JPH059509A - 高合金工具鋼焼結体及びその製造方法 - Google Patents
高合金工具鋼焼結体及びその製造方法Info
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- JPH059509A JPH059509A JP3187052A JP18705291A JPH059509A JP H059509 A JPH059509 A JP H059509A JP 3187052 A JP3187052 A JP 3187052A JP 18705291 A JP18705291 A JP 18705291A JP H059509 A JPH059509 A JP H059509A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 結晶粒の粗大化や炭化物の溶融，凝集に伴う
巨大炭化物の形成等の材料的な組織欠陥がなく、かつ焼
結後に空孔等の材料欠陥のない高合金工具鋼焼結体を得
る。 【構成】 粒径が１０1 〜１０3 μｍ未満の高合金工具
鋼の粗粒粉８０〜２０重量％に、粒径が１０1 未満で１
０-2μｍまでの高合金工具鋼の微粉粒を２０％〜８０％
含むことにより、相対密度１００％の緻密特性を得る。
さらに、上記の粉末を圧粉成形し、これを真空雰囲気で
１５０３〜１５７３Ｋの温度で約１２０分間固相焼結処
理する。
巨大炭化物の形成等の材料的な組織欠陥がなく、かつ焼
結後に空孔等の材料欠陥のない高合金工具鋼焼結体を得
る。 【構成】 粒径が１０1 〜１０3 μｍ未満の高合金工具
鋼の粗粒粉８０〜２０重量％に、粒径が１０1 未満で１
０-2μｍまでの高合金工具鋼の微粉粒を２０％〜８０％
含むことにより、相対密度１００％の緻密特性を得る。
さらに、上記の粉末を圧粉成形し、これを真空雰囲気で
１５０３〜１５７３Ｋの温度で約１２０分間固相焼結処
理する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、材料内部の微少欠陥
等が問題となる切削工具用の高合金工具鋼焼結体及びそ
の製造法に関する。
等が問題となる切削工具用の高合金工具鋼焼結体及びそ
の製造法に関する。
【０００２】
【従来の技術】粉末冶金法により高合金工具鋼焼結体を
製造するには、ＣＩＰ装置を用いて圧粉体を成形しその
後焼結したり、あるいはＨＩＰ装置を用いて直接焼結体
を製造し、更にこの焼結体に鍛造、圧延等の塑性加工を
加え、目的に応じて丸材、角材、板材及び線材、或いは
所望の工具形状等に加工製造されている。かかる高合金
工具鋼粉末焼結体に塑性加工を必要とするのは、通常焼
結体には空隙、空孔等の欠陥があり、完全に緻密な焼結
体を得ることは困難であるからであり、かかる焼結体に
塑性加工を施してこれらを押しつぶし、空隙等の欠陥を
改善して完全緻密化を計ることが必要である。
製造するには、ＣＩＰ装置を用いて圧粉体を成形しその
後焼結したり、あるいはＨＩＰ装置を用いて直接焼結体
を製造し、更にこの焼結体に鍛造、圧延等の塑性加工を
加え、目的に応じて丸材、角材、板材及び線材、或いは
所望の工具形状等に加工製造されている。かかる高合金
工具鋼粉末焼結体に塑性加工を必要とするのは、通常焼
結体には空隙、空孔等の欠陥があり、完全に緻密な焼結
体を得ることは困難であるからであり、かかる焼結体に
塑性加工を施してこれらを押しつぶし、空隙等の欠陥を
改善して完全緻密化を計ることが必要である。
【０００３】例えば、粉末冶金法を用いる原料粉末には
一般的に粉粒径が101 〜103 μｍ未満の粗粒粉或いは超
微粉、ナノ微粉といわれる粉粒径が101 未満で〜10-2μ
ｍの粉末がそれぞれ単独で使われている。粗粒粉は圧粉
体の成形時に空隙ができやすく、焼結時にこれらの空隙
を除去して完全緻密化することは極めて困難である。ま
た超微粉単独で圧粉体を成形する場合は、圧粉体の相対
密度が高くなり過ぎるため、孤立空隙ができやすく、焼
結後微細な空孔として残留する。
一般的に粉粒径が101 〜103 μｍ未満の粗粒粉或いは超
微粉、ナノ微粉といわれる粉粒径が101 未満で〜10-2μ
ｍの粉末がそれぞれ単独で使われている。粗粒粉は圧粉
体の成形時に空隙ができやすく、焼結時にこれらの空隙
を除去して完全緻密化することは極めて困難である。ま
た超微粉単独で圧粉体を成形する場合は、圧粉体の相対
密度が高くなり過ぎるため、孤立空隙ができやすく、焼
結後微細な空孔として残留する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本来、粉末冶金法の最
も特徴とするところは、高い形状の自由度を有している
ところにある。このため、高合金工具鋼の粉末を例えば
丸材、角材、板材は勿論のこと、ドリル、エンドミル等
の所望の工具形状の圧粉体に成形することも極めて容易
である。その反面、焼結によって空孔等の材料欠陥が内
部に残留することは不可避である。しかし、これらの欠
陥を皆無にして完全に緻密化することは極めて困難であ
り、切削工具では材料内部の欠陥に基づくチッピング、
欠損等が使用上問題となり、十分な工具性能は期待でき
ない。従って工具製品形状の焼結体で実用化するには至
っているものは殆どないのが現状である。
も特徴とするところは、高い形状の自由度を有している
ところにある。このため、高合金工具鋼の粉末を例えば
丸材、角材、板材は勿論のこと、ドリル、エンドミル等
の所望の工具形状の圧粉体に成形することも極めて容易
である。その反面、焼結によって空孔等の材料欠陥が内
部に残留することは不可避である。しかし、これらの欠
陥を皆無にして完全に緻密化することは極めて困難であ
り、切削工具では材料内部の欠陥に基づくチッピング、
欠損等が使用上問題となり、十分な工具性能は期待でき
ない。従って工具製品形状の焼結体で実用化するには至
っているものは殆どないのが現状である。
【０００５】一方、圧粉体を成形後、焼結温度を高くす
ることによって空孔等の欠陥は減少する傾向を示し、液
相焼結においては気孔の残留が殆ど認められず、相対密
度が１００％に近い焼結体を得ることが可能であるが、
結晶粒の粗大化や炭化物の溶融、凝集に伴う巨大炭化物
の形成等の材料的な組織欠陥を生じて材料の強靱性及び
工具性能を著しく劣化させることになる。また、高合金
工具鋼は、前記従来技術のように塑性加工を施して空隙
等の欠陥を改善するものであるから、材料の歩留りが悪
く、また多大の加工工数を必要とするのであり、きわめ
て高価となるという問題もあった。
ることによって空孔等の欠陥は減少する傾向を示し、液
相焼結においては気孔の残留が殆ど認められず、相対密
度が１００％に近い焼結体を得ることが可能であるが、
結晶粒の粗大化や炭化物の溶融、凝集に伴う巨大炭化物
の形成等の材料的な組織欠陥を生じて材料の強靱性及び
工具性能を著しく劣化させることになる。また、高合金
工具鋼は、前記従来技術のように塑性加工を施して空隙
等の欠陥を改善するものであるから、材料の歩留りが悪
く、また多大の加工工数を必要とするのであり、きわめ
て高価となるという問題もあった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、粒径が101
〜103 μｍ未満の高合金工具鋼の粗粒粉８０〜２０重量
％に、粒径が101 未満で10-2μｍまでの高合金工具鋼の
微粒粉を２０〜８０％含み、相対密度１００％の緻密特
性を有する高合金工具鋼焼結体、及び粒径が101 〜103
μｍ未満の高合金工具鋼の粗粒粉８０〜２０重量％に、
粒径が101 μｍ未満で10-2μｍまでの高合金工具鋼の微
粒粉を２０〜８０％配合し、次いでこれを圧粉成形し、
さらに真空雰囲気中で１５０３〜１５７３Ｋの温度で約
１２０分間固相焼結処理し、相対密度１００％の緻密特
性を得ることを特徴とする高合金工具鋼焼結体の製造方
法に係わり、粉末冶金法の特徴である形状の自由度を維
持すると共に、材料の緻密化を実現したものである。
〜103 μｍ未満の高合金工具鋼の粗粒粉８０〜２０重量
％に、粒径が101 未満で10-2μｍまでの高合金工具鋼の
微粒粉を２０〜８０％含み、相対密度１００％の緻密特
性を有する高合金工具鋼焼結体、及び粒径が101 〜103
μｍ未満の高合金工具鋼の粗粒粉８０〜２０重量％に、
粒径が101 μｍ未満で10-2μｍまでの高合金工具鋼の微
粒粉を２０〜８０％配合し、次いでこれを圧粉成形し、
さらに真空雰囲気中で１５０３〜１５７３Ｋの温度で約
１２０分間固相焼結処理し、相対密度１００％の緻密特
性を得ることを特徴とする高合金工具鋼焼結体の製造方
法に係わり、粉末冶金法の特徴である形状の自由度を維
持すると共に、材料の緻密化を実現したものである。
【０００７】本発明において、粗粒径を101 〜103 μｍ
未満としたのは、103 μｍ以上では組織、炭化物及び結
晶粒が粗大となり、材料の強度劣化の原因となるからで
あり、また微粒径を101 未満で10-2μｍまでとしたの
は、10-2μｍは技術的に製造可能な限界値であるからで
ある。
未満としたのは、103 μｍ以上では組織、炭化物及び結
晶粒が粗大となり、材料の強度劣化の原因となるからで
あり、また微粒径を101 未満で10-2μｍまでとしたの
は、10-2μｍは技術的に製造可能な限界値であるからで
ある。
【０００８】
【実施例】次に、本発明に係る実施例を説明する。図１
は表１にＨ１乃至Ｈ６として示す各種の合金粉末の比較
的粗い粒粉の高合金工具鋼成分を混合した各種の高合金
工具鋼粉末であり、図１の上段は相対密度５４質量％、
図１の下段は８４質量％の圧粉体のそれぞれの焼結温度
と焼結体の相対密度の関係を示したものである。いずれ
も、真空炉で９×１０-1〜１０-5の真空度で１２０分間
固相焼結したものである。
は表１にＨ１乃至Ｈ６として示す各種の合金粉末の比較
的粗い粒粉の高合金工具鋼成分を混合した各種の高合金
工具鋼粉末であり、図１の上段は相対密度５４質量％、
図１の下段は８４質量％の圧粉体のそれぞれの焼結温度
と焼結体の相対密度の関係を示したものである。いずれ
も、真空炉で９×１０-1〜１０-5の真空度で１２０分間
固相焼結したものである。
【０００９】焼結体の相対密度は、成分組成及び圧粉体
の密度によって異なるが、圧粉体の密度５４％では、Ｈ
１＝１４７３Ｋ，Ｈ２＝１５４７Ｋ，Ｈ３＝１５２３
Ｋ，Ｈ４＝１５５０Ｋ，Ｈ５＝１５０３Ｋ，Ｈ６＝１５
３３Ｋの焼結温度で相対密度１００％の焼結体が得られ
るのに対し、圧粉体の密度８４％では、Ｈ１＝１４７３
Ｋ，Ｈ２＝１５２３Ｋ，Ｈ３＝１５０３Ｋ，Ｈ４＝１５
４７Ｋ，Ｈ５＝１５０３Ｋ，Ｈ６＝１４７３Ｋで、相対
密度１００％の焼結体が得られ、Ｈ１，Ｈ５成分のもの
を除き、圧粉体の密度の高い方が低い焼結温度で相対密
度の高い焼結体が得られることが示される。また、焼結
温度が高くなると相対密度が高くなる傾向も同時に示す
もので、このことは成分組成の液相温度の高低も関連し
ているものと考えられる。この場合、比較のために水素
雰囲気による固相焼結を行ったところ、相対密度が９５
〜９７％で飽和または最大となり、少量の孤立空隙が残
留することが確認された。
の密度によって異なるが、圧粉体の密度５４％では、Ｈ
１＝１４７３Ｋ，Ｈ２＝１５４７Ｋ，Ｈ３＝１５２３
Ｋ，Ｈ４＝１５５０Ｋ，Ｈ５＝１５０３Ｋ，Ｈ６＝１５
３３Ｋの焼結温度で相対密度１００％の焼結体が得られ
るのに対し、圧粉体の密度８４％では、Ｈ１＝１４７３
Ｋ，Ｈ２＝１５２３Ｋ，Ｈ３＝１５０３Ｋ，Ｈ４＝１５
４７Ｋ，Ｈ５＝１５０３Ｋ，Ｈ６＝１４７３Ｋで、相対
密度１００％の焼結体が得られ、Ｈ１，Ｈ５成分のもの
を除き、圧粉体の密度の高い方が低い焼結温度で相対密
度の高い焼結体が得られることが示される。また、焼結
温度が高くなると相対密度が高くなる傾向も同時に示す
もので、このことは成分組成の液相温度の高低も関連し
ているものと考えられる。この場合、比較のために水素
雰囲気による固相焼結を行ったところ、相対密度が９５
〜９７％で飽和または最大となり、少量の孤立空隙が残
留することが確認された。
【００１０】
【表１】
【００１１】相対密度１００％に至る焼結温度は成分配
合によって異なるが、表１のＨ２の合金粉末を焼結する
場合では１５２３〜１５５０Ｋ、Ｈ４では１５５０Ｋで
ある。特にＨ４の合金粉末では液相に近い高温焼結で相
対密度１００％が得られた。本発明により得られた焼結
体の相対密度の一例を図２及び図３に示す。図２は表１
の合金成分中のＨ２について粉粒径１０1 未満〜１０-2
μｍのＦｅ微粒粉（カーボニル鉄粉）を用い、その他の
成分は各単独元素の粗粒粉を混合したときのＦｅ微粒粉
の混合量と相対密度の関係を示したものである。この場
合、１５０３Ｋ×７．２Ｋｓの固相焼結においてＦｅ微
粉４０％質量％で相対密度１００％が得られた。
合によって異なるが、表１のＨ２の合金粉末を焼結する
場合では１５２３〜１５５０Ｋ、Ｈ４では１５５０Ｋで
ある。特にＨ４の合金粉末では液相に近い高温焼結で相
対密度１００％が得られた。本発明により得られた焼結
体の相対密度の一例を図２及び図３に示す。図２は表１
の合金成分中のＨ２について粉粒径１０1 未満〜１０-2
μｍのＦｅ微粒粉（カーボニル鉄粉）を用い、その他の
成分は各単独元素の粗粒粉を混合したときのＦｅ微粒粉
の混合量と相対密度の関係を示したものである。この場
合、１５０３Ｋ×７．２Ｋｓの固相焼結においてＦｅ微
粉４０％質量％で相対密度１００％が得られた。
【００１２】図３は表１中の本発明に係わるＨ４の高合
金工具鋼について、高合金工具鋼と同一成分の合金粗粒
粉に高合金工具鋼を成分組成とする単独元素の７種の微
粒粉を混合したときの相対密度の関係を示したものであ
る。圧粉体の相対密度が８４％のものは、微粉末の混合
量が２０質量％、５４％のものは４０質量％、焼結温度
が１５２３Ｋ×７．２Ｋｓの固相焼結において、相対密
度が１００％の焼結体が得られた。
金工具鋼について、高合金工具鋼と同一成分の合金粗粒
粉に高合金工具鋼を成分組成とする単独元素の７種の微
粒粉を混合したときの相対密度の関係を示したものであ
る。圧粉体の相対密度が８４％のものは、微粉末の混合
量が２０質量％、５４％のものは４０質量％、焼結温度
が１５２３Ｋ×７．２Ｋｓの固相焼結において、相対密
度が１００％の焼結体が得られた。
【００１３】図４に示す顕微鏡組織写真は表１のＨ４成
分組成の圧粉体密度８４％の高合金工具鋼を工具製品形
状に成形した場合、真空焼結１５２３Ｋ，焼結時間７．
２Ｋｓの焼結条件にて焼結したときの微粒粉の配合割合
と空隙、空孔の発生、残留状況を示すものである。即
ち、上段は各微粒粉の配合率に対応する焼結体のラップ
加工面の状況、下段は腐食面を示す顕微鏡組織写真であ
る。これによれば、微粒粉０％、１０％ものは空隙、空
孔等（黒い部分）の残留が認められ、相対密度が１００
％に達していないが、微粒粉が２０％、４０％では相対
密度１００％が得られることが分かる。
分組成の圧粉体密度８４％の高合金工具鋼を工具製品形
状に成形した場合、真空焼結１５２３Ｋ，焼結時間７．
２Ｋｓの焼結条件にて焼結したときの微粒粉の配合割合
と空隙、空孔の発生、残留状況を示すものである。即
ち、上段は各微粒粉の配合率に対応する焼結体のラップ
加工面の状況、下段は腐食面を示す顕微鏡組織写真であ
る。これによれば、微粒粉０％、１０％ものは空隙、空
孔等（黒い部分）の残留が認められ、相対密度が１００
％に達していないが、微粒粉が２０％、４０％では相対
密度１００％が得られることが分かる。
【００１４】
【発明の効果】本発明は、上述のように粒径が101 〜10
3 μｍ未満の高合金工具鋼の粗粒粉８０〜２０重量％
に、粒径が101 未満で10-2μｍまでの高合金工具鋼の微
粒粉を２０〜８０％配合し、次いでこれを圧粉成形し、
さらに真空雰囲気中で１５２３〜１５５０Ｋｓの温度で
約１２０分間固相焼結処理し、相対密度１００％の緻密
特性を得たので、粉末冶金法の特徴である形状の自由度
を利用して、直接に工具製品形状の工具を固相焼結する
ことができる。しかも、焼結された高合金工具鋼は緻密
化されたので、鍛造、圧延、機械加工を必要とせず、大
幅なコスト低減が可能となった。さらに、結晶粒の粗大
化や炭化物の溶融、凝集に伴う巨大炭化物の形成等の材
料的な組織欠陥や、材料の強靱性及び工具性能を劣化さ
せることもない。
3 μｍ未満の高合金工具鋼の粗粒粉８０〜２０重量％
に、粒径が101 未満で10-2μｍまでの高合金工具鋼の微
粒粉を２０〜８０％配合し、次いでこれを圧粉成形し、
さらに真空雰囲気中で１５２３〜１５５０Ｋｓの温度で
約１２０分間固相焼結処理し、相対密度１００％の緻密
特性を得たので、粉末冶金法の特徴である形状の自由度
を利用して、直接に工具製品形状の工具を固相焼結する
ことができる。しかも、焼結された高合金工具鋼は緻密
化されたので、鍛造、圧延、機械加工を必要とせず、大
幅なコスト低減が可能となった。さらに、結晶粒の粗大
化や炭化物の溶融、凝集に伴う巨大炭化物の形成等の材
料的な組織欠陥や、材料の強靱性及び工具性能を劣化さ
せることもない。
【図１】表１に示す本発明に係わる各種の高合金工具鋼
粉末について上段で相対密度５４質量％の、下段で８４
質量％の各圧粉体のそれぞれの焼結温度と焼結体の相対
密度の関係図である。
粉末について上段で相対密度５４質量％の、下段で８４
質量％の各圧粉体のそれぞれの焼結温度と焼結体の相対
密度の関係図である。
【図２】本発明により得られた焼結体の相対密度の一例
であって、表１の合金成分Ｈ２について粉粒径１０1 〜
１０-2μｍ未満のＦｅ微粉を用いた場合のＦｅ微粉の混
合量と相対密度の関係図である。
であって、表１の合金成分Ｈ２について粉粒径１０1 〜
１０-2μｍ未満のＦｅ微粉を用いた場合のＦｅ微粉の混
合量と相対密度の関係図である。
【図３】本発明に係わるＨ４の合金粉末の高合金工具鋼
について、粗粒粉と同一成分の高合金工具鋼微粉を混合
したときの相対密度の関係図である。
について、粗粒粉と同一成分の高合金工具鋼微粉を混合
したときの相対密度の関係図である。
【図４】表１のＨ４の高合金工具鋼の微粒粉の種々の混
合率におけるラップ加工面と腐食面の顕微鏡組織写真で
ある。
合率におけるラップ加工面と腐食面の顕微鏡組織写真で
ある。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成３年７月５日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３】
フロントページの続き
(72)発明者 山住 海守
富山県富山市石金20番地 株式会社不二越
内
Claims (4)
- 【請求項１】 粒径が101 〜103 μｍ未満の高合金工具
鋼の粗粒粉８０〜２０重量％に、粒径が101 μｍ未満で
10-2μｍまでの高合金工具鋼の微粒粉を２０〜８０％含
み、相対密度１００％の緻密特性を有する高合金工具鋼
焼結体。 - 【請求項２】 粒径が101 〜103 μｍ未満の高合金工具
鋼の粗粒粉８０〜２０重量％に、粒径が101 μｍ未満で
10-2μｍまでの高合金工具鋼の微粒粉を２０〜８０％配
合し、次いでこれを圧粉成形し、さらに真空雰囲気中で
１５０３〜１５７３Ｋの温度で約１２０分間固相焼結処
理し、相対密度１００％の緻密特性を得ることを特徴と
する高合金工具鋼焼結体の製造方法。 - 【請求項３】 高合金工具鋼の合金粉末の粗粒粉に配合
する微粉を粗粒粉と同一成分の合金粉末、又は組成中の
単独元素の一種若しくは数種の微粉を混合した請求項２
記載の高合金工具鋼焼結体の製造方法。 - 【請求項４】 高合金工具鋼の成分中の単独元素の粗粒
粉を配合した混合粗粒粉に該混合粗粒粉と同一組成の合
金粉末の微粉又は組成中の単独元素の一種若しくは二種
以上の微粉を配合した混合微粉を混合した請求項２記載
の高合金工具鋼焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3187052A JPH059509A (ja) | 1991-07-02 | 1991-07-02 | 高合金工具鋼焼結体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3187052A JPH059509A (ja) | 1991-07-02 | 1991-07-02 | 高合金工具鋼焼結体及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH059509A true JPH059509A (ja) | 1993-01-19 |
Family
ID=16199334
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3187052A Pending JPH059509A (ja) | 1991-07-02 | 1991-07-02 | 高合金工具鋼焼結体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH059509A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005533177A (ja) * | 2002-07-12 | 2005-11-04 | エクス ワン コーポレーション | 混合粉末の固体−超固相液相焼結法 |
| WO2012043227A1 (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-05 | 日立金属株式会社 | モリブデンターゲットの製造方法 |
| US8456014B2 (en) | 2008-10-30 | 2013-06-04 | Sony Corporation | Semiconductor device |
| JP5496078B2 (ja) * | 2008-02-26 | 2014-05-21 | Ｊｘ日鉱日石金属株式会社 | 焼結用Ｓｂ−Ｔｅ系合金粉末及び同粉末の製造方法並びに焼結体ターゲット |
| JP2014095136A (ja) * | 2012-11-12 | 2014-05-22 | Hirosaki Univ | 超微細粉末、高強度鋼焼結体及びそれらの製造方法 |
-
1991
- 1991-07-02 JP JP3187052A patent/JPH059509A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US7070734B2 (en) | 2002-07-12 | 2006-07-04 | The Ex One Company | Blended powder solid-supersolidus liquid phase sintering |
| JP5496078B2 (ja) * | 2008-02-26 | 2014-05-21 | Ｊｘ日鉱日石金属株式会社 | 焼結用Ｓｂ−Ｔｅ系合金粉末及び同粉末の製造方法並びに焼結体ターゲット |
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| TWI460036B (zh) * | 2010-09-30 | 2014-11-11 | Hitachi Metals Ltd | 鉬靶材的製造方法 |
| JP5861839B2 (ja) * | 2010-09-30 | 2016-02-16 | 日立金属株式会社 | モリブデンターゲットの製造方法 |
| US9689067B2 (en) | 2010-09-30 | 2017-06-27 | Hitachi Metals, Ltd. | Method for producing molybdenum target |
| JP2014095136A (ja) * | 2012-11-12 | 2014-05-22 | Hirosaki Univ | 超微細粉末、高強度鋼焼結体及びそれらの製造方法 |
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