JPH05989U - 真空ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本考案は、真空ポンプが取付けられる装置の
小型化に寄与できるような真空ポンプを提供することを
目的とする。 【構成】 ガスを排出するための排出口２２，２３，２
４を複数設け、通電により作動する部品と外部電源を接
続するコネクタ２７との位置関係において所望の位置の
１つの排出口を排出ポート３に用い、残りの排出口は蓋
部材２５により閉止して用いないようにして真空ポンプ
を使用する。 【効果】 コネクタとの位置関係において所望の位置の
１つの排出口を排出ポートに用いることにより、コネク
タと排出ポートとのレイアウト上の自由度を向上させる
ことができ、建設費用の高いクリーンルーム等に設置さ
れる装置に真空ポンプを取付ける際にムダな隙間が生じ
るのを防止することができる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、計測器、加速器、半導体製造装置等の真空チャンバに用いられ、回 転翼と固定翼の相対回転により真空チャンバの真空度を高める真空ポンプに関す る。

【０００２】

【従来の技術】

このような真空ポンプとしては従来、例えば図７に示すようなターボ分子ポン プがある。同図において、ケーシング１０１の図中下側にはベース１１０が連結 されており、ケーシング１０１の図中上側には吸入口部１０２が形成され、ベー ス１１０の側部には排出ポート１０３が設けられている。またケーシング１０１ 内には、ロータ１０４が収装されている。ロータ１０４にはケーシング１０１の 内周壁面に向かって伸びるロータ翼１０５が形成され、このロータ翼１０５に対 向して互いに重なるように伸びるステータ翼１０６が、ケーシング１０１の内周 壁面にスペーサ１０７を介して取り付けられている。

【０００３】 ロータ１０４はケーシング１０１内に収装されたモータ１０８によって回転駆 動され、ロータ翼１０５がステータ翼１０６に対して相対的に高速回転する。ま た、吸入口部１０２は真空チャンバの開口部（図示せず）と接続している。ベー ス１１０の側部にはコネクタ１１１が設けられており、このコネクタ１１１を介 してモータ１０８その他の通電により作動する部品を外部電源と気密に接続して いる。

【０００４】 このようなターボ分子ポンプは、ロータ１０４をモータ１０８によって回転駆 動させると、ロータ翼１０５がステータ翼１０６に対して相対的に高速回転し、 このロータ翼１０５とステータ翼１０６との協働によって真空チャンバ内のガス や水分等の気体分子を吸入口部１０２から吸込んで、排出ポート１０３から排出 するようになっている。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

例えば、真空ポンプが半導体製造装置の排気系に用いられる場合、コスト削減 の為にその装置がクリーンルーム内で占める体積を小さくする小型化が図られ、 装置全体としては非常に複雑で小さな空間に種々の部品（真空ポンプも含む）が 高密度で組付けられた状態となっており、空間的な余裕はほとんどない状態にあ る。このため、真空ポンプの周囲にも余分な空間ができないように組付けられる ことが要請されている。たとえば図８に示すように、排出ポート１０３の位置が 図示の位置に拘束されていて、コネクタ１１１が図示のように図中下側に位置し ている場合は、周辺部材１１５との間にあまり隙間ができないよう真空ポンプを 装置中に組付けることができるが、図９に示すようにコネクタ１１１が排出ポー ト１０３に対して図中上側にあると、そのコネクタ１１１に設けるハーネス１１ ６のためにスペースが必要となり、このため真空ポンプと周辺部材１１５の図中 上辺との隙間が大きく開いてしまい、クリーンルーム装置の大型化を招く結果と なってしまう。図８に示すタイプの真空ポンプも周辺部材１１５の向きや排出ポ ート１０３の位置が変われば図９と同様の問題を生ずることになる。また図９に 示すような問題を解決するには、コネクタ１１１が図中下側にあるようなものに 真空ポンプを一々改造しなければならず、それだけコストが高くなってしまう。 そこで本考案は、上記問題点を解決することを課題とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

上記課題を解決するために本考案は、次のような構成としたものである。 （１） 通電により作動する部品と外部電源を接続するコネクタと、ガス通路と 連通しガスを排出するための排出口を備えた真空ポンプにおいて、前記排出口を 複数設け、前記コネクタとの位置関係において所望の位置の１つの排出口を排出 ポートに用い、残りの排出口は閉止して用いないようにして使用するようにした 真空ポンプ。 （２） 通電により作動する部品と外部電源を接続するコネクタと、ガス通路と 連通しガスを排出するための排出口を備えた真空ポンプにおいて、前記コネクタ と前記排出口を各々別部材に設け、前記コネクタを設けた部材と前記排出口を設 けた部材とが互いに相対運動可能であるようにした真空ポンプ。

【０００７】

【実施例】

以下、本考案の実施例について図面に基づいて説明する。図１および図２は、 本考案による真空ポンプの第１実施例を示す図である。 図１に示すターボ分子ポンプにおいて、ケーシング１は全体が略円筒状となっ ており、このケーシング１にはその図中下側にベース１０が設けられている。ケ ーシング１には図中上方の真空チャンバの開口部（図示せず）と接続する吸入口 部２が形成され、ベース１０には真空チャンバ内から吸引した気体分子を大気側 に吐出する排出ポート３が設けられている。ケーシング１内にはロータ４が収装 されており、このロータ４にはケーシング１の内壁面に向かって放射外方に延設 される複数のロータ翼５が形成されており、このロータ翼５はロータ４の軸線方 向に多段に配置されている。またケーシング１の内周側にはロータ４に向かって 放射内方に延設される複数のステータ翼６が設けられており、このステータ翼６ はスペーサ７を介してそれぞれロータ翼５と交互に軸線方向に多段に配置されて いる。

【０００８】 一方、ロータ４の軸線部にはロータ４と一体的に回転するように連結されたロ ータ軸８が配設されている。ロータ軸８はその周囲に設けられたモータ９により 回転を駆動されるようになっている。 また、図２に示すようにベース１０にはその円周方向に沿って弧状に延びる第 １通路２１（ガス通路）が形成されており、この第１通路２１は図１に示すよう に翼５，６があるポンプ室と常に連通している。また図２に示すように、第１通 路２１には３つの第２通路２２ないし２４（排出口）が互いに略９０°の角度を 隔てて連通している。そしてこの実施例においては、第２通路２２に排出ポート ３が設けられ、他の第２通路２３，２４は蓋部材２５により閉止されている。ベ ース１０の円周方向において第２通路２２ないし２４が無い位置にはハーネス２ ６が連結されたコネクタ２７が設けられている。

【０００９】 このような真空ポンプにおいては、モータ９を起動させてロータ４を回転駆動 させ、静止しているステータ翼６に対してロータ翼５を相対的に高速回転させる 。このようにロータ翼５がステータ翼６に対して相対回転することにより、真空 チャンバ内の気体分子を強制的に吸入口２から吸引して排出ポート３から排除し 、真空チャンバ内の真空度を向上させることができる。また、排出ポート３およ びコネクタ２７が前述のような位置関係にあるため、真空ポンプは図２に示すよ うな周辺部材３５に対してムダな隙間なく取付けることができ、クリーンルーム 内に設置される装置の小型化を寄与することができる。

【００１０】 図３は本考案による真空ポンプの第２実施例を示す図である。前記第１実施例 においては排出ポート３が第２通路２２に設けられていたのに対し、この第２実 施例においては排出ポート３を第２通路２４に設け、真空ポンプを前記第１実施 例に対して１８０°回転させて配置したものである。すなわち、排出ポート３を 前記第１実施例と同じ位置にすると、コネクタ２７は前記第１実施例と反対側の 図中上側に来る。排出ポート３およびコネクタ２７の位置関係をこのように変え ることにより、真空ポンプは図３に示すような周辺部材３６に対してムダな隙間 を生じることなく取付けることができる。

【００１１】 図４は本考案による真空ポンプの第３実施例を示す図である。前記第１，第２ 実施例においては排出ポート３が第２通路２２または２４に設けられていたのに 対し、この第３実施例においては排出ポート３を第２通路２３に設け、真空ポン プを前記第１，第２実施例に対して９０°回転させて配置したものである。すな わち排出ポート３を前記第１，第２実施例と同じ位置にすると、コネクタ２７は 今度は図中右側に来る。排出ポート３およびコネクタ２７の位置関係をこのよう に変えることにより、真空ポンプは図４に示すような互に平行な一対の周辺部材 ３７，３８に対してムダな隙間を生じることなく取付けることができる。

【００１２】 図５および図６は本考案の第４実施例を示す図である。前記実施例においては 排出ポート３がベース１０の側部に設けられていたのに対し、この実施例はベー ス１０には排出ポートが設けられず、ガスが流れる通路４１がベース１０の底面 に開口するよう形成されている。そして、ベース１０の底面には排出ポート３３ を有する吐出口アダプタ２０が設けられている。排出ポート３３を有する吐出口 アダプタ２０は、図６に示すようにその肉部内に環状の通路５１が形成され、こ の通路５１は図５に示すように排出ポート３３およびベース１０の通路４１に連 通するようになっている。また、吐出口アダプタ２０は取付ネジを外してベース １０に対して円周方向に回転させて再びベース１０にネジで取付けることにより 、コネクタ２７に対してどのような相対位置をもとることが可能となっている。 排出ポート３３およびコネクタ２７が図６に示すような位置関係になっていると きは、真空ポンプは同図に示すような周辺部材３５に対してムダな隙間を生じる ことなく取付けることができる。また、吐出口アグプタ２０を回転させてコネク タ２７との相対位置を変化させることにより、図３，図４に示すような周辺部材 ３６，３７，３８に対してもムダな隙間を生じることなく真空ポンプを装置に取 付けることができる。このため、この実施例によっても装置の小型化に寄与する ことができる。

【００１３】 なお、上記実施例においてはガスの吸引手段がロータ翼等の翼部材のみからな る真空ポンプについて説明したが、翼とネジ溝部からなる複合式の真空ポンプ、 あるいはネジ溝部のみからなる真空ポンプに本考案を適用してもよい。

【００１４】

【考案の効果】

以上説明したように本考案によれば、クリーンルーム等の建設コストの高い場 所に設置される装置のどのようなレイアウトの周辺部材に対しても真空ポンプを ムダな隙間が生じることなく取付けることができるため、装置の小型化に寄与す ることができ、総合的なコスト削減につながる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案による真空ポンプの第１実施例を示す断
面図である。

【図２】図１の真空ポンプのＢ−Ｂ矢視断面図である。

【図３】本考案による真空ポンプの第２実施例を示す断
面図である。

【図４】本考案による真空ポンプの第３実施例を示す断
面図である。

【図５】本考案による真空ポンプの第４実施例を示す断
面図である。

【図６】図５の真空ポンプのＣ−Ｃ矢視断面図である。

【図７】従来の真空ポンプを示す展開断面図である。

【図８】図７の真空ポンプの底面図である。

【図９】他の従来の真空ポンプの底面図である。

【符号の説明】

３，３３ 排出ポート ９ モータ ２１ 第１通路 ２２ 第２通路 ２５ 蓋部材 ２７ コネクタ

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 通電により作動する部品と外部電源を接
   続するコネクタと、ガス通路と連通しガスを排出するた
   めの排出口を備えた真空ポンプにおいて、前記排出口を
   複数設け、前記コネクタとの位置関係において所望の位
   置の１つの排出口を排出ポートに用い、残りの排出口は
   閉止して用いないようにして使用することを特徴とする
   真空ポンプ。
2. 【請求項２】 通電により作動する部品と外部電源を接
   続するコネクタと、ガス通路と連通しガスを排出するた
   めの排出口を備えた真空ポンプにおいて、前記コネクタ
   と前記排出口を各々別部材に設け、前記コネクタを設け
   た部材と前記排出口を設けた部材とが互いに相対運動可
   能であることを特徴とする真空ポンプ。