッド14の自重とのバランスにより浮上された断層撮
影用ベッド14は、断層撮影用ベッド14の長手方向に
形成された移動磁界によりリニアモータの原理で水平移
動する。
ドを提供する。 【構成】 ガントリ4の空洞5内を貫通して設けられた
支持台11の上面には、複数個のベッド移動用電磁石1
2が支持台11の長手方向に2列に凹設されている。ベ
ッド移動用電磁石12は、支持台11の長手方向に移動
磁界を形成する。この移動磁界の上方には、被検体13
が載置された断層撮影用ベッド14が、ベッド浮上用電
磁石15により支持台11上に空隙を設け、非接触状態
で浮上されている。断層撮影用ベッド14は導体で形成
された本体部と磁性材で形成された浮上支持部とで構成
される。ベッド浮上用電磁石15の磁力と、断層撮影用
ベッド14の自重とのバランスにより浮上された断層撮
影用ベッド14は、断層撮影用ベッド14の長手方向に
形成された移動磁界によりリニアモータの原理で水平移
動する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば、半導体装置
等の内部破壊(亀裂や剥離等)を検査する工業用断層撮
影装置(CTスキャナ装置)や医療用CTスキャナ装置
等に備えられ、被検体を載置してガントリの空洞内に被
検体を搬送するための断層撮影用ベッドに関する。
等の内部破壊(亀裂や剥離等)を検査する工業用断層撮
影装置(CTスキャナ装置)や医療用CTスキャナ装置
等に備えられ、被検体を載置してガントリの空洞内に被
検体を搬送するための断層撮影用ベッドに関する。
【0002】
【従来の技術】従来のCTスキャナ装置に備えられたベ
ッドは、図3に示すように、床面に固定された基台1上
に、上下動と水平移動が可能なように取り付けられてい
る。このベッド2上に被検体3(工業用CTスキャナ装
置であれば半導体装置等、医療用CTスキャナ装置であ
れば患者)が載置され、その状態で、ガントリ4の空洞
5内に被検体3を挿入するようにベッド2を図の二点鎖
線で示す位置に水平移動させる。
ッドは、図3に示すように、床面に固定された基台1上
に、上下動と水平移動が可能なように取り付けられてい
る。このベッド2上に被検体3(工業用CTスキャナ装
置であれば半導体装置等、医療用CTスキャナ装置であ
れば患者)が載置され、その状態で、ガントリ4の空洞
5内に被検体3を挿入するようにベッド2を図の二点鎖
線で示す位置に水平移動させる。
【0003】このベッド2の水平移動は、例えば、水平
移動方向に取り付けられたラックと、そのラックに噛合
するピニオンをモータで回転するような機械機構により
構成されている。
移動方向に取り付けられたラックと、そのラックに噛合
するピニオンをモータで回転するような機械機構により
構成されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成を有する従来例の場合には、次のような問題が
ある。すなわち、従来例のようにベッドの水平移動を機
械機構により構成していれば、ベッドの水平移動時に粉
塵や油等が発生し、クリーンな環境が維持できないとい
う問題がある。このような場合、例えば、被検体が半導
体装置等の精密機器であれば半導体装置等の故障の原因
になり、被検体が人(患者)であれば健康に悪いという
ように、被検体に悪影響を与えることになる。
うな構成を有する従来例の場合には、次のような問題が
ある。すなわち、従来例のようにベッドの水平移動を機
械機構により構成していれば、ベッドの水平移動時に粉
塵や油等が発生し、クリーンな環境が維持できないとい
う問題がある。このような場合、例えば、被検体が半導
体装置等の精密機器であれば半導体装置等の故障の原因
になり、被検体が人(患者)であれば健康に悪いという
ように、被検体に悪影響を与えることになる。
【0005】この発明は、このような事情に鑑みてなさ
れたものであって、被検体をガントリ内に搬送する際に
粉塵等が発生しない断層撮影用ベッドを提供することを
目的とする。
れたものであって、被検体をガントリ内に搬送する際に
粉塵等が発生しない断層撮影用ベッドを提供することを
目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明は、このような
目的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、この発明は、被検体を載置してガントリの空洞内に
被検体を搬送するための断層撮影用ベッドにおいて、前
記ガントリの空洞内を貫通して支持された支持台と、前
記支持台上に移動磁界を形成する移動磁界形成手段と、
前記移動磁界形成手段により形成された移動磁界の上方
に空隙を設けて前記断層撮影用ベッドを非接触状態で支
持するベッド支持手段とを備え、前記断層撮影用ベッド
の前記移動磁界成形手段により形成された移動磁界に対
向する部分を導体で形成するものである。
目的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、この発明は、被検体を載置してガントリの空洞内に
被検体を搬送するための断層撮影用ベッドにおいて、前
記ガントリの空洞内を貫通して支持された支持台と、前
記支持台上に移動磁界を形成する移動磁界形成手段と、
前記移動磁界形成手段により形成された移動磁界の上方
に空隙を設けて前記断層撮影用ベッドを非接触状態で支
持するベッド支持手段とを備え、前記断層撮影用ベッド
の前記移動磁界成形手段により形成された移動磁界に対
向する部分を導体で形成するものである。
【0007】
【作用】この発明の作用は次のとおりである。被検体が
載置された断層撮影用ベッドは、ベッド支持手段により
移動磁界形成手段により形成された移動磁界の上方に空
隙を設け、非接触状態で支持される。また、移動磁界成
形手段は、ガントリの空洞内を貫通して支持されている
支持台上に移動磁界を形成する。断層撮影用ベッドの前
記移動磁界手段に対向する部分は導体で形成しているの
で、移動磁界成形手段が移動磁界を成形することによ
り、形成される移動磁界が固定子、断層撮影用ベッドが
二次導体として働き、断層撮影用ベッドはリニアモータ
(リニアインダクションモータ)の原理により、支持台
上を水平移動し、被検体をガントリの空洞内に搬送す
る。
載置された断層撮影用ベッドは、ベッド支持手段により
移動磁界形成手段により形成された移動磁界の上方に空
隙を設け、非接触状態で支持される。また、移動磁界成
形手段は、ガントリの空洞内を貫通して支持されている
支持台上に移動磁界を形成する。断層撮影用ベッドの前
記移動磁界手段に対向する部分は導体で形成しているの
で、移動磁界成形手段が移動磁界を成形することによ
り、形成される移動磁界が固定子、断層撮影用ベッドが
二次導体として働き、断層撮影用ベッドはリニアモータ
(リニアインダクションモータ)の原理により、支持台
上を水平移動し、被検体をガントリの空洞内に搬送す
る。
【0008】
【実施例】以下、図面を参照してこの発明の一実施例を
説明する。図1は、この発明の一実施例に係る断層撮影
用ベッドを備えたCTスキャナ装置のベッド長手方向に
沿った断面図であり、図2は、実施例装置のベッド短手
方向に沿った断面図である。なお、図2では、ガントリ
の図示を省略している。また、この実施例では、半導体
装置を検査するための工業用CTスキャナ装置を例に採
り説明する。
説明する。図1は、この発明の一実施例に係る断層撮影
用ベッドを備えたCTスキャナ装置のベッド長手方向に
沿った断面図であり、図2は、実施例装置のベッド短手
方向に沿った断面図である。なお、図2では、ガントリ
の図示を省略している。また、この実施例では、半導体
装置を検査するための工業用CTスキャナ装置を例に採
り説明する。
【0009】ガントリ4の空洞5を挟むように、昇降自
在の2基のリフト10が床面に固定されており、それら
のリフト10の上部に支持され、ガントリ4の空洞5内
を貫通して、支持台11が設けられている。支持台11
の上面には、複数個のベッド移動用電磁石12が支持台
11の長手方向に2列に並べられて凹設されている。こ
れらのベッド移動用電磁石12には、支持台11の長手
方向に移動磁界を形成するように、図示しない給電部か
ら電流が給電されるように構成されている。
在の2基のリフト10が床面に固定されており、それら
のリフト10の上部に支持され、ガントリ4の空洞5内
を貫通して、支持台11が設けられている。支持台11
の上面には、複数個のベッド移動用電磁石12が支持台
11の長手方向に2列に並べられて凹設されている。こ
れらのベッド移動用電磁石12には、支持台11の長手
方向に移動磁界を形成するように、図示しない給電部か
ら電流が給電されるように構成されている。
【0010】また、このように形成される移動磁界の上
方には、被検体13(半導体装置)が載置された断層撮
影用ベッド14が、その長手方向を支持台11の長手方
向に合わせて、ベッド浮上用電磁石15により支持台1
1上に空隙を設け、支持台11等と非接触状態で浮上さ
れている。断層撮影用ベッド14は、アルミニウム(A
l)等の導体で形成された板状の本体部14aと、その
本体部14aの長手方向の両側面に設けられた鉄等の磁
性材で形成された浮上支持部14bとによって構成され
ている。
方には、被検体13(半導体装置)が載置された断層撮
影用ベッド14が、その長手方向を支持台11の長手方
向に合わせて、ベッド浮上用電磁石15により支持台1
1上に空隙を設け、支持台11等と非接触状態で浮上さ
れている。断層撮影用ベッド14は、アルミニウム(A
l)等の導体で形成された板状の本体部14aと、その
本体部14aの長手方向の両側面に設けられた鉄等の磁
性材で形成された浮上支持部14bとによって構成され
ている。
【0011】また、短手方向の断面が「コ」の字に形成
された支持台11の内側壁11aには、支持台11の長
手方向に沿って複数個の磁芯15aがそれぞれ取り付け
られ、それらの各磁芯15aにコイルが巻回されて、ベ
ッド浮上用電磁石15が形成されている。これらのベッ
ド浮上用電磁石15への給電は、図示しない給電部から
給電される構成である。
された支持台11の内側壁11aには、支持台11の長
手方向に沿って複数個の磁芯15aがそれぞれ取り付け
られ、それらの各磁芯15aにコイルが巻回されて、ベ
ッド浮上用電磁石15が形成されている。これらのベッ
ド浮上用電磁石15への給電は、図示しない給電部から
給電される構成である。
【0012】なお、ベッド移動用電磁石12は、この発
明における移動磁界形成手段に相当し、また、ベッド浮
上用電磁石15と断層撮影用ベッド14を構成する浮上
支持部14bとは、この発明におけるベッド支持手段に
相当する。
明における移動磁界形成手段に相当し、また、ベッド浮
上用電磁石15と断層撮影用ベッド14を構成する浮上
支持部14bとは、この発明におけるベッド支持手段に
相当する。
【0013】上述のような構成のCTスキャナ装置の動
作を以下に説明する。断層撮影用ベッド14は、ベッド
浮上用電磁石15による磁力と、断層撮影用ベッド14
の自重とのバランスにより、支持台11やベッド浮上用
電磁石15等に非接触の状態で浮上される。すなわち、
ベッド浮上用電磁石15から発生する磁力により、断層
撮影用ベッド14の浮上支持部14bが吸引され、断層
撮影用ベッド14は支持台11上に空隙を設けて浮上さ
れるが、このとき、浮上支持部14bがベッド浮上用電
磁石15に吸着しないように、ベッド浮上用電磁石15
から発生させる磁力を、例えば、給電する電流量等によ
り調整する。なお、このベッド浮上用電磁石15は、後
述する断層撮影用ベッド14の水平移動の際に、断層撮
影用ベッド14のガイドとしても作用する。
作を以下に説明する。断層撮影用ベッド14は、ベッド
浮上用電磁石15による磁力と、断層撮影用ベッド14
の自重とのバランスにより、支持台11やベッド浮上用
電磁石15等に非接触の状態で浮上される。すなわち、
ベッド浮上用電磁石15から発生する磁力により、断層
撮影用ベッド14の浮上支持部14bが吸引され、断層
撮影用ベッド14は支持台11上に空隙を設けて浮上さ
れるが、このとき、浮上支持部14bがベッド浮上用電
磁石15に吸着しないように、ベッド浮上用電磁石15
から発生させる磁力を、例えば、給電する電流量等によ
り調整する。なお、このベッド浮上用電磁石15は、後
述する断層撮影用ベッド14の水平移動の際に、断層撮
影用ベッド14のガイドとしても作用する。
【0014】また、断層撮影用ベッド14の長手方向
に、ベッド移動用電磁石12によって移動磁界を形成す
ることにより、本体部14aが導体で形成された断層撮
影用ベッド14は、リニアモータ(リニアインダクショ
ンモータ)の原理により、水平移動、すなわち、断層撮
影用ベッド14の長手方向へ移動する。これは、断層撮
影用ベッド14の長手方向に移動磁界が形成されるベッ
ド移動用電磁石12が固定子として、移動磁界上に浮上
されている断層撮影用ベッド14の導体で形成された本
体部14aが二次導体として働くからである。なお、こ
の水平移動の際には、断層撮影用ベッド14は短手方向
の両側部が、上述したベッド浮上用電磁石15に吸引さ
れているので、断層撮影用ベッド14は短手方向のバラ
ンスを保ちながら水平移動することができる。
に、ベッド移動用電磁石12によって移動磁界を形成す
ることにより、本体部14aが導体で形成された断層撮
影用ベッド14は、リニアモータ(リニアインダクショ
ンモータ)の原理により、水平移動、すなわち、断層撮
影用ベッド14の長手方向へ移動する。これは、断層撮
影用ベッド14の長手方向に移動磁界が形成されるベッ
ド移動用電磁石12が固定子として、移動磁界上に浮上
されている断層撮影用ベッド14の導体で形成された本
体部14aが二次導体として働くからである。なお、こ
の水平移動の際には、断層撮影用ベッド14は短手方向
の両側部が、上述したベッド浮上用電磁石15に吸引さ
れているので、断層撮影用ベッド14は短手方向のバラ
ンスを保ちながら水平移動することができる。
【0015】次に、被検体13の断層撮影の手順を説明
する。まず、ガントリ4の空洞5の外に浮上された断層
撮影用ベッド14上に被検体13を載置する。次に、断
層撮影用ベッド14に載置された被検体13をガントリ
4の空洞5内の所定位置に移動させるように、ベッド移
動用電磁石12により移動磁界を発生させる。これによ
り、上述したように、断層撮影用ベッド14は水平移動
し、被検体13はガントリ4の空洞5内に搬送される。
そして、2基のリフト10を同期させて昇降させること
により、ガントリ4の空洞5内の被検体13の高さを調
整し、被検体13の断層撮影を行う。撮影が終了する
と、被検体13をガントリ4の空洞5外に移動させるよ
うに、ベッド移動用電磁石12により移動磁界を発生さ
せ、被検体13がガントリ4の空洞5外に搬送される
と、被検体13を断層撮影用ベッド14上から取り出
す。
する。まず、ガントリ4の空洞5の外に浮上された断層
撮影用ベッド14上に被検体13を載置する。次に、断
層撮影用ベッド14に載置された被検体13をガントリ
4の空洞5内の所定位置に移動させるように、ベッド移
動用電磁石12により移動磁界を発生させる。これによ
り、上述したように、断層撮影用ベッド14は水平移動
し、被検体13はガントリ4の空洞5内に搬送される。
そして、2基のリフト10を同期させて昇降させること
により、ガントリ4の空洞5内の被検体13の高さを調
整し、被検体13の断層撮影を行う。撮影が終了する
と、被検体13をガントリ4の空洞5外に移動させるよ
うに、ベッド移動用電磁石12により移動磁界を発生さ
せ、被検体13がガントリ4の空洞5外に搬送される
と、被検体13を断層撮影用ベッド14上から取り出
す。
【0016】なお、上述の実施例では、断層撮影用ベッ
ド14の浮上を、ベッド浮上用電磁石15による磁力
と、断層撮影用ベッド14の自重とのバランスによって
行うように構成したが、例えば、支持台11の各内側壁
11aに電磁石をそれぞれ上下に対向配置し、それらの
電磁石の間に断層撮影用ベッド14の浮上支持部14b
(磁性体)を挟み込むようにして、双方の電磁石から発
生する磁力のバランスにより、断層撮影用ベッド14を
浮上させるように構成してもよい。
ド14の浮上を、ベッド浮上用電磁石15による磁力
と、断層撮影用ベッド14の自重とのバランスによって
行うように構成したが、例えば、支持台11の各内側壁
11aに電磁石をそれぞれ上下に対向配置し、それらの
電磁石の間に断層撮影用ベッド14の浮上支持部14b
(磁性体)を挟み込むようにして、双方の電磁石から発
生する磁力のバランスにより、断層撮影用ベッド14を
浮上させるように構成してもよい。
【0017】また、上述の実施例では、半導体装置を検
査するための工業用CTスキャナ装置を例に採り説明し
たが、この発明は、その他の工業用CTスキャナ装置や
医療用CTスキャナ装置のベッドの水平移動機構として
も適用することができる。
査するための工業用CTスキャナ装置を例に採り説明し
たが、この発明は、その他の工業用CTスキャナ装置や
医療用CTスキャナ装置のベッドの水平移動機構として
も適用することができる。
【0018】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、この発
明によれば、被検体を載置した断層撮影用ベッドを、ベ
ッド支持手段により非接触状態で、移動磁界により水平
移動させ、被検体をガントリの空洞内に搬送するように
構成したので、水平移動の際に粉塵や油等の発生が防止
できる。従って、クリーンな環境を維持し、被検体に悪
影響を与えない断層撮影用ベッドを実現できる。
明によれば、被検体を載置した断層撮影用ベッドを、ベ
ッド支持手段により非接触状態で、移動磁界により水平
移動させ、被検体をガントリの空洞内に搬送するように
構成したので、水平移動の際に粉塵や油等の発生が防止
できる。従って、クリーンな環境を維持し、被検体に悪
影響を与えない断層撮影用ベッドを実現できる。
【図1】この発明の一実施例に係る断層撮影用ベッドを
備えたCTスキャナ装置のベッド長手方向に沿った断面
図である。
備えたCTスキャナ装置のベッド長手方向に沿った断面
図である。
【図2】実施例装置のベッド短手方向に沿った断面図で
ある。
ある。
【図3】従来例に係る断層撮影用ベッドを備えたCTス
キャナ装置の概略構成を示す図である。
キャナ装置の概略構成を示す図である。
4 … ガントリ 5 … ガントリの空洞 10 … リフト 11 … 支持台 12 … ベッド移動用電磁石 13 … 被検体 14 … 断層撮影用ベッド 14a … 断層撮影用ベッドの本体部 14b … 断層撮影用ベッドの浮上支持部 15 … ベッド浮上用電磁石
Claims (1)
- 【請求項1】 被検体を載置してガントリの空洞内に被
検体を搬送するための断層撮影用ベッドにおいて、前記
ガントリの空洞内を貫通して支持された支持台と、前記
支持台上に移動磁界を形成する移動磁界形成手段と、前
記移動磁界形成手段により形成された移動磁界の上方に
空隙を設けて前記断層撮影用ベッドを非接触状態で支持
するベッド支持手段とを備え、前記断層撮影用ベッドの
前記移動磁界成形手段により形成された移動磁界に対向
する部分を導体で形成することを特徴とする断層撮影用
ベッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4315763A JPH06133959A (ja) | 1992-10-29 | 1992-10-29 | 断層撮影用ベッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4315763A JPH06133959A (ja) | 1992-10-29 | 1992-10-29 | 断層撮影用ベッド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06133959A true JPH06133959A (ja) | 1994-05-17 |
Family
ID=18069254
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4315763A Pending JPH06133959A (ja) | 1992-10-29 | 1992-10-29 | 断層撮影用ベッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06133959A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11609189B2 (en) | 2020-06-15 | 2023-03-21 | Biometic S.R.L. | CT scanner and method for performing a CT examination of an object |
-
1992
- 1992-10-29 JP JP4315763A patent/JPH06133959A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11609189B2 (en) | 2020-06-15 | 2023-03-21 | Biometic S.R.L. | CT scanner and method for performing a CT examination of an object |
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