JPH0590952U - ダイシング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 回転中のブレードの振れを極力小さくすると
共に、ブレードに付いたコンタミネイションを確実に除
去できるダイシング装置を提供する。 【構成】 駆動モータ１のスピンドル２にフランジ２４
を取り付け、このフランジ２４をフランジ固定用ナット
１１でスピンドル２に位置決め固定する。そして、ブレ
ード３が固着されたハブ５をフランジ２４の外周部に嵌
入し、このハブ５のブレード３をフランジ２４の支持面
２４ｂに当接する。そして、ハブ固定用ナット８でハブ
５を固定して、前記ブレード３をハブ５の外周部５ｂと
フランジ２４の外周部２４ｄとで挟持する。前記ブレー
ド３の表面は、予めＮＣ旋盤等で精度良く加工してお
り、また、前記ハブ５の外周部５ｂと、フランジ２４の
外周部２６ｄの形状をブレード３を挟んで略対称形状に
形成する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案はダイシング装置に係り、特に半導体ウエハをダイス状に切断するダイ シング装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

ダイシング装置で半導体ウエハ（以下「ワーク」と称す）をダイス状に切断す る場合、ワークをカッティングテーブルに吸着し、ダイシング装置の切断刃（以 下「ブレード」と称す）で切断する。 従来、この種のダイシング装置は図３に示すように、駆動モータ１に連結した スピンドル２を回転させることにより、ブレード３を回転させてワーク４を所定 のダイス状に切断する。前記ブレード３は、ドーナツ形に形成されたハブ５の側 面５ａ外周部に固着されている。一方、フランジ６はスピンドル２に固着される 。ハブ５の前記側面５ａは、ＮＣ旋盤等で精度良く加工されており、この側面５ ａを前記フランジ６の支持面６ａに当接することでブレード３のワーク４に対す る垂直精度を保っている。また、ハブ５は、ハブ固定用ナット８をフランジ６の ねじ６ｂにねじ込むことによりフランジ６に固定されている。

【０００３】 尚、符号１１は、前記フランジ６をスピンドル２に固定するフランジ固定用ナ ットである。 一方、回転中のブレード３は、二点鎖線で示す切削水噴射ノズル９から噴き出 される切削水によって冷却され、また、一対の洗浄水供給ノズル１０、１０から 噴き出される洗浄水によってブレード３の両端面に付いたワーク４のコンタミネ イションが除去される。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、従来のダイシング装置のブレード３はハブ５に固着支持されて いるので、ワーク４の切断中にブレード３が振れ易く、ブレード３が振れると切 断されたダイス状チップの切断面に欠けが発生するという欠点がある。 また、従来のダイシング装置では、フランジ６の外周部がハブ５の外周部より も径方向に落ち込んでいるので、切削水及び洗浄水が、ブレード３のハブ５側（ 図３の左側）と比較しフランジ側面（図３の右側）には乗り難くなる。これによ り、ブレード３のフランジ側面に付いたコンタミネイションが落ち難くなり、こ のコンタミネイションがワーク４に付着するという欠点がある。

【０００５】 本考案はこのような事情に鑑みてなされたもので、ブレードの振れを小さくで きると共に、ブレードに付いたコンタミネイションを確実に除去できるダイシン グ装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決する為の手段】

本考案は、前記目的を達成する為に、回転するスピンドルに切断刃取付用フラ ンジを固着し、このフランジに切断刃を有するハブを固着して切断刃を取り付け るダイシング装置に於いて、前記切断刃を前記ハブの外周部と前記フランジの外 周部とで挟持すると共に、切断刃を挟持するハブの外周部とフランジの外周部の 形状を切断刃を挟んで略対称形状に形成したことを特徴とする。

【０００７】

【作用】

本考案によれば、旋盤加工技術の向上で切断刃の表面もハブの側面と同様に精 度良く加工可能になったことに伴い、切断刃をハブの外周部とフランジの外周部 とで挟持するようにした。これにより、切断刃の振れは、ハブに固着支持された 従来の切断刃の振れと比較して、大幅に小さくなる。

【０００８】 また、切断刃を挟持するハブ外周部とフランジ外周部の形状を切断刃を挟んで 略対称形状に形成することによって、切断刃のフランジ側面にも切削水及び洗浄 水が乗り易くなる。これにより、切断刃のフランジ側面に付くコンタミネイショ ンを確実に除去することができる。

【０００９】

【実施例】

以下添付図面に従って本考案に係るダイシング装置の好ましい実施例について 詳説する。 図１、図２には本考案に係るダイシング装置２０の斜視図、断面図が示され、 図３に示した従来例中と同一及び類似の部材については同一の符号を付して説明 する。

【００１０】 ダイシング装置２０は、図２に示すカッティングテーブル２２にシート２３を 介して吸着されたワーク４をファインアライメントし、その後時計回り方向に高 速で回転するブレード３でワーク４を所定のダイス状チップに切断する。そして 、切断時には、切削水噴射ノズル９、洗浄水噴射ノズル１０、１０から噴き出さ れる切削水、洗浄水によってブレード３の冷却、洗浄が行われてワーク４の加工 精度が維持されている。

【００１１】 ところで、ダイシング装置２０は図２に示すように、駆動モータ１にその表面 ２ａがテーパ状に形成されたスピンドル２が連結され、このスピンドル２のテー パ面２ａにフランジ２４の内周テーパ面２４ａが嵌入されてフランジ２４が取り 付けられる。また、前記フランジ２４は、スピンドル２の先端部に螺合されたフ ランジ固定用ナット１１をねじ込むことによってスピンドル２に位置決め固定さ れている。

【００１２】 前記フランジ２４の外周部には、ドーナツ形に形成されたハブ５が嵌入される 。このハブ５は、その側面５ａ外周部に前述したブレード３が固着されており、 該ブレード３はフランジ２４の支持面２４ｂに当接されている。また、ハブ５は 、ハブ固定用ナット８をフランジ２４のねじ２４ｃにねじ込むことによりフラン ジ２４に固定されている。

【００１３】 尚、前記ブレード３の表面は、ブレード３の垂直精度を保つ為に、ＮＣ旋盤等 で予め精度良く加工されている。また、ブレード３を挟持する前記ハブ５の外周 部５ｂとフランジ２４の外周部２４ｄの断面形状は、ブレード３を挟んで略対称 形状に形成されている。 次に、前記の如く構成されたダイシング装置２０の作用について説明する。

【００１４】 先ず、駆動モータ１を駆動し、ブレード３を高速で回転させてワーク４を切断 する。この時、前記ブレード３は、ハブ５の外周部５ｂとフランジ２４の外周部 ２４ｄとで挟持されているので、ブレード３の振れはハブ５に固着支持されてい る従来の振れと比較して、大幅に小さくすることができる。従って、ダイス状チ ップの切断面に生じる欠けを大幅に小さくすることができる。従って、切断巾が 狭く加工出来るので細いストリートを加工することが容易である。

【００１５】 一方、回転中のブレード３には切削水噴射ノズル９、洗浄水噴射ノズル１０、 １０から切削水、洗浄水が噴き付けられている。この切削水、洗浄水は、ブレー ド３を挟持するハブ５の外周部５ｂとフランジ２４の外周部２４ｄの断面形状が ブレード３を挟んで略対称形状に形成されていることにより、ブレード３のフラ ンジ側面（図２の右側）にも乗り易くなる。これにより、ブレード３のフランジ 側面に付くコンタミネイションを、ブレード３のハブ側面（図２の左側）に付く コンタミネイションと同様に除去することができる。

【００１６】

【考案の効果】

以上説明したように本考案に係るダイシング装置によれば、切断刃をハブの外 周部とフランジの外周部とで挟持するようにしたので、ハブに固着支持された従 来の切断刃の振れと比較して、切断刃の振れを大幅に小さくすることができる。 従って、切断巾が狭く加工出来るので細いストリートを加工することが容易で ある。

【００１７】 また、切断刃を挟持するハブの外周部とフランジの外周部の形状を切断刃を挟 んで略対称形状に形成することにより、切断刃のフランジ側面にも切削水及び洗 浄水が乗り易くなるので、切断刃に付くコンタミネイションを確実に除去するこ とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係るダイシング装置の実施例を示す斜
視図

【図２】本考案に係るダイシング装置の実施例を示す断
面図

【図３】従来のダイシング装置の実施例を示す断面図

【符号の説明】

１…駆動モータ ２…スピンドル ３…ブレード ５…ハブ ２０…ダイシング装置 ２４…フランジ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転するスピンドルに切断刃取付用フラ
   ンジを固着し、このフランジに切断刃を有するハブを固
   着して切断刃を取り付けるダイシング装置に於いて、 前記切断刃を前記ハブの外周部と前記フランジの外周部
   とで挟持すると共に、切断刃を挟持するハブの外周部と
   フランジの外周部の形状を切断刃を挟んで略対称形状に
   形成したことを特徴とするダイシング装置。