JPH06110976A - 図形データのサイジング処理方法 - Google Patents
図形データのサイジング処理方法Info
- Publication number
- JPH06110976A JPH06110976A JP4256596A JP25659692A JPH06110976A JP H06110976 A JPH06110976 A JP H06110976A JP 4256596 A JP4256596 A JP 4256596A JP 25659692 A JP25659692 A JP 25659692A JP H06110976 A JPH06110976 A JP H06110976A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hypotenuse
- sizing
- shifted
- axial direction
- axis direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】CADにより作成された図形データ、例えば、
集積回路を製造する場合に使用される露光用の図形デー
タについてサイジング処理を行う場合に適用される図形
データのサイジング処理方法に関し、斜辺部を有する図
形についても、精度の高いサイジング処理を行うことが
できるようにする。 【構成】斜辺部7を階段近似処理してなる階段形状部9
については、X軸方向に距離Lx=Lsinθ、Y軸方向
に距離Ly=Lcosθだけシフトさせる。
集積回路を製造する場合に使用される露光用の図形デー
タについてサイジング処理を行う場合に適用される図形
データのサイジング処理方法に関し、斜辺部を有する図
形についても、精度の高いサイジング処理を行うことが
できるようにする。 【構成】斜辺部7を階段近似処理してなる階段形状部9
については、X軸方向に距離Lx=Lsinθ、Y軸方向
に距離Ly=Lcosθだけシフトさせる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、CAD(computer aid
ed design)により作成された図形データ、例えば、集
積回路を製造する場合に使用される露光用の図形データ
についてサイジング処理を行う場合に適用される図形デ
ータのサイジング処理方法に関する。
ed design)により作成された図形データ、例えば、集
積回路を製造する場合に使用される露光用の図形データ
についてサイジング処理を行う場合に適用される図形デ
ータのサイジング処理方法に関する。
【0002】
【従来の技術】図3は斜辺部を有する図形をサイジング
処理する場合の従来の方法を説明するための図であり、
斜辺部を有する図形の斜辺部の一部分を示している。図
中、実線1は斜辺部、矢印2はサイジングの方向、矢印
2の長さLはサイジング量を示している。
処理する場合の従来の方法を説明するための図であり、
斜辺部を有する図形の斜辺部の一部分を示している。図
中、実線1は斜辺部、矢印2はサイジングの方向、矢印
2の長さLはサイジング量を示している。
【0003】従来においては、斜辺部1については、実
線3に示すような階段形状に階段近似処理を行い、この
階段形状部3をX軸方向に距離L、Y軸方向に距離Lだ
けシフトするようにして斜辺部1を有する図形のサイジ
ング処理をしていた。
線3に示すような階段形状に階段近似処理を行い、この
階段形状部3をX軸方向に距離L、Y軸方向に距離Lだ
けシフトするようにして斜辺部1を有する図形のサイジ
ング処理をしていた。
【0004】この結果、階段形状部3は破線4で示す位
置にシフトされることになる。ここに、破線5は破線4
の位置にシフトされた階段形状部3により近似される斜
辺部を示しているが、本来、階段形状部3をシフトさせ
た場合、シフト後の階段形状部3により近似される斜辺
部は実線6の位置になければならない。
置にシフトされることになる。ここに、破線5は破線4
の位置にシフトされた階段形状部3により近似される斜
辺部を示しているが、本来、階段形状部3をシフトさせ
た場合、シフト後の階段形状部3により近似される斜辺
部は実線6の位置になければならない。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来のサ
イジング処理方法では、斜辺部を階段形状部に近似して
斜辺部を有する図形をサイジング処理する場合、斜辺部
についてのサイジング量は、斜辺部に直交する方向に指
定されるにも関わらず、斜辺部を階段近似処理してなる
階段形状部をX軸方向に距離L、Y軸方向に距離Lだけ
シフトさせるようにしているので、階段形状部を、本
来、シフトさせるべき位置にシフトさせることができ
ず、シフト位置に誤差が生じ、精度の高いサイジングを
行うことができないという問題点があった。
イジング処理方法では、斜辺部を階段形状部に近似して
斜辺部を有する図形をサイジング処理する場合、斜辺部
についてのサイジング量は、斜辺部に直交する方向に指
定されるにも関わらず、斜辺部を階段近似処理してなる
階段形状部をX軸方向に距離L、Y軸方向に距離Lだけ
シフトさせるようにしているので、階段形状部を、本
来、シフトさせるべき位置にシフトさせることができ
ず、シフト位置に誤差が生じ、精度の高いサイジングを
行うことができないという問題点があった。
【0006】本発明は、かかる点に鑑み、斜辺部を有す
る図形についても、精度の高いサイジング処理を行うこ
とができるようにした図形データのサイジング処理方法
を提供することを目的とする。
る図形についても、精度の高いサイジング処理を行うこ
とができるようにした図形データのサイジング処理方法
を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明による図形データ
のサイジング処理方法は、斜辺部を有する図形につい
て、斜辺部を階段形状部に階段近似処理してサイジング
処理を行う場合、斜辺に直交する方向に指定されたサイ
ジング量のX軸方向成分及びY軸方向成分を求め、斜辺
部を階段近似処理してなる階段形状部については、X軸
方向及びY軸方向にそれぞれサイジング量のX軸方向成
分及びY軸方向成分だけシフトさせてサイジング処理を
行う、というものである。
のサイジング処理方法は、斜辺部を有する図形につい
て、斜辺部を階段形状部に階段近似処理してサイジング
処理を行う場合、斜辺に直交する方向に指定されたサイ
ジング量のX軸方向成分及びY軸方向成分を求め、斜辺
部を階段近似処理してなる階段形状部については、X軸
方向及びY軸方向にそれぞれサイジング量のX軸方向成
分及びY軸方向成分だけシフトさせてサイジング処理を
行う、というものである。
【0008】
【作用】本発明では、斜辺部を階段近似処理してなる階
段形状部については、X軸方向及びY軸方向にそれぞれ
サイジング量のX軸方向成分及びY軸方向成分だけシフ
トさせるとしているので、斜辺部を階段近似処理した階
段形状部を、本来、シフトすべき位置にシフトさせるこ
とができる。
段形状部については、X軸方向及びY軸方向にそれぞれ
サイジング量のX軸方向成分及びY軸方向成分だけシフ
トさせるとしているので、斜辺部を階段近似処理した階
段形状部を、本来、シフトすべき位置にシフトさせるこ
とができる。
【0009】
【実施例】図1は本発明の一実施例を示すフローチャー
トであり、本実施例においては、まず、図形データが入
力され(ステップP1)、各図形の各頂点の座標が抽出
される(ステップP2)。
トであり、本実施例においては、まず、図形データが入
力され(ステップP1)、各図形の各頂点の座標が抽出
される(ステップP2)。
【0010】次に、各図形について、斜辺部を有する図
形(0度及び90度以外の任意角の辺を有する図形)で
あるか否かが判断され(ステップP3)、斜辺部を有し
ない図形については、指定されたサイジング量に従って
従来の方法でサイジング処理が行われる(ステップP
4)。
形(0度及び90度以外の任意角の辺を有する図形)で
あるか否かが判断され(ステップP3)、斜辺部を有し
ない図形については、指定されたサイジング量に従って
従来の方法でサイジング処理が行われる(ステップP
4)。
【0011】これに対して、斜辺部を有する図形につい
ては、斜辺部のX軸に対する角度が算出され(ステップ
P5)、斜辺部を階段形状部に近似する階段近似処理が
行われる(ステップP6)と共に、斜辺部に直交する方
向に指定されたサイジング量のX軸方向成分及びY軸方
向成分が算出される(ステップP7)。
ては、斜辺部のX軸に対する角度が算出され(ステップ
P5)、斜辺部を階段形状部に近似する階段近似処理が
行われる(ステップP6)と共に、斜辺部に直交する方
向に指定されたサイジング量のX軸方向成分及びY軸方
向成分が算出される(ステップP7)。
【0012】ここに、斜辺部を有する図形のサイジング
処理が行われるが、斜辺部を階段近似処理してなる階段
形状部については、X軸方向にはサイジング量のX軸方
向成分だけシフトさせ、Y軸方向にはサイジング量のY
軸方向成分だけシフトさせてサイジング処理が行われる
(ステップP4)。
処理が行われるが、斜辺部を階段近似処理してなる階段
形状部については、X軸方向にはサイジング量のX軸方
向成分だけシフトさせ、Y軸方向にはサイジング量のY
軸方向成分だけシフトさせてサイジング処理が行われる
(ステップP4)。
【0013】このようにしてサイジング処理が終了する
と、サイジング処理済の図形データが出力され(ステッ
プP8)、次の処理、例えば、露光の必要なデータ処理
過程に移行される(ステップP9)。
と、サイジング処理済の図形データが出力され(ステッ
プP8)、次の処理、例えば、露光の必要なデータ処理
過程に移行される(ステップP9)。
【0014】ここに、図2は本実施例のサイジング方法
を説明するための図であり、斜辺部を有する図形の斜辺
部の一部分を示している。図中、実線7は斜辺部、矢印
8はサイジングの方向、矢印8の長さLはサイジング量
を示している。
を説明するための図であり、斜辺部を有する図形の斜辺
部の一部分を示している。図中、実線7は斜辺部、矢印
8はサイジングの方向、矢印8の長さLはサイジング量
を示している。
【0015】本実施例では、斜辺部7は階段形状部9に
階段近似処理されると共に、サイジング量LのX軸方向
成分Lx=Lcos(90−θ)=Lsinθと、サイジング
量LのY軸方向成分Ly=Lsin(90−θ)=Lcosθ
が算出され、階段形状部8について、X軸方向に距離L
x、Y軸方向に距離Lyだけシフトされる。なお、θは
斜辺部7がX軸に対してなす角度である。
階段近似処理されると共に、サイジング量LのX軸方向
成分Lx=Lcos(90−θ)=Lsinθと、サイジング
量LのY軸方向成分Ly=Lsin(90−θ)=Lcosθ
が算出され、階段形状部8について、X軸方向に距離L
x、Y軸方向に距離Lyだけシフトされる。なお、θは
斜辺部7がX軸に対してなす角度である。
【0016】この結果、階段形状部9は、破線10で示
す位置にシフトされる。ここに、破線11は、破線10
の位置にシフトされた階段形状部9により近似される斜
辺部を示している。
す位置にシフトされる。ここに、破線11は、破線10
の位置にシフトされた階段形状部9により近似される斜
辺部を示している。
【0017】なお、二点鎖線12は、従来の方法で、階
段形状部9をX軸方向及びY軸方向に共に距離Lだけシ
フトした場合の階段形状部9のシフト位置、二点鎖線1
3は階段形状部9を二点鎖線12の位置にシフトさせた
場合に近似される斜辺部を示している。
段形状部9をX軸方向及びY軸方向に共に距離Lだけシ
フトした場合の階段形状部9のシフト位置、二点鎖線1
3は階段形状部9を二点鎖線12の位置にシフトさせた
場合に近似される斜辺部を示している。
【0018】このように、本実施例によれば、斜辺部7
を階段近似処理してなる階段形状部9を、本来、シフト
すべき位置にシフトすることができるので、斜辺部7を
有する図形について精度の高いサイジング処理を行うこ
とができる。
を階段近似処理してなる階段形状部9を、本来、シフト
すべき位置にシフトすることができるので、斜辺部7を
有する図形について精度の高いサイジング処理を行うこ
とができる。
【0019】
【発明の効果】本発明によれば、斜辺部を有する図形に
ついて、斜辺部を階段形状部に近似してサイジング処理
を行う場合、斜辺部を階段近似処理してなる階段形状部
については、X軸方向及びY軸方向にそれぞれサイジン
グ量のX軸方向成分及びY軸方向成分だけシフトさせて
サイジング処理を行うとしたことにより、斜辺部を近似
してなる階段形状部を、本来、シフトすべき位置にシフ
トさせることができるので、斜辺部を有する図形につい
て、精度の高いサイジング処理を行うことができる。
ついて、斜辺部を階段形状部に近似してサイジング処理
を行う場合、斜辺部を階段近似処理してなる階段形状部
については、X軸方向及びY軸方向にそれぞれサイジン
グ量のX軸方向成分及びY軸方向成分だけシフトさせて
サイジング処理を行うとしたことにより、斜辺部を近似
してなる階段形状部を、本来、シフトすべき位置にシフ
トさせることができるので、斜辺部を有する図形につい
て、精度の高いサイジング処理を行うことができる。
【図1】本発明の一実施例を示すフローチャートであ
る。
る。
【図2】本発明の一実施例を説明するための図である。
【図3】従来の図形データのサイジング処理方法を説明
するための図である。
するための図である。
7 斜辺部 9 斜辺部を階段近似処理してなる階段形状部 10 実施例による階段形状部のシフト位置 11 実施例によりシフトされた階段形状部により近似
される斜辺部 12 従来の方法による階段形状部のシフト位置 13 従来の方法によりシフトされた階段形状部により
近似される斜辺部
される斜辺部 12 従来の方法による階段形状部のシフト位置 13 従来の方法によりシフトされた階段形状部により
近似される斜辺部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 宮内 徹 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内
Claims (1)
- 【請求項1】斜辺部を有する図形について、前記斜辺部
を階段形状部に階段近似処理してサイジング処理を行う
場合、前記斜辺に直交する方向に指定されたサイジング
量のX軸方向成分及びY軸方向成分を求め、前記斜辺部
を階段近似処理してなる階段形状部については、X軸方
向及びY軸方向にそれぞれ前記サイジング量のX軸方向
成分及びY軸方向成分だけシフトさせてサイジング処理
を行うことを特徴とする図形データのサイジング処理方
法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4256596A JPH06110976A (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | 図形データのサイジング処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4256596A JPH06110976A (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | 図形データのサイジング処理方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06110976A true JPH06110976A (ja) | 1994-04-22 |
Family
ID=17294831
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4256596A Withdrawn JPH06110976A (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | 図形データのサイジング処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06110976A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016063580A1 (ja) * | 2014-10-21 | 2016-04-28 | 日本コントロールシステム株式会社 | パターン補正量算出装置、パターン補正量算出方法、および記録媒体 |
-
1992
- 1992-09-25 JP JP4256596A patent/JPH06110976A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016063580A1 (ja) * | 2014-10-21 | 2016-04-28 | 日本コントロールシステム株式会社 | パターン補正量算出装置、パターン補正量算出方法、および記録媒体 |
JP2016082150A (ja) * | 2014-10-21 | 2016-05-16 | 日本コントロールシステム株式会社 | パターン補正量算出装置、パターン補正量算出方法、およびプログラム |
KR20180002585A (ko) * | 2014-10-21 | 2018-01-08 | 니폰 컨트롤 시스템 가부시키가이샤 | 패턴보정량산출장치, 패턴보정량산출방법 및 기록매체 |
EP3211479A4 (en) * | 2014-10-21 | 2018-06-06 | Nippon Control System Corporation | Pattern correction amount calculation device, pattern correction amount calculation method, and recording medium |
US10241395B2 (en) | 2014-10-21 | 2019-03-26 | Nippon Control System Corporation | Pattern correction amount calculating apparatus, pattern correction amount calculating method, and storage medium |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3708873B2 (ja) | パターン補正方法および半導体装置の製造方法 | |
JPH06110976A (ja) | 図形データのサイジング処理方法 | |
JPH10154648A (ja) | 荷電ビーム描画データ作成装置 | |
JP4068290B2 (ja) | マスクパターン補正方法及び補正装置 | |
US7099806B2 (en) | Sizing processing system and computer program for the same | |
JP3413733B2 (ja) | 形状相互間の干渉チェック方法 | |
JPH05251319A (ja) | 電子ビーム露光方法 | |
JP3729802B2 (ja) | 台形分割方法およびその装置 | |
JP2824304B2 (ja) | 図形処理方法 | |
JP2986568B2 (ja) | 図形処理方法 | |
US5177692A (en) | Method and apparatus for processing errors occurring upon division of pattern to be transferred | |
JP3072564B2 (ja) | 荷電粒子ビーム露光方法における任意角図形発生方法 | |
JP2002007506A (ja) | マイナスサイジング処理方法とコンピュータに実行させるためのプログラムを格納したコンピュータが読み取り可能な記憶媒体 | |
JPH07130609A (ja) | 描画パターンの寸法変更方法 | |
JP2718720B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2001110720A (ja) | レイアウト用の照射量を求めるための方法及びマスクレイアウト製造方法 | |
JPH10189409A (ja) | 露光パターンの補正方法、露光パターンの補正装置、露光用マスク、露光方法および半導体装置 | |
JPH06301743A (ja) | 配線パターン修正方式 | |
JP3234072B2 (ja) | キャパシタンス形成lsi | |
JPH10335206A (ja) | マスクパタンデータ生成方法とその装置 | |
JPH05282387A (ja) | 図形の重なり認識方法 | |
JP2003075988A (ja) | レチクルのパターン形成方法及びレチクルの外観検査方法 | |
JPH05334395A (ja) | サイジング処理方法 | |
JPH04253318A (ja) | 電子ビーム露光における図形分割方法 | |
Hakhu | Reactive ion beam etching for VLSI |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991130 |