JPH06106456A - 送り制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 第２送り制御装置１１０には、速度指令０が
入力され、中空サーボモータ６０により生ずるスライダ
５の速度を零に保つ。ボールねじ３の弾性によりスライ
ダ５に振動が発生すると、加速度センサ７がスライダ５
の加速度を検出し、バンドパスフィルタＢＰＦが検出さ
れた加速度のスライダ５の固有振動成分を抽出する。第
２送り制御装置１１０の該速度指令０に基づく電流目標
値に抽出された固有振動成分をフィードバックさせ、こ
の固有振動を打ち消すように中空サーボモータ６０を微
小角度回転させる。 【効果】 スライダの加速時にボールねじの振動により
発生するスライダの振動を抑制できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は送り制御装置に関し、特
に研削盤の様に１軸の送り機構の制御系に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種の装置は、サーボモータに
電流検出器、速度検出器、位置検出器を取り付け、三重
のフィードバックループを組んでいた。サーボモータに
より送りねじが回転駆動され、これにより送りナットが
送られ、送りナットに固定された砥石台等のスライダが
位置決めされるものであった。送りねじにはボールねじ
が多く用いられていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の装置はサーボモータの角加速度が急激に変化する際
に、スライダ（砥石台）に振動が生じることがあるとい
う問題点があった。この振動はスライダが摩擦の小さい
リニアウエイ等の案内で支持されている場合に特に顕著
であった。この原因はサーボモータとスライダ間のボー
ルねじの弾性により、スライダ（砥石台）が振動するこ
とによる。ボールねじ単独の減衰定数は大きくないの
で、この振動（固有振動）はすぐには減衰しなかった。
本発明は上記の問題点を解決するためなされたものであ
り、その目的とするところは、加減速時のスライダの振
動を抑制することができる送り制御装置を提供すること
にある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明では、第１サーボモータと、その第１サーボ
モータにより回転駆動される送りねじと、その送りねじ
に螺合する送りナットと、スライダに固定され前記送り
ナットを回転駆動する第２サーボモータと、前記スライ
ダの位置を検出する位置検出手段、スライダの送り速度
を検出する第１速度検出手段及び前記サーボモータの電
流を検出する第１電流検出手段を備え、位置フィードバ
ック、速度フィードバック、電流フィードバックの三重
のフィードバックループを有する第１サーボモータを制
御する第１の送り制御装置と、前記第２サーボモータに
よるスライダの送り速度を検出する第２速度検出手段
と、該第２サーボモータの電流を検出する第２電流検出
手段とを備え、前記第２サーボモータを該第２サーボモ
ータによるスライダの速度を零に保つよう制御する第２
の送り制御装置と、スライダの加速度を検出する加速度
検出センサと、加速度センサの出力から送りネジの弾性
による固有振動成分だけ抽出するバンドパスフィルタ
と、バンドパスフィルタの出力を第２の送り制御装置の
電流指令から差し引く加速度フィードバックループとを
備えることを特徴とする送り制御装置が提供される。

【０００５】

【作用】上記のように構成された送り制御装置では、第
２送り制御装置が、第２サーボモータを該第２サーボモ
ータによるスライダの速度を零に保つよう、即ちスライ
ダとナットが相対的に回転しないように制御する。送り
ねじ（ボールねじ）の弾性によりスライダに振動が発生
すると、加速度センサが加速度を検出し、バンドパスフ
ィルタが検出された加速度中のスライダの固有振動成分
を抽出する。第２送り制御装置の電流指令に固有振動成
分をフィードバックさせ、この固有振動を打ち消すよう
に第２サーボモータを微小角度回転させて、スライダ固
有の振動を抑制する。

【０００６】

【実施例】本発明の実施例について図面を参照し説明す
る。図１は本発明に係る送り制御装置のサーボ構成を示
すブロックダイヤグラムである。サーボモータ１にはイ
ンクリメンタル型のロータリエンコーダ２が直結されて
いる。サーボモータ１の出力軸にはボールねじ３が連結
され、ボールねじ３には図示しないナットが螺合され、
このナットを中空サーボモータ６０が駆動可能に保持し
ている。そして、中空サーボモータ６０には砥石台（ス
ライダ）５が固定され、この砥石台５には砥石車６が回
転可能に搭載されている。また、砥石台５には加速度セ
ンサ７が固定され、中空サーボモータ６０にはロータリ
エンコーダ１０２が直結されている。

【０００７】この中空サーボモータ６０について図４を
参照して更に詳細に説明する。ボールねじ３にはナット
４が螺合している。このナット４に焼きばめによりロー
タ６１が取り付けられ、ステータ６２がこれと対向する
位置に中空サーボモータハウジング６０ｂに取り付けら
れ、該ロータ６１とステータ６２とが動力線６４を介し
第２送り制御装置１１０（図１）より加えられた電力に
より図の左右方向に中空サーボモータハウジング６０ｂ
を駆動し、中空サーボモータハウジング６０ｂの端部の
フランジ６０ａに取り付けられたスライダフランジ５ａ
を介して、スライダ５をボールねじ３に沿って移動させ
る。また、中空サーボモータハウジング６０ｂの他端に
は、ロータリエンコーダ１０２が取り付けられ、中空サ
ーボモータ６０の回転、即ちスライダ５の速度を検出し
て信号線６３を介して第２の送り制御装置１１０へ出力
するようになっている。

【０００８】本実施例の送り制御装置は、サーボモータ
１の位置及び速度を制御する第１送り制御装置１０と、
中空サーボモータ６０の速度を制御する第２送り制御装
置１１０とを有する。先ず、第１送り制御装置１０にお
いては、位置指令７０から現在位置カウンタΣの出力た
る位置フィードバック値が減算され、位置ループゲイン
Ｋp で増幅されて速度指令となる。速度指令からはロー
タリエンコーダ２からの速度フィードバック値が減算さ
れ、速度ループ比例ゲインＫvpで増幅され、速度ループ
積分ゲインＫviで積分されて電流指令となる。電流指令
から電流フィードバック値が減算された後、電流ループ
ゲインＫi で増幅されてサーボモータ１が駆動される。

【０００９】第２送り制御装置１１０においては、中空
サーボモータ６０によるスライダ５の速度を０に保つた
め入力８０から速度指令値０が入力され、これからロー
タリエンコーダ１０２からの速度フィードバック値が減
算され、速度ループ比例ゲインＫ'vp で増幅され、速度
ループ積分ゲインＫ'vi で積分されて電流指令となる。
他方、スライダ５の加速度が加速度センサ７により検出
され、これから、バンドパスフィルタＢＰＦによりボー
ルねじ３の弾性による振動成分（固有振動成分）が抽出
され、これが加速度フィードバックゲインＫa で増幅さ
れ加速度フィードバック値として用いられる。電流指令
から、この加速度フィードバック値が減算され、さら
に、電流フィードバック値が減算された後、電流ループ
ゲインＫ'iで増幅されて中空サーボモータ６０が駆動さ
れる。

【００１０】図２は上記のサーボ構成を実現する送り制
御装置のハード構成を示すブロック図である。サーボモ
ータ１の位置及び速度を制御するディジタルサーボ制御
装置（第１送り制御装置）１０は主として、ＣＰＵ１
１、ＲＯＭ１２、ＲＡＭ１３、ディジタルシグナルプロ
セッサ１４（以下ＤＳＰ１４という）、共通ＲＡＭ１
７、Ａ／Ｄ変換器１５ａ、１５ｂ及び現在値カウンタ１
６から構成されている。ＣＰＵ１１にはインタフェース
１９を介してキーボード２１及びＣＲＴ表示装置２２が
接続されている。 ＤＳＰ１４の出力はインバータ２５
に入力され、そのインバータ２５はＤＳＰ１４の出力信
号に応じてサーボモータ１を駆動する。サーボモータ１
には同期モータが用いられ、インバータ２５のＰＷＭ電
圧制御によりサーボモータ１の負荷電流が制御され、そ
の結果、出力トルクが制御される。

【００１１】サーボモータ１のＵ相及びＶ相の負荷電流
は変流器（ＣＴ）３２ａ、３２ｂにより検出され、増幅
器１８ａ、１８ｂにより増幅される。その増幅器１８
ａ、１８ｂの出力は、Ａ／Ｄ変換器１５ａ、１５ｂに入
力され、所定の周期でサンプリングされ、ディジタル値
に変換される。そのサンプリングされた値は、負荷電流
のフィードバック値として、ＤＳＰ１４に入力される。
また、サーボモータ１にはロータリエンコーダ２が接続
され、その現在位置が検出される。ロータリエンコーダ
２の出力は波形整形・方向判別回路３４を介して現在値
カウンタ１６に接続されている。

【００１２】波形整形・方向判別回路３４を介して現在
位置カウンタ１６に入力されるロータリエンコーダ２の
出力信号は現在位置カウンタ１６の値を加減させる。Ｄ
ＳＰ１４により、現在位置カウンタ１６の値は現在位置
フィードバック値として読み込まれ、ＣＰＵ１１から出
力された目標値と比較され位置偏差が算出される。そし
て、ＤＳＰ１４により、その位置偏差に基づいて速度指
令値が算出される。

【００１３】また、ＤＳＰ１４に入力された現在位置フ
ィードバック値は微分され、速度フィードバック値が算
出される。ＤＳＰ１４により、位置偏差に応じて決定さ
れる速度指令値と速度フィードバック値とが比較され速
度偏差が算出され、その速度偏差に基づいて電流指令値
が算出される。この電流指令値と前述の電流フィードバ
ック値とが比較されて電流偏差が演算され、この電流偏
差に基づいて電圧指令値が演算される。この電圧指令値
を基に、インバータ２５の各相のトランジスタのオンオ
フを制御する電圧制御ＰＷＭ信号が生成される。その電
圧制御ＰＷＭ信号は、インバータ２５に出力され、その
インバータ２５の各相のトランジスタがそれぞれ駆動さ
れる。このインバータ２５のスイッチングにより、各相
の負荷電流が電流目標値に制御されることになる。

【００１４】尚、サーボモータ１の位置決めは、ＣＰＵ
１１により、現在位置カウンタ１６の出力値が位置の目
標値に等しくなったと判定された時に完了される。ま
た、Ａ／Ｄ変換器１５ａ、１５ｂによってサンプリング
されたＵ相、Ｖ相の負荷電流値は、ＤＳＰ１４によりｄ
ｑ変換される。

【００１５】次に、中空サーボモータ６０の速度を制御
するディジタルサーボ制御装置（第２送り制御装置）１
１０を説明する。ディジタルサーボ制御装置１１０は主
として、ＣＰＵ１１１、ＲＯＭ１１２、ＲＡＭ１１３、
ディジタルシグナルプロセッサ１１４（以下ＤＳＰ１１
４という）、Ａ／Ｄ変換器１１５ａ、１１５ｂ、１１５
ｃ及び現在値カウンタ１１６から構成されている。ＤＳ
Ｐ１１４の出力はインバータ１２５に入力され、そのイ
ンバータ１２５はＤＳＰ１１４の出力信号に応じて中空
サーボモータ６０を駆動する。中空サーボモータ６０に
は図４を参照して説明した形状の同期モータが用いら
れ、インバータ１２５のＰＷＭ電圧制御により中空サー
ボモータ６０の負荷電流が制御され、その結果、出力ト
ルクが制御される。

【００１６】中空サーボモータ６０のＵ相及びＶ相の負
荷電流は変流器（ＣＴ）１３２ａ、１３２ｂにより検出
され、増幅器１１８ａ、１１８ｂにより増幅される。そ
の増幅器１１８ａ、１１８ｂの出力は、Ａ／Ｄ変換器１
１５ａ、１１５ｂに入力され、所定の周期でサンプリン
グされ、ディジタル値に変換される。そのサンプリング
された値は、負荷電流のフィードバック値として、ＤＳ
Ｐ１１４に入力される。また、中空サーボモータ６０に
はロータリエンコーダ１０２が接続され、その出力は現
在位置カウンタ１１６に接続されている。さらに、砥石
台５に固定された加速度センサ７の出力は、バンドパス
フィルタ１５２によりボールねじ３の弾性による振動成
分（固有振動成分）だけ抽出され、Ａ／Ｄ変換器１１５
ｃに入力され、所定の周期でサンプリングされ、ディジ
タル値に変換される。そのサンプリングされた値は、Ｄ
ＳＰ１１４に入力され、加速度フィードバックゲインＫ
ａを乗じた値が加速度フィードバック値として演算され
る。

【００１７】ロータリエンコーダ１０２の出力信号は現
在位置カウンタ１１６の値を加減させる。ＤＳＰ１１４
により、現在位置カウンタ１１６の値は現在速度フィー
ドバック値を算出するために読み込まれ、ＣＰＵ１１１
から出力された速度指令０の値と比較され速度偏差が算
出される。そして、ＤＳＰ１１４により、その速度偏差
に基づいて電流目標値が算出される。

【００１８】そして、ＤＳＰ１１４により、電流目標値
と加速度フィードバック値及び電流フィードバック値と
が比較され、電流偏差が算出される。その電流偏差に基
づいて電流指令値が演算され、電流指令値は高周波の三
角波と比較され、インバータ１２５の各相のトランジス
タのオンオフを制御する電圧制御ＰＷＭ信号が生成され
る。その電圧制御ＰＷＭ信号は、インバータ１２５に出
力され、そのインバータ１２５の各相のトランジスタが
それぞれ駆動される。このインバータ１２５のスイッチ
ングにより、各相の負荷電流が電流目標値に制御される
ことになる。また、Ａ／Ｄ変換器１１５ａ、１１５ｂに
よってサンプリングされたＵ相、Ｖ相の負荷電流値は、
ＤＳＰ１１４によりｄｑ変換される。

【００１９】以上説明したように、第２送り制御装置
（デジタルサーボモータ制御装置１１０）には、速度指
令０が入力され、第２サーボモータにより生ずるスライ
ダ５の速度は０に保たれる。他方、ボールねじ３の弾性
によりスライダ５に振動が発生すると、加速度センサ７
がスライダ５の加速度を検出し、バンドパスフィルタ１
５２が検出された加速度中のスライダの固有振動成分を
抽出する。サーボモータでは電流とトルク及び角加速度
は比例するので、電流と角加速度は同種の信号と見做せ
る。そこで、第２送り制御装置の該速度指令０に基づく
電流目標値に該抽出された固有振動成分をフィードバッ
クさせ、この固有振動を打ち消すように中空サーボモー
タ６０を微小角度回転させることによりスライダ固有の
振動を抑制する。

【００２０】このように第２送り制御装置（デジタルサ
ーボモータ制御装置１１０）には、中空サーボモータ６
０によるスライダの速度が生じないように常時０の速度
指令が与えられる。このため、第１送り制御装置（デジ
タルサーボモータ制御装置１０）の指令によりサーボモ
ータ１が回転されスライダ５に慣性が生じても、これに
よりナット４と中空サーボモータ６０が回転することは
ない。

【００２１】本実施例の送り制御装置１１０は、上述し
たように、速度、電流の２つのフィードバックループに
加えて、加速度のフィードバックループが付加されてい
る。より下位のフィードバックループには、より高い応
答性が要求され、例えば、最下位の電流フィードバック
ループ及び加速度フィードバックループは１００μＳ毎
に、速度フィードバックループはその数倍の時間間隔で
同期を取ってデータのサンプリングが実行され、それぞ
れのフィードバックループの処理が実行される。

【００２２】上記の構成に基づき作動について説明す
る。図３は、ＤＳＰ１１４によって、所定の最小周期毎
に繰り返し実行される処理を示すフローチャートであ
る。まず処理が開始されると、ステップ３００で、現実
行サイクルが速度偏差演算タイミングか否かが判定され
る。現実行サイクルが第ｐ速度制御周期における速度偏
差演算タイミングであれば、次のステップ３０２で、現
在位置カウンタ１１６に保持された位置の現在値（電気
角）θ（ｐ）が読み込まれる。次に、ステップ３０４に
おいて、前回第ｐ−１速度制御周期における速度偏差演
算タイミング時に読み込まれた位置の現在値（電気角）
θ（ｐ−１）と、速度制御周期Ｄとから、現速度制御期
間における電気角速度の現在値ω（ｐ）が次式によって
演算される。 ω（ｐ）＝〔θ（ｐ）−θ（ｐ−１）〕／Ｄ …（１） そして、速度指令値０からの偏差、即ち、速度偏差が演
算される。

【００２３】次のステップ３０６では、その速度偏差に
応じて、ｄ軸成分とｑ軸成分の電流目標値Ｉdc(p),Ｉqc
(p) が演算される。次にステップ３０８において、前回
の速度制御周期において検出された角速度ω（ｐ−１）
と、今回の速度制御周期において検出された角速度ω
（ｐ）とを用いて、今回の電気角加速度Ａ（ｐ）が次式
により演算される。 Ａ（ｐ）＝〔ω（ｐ）−ω（ｐ−１）〕／Ｄ …（２）

【００２４】次に、ステップ３１０に移行して、現実行
サイクルが第ｎ電流制御周期における電流偏差演算タイ
ミングであるか否かが判定される。尚、ｎは１つの速度
制御周期において、１、２、…と変化する値であり、電
流検出及び電流制御の時刻に関連している。電流偏差演
算タイミングであれば、ステップ３１２へ移行する。ス
テップ３１２以下では電流及び加速度フィードバック制
御が実行される。

【００２５】ステップ３１２では、第ｐ速度制御周期に
おける第ｎ電流制御周期の電流検出時の電気角θ（ｎ）
が次式により演算される。 θ（ｎ）＝θ（ｐ）＋ω（ｐ）ｎＴ …（３） 但し、Ｔは電流制御周期である。また、電流検出時刻に
おける電気角速度ω（ｎ）が次式により補完演算され
る。 ω（ｎ）＝ω（ｐ）＋Ａ（ｐ）ｎＴ …（４）

【００２６】次にステップ３１４では、ｕ相、ｖ相の瞬
時負荷電流の現在値Ｉu(n)，Ｉv(n)がＡ／Ｄ変換器１１
５ａ、１１５ｂから読み込まれる。なお、ｗ相の瞬時負
荷電流の現在値Ｉw(n)は、Ｉw(n)＝−〔Ｉu(n)＋Ｉv
(n)〕により演算される。ステップ３１６においては、
砥石台５の加速度Ａｓｐ（ｎ）がＡ／Ｄ変換器１１５ｃ
から読み込まれる。

【００２７】次に、ステップ３１８において、電流の現
在値Ｉu(n)，Ｉv(n)，Ｉw(n)はｄｑ変換されて、電流検
出時刻におけるｄ軸成分Ｉd(n)とｑ軸成分Ｉq(n)とが次
式により演算される。

【数５】

【００２８】なお、ｄｑ座標系は、ベクトル制御で良く
知られているように、ｄ軸は励磁磁場と同相にとられ、
ｑ軸は励磁磁場と電気角で９０°の位相差にとられた座
標系である。ｄ軸成分は無効成分を、ｑ軸成分は有効成
分を表す。

【００２９】次に、ステップ３２０において、電流目標
値Ｉdc(p),Ｉqc(p) 電流値Ｉd(n),Ｉq(n)、砥石加速度
Ａsp(n) 加速度フィードバックゲインＫａ、電流ループ
ゲインＫｉから電圧指令値Ｖd(n), Ｖq(n)を次式により
算出する。 Ｖd(n)＝Ｋｉ〔Ｉdc(p) −Ｉd(n)〕 …（６） Ｖq(n)＝Ｋｉ〔Ｉqc(p) −Ｉq(n)−Ｋａ・Ａsp(n) 〕…（７）

【００３０】次に、ステップ３２２において、次式によ
り電圧指令Ｖd(n)、Ｖq(n)を逆ｄｑ変換して、電圧制御
時刻（ｎ）における各相電圧指令値Ｖu(n)、Ｖv(n)、Ｖ
w(n)が演算される。

【数８】

【００３１】次に、ステップ３２４では、各相電圧指令
値Ｖu(n)、Ｖv(n)、Ｖw(n)と高周波数の三角波とのレベ
ル関係を利用して、即ち、平均電圧法を用いて、各相の
ＰＷＭ信号のオン時間が演算される。そして、ステップ
３２６において、ＤＳＰ１１４に内在された各タイマに
そのオン時間を設定することで、その設定された時間だ
け高レベルとなる各相のＰＷＭ信号がインバータ１２５
に出力される。なお、明示していないが、各相のＰＷＭ
信号を生成する時、同相の２つのトランジスタが同時に
オンしないようにデッドタイム処理が施されている。

【００３２】このようにして、１つの実行サイクルの処
理が完了する。この実行サイクルは最小の制御周期で実
行されており、その整数倍で電流フィードバックループ
及び加速度フィードバックループが制御され、更にその
整数倍で速度フィードバックループが制御されるよう
に、ステップ３００、３１０で判定の基準となる回数が
設定されている。上記のサイクルが繰り返し実行される
ことで、速度、電流及び加速度のフィードバック制御が
行われる。

【００３３】尚、本発明の実施例においては、ボールね
じを駆動する第１送り制御装置について特定の例を挙げ
て詳細に説明したが、本発明はこれに限定されるもので
はなく、他の方式の一軸の送り制御装置に本実施例の第
２送り制御装置を適用することにより、本発明を構成す
ることも勿論可能である。また、上述した実施例におい
ては、第２送り制御装置は、スライダの速度を０に制御
するように構成されたが、この代わりに、第２送り制御
装置がスライダの位置を制御するように構成し、位置指
令を０とすることで、ボールねじとスライダとの相対位
置を保つこともできる。更に、本実施例ではバンドパス
フィルタの出力を第２送り制御装置の電流指令から差し
引くフィードバックを行ったが、この代わりに、バンド
パスフィルタの出力を電流指令に加えることにより振動
を抑制することも可能である。

【００３４】本実施例では、スライダの振動を打ち消す
ために送りナット側に新たに中空サーボモータを設け、
これを新たに設けたサーボ機構により制御した。この振
動を打ち消す方法として、送りねじを回転させるサーボ
モータ側に振動を打ち消す機構を付加することも考え得
るが、この場合は送りねじが制御対象に含まれることに
なる。本実施例は、この方法に対して、送りねじの慣性
重量だけ制御対象が軽い利点がある。

【００３５】

【発明の効果】本発明は、上記の構成を有し、第２送り
制御装置が、第２サーボモータを該第２サーボモータに
より生ずるスライダの速度を零に保つよう制御する。送
りねじ（ボールねじ）の弾性によりスライダに振動が発
生すると、加速度センサが加速度を検出し、バンドパス
フィルタが検出された加速度のスライダの固有振動成分
を抽出する。第２送り制御装置の電流指令値に固有振動
成分をフィードバックさせ、この固有振動を打ち消すよ
う第２サーボモータを微小角度回転させることによりス
ライダ固有の振動を抑制できるという優れた効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 実施例のサーボ構成を示すブロックダイヤグ
ラム

【図２】 実施例のハード構成を示すブロック図

【図３】 処理手順を示すフローチャート

【図４】 実施例の中空サーボモータ６０の縦断面図

【符号の説明】

１ サーボモータ ２ ロータリエンコーダ ３ 送りねじ（ボールねじ） ４ 送りナット ５ 砥石台（スライダ） ７ 加速度センサ １０ ディジタルサーボ制御装置 １１ ＣＰＵ １４ ＤＳＰ（ディジタルシグナルプロセッサ） ６０ 中空サーボモータ １０２ ロータリエンコーダ １１０ ディジタルサーボ制御装置 １１１ ＣＰＵ １１４ ＤＳＰ（ディジタルシグナルプロセッサ） １５２ バンドパスフィルタ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１サーボモータと、 その第１サーボモータにより回転駆動される送りねじ
   と、 その送りねじに螺合する送りナットと、 スライダに固定され前記送りナットを回転駆動する第２
   サーボモータと、 前記スライダの位置を検出する位置検出手段、スライダ
   の送り速度を検出する第１速度検出手段及び前記サーボ
   モータの電流を検出する第１電流検出手段を備え、位置
   フィードバック、速度フィードバック、電流フィードバ
   ックの三重のフィードバックループを有する第１サーボ
   モータを制御する第１の送り制御装置と、 前記第２サーボモータによるスライダの送り速度を検出
   する第２速度検出手段と、該第２サーボモータの電流を
   検出する第２電流検出手段とを備え、前記第２サーボモ
   ータを該第２サーボモータによるスライダの送り速度を
   零に保つように制御する第２の送り制御装置と、 スライダの加速度を検出する加速度検出センサと、 加速度センサの出力から送りネジの弾性による固有振動
   成分だけ抽出するバンドパスフィルタと、 バンドパスフィルタの出力を第２の送り制御装置の電流
   指令から差し引く加速度フィードバックループとを備え
   ることを特徴とする送り制御装置。