JPH06110976A - 図形データのサイジング処理方法 - Google Patents
図形データのサイジング処理方法Info
- Publication number
- JPH06110976A JPH06110976A JP4256596A JP25659692A JPH06110976A JP H06110976 A JPH06110976 A JP H06110976A JP 4256596 A JP4256596 A JP 4256596A JP 25659692 A JP25659692 A JP 25659692A JP H06110976 A JPH06110976 A JP H06110976A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hypotenuse
- sizing
- shifted
- axial direction
- axis direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ＣＡＤにより作成された図形データ、例えば、
集積回路を製造する場合に使用される露光用の図形デー
タについてサイジング処理を行う場合に適用される図形
データのサイジング処理方法に関し、斜辺部を有する図
形についても、精度の高いサイジング処理を行うことが
できるようにする。 【構成】斜辺部７を階段近似処理してなる階段形状部９
については、Ｘ軸方向に距離Ｌｘ＝Ｌsinθ、Ｙ軸方向
に距離Ｌｙ＝Ｌcosθだけシフトさせる。
集積回路を製造する場合に使用される露光用の図形デー
タについてサイジング処理を行う場合に適用される図形
データのサイジング処理方法に関し、斜辺部を有する図
形についても、精度の高いサイジング処理を行うことが
できるようにする。 【構成】斜辺部７を階段近似処理してなる階段形状部９
については、Ｘ軸方向に距離Ｌｘ＝Ｌsinθ、Ｙ軸方向
に距離Ｌｙ＝Ｌcosθだけシフトさせる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＣＡＤ（computer aid
ed design）により作成された図形データ、例えば、集
積回路を製造する場合に使用される露光用の図形データ
についてサイジング処理を行う場合に適用される図形デ
ータのサイジング処理方法に関する。
ed design）により作成された図形データ、例えば、集
積回路を製造する場合に使用される露光用の図形データ
についてサイジング処理を行う場合に適用される図形デ
ータのサイジング処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は斜辺部を有する図形をサイジング
処理する場合の従来の方法を説明するための図であり、
斜辺部を有する図形の斜辺部の一部分を示している。図
中、実線１は斜辺部、矢印２はサイジングの方向、矢印
２の長さＬはサイジング量を示している。
処理する場合の従来の方法を説明するための図であり、
斜辺部を有する図形の斜辺部の一部分を示している。図
中、実線１は斜辺部、矢印２はサイジングの方向、矢印
２の長さＬはサイジング量を示している。
【０００３】従来においては、斜辺部１については、実
線３に示すような階段形状に階段近似処理を行い、この
階段形状部３をＸ軸方向に距離Ｌ、Ｙ軸方向に距離Ｌだ
けシフトするようにして斜辺部１を有する図形のサイジ
ング処理をしていた。
線３に示すような階段形状に階段近似処理を行い、この
階段形状部３をＸ軸方向に距離Ｌ、Ｙ軸方向に距離Ｌだ
けシフトするようにして斜辺部１を有する図形のサイジ
ング処理をしていた。
【０００４】この結果、階段形状部３は破線４で示す位
置にシフトされることになる。ここに、破線５は破線４
の位置にシフトされた階段形状部３により近似される斜
辺部を示しているが、本来、階段形状部３をシフトさせ
た場合、シフト後の階段形状部３により近似される斜辺
部は実線６の位置になければならない。
置にシフトされることになる。ここに、破線５は破線４
の位置にシフトされた階段形状部３により近似される斜
辺部を示しているが、本来、階段形状部３をシフトさせ
た場合、シフト後の階段形状部３により近似される斜辺
部は実線６の位置になければならない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来のサ
イジング処理方法では、斜辺部を階段形状部に近似して
斜辺部を有する図形をサイジング処理する場合、斜辺部
についてのサイジング量は、斜辺部に直交する方向に指
定されるにも関わらず、斜辺部を階段近似処理してなる
階段形状部をＸ軸方向に距離Ｌ、Ｙ軸方向に距離Ｌだけ
シフトさせるようにしているので、階段形状部を、本
来、シフトさせるべき位置にシフトさせることができ
ず、シフト位置に誤差が生じ、精度の高いサイジングを
行うことができないという問題点があった。
イジング処理方法では、斜辺部を階段形状部に近似して
斜辺部を有する図形をサイジング処理する場合、斜辺部
についてのサイジング量は、斜辺部に直交する方向に指
定されるにも関わらず、斜辺部を階段近似処理してなる
階段形状部をＸ軸方向に距離Ｌ、Ｙ軸方向に距離Ｌだけ
シフトさせるようにしているので、階段形状部を、本
来、シフトさせるべき位置にシフトさせることができ
ず、シフト位置に誤差が生じ、精度の高いサイジングを
行うことができないという問題点があった。
【０００６】本発明は、かかる点に鑑み、斜辺部を有す
る図形についても、精度の高いサイジング処理を行うこ
とができるようにした図形データのサイジング処理方法
を提供することを目的とする。
る図形についても、精度の高いサイジング処理を行うこ
とができるようにした図形データのサイジング処理方法
を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明による図形データ
のサイジング処理方法は、斜辺部を有する図形につい
て、斜辺部を階段形状部に階段近似処理してサイジング
処理を行う場合、斜辺に直交する方向に指定されたサイ
ジング量のＸ軸方向成分及びＹ軸方向成分を求め、斜辺
部を階段近似処理してなる階段形状部については、Ｘ軸
方向及びＹ軸方向にそれぞれサイジング量のＸ軸方向成
分及びＹ軸方向成分だけシフトさせてサイジング処理を
行う、というものである。
のサイジング処理方法は、斜辺部を有する図形につい
て、斜辺部を階段形状部に階段近似処理してサイジング
処理を行う場合、斜辺に直交する方向に指定されたサイ
ジング量のＸ軸方向成分及びＹ軸方向成分を求め、斜辺
部を階段近似処理してなる階段形状部については、Ｘ軸
方向及びＹ軸方向にそれぞれサイジング量のＸ軸方向成
分及びＹ軸方向成分だけシフトさせてサイジング処理を
行う、というものである。
【０００８】
【作用】本発明では、斜辺部を階段近似処理してなる階
段形状部については、Ｘ軸方向及びＹ軸方向にそれぞれ
サイジング量のＸ軸方向成分及びＹ軸方向成分だけシフ
トさせるとしているので、斜辺部を階段近似処理した階
段形状部を、本来、シフトすべき位置にシフトさせるこ
とができる。
段形状部については、Ｘ軸方向及びＹ軸方向にそれぞれ
サイジング量のＸ軸方向成分及びＹ軸方向成分だけシフ
トさせるとしているので、斜辺部を階段近似処理した階
段形状部を、本来、シフトすべき位置にシフトさせるこ
とができる。
【０００９】
【実施例】図１は本発明の一実施例を示すフローチャー
トであり、本実施例においては、まず、図形データが入
力され（ステップＰ１）、各図形の各頂点の座標が抽出
される（ステップＰ２）。
トであり、本実施例においては、まず、図形データが入
力され（ステップＰ１）、各図形の各頂点の座標が抽出
される（ステップＰ２）。
【００１０】次に、各図形について、斜辺部を有する図
形（０度及び９０度以外の任意角の辺を有する図形）で
あるか否かが判断され（ステップＰ３）、斜辺部を有し
ない図形については、指定されたサイジング量に従って
従来の方法でサイジング処理が行われる（ステップＰ
４）。
形（０度及び９０度以外の任意角の辺を有する図形）で
あるか否かが判断され（ステップＰ３）、斜辺部を有し
ない図形については、指定されたサイジング量に従って
従来の方法でサイジング処理が行われる（ステップＰ
４）。
【００１１】これに対して、斜辺部を有する図形につい
ては、斜辺部のＸ軸に対する角度が算出され（ステップ
Ｐ５）、斜辺部を階段形状部に近似する階段近似処理が
行われる（ステップＰ６）と共に、斜辺部に直交する方
向に指定されたサイジング量のＸ軸方向成分及びＹ軸方
向成分が算出される（ステップＰ７）。
ては、斜辺部のＸ軸に対する角度が算出され（ステップ
Ｐ５）、斜辺部を階段形状部に近似する階段近似処理が
行われる（ステップＰ６）と共に、斜辺部に直交する方
向に指定されたサイジング量のＸ軸方向成分及びＹ軸方
向成分が算出される（ステップＰ７）。
【００１２】ここに、斜辺部を有する図形のサイジング
処理が行われるが、斜辺部を階段近似処理してなる階段
形状部については、Ｘ軸方向にはサイジング量のＸ軸方
向成分だけシフトさせ、Ｙ軸方向にはサイジング量のＹ
軸方向成分だけシフトさせてサイジング処理が行われる
（ステップＰ４）。
処理が行われるが、斜辺部を階段近似処理してなる階段
形状部については、Ｘ軸方向にはサイジング量のＸ軸方
向成分だけシフトさせ、Ｙ軸方向にはサイジング量のＹ
軸方向成分だけシフトさせてサイジング処理が行われる
（ステップＰ４）。
【００１３】このようにしてサイジング処理が終了する
と、サイジング処理済の図形データが出力され（ステッ
プＰ８）、次の処理、例えば、露光の必要なデータ処理
過程に移行される（ステップＰ９）。
と、サイジング処理済の図形データが出力され（ステッ
プＰ８）、次の処理、例えば、露光の必要なデータ処理
過程に移行される（ステップＰ９）。
【００１４】ここに、図２は本実施例のサイジング方法
を説明するための図であり、斜辺部を有する図形の斜辺
部の一部分を示している。図中、実線７は斜辺部、矢印
８はサイジングの方向、矢印８の長さＬはサイジング量
を示している。
を説明するための図であり、斜辺部を有する図形の斜辺
部の一部分を示している。図中、実線７は斜辺部、矢印
８はサイジングの方向、矢印８の長さＬはサイジング量
を示している。
【００１５】本実施例では、斜辺部７は階段形状部９に
階段近似処理されると共に、サイジング量ＬのＸ軸方向
成分Ｌｘ＝Ｌcos（９０−θ）＝Ｌsinθと、サイジング
量ＬのＹ軸方向成分Ｌｙ＝Ｌsin（９０−θ)＝Ｌcosθ
が算出され、階段形状部８について、Ｘ軸方向に距離Ｌ
ｘ、Ｙ軸方向に距離Ｌｙだけシフトされる。なお、θは
斜辺部７がＸ軸に対してなす角度である。
階段近似処理されると共に、サイジング量ＬのＸ軸方向
成分Ｌｘ＝Ｌcos（９０−θ）＝Ｌsinθと、サイジング
量ＬのＹ軸方向成分Ｌｙ＝Ｌsin（９０−θ)＝Ｌcosθ
が算出され、階段形状部８について、Ｘ軸方向に距離Ｌ
ｘ、Ｙ軸方向に距離Ｌｙだけシフトされる。なお、θは
斜辺部７がＸ軸に対してなす角度である。
【００１６】この結果、階段形状部９は、破線１０で示
す位置にシフトされる。ここに、破線１１は、破線１０
の位置にシフトされた階段形状部９により近似される斜
辺部を示している。
す位置にシフトされる。ここに、破線１１は、破線１０
の位置にシフトされた階段形状部９により近似される斜
辺部を示している。
【００１７】なお、二点鎖線１２は、従来の方法で、階
段形状部９をＸ軸方向及びＹ軸方向に共に距離Ｌだけシ
フトした場合の階段形状部９のシフト位置、二点鎖線１
３は階段形状部９を二点鎖線１２の位置にシフトさせた
場合に近似される斜辺部を示している。
段形状部９をＸ軸方向及びＹ軸方向に共に距離Ｌだけシ
フトした場合の階段形状部９のシフト位置、二点鎖線１
３は階段形状部９を二点鎖線１２の位置にシフトさせた
場合に近似される斜辺部を示している。
【００１８】このように、本実施例によれば、斜辺部７
を階段近似処理してなる階段形状部９を、本来、シフト
すべき位置にシフトすることができるので、斜辺部７を
有する図形について精度の高いサイジング処理を行うこ
とができる。
を階段近似処理してなる階段形状部９を、本来、シフト
すべき位置にシフトすることができるので、斜辺部７を
有する図形について精度の高いサイジング処理を行うこ
とができる。
【００１９】
【発明の効果】本発明によれば、斜辺部を有する図形に
ついて、斜辺部を階段形状部に近似してサイジング処理
を行う場合、斜辺部を階段近似処理してなる階段形状部
については、Ｘ軸方向及びＹ軸方向にそれぞれサイジン
グ量のＸ軸方向成分及びＹ軸方向成分だけシフトさせて
サイジング処理を行うとしたことにより、斜辺部を近似
してなる階段形状部を、本来、シフトすべき位置にシフ
トさせることができるので、斜辺部を有する図形につい
て、精度の高いサイジング処理を行うことができる。
ついて、斜辺部を階段形状部に近似してサイジング処理
を行う場合、斜辺部を階段近似処理してなる階段形状部
については、Ｘ軸方向及びＹ軸方向にそれぞれサイジン
グ量のＸ軸方向成分及びＹ軸方向成分だけシフトさせて
サイジング処理を行うとしたことにより、斜辺部を近似
してなる階段形状部を、本来、シフトすべき位置にシフ
トさせることができるので、斜辺部を有する図形につい
て、精度の高いサイジング処理を行うことができる。
【図１】本発明の一実施例を示すフローチャートであ
る。
る。
【図２】本発明の一実施例を説明するための図である。
【図３】従来の図形データのサイジング処理方法を説明
するための図である。
するための図である。
７ 斜辺部 ９ 斜辺部を階段近似処理してなる階段形状部 １０ 実施例による階段形状部のシフト位置 １１ 実施例によりシフトされた階段形状部により近似
される斜辺部 １２ 従来の方法による階段形状部のシフト位置 １３ 従来の方法によりシフトされた階段形状部により
近似される斜辺部
される斜辺部 １２ 従来の方法による階段形状部のシフト位置 １３ 従来の方法によりシフトされた階段形状部により
近似される斜辺部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 宮内 徹 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】斜辺部を有する図形について、前記斜辺部
を階段形状部に階段近似処理してサイジング処理を行う
場合、前記斜辺に直交する方向に指定されたサイジング
量のＸ軸方向成分及びＹ軸方向成分を求め、前記斜辺部
を階段近似処理してなる階段形状部については、Ｘ軸方
向及びＹ軸方向にそれぞれ前記サイジング量のＸ軸方向
成分及びＹ軸方向成分だけシフトさせてサイジング処理
を行うことを特徴とする図形データのサイジング処理方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4256596A JPH06110976A (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | 図形データのサイジング処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4256596A JPH06110976A (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | 図形データのサイジング処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06110976A true JPH06110976A (ja) | 1994-04-22 |
Family
ID=17294831
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4256596A Withdrawn JPH06110976A (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | 図形データのサイジング処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06110976A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016063580A1 (ja) * | 2014-10-21 | 2016-04-28 | 日本コントロールシステム株式会社 | パターン補正量算出装置、パターン補正量算出方法、および記録媒体 |
-
1992
- 1992-09-25 JP JP4256596A patent/JPH06110976A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016063580A1 (ja) * | 2014-10-21 | 2016-04-28 | 日本コントロールシステム株式会社 | パターン補正量算出装置、パターン補正量算出方法、および記録媒体 |
| JP2016082150A (ja) * | 2014-10-21 | 2016-05-16 | 日本コントロールシステム株式会社 | パターン補正量算出装置、パターン補正量算出方法、およびプログラム |
| KR20180002585A (ko) * | 2014-10-21 | 2018-01-08 | 니폰 컨트롤 시스템 가부시키가이샤 | 패턴보정량산출장치, 패턴보정량산출방법 및 기록매체 |
| EP3211479A4 (en) * | 2014-10-21 | 2018-06-06 | Nippon Control System Corporation | Pattern correction amount calculation device, pattern correction amount calculation method, and recording medium |
| US10241395B2 (en) | 2014-10-21 | 2019-03-26 | Nippon Control System Corporation | Pattern correction amount calculating apparatus, pattern correction amount calculating method, and storage medium |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3708873B2 (ja) | パターン補正方法および半導体装置の製造方法 | |
| JPH06110976A (ja) | 図形データのサイジング処理方法 | |
| JPH10154648A (ja) | 荷電ビーム描画データ作成装置 | |
| JP4068290B2 (ja) | マスクパターン補正方法及び補正装置 | |
| US7099806B2 (en) | Sizing processing system and computer program for the same | |
| JP3413733B2 (ja) | 形状相互間の干渉チェック方法 | |
| JPH05251319A (ja) | 電子ビーム露光方法 | |
| JP3729802B2 (ja) | 台形分割方法およびその装置 | |
| JP2824304B2 (ja) | 図形処理方法 | |
| JP2986568B2 (ja) | 図形処理方法 | |
| US5177692A (en) | Method and apparatus for processing errors occurring upon division of pattern to be transferred | |
| JP3072564B2 (ja) | 荷電粒子ビーム露光方法における任意角図形発生方法 | |
| JP2002007506A (ja) | マイナスサイジング処理方法とコンピュータに実行させるためのプログラムを格納したコンピュータが読み取り可能な記憶媒体 | |
| JPH07130609A (ja) | 描画パターンの寸法変更方法 | |
| JP2718720B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JP2001110720A (ja) | レイアウト用の照射量を求めるための方法及びマスクレイアウト製造方法 | |
| JPH10189409A (ja) | 露光パターンの補正方法、露光パターンの補正装置、露光用マスク、露光方法および半導体装置 | |
| JPH06301743A (ja) | 配線パターン修正方式 | |
| JP3234072B2 (ja) | キャパシタンス形成ｌｓｉ | |
| JPH10335206A (ja) | マスクパタンデータ生成方法とその装置 | |
| JPH05282387A (ja) | 図形の重なり認識方法 | |
| JP2003075988A (ja) | レチクルのパターン形成方法及びレチクルの外観検査方法 | |
| JPH05334395A (ja) | サイジング処理方法 | |
| JPH04253318A (ja) | 電子ビーム露光における図形分割方法 | |
| Hakhu | Reactive ion beam etching for VLSI |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991130 |