JPH0588182A - ラビング装置 - Google Patents

ラビング装置

Info

Publication number
JPH0588182A
JPH0588182A JP25102591A JP25102591A JPH0588182A JP H0588182 A JPH0588182 A JP H0588182A JP 25102591 A JP25102591 A JP 25102591A JP 25102591 A JP25102591 A JP 25102591A JP H0588182 A JPH0588182 A JP H0588182A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rubbing
rubbing cloth
cloth
tape
alignment film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP25102591A
Other languages
English (en)
Inventor
Masao Yoshino
正雄 吉野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Casio Computer Co Ltd
Original Assignee
Casio Computer Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Casio Computer Co Ltd filed Critical Casio Computer Co Ltd
Priority to JP25102591A priority Critical patent/JPH0588182A/ja
Publication of JPH0588182A publication Critical patent/JPH0588182A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】全ての基板の配向膜に均一でかつ良好な配向処
理を施すことができるラビング装置を提供する。 【構成】テープ状のラビング布15をラビング布供給部
13からラビング布回収部14に送りながら、このラビ
ング布15をラビング圧付与ローラ16により配向膜a
面に接触させて、配向膜a面を常に新しいラビング布
(テープ状ラビング布の未使用部分)でラビングする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、配向膜のラビング装置
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】液晶表示素子に用いる透明基板の電極形
成面に形成される配向膜は、ポリイミド樹脂等の配向材
で形成されており、この配向膜には、液晶分子を所定の
方向に配列させるための配向処理が施されている。
【0003】この配向処理は、配向膜の膜面を一方向に
ラビングする方法で行なわれており、この配向膜面のラ
ビングは、従来、図4に示したラビング装置によって行
なわれている。
【0004】このラビング装置は、固定ステージ1の上
に配向膜aを形成した基板Aをその配向膜形成面を上に
して載置し、この基板A上の配向膜aの膜面にラビング
ローラ2を接触させて、このラビングローラ2を一方向
に回転させながら配向膜面に沿って平行移動させること
により、配向膜aの膜面を一方向にラビングして行くも
ので、上記ラビングローラ2としては、綿布等の布地4
aにレーヨン、ナイロン等の繊維毛4bを植毛したラビ
ング布4をローラ本体3の外周面に巻付けたものが使用
されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のラビング装置は、ローラ本体3の外周面にラビング
布4を巻付けたラビングローラ2によって配向膜aの膜
面をラビングするものであるため、全ての基板の配向膜
に均一でかつ良好な配向処理を施すことができないとい
う問題をもっていた。
【0006】これは、ラビングローラ外周面のラビング
布4の汚れや、その繊維毛4bの磨耗によるものであ
る。すなわち、配向膜のラビングは、ラビング布4で配
向膜面を擦ることによって行なわれるため、配向膜であ
るポリイミド樹脂膜等の表面がラビング布4で削られ、
この削られた樹脂がラビング布4に付着してラビング布
4が汚れるし、また、ラビング布4の繊維毛4bも、配
向膜との摩擦によって磨耗する。
【0007】そして上記従来のラビング装置は、多数の
基板の配向膜を同じラビングローラ2によってラビング
するものであるため、ラビングの繰返しにより、ラビン
グローラ外周面のラビング布4の汚れや繊維毛4bの磨
耗が進行し、その結果、次にラビングされる配向膜ラビ
ング状態がラビング布4の汚れや繊維毛4bの磨耗によ
って変化して、この配向膜に配向不良が発生する。本発
明の目的は、全ての基板の配向膜に均一でかつ良好な配
向処理を施すことができるラビング装置を提供すること
にある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明のラビング装置
は、ラビング布供給部とラビング布回収部とを有し、前
記ラビング布供給部からテープ状のラビング布を繰出し
てこのラビング布を前記ラビング布回収部に回収するラ
ビング布送り機構と、前記ラビング布供給部から繰出さ
れたラビング布を前記配向膜面に接触させるラビング圧
付与ローラとを備えたことを特徴とするものである。
【0009】
【作用】すなわち、本発明のラビング装置は、テープ状
のラビング布をラビング布供給部からラビング布回収部
に送りながら、このラビング布をラビング圧付与ローラ
により配向膜面に接触させて、配向膜面をラビングする
ものであり、このラビング装置によれば、配向膜面を常
に新しいラビング布(テープ状ラビング布の未使用部
分)でラビングできるから、全ての基板の配向膜に均一
でかつ良好な配向処理を施すことができる。
【0010】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図1および図2を
参照して説明する。
【0011】図1は、本実施例のラビング装置の側面図
であり、このラビング装置は、配向膜aを形成した基板
Aをその配向膜形成面を上にした状態で水平に載置して
水平方向に移動する移動ステージ11と、この移動ステ
ージ11の移動路の上方に配置されたラビング布送り機
構12と、上記基板A上の配向膜a面にラビング布を接
触させるラビング圧付与ローラ16とを備えている。
【0012】上記ラビング布送り機構12は、ラビング
布供給部13とラビング布回収部14とを有し、ラビン
グ布供給部13からテープ状のラビング布15を繰出し
てこのラビング布15をラビング布回収部14に回収す
るもので、ラビング布供給部13には、テープ状ラビン
グ布15を巻付けたラビング布繰出しリール13aが設
けられ、ラビング布回収部14には、上記ラビング布繰
出しリール13aから繰出されるテープ状ラビング布1
5を巻取るラビング布巻取リール14aが設けられてい
る。
【0013】このラビング布送り機構12は、テープ状
ラビング布15を、上記移動ステージ11の移動方向F
と平行でかつ移動ステージ11の移動方向Fに対して逆
方向に送るもので、図示しないが、ラビング布繰出しリ
ール13aにはテープ状ラビング布15にバックテンシ
ョンを与える機構が設けられており、またラビング布巻
取リール14aは図示しないモータおよび減速機により
微速で回転駆動されて、テープ状ラビング布15を一定
速度で巻取るようになっている。
【0014】また、上記テープ状ラビング布15は、図
2に示すように、綿布等からなるテープ状布地15aの
全長および全幅にレーヨン、ナイロン等の繊維毛15b
を植毛したもので、テープ状ラビング布15は、その植
毛面を外側にしてラビング布繰出しリール13aに巻か
れており、このラビング布繰出しリール13aから植毛
面が下面になる状態で繰出されて、ラビング圧付与ロー
ラ16により上記基板A上の配向膜a面に接触される。
【0015】このラビング圧付与ローラ16は、ばね力
により下方に押圧されてテープ状ラビング布15を一定
圧で配向膜a面に接触させるもので、このラビング圧付
与ローラ16は、その軸方向をテープ状ラビング布15
の幅方向と平行にして、上記ラビング布供給部13とラ
ビング布回収部14との中間部に配置されている。な
お、このラビング圧付与ローラ16と、ラビング布供給
部13およびラビング布回収部14のラビング布繰出し
リール13aおよび巻取リール14aは共通のフレーム
(図示せず)に一定の位置関係で支持されている。上記
ラビング装置による配向膜a面のラビングは、次のよう
にして行なう。
【0016】まず、配向膜aを形成した基板Aをその配
向膜形成面を上にして移動ステージ11の上に載置し、
この基板Aを真空吸着等の手段で移動ステージ11に固
定した後、この移動ステージ11を一定速度で移動させ
て、その上の基板Aをその一端側からラビング圧付与ロ
ーラ16の下に送り込む。なお、この実施例では、上記
移動ステージ11を多数台備えておき、この各移動ステ
ージ11に順次基板Aを載置して、ラビング圧付与ロー
ラ16の下に連続的に基板Aを送り込むようにしてい
る。
【0017】一方、ラビング布送り機構12は、上記移
動ステージ11の移動開始に先立って駆動されており、
テープ状ラビング布15を一定速度でラビング布供給部
13からラビング布回収部14に送っている。また、ラ
ビング圧付与ローラ16は、テープ状ラビング布15の
裏面(上面)に一定の接触圧で接触している。なお、こ
のラビング圧付与ローラ16は、フリー回転ローラであ
り、テープ状ラビング布15の送りにともなって同じ速
度で回転する。
【0018】そして、移動ステージ11の移動によりそ
の上の基板Aがラビング圧付与ローラ16の下に送り込
まれてくると、この基板A上の配向膜aの膜面にテープ
状ラビング布15がラビング圧付与ローラ16によって
一定の接触圧で押し付けられ配向膜aの膜面が、移動ス
テージ11の移動にともなって、配向膜aの一端側から
他端側に向かって一方向にラビングされて行く。
【0019】この場合、配向膜a面をテープ状ラビング
布15が擦るため、配向膜aであるポリイミド樹脂膜等
の表面がラビング布15で削られ、この削られた樹脂が
ラビング布15に付着してラビング布15が汚れるが、
上記テープ状ラビング布15は、ラビング布送り機構1
2により常に一定速度で送られているため、テープ状ラ
ビング布15の汚れた部分、つまり使用済み部分は、再
び配向膜a面に触れることなくラビング布回収部14に
巻取回収されて行き、また、配向膜a面の未ラビンブ部
分は、ラビング布供給部13から繰出されてくるテープ
状ラビング布15の未使用部分によってラビングされ
る。
【0020】すなわち、上記ラビング装置は、テープ状
のラビング布15をラビング布供給部13からラビング
布回収部14に送りながら、このラビング布15をラビ
ング圧付与ローラ16により配向膜a面に接触させて、
配向膜a面をラビングするものであり、このラビング装
置によれば、配向膜a面を常に新しいラビング布(テー
プ状ラビング布15の未使用部分)でラビングできるか
ら、全ての基板の配向膜に均一でかつ良好な配向処理を
施すことができる。
【0021】次に、本発明の他の実施例を説明する。こ
の実施例は、ラビング布送り機構12とラビング圧付与
ローラ16とを備えたラビングユニット20を複数台移
動ステージ11の移動方向Fに並べて配置し、移動ステ
ージ11により送られてくる基板A上の配向膜a面を複
数台のラビングユニット20によって繰返しラビングす
るようにしたものである。
【0022】この実施例では、ラビング布送り機構12
を、ラビング布供給部13とラビング布回収部14とを
上下に配置した構造とするとともに、このラビング布供
給部13およびラビング布回収部14の下方にラビング
圧付与ローラ16を配置してラビングユニット20をコ
ンパクト化している。
【0023】なお、この実施例のラビング布送り機構1
2およびラビング圧付与ローラ16は、その配置位置が
異なるだけで、個々の構造は図1および図2に示した実
施例と同じであるから、その説明は図に同符号を付して
省略する。
【0024】この実施例のラビング装置においても、各
ラビングユニット20が、テープ状ラビング布15を送
りながらこのラビング布15をラビング圧付与ローラ1
6により配向膜a面に接触させて配向膜a面をラビング
するものであるため、配向膜a面を常に新しいラビング
布(テープ状ラビング布15の未使用部分)でラビング
でき、したがって、全ての基板の配向膜に均一でかつ良
好な配向処理を施すことができる。
【0025】しかも、この実施例によれば、複数台のラ
ビングユニット20を備えているため、これらラビング
ユニット20のうちの何台かを休止状態(テープ状ラビ
ング布15の送りを停止するとともに、ラビング圧付与
ローラ16を引上げてラビング布15を配向膜a面に接
触させないようにした状態)にして、ラビングユニット
20の使用数を変えてやれば、配向膜a面のラビング回
数を任意に選択することができるから、配向膜a面のラ
ビング密度を制御して、任意の配向処理を施すことがで
きる。
【0026】なお、上記各実施例では、基板Aを移動ス
テージ11により移動させながら基板A上の配向膜a面
をラビングしているが、上記基板Aは固定ステージの上
に載置してもよく、その場合は、ラビング布送り機構1
2およびラビング圧付与ローラ16を基板A面に沿って
一方向に平行移動させながら、基板A上の配向膜a面を
ラビングすればよい。
【0027】
【発明の効果】本発明のラビング装置は、テープ状のラ
ビング布をラビング布供給部からラビング布回収部に送
りながら、このラビング布をラビング圧付与ローラによ
り配向膜面に接触させて、配向膜面をラビングするもの
であるから、配向膜面を常に新しいラビング布(テープ
状ラビング布の未使用部分)でラビングすることがで
き、したがって、全ての基板の配向膜に均一でかつ良好
な配向処理を施すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示すラビング装置の側面
図。
【図2】図1の一部分の拡大図。
【図3】本発明の他の実施例を示すラビング装置の一部
切開側面図。
【図4】従来のラビング装置の側面図。
【符号の説明】
A…基板、a…配向膜、11…移動ステージ、12…ラ
ビング布送り機構、13…ラビング布供給部、13a…
ラビング布繰出しリール、14…ラビング布回収部、1
4a…ラビング布巻取リール、15…テープ状ラビング
布、15a…テープ状布地、15b…繊維毛、16…ラ
ビング圧付与ローラ、20…ラビングユニット。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板上に形成した配向膜の膜面を一方向
    にラビングするラビング装置において、ラビング布供給
    部とラビング布回収部とを有し、前記ラビング布供給部
    からテープ状のラビング布を繰出してこのラビング布を
    前記ラビング布回収部に回収するラビング布送り機構
    と、前記ラビング布供給部から繰出されたラビング布を
    前記配向膜面に接触させるラビング圧付与ローラとを備
    えたことを特徴とするラビング装置。
JP25102591A 1991-09-30 1991-09-30 ラビング装置 Pending JPH0588182A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25102591A JPH0588182A (ja) 1991-09-30 1991-09-30 ラビング装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25102591A JPH0588182A (ja) 1991-09-30 1991-09-30 ラビング装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0588182A true JPH0588182A (ja) 1993-04-09

Family

ID=17216505

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP25102591A Pending JPH0588182A (ja) 1991-09-30 1991-09-30 ラビング装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0588182A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05323320A (ja) * 1992-05-22 1993-12-07 Nec Kagoshima Ltd ラビング装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05323320A (ja) * 1992-05-22 1993-12-07 Nec Kagoshima Ltd ラビング装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6179690B1 (en) Substrate polishing apparatus
KR20080072034A (ko) 카드 클리닝 기구
JP2004122067A (ja) ノズル清掃装置およびこのノズル清掃装置を備えた基板処理装置
JPH0588182A (ja) ラビング装置
JP3992937B2 (ja) ガラス基板のクリーニング装置
KR100453139B1 (ko) 연마장치
JPH0810721A (ja) 清浄装置
CA1234913A (en) Apparatus and method for cleaning a video player/recorder
JPS63302047A (ja) クリ−ニング機構付きスクリ−ン印刷機
JPH09311335A (ja) 液晶表示装置の製造方法及び製造装置
US3158670A (en) Method and means for producing magnetic record members
JPS60259485A (ja) 転写型感熱方式プリンタのインクリボンのインク塗布装置
KR940001209Y1 (ko) 테이프레코더의 핀치롤러장치
JPH0228458A (ja) クリーニング方法及びその装置
US3346898A (en) Device for simultaneously treating both sides of running length film
US3820504A (en) Tape cleaning and lubricating apparatus
JPH02217113A (ja) 極薄板材の切断・巻取り装置
JPH06194664A (ja) ラビング装置
JP3020364U (ja) スリッター処理された細幅長尺状フィルムの巻取装置
JP2000158317A (ja) ラビング方法及びラビング装置
JP2580951Y2 (ja) ラビング装置
JP2007189208A (ja) ベベル処理方法及びベベル処理装置
JPS6351140A (ja) クリ−ニング機構付スクリ−ン印刷機
US4612764A (en) Conditioning arrangement for open-end friction spinning machine
KR950006645Y1 (ko) 반도체 마킹장치의 실리콘 패드 크리닝장치