JPH0611464Y2 - Resistance measurement probe - Google Patents
Resistance measurement probeInfo
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- JPH0611464Y2 JPH0611464Y2 JP1987181944U JP18194487U JPH0611464Y2 JP H0611464 Y2 JPH0611464 Y2 JP H0611464Y2 JP 1987181944 U JP1987181944 U JP 1987181944U JP 18194487 U JP18194487 U JP 18194487U JP H0611464 Y2 JPH0611464 Y2 JP H0611464Y2
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- electrode
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は抵抗測定用プローブに関し、特に低抵抗測定時
に有効な四端子法に使用される抵抗測定用プローブに関
するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial field of use] The present invention relates to a resistance measuring probe, and more particularly to a resistance measuring probe used in a four-terminal method effective for low resistance measurement.
電気回路において低抵抗を精度よく測定する方法とし
て、第４図に示すように定電流源１により電流供給用プ
ローブ２を介して被測定抵抗３に定電流を流し、電圧測
定用プローブ４により被測定抵抗３の両端の電位差を電
圧測定器５に送り測定した電圧により抵抗値を算出する
四端子法が知られている。そして、このような測定を行
うために、従来においては、第５図に示すように、一対
の抵抗測定用プローブを用い、これらを幅方向に間隔を
おいてプローブカード６上に実装し、一方を電流供給用
電極７に接続することによって電流供給用プローブ２と
し、他方を電圧測定用電極８に接続することによって電
圧測定用プローブ４としている。そして、電流供給用プ
ローブ２および電圧測定用プローブ４に先端部に接続さ
れたプローブピン９，９を被測定用電極１０に接触させ
て抵抗を測定していた。As a method of accurately measuring low resistance in an electric circuit, as shown in FIG. 4, a constant current is made to flow through a resistance 3 to be measured through a current supply probe 2 by a constant current source 1 and a voltage measurement probe 4 makes A four-terminal method is known in which the potential difference between both ends of the measuring resistor 3 is sent to the voltage measuring device 5 to calculate the resistance value from the measured voltage. In order to perform such a measurement, conventionally, as shown in FIG. 5, a pair of resistance measuring probes are used, which are mounted on the probe card 6 at intervals in the width direction. Is connected to the current supply electrode 7 to form the current supply probe 2, and the other is connected to the voltage measurement electrode 8 to form the voltage measurement probe 4. Then, the resistance was measured by bringing the probe pins 9 and 9 connected to the tips of the current supply probe 2 and the voltage measurement probe 4 into contact with the electrode 10 to be measured.
しかしながら、従来のこの種の抵抗測定用プローブにお
いては、四端子法に使用する場合、一つの被測定用電極
に対して二本の抵抗測定用プローブを設けなければなら
ないために、プローブカード作成に時間がかかるだけで
なく、実装密度が向上できないという不具合があった。
また、被測定用電極に互いに離間している二本のプロー
ブピンを同時に接触させる関係上、被測定用電極の面積
をある程度大きくする必要があり、パターン設計を行う
上で自由度が制限されるという不都合もあった。However, in the conventional resistance measuring probe of this type, when used in the four-terminal method, it is necessary to provide two resistance measuring probes for one electrode to be measured. Not only does it take time, but the packaging density cannot be improved.
Further, because the two probe pins that are separated from each other are brought into contact with the electrode for measurement at the same time, it is necessary to increase the area of the electrode for measurement to some extent, which limits the degree of freedom in designing the pattern. There was also an inconvenience.
本考案はこのような事情に鑑みなされたもので、その目
的はプローブカードの作成時間が短縮でき、しかも被測
定用電極が大きくなるのを抑えてパータン設計の自由度
が制限されるのを抑えることができる抵抗測定用プロー
ブを提供するものである。本考案に係る抵抗測定用プロ
ーブは、プローブ本体を電流供給用プローブ本体および
電圧測定用プローブ本体を絶縁体を介して厚さ方向に積
層して構成し、プローブピンを円筒状の外プローブピン
に内プローブピンを弾性を有する絶縁体を介して挿入し
て構成し、各プローブピンを各別にプローブ本体に接続
したものである。The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to shorten the time for producing a probe card and to suppress the increase in the size of the electrode to be measured and to limit the freedom of pattern design. The present invention provides a resistance measuring probe capable of performing the measurement. The resistance measuring probe according to the present invention is configured by stacking a probe main body and a voltage measuring probe main body in the thickness direction with an insulator interposed between the probe main body and the probe outer pin. The inner probe pin is inserted through an elastic insulator, and each probe pin is separately connected to the probe body.
本考案においては、１個の抵抗測定用プローブにおい
て、２系統の電気的導通路が形成されるようになる。According to the present invention, two electrical conduction paths are formed in one resistance measuring probe.
以下、本考案に一実施例を図により詳細に説明する。第
１図は本考案に係る抵抗測定用プローブを示す斜視図、
第２図はプローブピンを示す縦断面図、第３図はプロー
ブピンとプローブ本体との接続部を示す横断面図であ
り、第１図において６はプローブカード、１０は被測定
用電極である。これら部材は従来のものと何ら変わると
ころがなく、プローブカード６には電流供給用電極７お
よび電圧測定用電極８が設けられている。Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a resistance measuring probe according to the present invention,
2 is a vertical sectional view showing the probe pin, FIG. 3 is a horizontal sectional view showing a connecting portion between the probe pin and the probe body, and in FIG. 1, 6 is a probe card and 10 is an electrode for measurement. These members are no different from the conventional ones, and the probe card 6 is provided with the current supply electrode 7 and the voltage measurement electrode 8.
１１は抵抗測定用プローブであり、Ｌ字状に形成されプ
ローブカード６に実装されるプローブ本体１２と、この
プローブ本体１２の先端部に半田付け部１３によって接
続され被測定側としての被測定用電極１０に接触するプ
ローブピン１４とから構成されている。プローブ本体１
２は電流供給用電極７に接続された電流供給用プローブ
本体１５および電圧測定用電極８に接続された電圧測定
用プローブ本体１６からなり、これら部材は絶縁体１７
を介して厚さ方向に積層されている。プローブピン１４
は円筒状に形成された外プローブピン２１およびこの外
プローブピン２１の内孔に弾性を有する絶縁体２２を介
して挿入された内プローブピン２３とからなり、略Ｌ字
状に折り曲げられている。ここで、プローブピン１４の
先端面は外プローブピン２１の先端面と内プローブピン
２３の先端面が一平面をなすか、あるいは内プローブピ
ン２３の先端が僅かに突出するように形成されている。
これは内外プローブピンを同時に被測定用電極１０に接
触させるためである。これらのプローブピンの接触性を
良くするためには、内プローブピン２３の先端部を僅か
に突出させるのが好ましい。一方、プローブピン１４の
基端部は、内プローブピン２３が外プローブピン２１か
ら突出されており、ここに外プローブピン２１の外径と
略等しい外径を有する接続部２３ａが設けられている。
そして、第３図に示すように接続部２３ａは電圧測定用
プローブ本体１６の先端部前記半田付け部１３によって
接続されている。また外プローブピン２１の基端部は電
流供給用プローブ本体１５に接続されている。Reference numeral 11 is a resistance measuring probe, which is formed into an L shape and is mounted on the probe card 6, and a probe main body 12 which is connected to the tip end of the probe main body 12 by a soldering portion 13 and which is to be measured as a measured side. The probe pin 14 contacts the electrode 10. Probe body 1
Reference numeral 2 includes a current supply probe main body 15 connected to the current supply electrode 7 and a voltage measurement probe main body 16 connected to the voltage measurement electrode 8, and these members are insulators 17
Are laminated in the thickness direction. Probe pin 14
Is composed of an outer probe pin 21 formed in a cylindrical shape and an inner probe pin 23 inserted into an inner hole of the outer probe pin 21 via an elastic insulator 22 and is bent into a substantially L shape. . Here, the tip end surface of the probe pin 14 is formed such that the tip end surface of the outer probe pin 21 and the tip end surface of the inner probe pin 23 form a single plane, or the tip end of the inner probe pin 23 slightly projects. .
This is to bring the inner and outer probe pins into contact with the electrode 10 to be measured at the same time. In order to improve the contactability of these probe pins, it is preferable that the tip portion of the inner probe pin 23 is slightly projected. On the other hand, at the base end portion of the probe pin 14, the inner probe pin 23 projects from the outer probe pin 21, and a connection portion 23a having an outer diameter substantially equal to the outer diameter of the outer probe pin 21 is provided therein. .
Then, as shown in FIG. 3, the connecting portion 23a is connected by the soldering portion 13 at the tip portion of the voltage measuring probe main body 16. The base end portion of the outer probe pin 21 is connected to the current supply probe body 15.
したがって、このように構成された抵抗測定用プローブ
においては、プローブピン１４を被測定用電極１０に接
触させると、電流供給用プローブ本体１５および外プロ
ーブピン２１を介して定電流が被測定抵抗に供給される
ようになると共に、被測定抵抗によって生ずる電位差を
内プローブピン２３および電圧測定用プローブ本体１６
を介して測定することができる。すなわち、１個の抵抗
測定用プローブによって、２系統の電気的導通路を形成
することができる。Therefore, in the resistance measuring probe configured as described above, when the probe pin 14 is brought into contact with the electrode 10 to be measured, a constant current is applied to the measured resistance via the current supply probe main body 15 and the outer probe pin 21. While being supplied, the potential difference caused by the resistance to be measured is supplied to the inner probe pin 23 and the voltage measuring probe main body 16
Can be measured via. That is, one resistance measuring probe can form two systems of electrical conduction paths.
したがって、四端子法によって低抵抗測定を行う場合で
あっても１個の抵抗測定用プローブ１１をプローブカー
ド６に実装することによって、被測定用電極１０との電
気的接続を行うことができる。その結果、従来のように
２個の抵抗測定用プローブを用いる構造に比較して、プ
ローブカード６への実装が簡単になりしかも実装面積を
削減することができる。さらに、プローブピン１４の被
測定用電極１０との接触面積も１個のプローブピンを使
用する場合に比較してそれほど大きくする必要がなく、
被測定用電極１０を二端子法に使用する電極と略等しい
大きさにまで小さくすることができる。Therefore, even when low resistance measurement is performed by the four-terminal method, by mounting one resistance measurement probe 11 on the probe card 6, it is possible to perform electrical connection with the measured electrode 10. As a result, as compared with the conventional structure using two resistance measuring probes, the mounting on the probe card 6 is simplified and the mounting area can be reduced. Further, the contact area of the probe pin 14 with the electrode for measurement 10 does not need to be so large as compared with the case of using one probe pin,
The electrode 10 to be measured can be reduced to a size substantially equal to that of the electrode used in the two-terminal method.
以上説明したように本考案によれば、プローブ本体を電
流供給用プローブ本体および電圧測定用プローブ本体を
絶縁体を介して厚さ方向に積層し構成し、プローブピン
を円筒状の外プローブピンに内プローブピンを弾性を有
する絶縁体を介して挿入して構成し、各プローブピンを
各別にプローブ本体に接続したから、１個の抵抗測定用
プローブによって、２系統の電気的導通路を形成するこ
とができる。As described above, according to the present invention, the probe main body is configured by stacking the current supply probe main body and the voltage measurement probe main body in the thickness direction through the insulator, and the probe pin is a cylindrical outer probe pin. Since the inner probe pin is inserted through an elastic insulator and each probe pin is separately connected to the probe body, one resistance measuring probe forms two electrical conduction paths. be able to.
したがって、四端子法によって抵抗測定を行う場合であ
っても１個の抵抗測定用プローブをプローブカードに実
装すればよいから、プローブカードの作成時間を短縮す
ることができると共に実装密度が向上できる。また、被
測定用の電極も二端子法に使用する電極と略等しい大き
さにまで小さくすることができるから、電気回路の設計
パターンの自由度を制約するようなおそれもない。Therefore, even when the resistance measurement is performed by the four-terminal method, one resistance measurement probe may be mounted on the probe card, so that it is possible to shorten the time for producing the probe card and improve the mounting density. Further, since the electrode to be measured can be reduced to a size substantially equal to that of the electrode used in the two-terminal method, there is no fear of limiting the degree of freedom in the design pattern of the electric circuit.
また、プローブ本体は、導体どうしを絶縁体を介して厚
み方向に積層させて形成したために可撓性を有しておら
ず、弾性を有する絶縁体を使用して形成されたプローブ
ピンが可撓性を有しているから、プローブ本体にプロー
ブピンを接続して一つのプローブを形成しても適正な針
圧が得られる。このため、被測定用電極とプローブ本体
支持部材とが大きく離間する場合であってもプローブピ
ンを不必要に長く形成しなくて済み、針圧を適正値に保
つことができる。Further, the probe main body is not flexible because it is formed by stacking conductors in the thickness direction through the insulator, and the probe pin formed using the insulator having elasticity is flexible. Since it has the property, an appropriate needle pressure can be obtained even if the probe pin is connected to the probe body to form one probe. Therefore, even when the electrode to be measured and the probe body supporting member are largely separated from each other, it is not necessary to form the probe pin unnecessarily long, and the needle pressure can be maintained at an appropriate value.
第１図は本考案に係る抵抗測定用プローブを示す斜視
図、第２図はプローブピンを示す縦断面図、第３図はプ
ローブピンとプローブ本体との接続部を示す横断面図、
第４図は四端子法について説明するための電気回路図、
第５図は従来の抵抗測定用プローブを示す斜視図であ
る。 １２……プローブ本体、１４……プローブピン、１５…
…電流供給用プローブ本体、１６……電圧測定用プロー
ブ本体、２１……外プローブピン、２３……内プローブ
ピン。FIG. 1 is a perspective view showing a resistance measuring probe according to the present invention, FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing a probe pin, and FIG. 3 is a transverse sectional view showing a connecting portion between a probe pin and a probe body.
FIG. 4 is an electric circuit diagram for explaining the four-terminal method,
FIG. 5 is a perspective view showing a conventional resistance measuring probe. 12 ... Probe body, 14 ... Probe pin, 15 ...
… Current supply probe body, 16 …… Voltage measurement probe body, 21 …… Outer probe pin, 23 …… Inner probe pin.
Claims (1)
ーブピンを接続した抵抗測定用プローブにおいて、プロ
ーブ本体を電流供給用プローブ本体および電圧測定用プ
ローブ本体から構成し、これらの部材を絶縁体を介して
厚さ方向に積層すると共に、プローブピンを円筒状の外
プローブピンおよびこれに弾性を有する絶縁体を介して
挿入された内プローブピンから構成し、これら内外プロ
ーブピンの一方を電流供給用プローブ本体に接続し他方
を電圧測定用プローブ本体に接続したことを特徴とする
抵抗測定用プローブ。1. A resistance measuring probe in which a probe pin connected to the measured side is connected to the probe main body, wherein the probe main body comprises a current supplying probe main body and a voltage measuring probe main body, and these members are made of an insulator. The probe pin is composed of a cylindrical outer probe pin and an inner probe pin inserted through an insulator having elasticity, and one of these inner and outer probe pins is supplied with current. A probe for resistance measurement, characterized in that it is connected to the probe main body and the other is connected to a voltage measurement probe main body.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987181944U JPH0611464Y2 (en) | 1987-12-01 | 1987-12-01 | Resistance measurement probe |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987181944U JPH0611464Y2 (en) | 1987-12-01 | 1987-12-01 | Resistance measurement probe |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0187256U JPH0187256U (en) | 1989-06-08 |
| JPH0611464Y2 true JPH0611464Y2 (en) | 1994-03-23 |
Family
ID=31473406
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987181944U Expired - Lifetime JPH0611464Y2 (en) | 1987-12-01 | 1987-12-01 | Resistance measurement probe |
Country Status (1)
| Country | Link |
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Families Citing this family (2)
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|---|---|---|---|---|
| JP5157426B2 (en) * | 2007-12-27 | 2013-03-06 | 富士通セミコンダクター株式会社 | Inspection jig and capacitance measurement method using the same |
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Family Cites Families (4)
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| JPS5741169U (en) * | 1980-08-20 | 1982-03-05 | ||
| JPS5768046A (en) * | 1980-10-16 | 1982-04-26 | Nec Corp | Probe card |
| JPS5997469U (en) * | 1982-12-20 | 1984-07-02 | 株式会社東芝 | Semiconductor chip measurement probe |
| JPS62217165A (en) * | 1986-03-19 | 1987-09-24 | Toshiba Corp | Contact body for inspection |
-
1987
- 1987-12-01 JP JP1987181944U patent/JPH0611464Y2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0187256U (en) | 1989-06-08 |
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