JP2532819Y2 - Vacuum pump - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本考案は、計測器、加速器、半導
体製造装置等の真空チャンバに用いられ、回転翼と固定
翼の相対回転により真空チャンバの真空度を高める真空
ポンプに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vacuum pump used in a vacuum chamber of a measuring instrument, an accelerator, a semiconductor manufacturing apparatus, etc., for increasing the degree of vacuum in the vacuum chamber by the relative rotation of a rotating blade and a fixed blade.

【０００２】[0002]

【従来の技術】このような真空ポンプとしては従来、例
えば図７に示すようなターボ分子ポンプがある。同図に
おいて、ケーシング１０１の図中下側にはベース１１０
が連結されており、ケーシング１０１の図中上側には吸
入口部１０２が形成され、ベース１１０の側部には排出
ポート１０３が設けられている。またケーシング１０１
内には、ロータ１０４が収装されている。ロータ１０４
にはケーシング１０１の内周壁面に向かって伸びるロー
タ翼１０５が形成され、このロータ翼１０５に対向して
互いに重なるように伸びるステータ翼１０６が、ケーシ
ング１０１の内周壁面にスペーサ１０７を介して取り付
けられている。2. Description of the Related Art As such a vacuum pump, for example, there is a turbo molecular pump as shown in FIG. In the figure, a base 110 is provided below the casing 101 in the figure.
The casing 101 has a suction port 102 formed on the upper side in the drawing, and a discharge port 103 provided on a side of the base 110. Also, the casing 101
Inside, the rotor 104 is housed. Rotor 104
A rotor blade 105 extending toward the inner peripheral wall surface of the casing 101 is formed on the inner peripheral wall surface of the casing 101 via a spacer 107. Have been.

【０００３】ロータ１０４はケーシング１０１内に収装
されたモータ１０８によって回転駆動され、ロータ翼１
０５がステータ翼１０６に対して相対的に高速回転す
る。また、吸入口部１０２は真空チャンバの開口部（図
示せず）と接続している。ベース１１０の側部にはコネ
クタ１１１が設けられており、このコネクタ１１１を介
してモータ１０８その他の通電により作動する部品を外
部電源と気密に接続している。The rotor 104 is driven to rotate by a motor 108 housed in a casing 101, and the rotor blades 1
05 rotates at a high speed relative to the stator blade 106. The suction port 102 is connected to an opening (not shown) of the vacuum chamber. A connector 111 is provided on a side portion of the base 110, and the motor 108 and other components operated by energization are airtightly connected to an external power supply via the connector 111.

【０００４】このようなターボ分子ポンプは、ロータ１
０４をモータ１０８によって回転駆動させると、ロータ
翼１０５がステータ翼１０６に対して相対的に高速回転
し、このロータ翼１０５とステータ翼１０６との協働に
よって真空チャンバ内のガスや水分等の気体分子を吸入
口部１０２から吸込んで、排出ポート１０３から排出す
るようになっている。[0004] Such a turbo molecular pump has a rotor 1
When the rotor blades 04 are driven to rotate by the motor 108, the rotor blades 105 rotate at a high speed relative to the stator blades 106, and the cooperation of the rotor blades 105 and the stator blades 106 causes the gas such as gas and moisture in the vacuum chamber. The molecules are sucked in from the suction port 102 and discharged from the discharge port 103.

【０００５】[0005]

【考案が解決しようとする課題】例えば、真空ポンプが
半導体製造装置の排気系に用いられる場合、コスト削減
の為にその装置がクリーンルーム内で占める体積を小さ
くする小型化が図られ、装置全体としては非常に複雑で
小さな空間に種々の部品（真空ポンプも含む）が高密度
で組付けられた状態となっており、空間的な余裕はほと
んどない状態にある。このため、真空ポンプの周囲にも
余分な空間ができないように組付けられることが要請さ
れている。たとえば図８に示すように、排出ポート１０
３の位置が図示の位置に拘束されていて、コネクタ１１
１が図示のように図中下側に位置している場合は、周辺
部材１１５との間にあまり隙間ができないよう真空ポン
プを装置中に組付けることができるが、図９に示すよう
にコネクタ１１１が排出ポート１０３に対して図中上側
にあると、そのコネクタ１１１に設けるハーネス１１６
のためにスペースが必要となり、このため真空ポンプと
周辺部材１１５の図中上辺との隙間が大きく開いてしま
い、クリーンルーム装置の大型化を招く結果となってし
まう。図８に示すタイプの真空ポンプも周辺部材１１５
の向きや排出ポート１０３の位置が変われば図９と同様
の問題を生ずることになる。また図９に示すような問題
を解決するには、コネクタ１１１が図中下側にあるよう
なものに真空ポンプを一々改造しなければならず、それ
だけコストが高くなってしまう。そこで本考案は、上記
問題点を解決することを課題とするものである。For example, when a vacuum pump is used in an exhaust system of a semiconductor manufacturing device, the volume of the device in a clean room is reduced to reduce the cost, and the size of the device is reduced. Is in a state where various parts (including a vacuum pump) are assembled at a high density in a very complicated and small space, and there is almost no room for space. For this reason, it is required that the vacuum pump be assembled so that no extra space is formed around the vacuum pump. For example, as shown in FIG.
3 is constrained to the position shown in FIG.
1 is located on the lower side in the figure as shown in the figure, the vacuum pump can be assembled in the apparatus so that there is not much space between the vacuum pump and the peripheral member 115. However, as shown in FIG. When the connector 111 is located above the discharge port 103 in the figure, the harness 116
For this reason, a space is required, and a gap between the vacuum pump and the upper side of the peripheral member 115 in the drawing is greatly opened, resulting in an increase in size of the clean room apparatus. A vacuum pump of the type shown in FIG.
9 and the position of the discharge port 103 change, a problem similar to that of FIG. 9 occurs. Further, in order to solve the problem shown in FIG. 9, the vacuum pump must be modified one by one so that the connector 111 is located at the lower side in the figure, and the cost increases accordingly. Then, this invention makes it a subject to solve the said problem.

【０００６】[0006]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本考案は、次のような構成としたものである。 （１） 通電により作動する部品と外部電源を接続する
コネクタと、ガス通路と連通しガスを排出するための排
出口を備えた真空ポンプにおいて、前記排出口を複数設
け、前記コネクタとの位置関係において所望の位置の１
つの排出口を排出ポートに用い、残りの排出口は閉止し
て用いないようにして使用するようにした真空ポンプ。 （２） 通電により作動する部品と外部電源を接続する
コネクタと、ガス通路と連通しガスを排出するための排
出口を備えた真空ポンプにおいて、前記コネクタと前記
排出口を各々別部材に設け、前記コネクタを設けた部材
と前記排出口を設けた部材とが互いに相対運動可能であ
るようにした真空ポンプ。Means for Solving the Problems In order to solve the above problems, the present invention has the following configuration. (1) In a vacuum pump provided with a connector for connecting a component operated by energization and an external power supply, and a discharge port for discharging gas by communicating with a gas passage, a plurality of the discharge ports are provided, and a positional relationship with the connector is provided. At the desired position in
A vacuum pump that uses one outlet for the exhaust port and closes the other outlet to prevent use. (2) In a vacuum pump having a connector for connecting a component operated by energization and an external power supply, and a discharge port for discharging gas by communicating with a gas passage, the connector and the discharge port are provided in separate members, respectively. A vacuum pump wherein the member provided with the connector and the member provided with the discharge port can move relative to each other.

【０００７】[0007]

【実施例】以下、本考案の実施例について図面に基づい
て説明する。図１および図２は、本考案による真空ポン
プの第１実施例を示す図である。図１に示すターボ分子
ポンプにおいて、ケーシング１は全体が略円筒状となっ
ており、このケーシング１にはその図中下側にベース１
０が設けられている。ケーシング１には図中上方の真空
チャンバの開口部（図示せず）と接続する吸入口部２が
形成され、ベース１０には真空チャンバ内から吸引した
気体分子を大気側に吐出する排出ポート３が設けられて
いる。ケーシング１内にはロータ４が収装されており、
このロータ４にはケーシング１の内壁面に向かって放射
外方に延設される複数のロータ翼５が形成されており、
このロータ翼５はロータ４の軸線方向に多段に配置され
ている。またケーシング１の内周側にはロータ４に向か
って放射内方に延設される複数のステータ翼６が設けら
れており、このステータ翼６はスペーサ７を介してそれ
ぞれロータ翼５と交互に軸線方向に多段に配置されてい
る。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 and 2 show a first embodiment of the vacuum pump according to the present invention. In the turbo-molecular pump shown in FIG. 1, a casing 1 has a substantially cylindrical shape as a whole.
0 is provided. The casing 1 is formed with a suction port 2 connected to an opening (not shown) of a vacuum chamber in the upper part of the drawing, and the base 10 has a discharge port 3 for discharging gas molecules sucked from the vacuum chamber to the atmosphere. Is provided. A rotor 4 is housed in the casing 1,
The rotor 4 is formed with a plurality of rotor blades 5 extending radially outward toward the inner wall surface of the casing 1.
The rotor blades 5 are arranged in multiple stages in the axial direction of the rotor 4. A plurality of stator blades 6 extending radially inward toward the rotor 4 are provided on the inner peripheral side of the casing 1, and the stator blades 6 are alternately arranged with the rotor blades 5 via spacers 7. They are arranged in multiple stages in the axial direction.

【０００８】一方、ロータ４の軸線部にはロータ４と一
体的に回転するように連結されたロータ軸８が配設され
ている。ロータ軸８はその周囲に設けられたモータ９に
より回転を駆動されるようになっている。また、図２に
示すようにベース１０にはその円周方向に沿って弧状に
延びる第１通路２１（ガス通路）が形成されており、こ
の第１通路２１は図１に示すように翼５，６があるポン
プ室と常に連通している。また図２に示すように、第１
通路２１には３つの第２通路２２ないし２４（排出口）
が互いに略９０°の角度を隔てて連通している。そして
この実施例においては、第２通路２２に排出ポート３が
設けられ、他の第２通路２３，２４は蓋部材２５により
閉止されている。ベース１０の円周方向において第２通
路２２ないし２４が無い位置にはハーネス２６が連結さ
れたコネクタ２７が設けられている。On the other hand, a rotor shaft 8 connected to the rotor 4 so as to rotate integrally with the rotor 4 is disposed on the axis of the rotor 4. The rotation of the rotor shaft 8 is driven by a motor 9 provided therearound. As shown in FIG. 2, a first passage 21 (gas passage) extending in an arc shape along the circumferential direction is formed in the base 10, and the first passage 21 is formed as shown in FIG. , 6 are always in communication with a pump chamber. Also, as shown in FIG.
The passage 21 has three second passages 22 to 24 (discharge ports)
Communicate with each other at an angle of about 90 °. In this embodiment, the discharge port 3 is provided in the second passage 22, and the other second passages 23 and 24 are closed by the lid member 25. A connector 27 to which a harness 26 is connected is provided at a position where there is no second passage 22 to 24 in the circumferential direction of the base 10.

【０００９】このような真空ポンプにおいては、モータ
９を起動させてロータ４を回転駆動させ、静止している
ステータ翼６に対してロータ翼５を相対的に高速回転さ
せる。このようにロータ翼５がステータ翼６に対して相
対回転することにより、真空チャンバ内の気体分子を強
制的に吸入口２から吸引して排出ポート３から排除し、
真空チャンバ内の真空度を向上させることができる。ま
た、排出ポート３およびコネクタ２７が前述のような位
置関係にあるため、真空ポンプは図２に示すような周辺
部材３５に対してムダな隙間なく取付けることができ、
クリーンルーム内に設置される装置の小型化を寄与する
ことができる。In such a vacuum pump, the motor 9 is started to drive the rotor 4 to rotate, and the rotor blade 5 is rotated at a high speed relative to the stationary stator blade 6. As the rotor blades 5 rotate relative to the stator blades 6, gas molecules in the vacuum chamber are forcibly sucked from the suction port 2 and removed from the discharge port 3.
The degree of vacuum in the vacuum chamber can be improved. Further, since the discharge port 3 and the connector 27 are in the above-described positional relationship, the vacuum pump can be attached to the peripheral member 35 as shown in FIG.
This can contribute to downsizing of the device installed in the clean room.

【００１０】図３は本考案による真空ポンプの第２実施
例を示す図である。前記第１実施例においては排出ポー
ト３が第２通路２２に設けられていたのに対し、この第
２実施例においては排出ポート３を第２通路２４に設
け、真空ポンプを前記第１実施例に対して１８０°回転
させて配置したものである。すなわち、排出ポート３を
前記第１実施例と同じ位置にすると、コネクタ２７は前
記第１実施例と反対側の図中上側に来る。排出ポート３
およびコネクタ２７の位置関係をこのように変えること
により、真空ポンプは図３に示すような周辺部材３６に
対してムダな隙間を生じることなく取付けることができ
る。FIG. 3 is a view showing a second embodiment of the vacuum pump according to the present invention. In the first embodiment, the discharge port 3 is provided in the second passage 22, whereas in the second embodiment, the discharge port 3 is provided in the second passage 24, and the vacuum pump is provided in the first embodiment. Is rotated by 180 °. That is, when the discharge port 3 is located at the same position as that of the first embodiment, the connector 27 comes to the upper side in the drawing on the opposite side to the first embodiment. Discharge port 3
By changing the positional relationship between the connector 27 and the connector 27 in this manner, the vacuum pump can be attached to the peripheral member 36 as shown in FIG.

【００１１】図４は本考案による真空ポンプの第３実施
例を示す図である。前記第１，第２実施例においては排
出ポート３が第２通路２２または２４に設けられていた
のに対し、この第３実施例においては排出ポート３を第
２通路２３に設け、真空ポンプを前記第１，第２実施例
に対して９０°回転させて配置したものである。すなわ
ち排出ポート３を前記第１，第２実施例と同じ位置にす
ると、コネクタ２７は今度は図中右側に来る。排出ポー
ト３およびコネクタ２７の位置関係をこのように変える
ことにより、真空ポンプは図４に示すような互に平行な
一対の周辺部材３７，３８に対してムダな隙間を生じる
ことなく取付けることができる。FIG. 4 is a view showing a third embodiment of the vacuum pump according to the present invention. In the first and second embodiments, the discharge port 3 is provided in the second passage 22 or 24. In the third embodiment, the discharge port 3 is provided in the second passage 23, and the vacuum pump is provided. It is arranged by being rotated by 90 ° with respect to the first and second embodiments. That is, when the discharge port 3 is set at the same position as in the first and second embodiments, the connector 27 comes to the right side in the drawing. By changing the positional relationship between the discharge port 3 and the connector 27 in this manner, the vacuum pump can be attached to the pair of peripheral members 37 and 38 parallel to each other without any wasteful gap as shown in FIG. it can.

【００１２】図５および図６は本考案の第４実施例を示
す図である。前記実施例においては排出ポート３がベー
ス１０の側部に設けられていたのに対し、この実施例は
ベース１０には排出ポートが設けられず、ガスが流れる
通路４１がベース１０の底面に開口するよう形成されて
いる。そして、ベース１０の底面には排出ポート３３を
有する吐出口アダプタ２０が設けられている。排出ポー
ト３３を有する吐出口アダプタ２０は、図６に示すよう
にその肉部内に環状の通路５１が形成され、この通路５
１は図５に示すように排出ポート３３およびベース１０
の通路４１に連通するようになっている。また、吐出口
アダプタ２０は取付ネジを外してベース１０に対して円
周方向に回転させて再びベース１０にネジで取付けるこ
とにより、コネクタ２７に対してどのような相対位置を
もとることが可能となっている。排出ポート３３および
コネクタ２７が図６に示すような位置関係になっている
ときは、真空ポンプは同図に示すような周辺部材３５に
対してムダな隙間を生じることなく取付けることができ
る。また、吐出口アグプタ２０を回転させてコネクタ２
７との相対位置を変化させることにより、図３，図４に
示すような周辺部材３６，３７，３８に対してもムダな
隙間を生じることなく真空ポンプを装置に取付けること
ができる。このため、この実施例によっても装置の小型
化に寄与することができる。FIGS. 5 and 6 show a fourth embodiment of the present invention. While the discharge port 3 is provided on the side of the base 10 in the above embodiment, the discharge port is not provided on the base 10 and the passage 41 through which the gas flows is opened at the bottom of the base 10. It is formed so that. A discharge port adapter 20 having a discharge port 33 is provided on the bottom surface of the base 10. The discharge port adapter 20 having the discharge port 33 has an annular passage 51 formed in a flesh portion thereof as shown in FIG.
1 is a discharge port 33 and a base 10 as shown in FIG.
The passage 41 communicates with the passage. Also, by removing the mounting screw, the discharge port adapter 20 is rotated in the circumferential direction with respect to the base 10, and is mounted on the base 10 again with a screw, so that any relative position with respect to the connector 27 can be obtained. It has become. When the discharge port 33 and the connector 27 are in the positional relationship as shown in FIG. 6, the vacuum pump can be attached to the peripheral member 35 as shown in FIG. Further, the connector 2 is rotated by rotating the discharge port
By changing the relative position with respect to 7, the vacuum pump can be attached to the apparatus without causing unnecessary gaps to the peripheral members 36, 37, and 38 as shown in FIGS. Therefore, this embodiment can also contribute to downsizing of the device.

【００１３】なお、上記実施例においてはガスの吸引手
段がロータ翼等の翼部材のみからなる真空ポンプについ
て説明したが、翼とネジ溝部からなる複合式の真空ポン
プ、あるいはネジ溝部のみからなる真空ポンプに本考案
を適用してもよい。In the above-described embodiment, the description has been given of the vacuum pump in which the gas suction means includes only the blade members such as the rotor blades. However, the combined vacuum pump including the blades and the screw groove portions, or the vacuum including only the screw groove portions, is used. The present invention may be applied to a pump.

【００１４】[0014]

【考案の効果】以上説明したように本考案によれば、ク
リーンルーム等の建設コストの高い場所に設置される装
置のどのようなレイアウトの周辺部材に対しても真空ポ
ンプをムダな隙間が生じることなく取付けることができ
るため、装置の小型化に寄与することができ、総合的な
コスト削減につながる。As described above, according to the present invention, a vacuum pump is unnecessarily formed with respect to peripheral members of any layout of a device installed in a place where construction costs are high, such as a clean room. Since it can be mounted without any components, it is possible to contribute to downsizing of the device, which leads to a total cost reduction.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本考案による真空ポンプの第１実施例を示す断
面図である。FIG. 1 is a sectional view showing a first embodiment of a vacuum pump according to the present invention.

【図２】図１の真空ポンプのＢ−Ｂ矢視断面図である。FIG. 2 is a sectional view of the vacuum pump of FIG.

【図３】本考案による真空ポンプの第２実施例を示す断
面図である。FIG. 3 is a sectional view showing a second embodiment of the vacuum pump according to the present invention;

【図４】本考案による真空ポンプの第３実施例を示す断
面図である。FIG. 4 is a sectional view showing a third embodiment of the vacuum pump according to the present invention;

【図５】本考案による真空ポンプの第４実施例を示す断
面図である。FIG. 5 is a sectional view showing a fourth embodiment of the vacuum pump according to the present invention;

【図６】図５の真空ポンプのＣ−Ｃ矢視断面図である。6 is a sectional view of the vacuum pump of FIG.

【図７】従来の真空ポンプを示す展開断面図である。FIG. 7 is a developed sectional view showing a conventional vacuum pump.

【図８】図７の真空ポンプの底面図である。FIG. 8 is a bottom view of the vacuum pump of FIG. 7;

【図９】他の従来の真空ポンプの底面図である。FIG. 9 is a bottom view of another conventional vacuum pump.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

３，３３ 排出ポート ９ モータ ２１ 第１通路 ２２ 第２通路 ２５ 蓋部材 ２７ コネクタ 3, 33 discharge port 9 motor 21 first passage 22 second passage 25 lid member 27 connector

Claims (2)

(57)【実用新案登録請求の範囲】(57) [Scope of request for utility model registration] 【請求項１】 通電により作動する部品と外部電源を接
続するコネクタと、ガス通路と連通しガスを排出するた
めの排出口を備えた真空ポンプにおいて、前記排出口を
複数設け、前記コネクタとの位置関係において所望の位
置の１つの排出口を排出ポートに用い、残りの排出口は
閉止して用いないようにして使用することを特徴とする
真空ポンプ。1. A vacuum pump having a connector for connecting a component operated by energization and an external power supply, and a discharge port for discharging a gas in communication with a gas passage. A vacuum pump characterized in that one discharge port at a desired position in a positional relationship is used as a discharge port, and the remaining discharge ports are closed and not used. 【請求項２】 通電により作動する部品と外部電源を接
続するコネクタと、ガス通路と連通しガスを排出するた
めの排出口を備えた真空ポンプにおいて、前記コネクタ
と前記排出口を各々別部材に設け、前記コネクタを設け
た部材と前記排出口を設けた部材とが互いに相対運動可
能であることを特徴とする真空ポンプ。2. A vacuum pump having a connector for connecting a component operated by energization and an external power supply, and a discharge port for discharging a gas in communication with a gas passage, wherein the connector and the discharge port are formed as separate members. A member provided with the connector and a member provided with the discharge port are movable relative to each other.