JPH05989U - Vacuum pump - Google Patents
Vacuum pumpInfo
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- JPH05989U JPH05989U JP4763691U JP4763691U JPH05989U JP H05989 U JPH05989 U JP H05989U JP 4763691 U JP4763691 U JP 4763691U JP 4763691 U JP4763691 U JP 4763691U JP H05989 U JPH05989 U JP H05989U
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- vacuum pump
- discharge port
- connector
- gas
- rotor
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本考案は、真空ポンプが取付けられる装置の
小型化に寄与できるような真空ポンプを提供することを
目的とする。
【構成】 ガスを排出するための排出口２２，２３，２
４を複数設け、通電により作動する部品と外部電源を接
続するコネクタ２７との位置関係において所望の位置の
１つの排出口を排出ポート３に用い、残りの排出口は蓋
部材２５により閉止して用いないようにして真空ポンプ
を使用する。
【効果】 コネクタとの位置関係において所望の位置の
１つの排出口を排出ポートに用いることにより、コネク
タと排出ポートとのレイアウト上の自由度を向上させる
ことができ、建設費用の高いクリーンルーム等に設置さ
れる装置に真空ポンプを取付ける際にムダな隙間が生じ
るのを防止することができる。
(57) [Summary] [Object] An object of the present invention is to provide a vacuum pump that can contribute to miniaturization of a device to which the vacuum pump is attached. [Composition] Discharge ports 22, 23, 2 for discharging gas
4 are provided, and one discharge port at a desired position is used as the discharge port 3 in the positional relationship between the components operated by energization and the connector 27 connecting the external power source, and the remaining discharge ports are closed by the lid member 25. Use the vacuum pump without it. [Effect] By using one discharge port at a desired position in relation to the connector as the discharge port, it is possible to improve the degree of freedom in layout of the connector and the discharge port, and in a clean room or the like with high construction cost. It is possible to prevent a wasteful gap from being generated when the vacuum pump is attached to the installed device.
Description
【０００１】[0001]
本考案は、計測器、加速器、半導体製造装置等の真空チャンバに用いられ、回 転翼と固定翼の相対回転により真空チャンバの真空度を高める真空ポンプに関す る。 The present invention is used in vacuum chambers of measuring instruments, accelerators, semiconductor manufacturing equipment, etc. Related to a vacuum pump that raises the vacuum degree of a vacuum chamber by relative rotation of a rotor and a fixed blade It
【０００２】[0002]
このような真空ポンプとしては従来、例えば図７に示すようなターボ分子ポン プがある。同図において、ケーシング１０１の図中下側にはベース１１０が連結 されており、ケーシング１０１の図中上側には吸入口部１０２が形成され、ベー ス１１０の側部には排出ポート１０３が設けられている。またケーシング１０１ 内には、ロータ１０４が収装されている。ロータ１０４にはケーシング１０１の 内周壁面に向かって伸びるロータ翼１０５が形成され、このロータ翼１０５に対 向して互いに重なるように伸びるステータ翼１０６が、ケーシング１０１の内周 壁面にスペーサ１０７を介して取り付けられている。 As such a vacuum pump, conventionally, for example, a turbo molecular pump as shown in FIG. 7 is used. There is In the figure, a base 110 is connected to the lower side of the casing 101 in the figure. The suction port 102 is formed on the upper side of the casing 101 in the drawing, and A discharge port 103 is provided on the side of the sleeve 110. Also casing 101 A rotor 104 is housed inside. The rotor 104 has a casing 101 A rotor blade 105 that extends toward the inner peripheral wall surface is formed, and The stator blades 106 extending toward each other face each other, and It is attached to the wall surface via a spacer 107.
【０００３】 ロータ１０４はケーシング１０１内に収装されたモータ１０８によって回転駆 動され、ロータ翼１０５がステータ翼１０６に対して相対的に高速回転する。ま た、吸入口部１０２は真空チャンバの開口部（図示せず）と接続している。ベー ス１１０の側部にはコネクタ１１１が設けられており、このコネクタ１１１を介 してモータ１０８その他の通電により作動する部品を外部電源と気密に接続して いる。[0003] The rotor 104 is driven to rotate by a motor 108 housed in the casing 101. As a result, the rotor blades 105 rotate at a relatively high speed with respect to the stator blades 106. Well Further, the suction port 102 is connected to an opening (not shown) of the vacuum chamber. Base A connector 111 is provided on the side of the space 110, and the connector 111 Then, connect the motor 108 and other parts that operate by energization to the external power source in an airtight manner. There is.
【０００４】 このようなターボ分子ポンプは、ロータ１０４をモータ１０８によって回転駆 動させると、ロータ翼１０５がステータ翼１０６に対して相対的に高速回転し、 このロータ翼１０５とステータ翼１０６との協働によって真空チャンバ内のガス や水分等の気体分子を吸入口部１０２から吸込んで、排出ポート１０３から排出 するようになっている。[0004] In such a turbo molecular pump, the rotor 104 is driven by the motor 108. When moved, the rotor blades 105 rotate at a relatively high speed with respect to the stator blades 106, The gas in the vacuum chamber is generated by the cooperation of the rotor blades 105 and the stator blades 106. Intake gas molecules such as water and moisture through the suction port 102 and discharge through the discharge port 103 It is supposed to do.
【０００５】[0005]
例えば、真空ポンプが半導体製造装置の排気系に用いられる場合、コスト削減 の為にその装置がクリーンルーム内で占める体積を小さくする小型化が図られ、 装置全体としては非常に複雑で小さな空間に種々の部品（真空ポンプも含む）が 高密度で組付けられた状態となっており、空間的な余裕はほとんどない状態にあ る。このため、真空ポンプの周囲にも余分な空間ができないように組付けられる ことが要請されている。たとえば図８に示すように、排出ポート１０３の位置が 図示の位置に拘束されていて、コネクタ１１１が図示のように図中下側に位置し ている場合は、周辺部材１１５との間にあまり隙間ができないよう真空ポンプを 装置中に組付けることができるが、図９に示すようにコネクタ１１１が排出ポー ト１０３に対して図中上側にあると、そのコネクタ１１１に設けるハーネス１１ ６のためにスペースが必要となり、このため真空ポンプと周辺部材１１５の図中 上辺との隙間が大きく開いてしまい、クリーンルーム装置の大型化を招く結果と なってしまう。図８に示すタイプの真空ポンプも周辺部材１１５の向きや排出ポ ート１０３の位置が変われば図９と同様の問題を生ずることになる。また図９に 示すような問題を解決するには、コネクタ１１１が図中下側にあるようなものに 真空ポンプを一々改造しなければならず、それだけコストが高くなってしまう。 そこで本考案は、上記問題点を解決することを課題とするものである。 For example, if a vacuum pump is used in the exhaust system of semiconductor manufacturing equipment, cost reduction For this reason, the device is downsized to reduce the volume occupied in the clean room, The entire device is very complicated and various parts (including vacuum pump) are installed in a small space. It is assembled in a high density, and there is almost no space in space. It For this reason, it is assembled so that there is no extra space around the vacuum pump. Is requested. For example, as shown in FIG. 8, the position of the discharge port 103 is It is constrained to the position shown and the connector 111 is located at the lower side in the drawing as shown. If there is a gap between the peripheral member 115 and the vacuum pump, It can be installed in the equipment, but as shown in Fig. 9, the connector 111 When it is on the upper side in the drawing with respect to the boot 103, the harness 11 provided on the connector 111 6 requires a space, which is why the vacuum pump and the peripheral member 115 are not shown in the drawing. As a result, the gap between the top side is wide open, which leads to an increase in the size of the clean room equipment. turn into. The type of vacuum pump shown in FIG. If the position of the gate 103 changes, the same problem as in FIG. 9 will occur. Also in FIG. In order to solve the problem as shown, the connector 111 should be located at the bottom of the figure. The vacuum pump has to be remodeled one by one, which increases the cost. Then, this invention makes it a subject to solve the said problem.
【０００６】[0006]
上記課題を解決するために本考案は、次のような構成としたものである。 （１） 通電により作動する部品と外部電源を接続するコネクタと、ガス通路と 連通しガスを排出するための排出口を備えた真空ポンプにおいて、前記排出口を 複数設け、前記コネクタとの位置関係において所望の位置の１つの排出口を排出 ポートに用い、残りの排出口は閉止して用いないようにして使用するようにした 真空ポンプ。 （２） 通電により作動する部品と外部電源を接続するコネクタと、ガス通路と 連通しガスを排出するための排出口を備えた真空ポンプにおいて、前記コネクタ と前記排出口を各々別部材に設け、前記コネクタを設けた部材と前記排出口を設 けた部材とが互いに相対運動可能であるようにした真空ポンプ。 In order to solve the above problems, the present invention has the following configuration. (1) A connector for connecting a component that operates by energization and an external power source, and a gas passage In a vacuum pump having a discharge port for discharging communication gas, the discharge port is Multiple outlets are provided, and one outlet is ejected at the desired position in relation to the connector. It was used as a port, and the remaining outlets were closed and not used. Vacuum pump. (2) A connector for connecting a component that operates by energization and an external power source, and a gas passage A vacuum pump having a discharge port for discharging communication gas, wherein the connector The discharge port is provided on a separate member, and the member provided with the connector and the discharge port are provided. A vacuum pump in which the beam member is movable relative to each other.
【０００７】[0007]
以下、本考案の実施例について図面に基づいて説明する。図１および図２は、 本考案による真空ポンプの第１実施例を示す図である。 図１に示すターボ分子ポンプにおいて、ケーシング１は全体が略円筒状となっ ており、このケーシング１にはその図中下側にベース１０が設けられている。ケ ーシング１には図中上方の真空チャンバの開口部（図示せず）と接続する吸入口 部２が形成され、ベース１０には真空チャンバ内から吸引した気体分子を大気側 に吐出する排出ポート３が設けられている。ケーシング１内にはロータ４が収装 されており、このロータ４にはケーシング１の内壁面に向かって放射外方に延設 される複数のロータ翼５が形成されており、このロータ翼５はロータ４の軸線方 向に多段に配置されている。またケーシング１の内周側にはロータ４に向かって 放射内方に延設される複数のステータ翼６が設けられており、このステータ翼６ はスペーサ７を介してそれぞれロータ翼５と交互に軸線方向に多段に配置されて いる。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 and 2 show 1 is a view showing a first embodiment of a vacuum pump according to the present invention. In the turbo molecular pump shown in FIG. 1, the entire casing 1 has a substantially cylindrical shape. The casing 1 is provided with a base 10 on the lower side in the figure. Ke The suction port connected to the opening (not shown) of the upper vacuum chamber in the drawing The part 2 is formed, and the gas molecules sucked from the inside of the vacuum chamber are introduced into the base 10 on the atmospheric side. A discharge port 3 for discharging the liquid is provided. The rotor 4 is housed in the casing 1. The rotor 4 extends radially outward toward the inner wall surface of the casing 1. A plurality of rotor blades 5 are formed, and the rotor blades 5 are oriented in the axial direction of the rotor 4. It is arranged in multiple stages. On the inner peripheral side of the casing 1 toward the rotor 4 A plurality of stator blades 6 extending radially inward are provided. Are arranged in multiple stages in the axial direction alternately with the rotor blades 5 via the spacers 7. There is.
【０００８】 一方、ロータ４の軸線部にはロータ４と一体的に回転するように連結されたロ ータ軸８が配設されている。ロータ軸８はその周囲に設けられたモータ９により 回転を駆動されるようになっている。 また、図２に示すようにベース１０にはその円周方向に沿って弧状に延びる第 １通路２１（ガス通路）が形成されており、この第１通路２１は図１に示すよう に翼５，６があるポンプ室と常に連通している。また図２に示すように、第１通 路２１には３つの第２通路２２ないし２４（排出口）が互いに略９０°の角度を 隔てて連通している。そしてこの実施例においては、第２通路２２に排出ポート ３が設けられ、他の第２通路２３，２４は蓋部材２５により閉止されている。ベ ース１０の円周方向において第２通路２２ないし２４が無い位置にはハーネス２ ６が連結されたコネクタ２７が設けられている。[0008] On the other hand, the axial portion of the rotor 4 is connected to the rotor 4 so as to rotate integrally therewith. A data shaft 8 is provided. The rotor shaft 8 is driven by a motor 9 provided around the rotor shaft 8. It is designed to be driven to rotate. In addition, as shown in FIG. 2, the base 10 has a first arc-shaped extending along the circumferential direction thereof. One passage 21 (gas passage) is formed, and this first passage 21 is as shown in FIG. It is in constant communication with the pump chamber where the wings 5 and 6 are located. Also, as shown in FIG. In the passage 21, the three second passages 22 to 24 (exhaust ports) form an angle of approximately 90 ° with each other. Communicate with each other. And in this embodiment, the discharge port is provided in the second passage 22. 3 is provided, and the other second passages 23, 24 are closed by the lid member 25. Be The harness 2 is provided at a position where the second passages 22 to 24 are not provided in the circumferential direction of the harness 10. A connector 27 to which 6 is connected is provided.
【０００９】 このような真空ポンプにおいては、モータ９を起動させてロータ４を回転駆動 させ、静止しているステータ翼６に対してロータ翼５を相対的に高速回転させる 。このようにロータ翼５がステータ翼６に対して相対回転することにより、真空 チャンバ内の気体分子を強制的に吸入口２から吸引して排出ポート３から排除し 、真空チャンバ内の真空度を向上させることができる。また、排出ポート３およ びコネクタ２７が前述のような位置関係にあるため、真空ポンプは図２に示すよ うな周辺部材３５に対してムダな隙間なく取付けることができ、クリーンルーム 内に設置される装置の小型化を寄与することができる。[0009] In such a vacuum pump, the motor 4 is started to drive the rotor 4 to rotate. To rotate the rotor blade 5 at a relatively high speed with respect to the stationary stator blade 6. . In this way, the rotor blades 5 rotate relative to the stator blades 6 so that the vacuum The gas molecules in the chamber are forcibly sucked from the suction port 2 and removed from the discharge port 3. The degree of vacuum in the vacuum chamber can be improved. Also, discharge port 3 and Since the connector and the connector 27 are in the positional relationship as described above, the vacuum pump is shown in FIG. Clean room that can be mounted on the peripheral member 35 without waste. This can contribute to miniaturization of the device installed inside.
【００１０】 図３は本考案による真空ポンプの第２実施例を示す図である。前記第１実施例 においては排出ポート３が第２通路２２に設けられていたのに対し、この第２実 施例においては排出ポート３を第２通路２４に設け、真空ポンプを前記第１実施 例に対して１８０°回転させて配置したものである。すなわち、排出ポート３を 前記第１実施例と同じ位置にすると、コネクタ２７は前記第１実施例と反対側の 図中上側に来る。排出ポート３およびコネクタ２７の位置関係をこのように変え ることにより、真空ポンプは図３に示すような周辺部材３６に対してムダな隙間 を生じることなく取付けることができる。[0010] FIG. 3 is a view showing a second embodiment of the vacuum pump according to the present invention. The first embodiment In contrast to the discharge port 3 provided in the second passage 22 in In the embodiment, the exhaust port 3 is provided in the second passage 24, and the vacuum pump is used in the first embodiment. It is arranged by rotating 180 ° with respect to the example. That is, the discharge port 3 In the same position as in the first embodiment, the connector 27 is located on the side opposite to the first embodiment. It comes to the upper side in the figure. The positional relationship between the discharge port 3 and the connector 27 is changed in this way As a result, the vacuum pump will not waste a gap with respect to the peripheral member 36 as shown in FIG. It can be installed without causing.
【００１１】 図４は本考案による真空ポンプの第３実施例を示す図である。前記第１，第２ 実施例においては排出ポート３が第２通路２２または２４に設けられていたのに 対し、この第３実施例においては排出ポート３を第２通路２３に設け、真空ポン プを前記第１，第２実施例に対して９０°回転させて配置したものである。すな わち排出ポート３を前記第１，第２実施例と同じ位置にすると、コネクタ２７は 今度は図中右側に来る。排出ポート３およびコネクタ２７の位置関係をこのよう に変えることにより、真空ポンプは図４に示すような互に平行な一対の周辺部材 ３７，３８に対してムダな隙間を生じることなく取付けることができる。[0011] FIG. 4 is a view showing a third embodiment of the vacuum pump according to the present invention. The first and second Although the discharge port 3 is provided in the second passage 22 or 24 in the embodiment, On the other hand, in the third embodiment, the exhaust port 3 is provided in the second passage 23, and the vacuum pump This is a structure in which the cup is rotated by 90 ° with respect to the first and second embodiments. sand When the discharge port 3 is at the same position as in the first and second embodiments, the connector 27 is This time it is on the right side of the figure. The positional relationship between the discharge port 3 and the connector 27 is as follows. The vacuum pump can be replaced by a pair of peripheral members parallel to each other as shown in FIG. It can be attached to 37 and 38 without generating a wasteful gap.
【００１２】 図５および図６は本考案の第４実施例を示す図である。前記実施例においては 排出ポート３がベース１０の側部に設けられていたのに対し、この実施例はベー ス１０には排出ポートが設けられず、ガスが流れる通路４１がベース１０の底面 に開口するよう形成されている。そして、ベース１０の底面には排出ポート３３ を有する吐出口アダプタ２０が設けられている。排出ポート３３を有する吐出口 アダプタ２０は、図６に示すようにその肉部内に環状の通路５１が形成され、こ の通路５１は図５に示すように排出ポート３３およびベース１０の通路４１に連 通するようになっている。また、吐出口アダプタ２０は取付ネジを外してベース １０に対して円周方向に回転させて再びベース１０にネジで取付けることにより 、コネクタ２７に対してどのような相対位置をもとることが可能となっている。 排出ポート３３およびコネクタ２７が図６に示すような位置関係になっていると きは、真空ポンプは同図に示すような周辺部材３５に対してムダな隙間を生じる ことなく取付けることができる。また、吐出口アグプタ２０を回転させてコネク タ２７との相対位置を変化させることにより、図３，図４に示すような周辺部材 ３６，３７，３８に対してもムダな隙間を生じることなく真空ポンプを装置に取 付けることができる。このため、この実施例によっても装置の小型化に寄与する ことができる。[0012] 5 and 6 are views showing a fourth embodiment of the present invention. In the above embodiment Whereas the exhaust port 3 was provided on the side of the base 10, this embodiment The exhaust port is not provided in the space 10, and the passage 41 through which the gas flows is located on the bottom surface of the base 10. Is formed so as to open. Further, the discharge port 33 is provided on the bottom surface of the base 10. A discharge port adapter 20 having is provided. Discharge port having discharge port 33 As shown in FIG. 6, the adapter 20 has an annular passage 51 formed in its flesh portion. The passage 51 is connected to the exhaust port 33 and the passage 41 of the base 10 as shown in FIG. I am supposed to pass through. Also, the discharge port adapter 20 has a mounting screw By rotating it in the circumferential direction with respect to 10 and attaching it to the base 10 again with screws It is possible to take any relative position with respect to the connector 27. When the discharge port 33 and the connector 27 have the positional relationship shown in FIG. At this time, the vacuum pump creates a wasteful gap with respect to the peripheral member 35 as shown in FIG. Can be installed without. Also, rotate the discharge port agputer 20 to connect By changing the relative position with the peripheral member 27, peripheral members as shown in FIGS. The vacuum pump is installed in the device without creating a wasteful gap for 36, 37 and 38. Can be attached. Therefore, this embodiment also contributes to downsizing of the device. be able to.
【００１３】 なお、上記実施例においてはガスの吸引手段がロータ翼等の翼部材のみからな る真空ポンプについて説明したが、翼とネジ溝部からなる複合式の真空ポンプ、 あるいはネジ溝部のみからなる真空ポンプに本考案を適用してもよい。[0013] In the above embodiment, the gas suction means consisted of only blade members such as rotor blades. I explained about the vacuum pump, but it is a composite type vacuum pump consisting of blades and thread grooves. Alternatively, the present invention may be applied to a vacuum pump including only a thread groove portion.
【００１４】[0014]
以上説明したように本考案によれば、クリーンルーム等の建設コストの高い場 所に設置される装置のどのようなレイアウトの周辺部材に対しても真空ポンプを ムダな隙間が生じることなく取付けることができるため、装置の小型化に寄与す ることができ、総合的なコスト削減につながる。 As described above, according to the present invention, the construction cost of a clean room is high. Use a vacuum pump for peripherals of any layout of the equipment installed at the site. Since it can be installed without creating unnecessary gaps, it contributes to downsizing of the device. Can lead to total cost reduction.
【図１】本考案による真空ポンプの第１実施例を示す断
面図である。FIG. 1 is a sectional view showing a first embodiment of a vacuum pump according to the present invention.
【図２】図１の真空ポンプのＢ−Ｂ矢視断面図である。2 is a cross-sectional view of the vacuum pump of FIG. 1 taken along the line BB.
【図３】本考案による真空ポンプの第２実施例を示す断
面図である。FIG. 3 is a sectional view showing a second embodiment of the vacuum pump according to the present invention.
【図４】本考案による真空ポンプの第３実施例を示す断
面図である。FIG. 4 is a sectional view showing a third embodiment of the vacuum pump according to the present invention.
【図５】本考案による真空ポンプの第４実施例を示す断
面図である。FIG. 5 is a sectional view showing a fourth embodiment of the vacuum pump according to the present invention.
【図６】図５の真空ポンプのＣ−Ｃ矢視断面図である。6 is a sectional view of the vacuum pump of FIG. 5, taken along the line C-C.
【図７】従来の真空ポンプを示す展開断面図である。FIG. 7 is a developed cross-sectional view showing a conventional vacuum pump.
【図８】図７の真空ポンプの底面図である。FIG. 8 is a bottom view of the vacuum pump of FIG.
【図９】他の従来の真空ポンプの底面図である。FIG. 9 is a bottom view of another conventional vacuum pump.
３，３３ 排出ポート ９ モータ ２１ 第１通路 ２２ 第２通路 ２５ 蓋部材 ２７ コネクタ 3,33 Discharge port 9 motors 21 First Passage 22 Second passage 25 Lid member 27 connectors
Claims (2)
続するコネクタと、ガス通路と連通しガスを排出するた
めの排出口を備えた真空ポンプにおいて、前記排出口を
複数設け、前記コネクタとの位置関係において所望の位
置の１つの排出口を排出ポートに用い、残りの排出口は
閉止して用いないようにして使用することを特徴とする
真空ポンプ。1. A vacuum pump having a connector for connecting a component operated by energization and an external power source, and a discharge port for communicating gas with a gas passage to discharge gas. A vacuum pump characterized in that one discharge port at a desired position in terms of positional relationship is used as a discharge port, and the remaining discharge ports are closed and not used.
続するコネクタと、ガス通路と連通しガスを排出するた
めの排出口を備えた真空ポンプにおいて、前記コネクタ
と前記排出口を各々別部材に設け、前記コネクタを設け
た部材と前記排出口を設けた部材とが互いに相対運動可
能であることを特徴とする真空ポンプ。2. A vacuum pump having a connector for connecting a component operated by energization and an external power source, and a discharge port for communicating gas with a gas passage to discharge gas, wherein the connector and the discharge port are separate members. A vacuum pump, wherein a member provided with the connector and a member provided with the discharge port are movable relative to each other.
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