JPH058418A - サーマルヘツド保護膜の製造方法 - Google Patents
サーマルヘツド保護膜の製造方法Info
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- JPH058418A JPH058418A JP3164492A JP16449291A JPH058418A JP H058418 A JPH058418 A JP H058418A JP 3164492 A JP3164492 A JP 3164492A JP 16449291 A JP16449291 A JP 16449291A JP H058418 A JPH058418 A JP H058418A
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- Electronic Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、ピンホール8やクラックに対する
気密性を向上させ、発熱抵抗体3及び電極4の電解腐食
や酸化を防止し、これによりサーマルヘッド全体の信頼
性を向上させるとともに、サーマルヘッド全体の歩留ま
りを向上させ、コストを低減させることを目的とするも
のである。 【構成】 サーマルヘッド本体5上に第1層保護膜11を
形成した後、第1層保護膜11の表面にラッピング研磨を
行うことにより、第1層保護膜11中から異物を除去し、
この後第2層保護膜12を形成し、サーマルヘッド保護膜
13全体を貫通するピンホール8やクラックの発生を防止
する。
気密性を向上させ、発熱抵抗体3及び電極4の電解腐食
や酸化を防止し、これによりサーマルヘッド全体の信頼
性を向上させるとともに、サーマルヘッド全体の歩留ま
りを向上させ、コストを低減させることを目的とするも
のである。 【構成】 サーマルヘッド本体5上に第1層保護膜11を
形成した後、第1層保護膜11の表面にラッピング研磨を
行うことにより、第1層保護膜11中から異物を除去し、
この後第2層保護膜12を形成し、サーマルヘッド保護膜
13全体を貫通するピンホール8やクラックの発生を防止
する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、サーマルヘッドの表
面に形成され、発熱体や電極などのサーマルヘッド本体
を電解腐食や酸化から保護するサーマルヘッド保護膜の
製造方法に関するものである。
面に形成され、発熱体や電極などのサーマルヘッド本体
を電解腐食や酸化から保護するサーマルヘッド保護膜の
製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図5は例えば特開昭61−54951号
公報及び特開昭61−54952号公報に示されたもの
と同様の従来のサーマルヘッドの断面図である。図にお
いて、1はセラミック基板、2はセラミック基板1上に
形成されている表面円弧状のグレーズ、3はグレーズ2
及びセラミック基板1上に形成されている発熱抵抗体、
4は発熱抵抗体3上に幅70μm程度に形成されている
電極であり、この電極4は、サーマルヘッドの長手方向
(図面に垂直な方向)に沿って10μm程度の間隔をお
いて多数対形成されている。5はセラミック基板1,グ
レーズ2,発熱抵抗体3及び電極4からなるサーマルヘ
ッド本体、6はサーマルヘッド本体5上に形成されてい
るガラス質材料製のサーマルヘッド保護膜であり、数μ
m程度の厚さを有している。
公報及び特開昭61−54952号公報に示されたもの
と同様の従来のサーマルヘッドの断面図である。図にお
いて、1はセラミック基板、2はセラミック基板1上に
形成されている表面円弧状のグレーズ、3はグレーズ2
及びセラミック基板1上に形成されている発熱抵抗体、
4は発熱抵抗体3上に幅70μm程度に形成されている
電極であり、この電極4は、サーマルヘッドの長手方向
(図面に垂直な方向)に沿って10μm程度の間隔をお
いて多数対形成されている。5はセラミック基板1,グ
レーズ2,発熱抵抗体3及び電極4からなるサーマルヘ
ッド本体、6はサーマルヘッド本体5上に形成されてい
るガラス質材料製のサーマルヘッド保護膜であり、数μ
m程度の厚さを有している。
【0003】上記のようなサーマルヘッド保護膜6は、
通常、マグネトロンスパッタにより形成され、発熱抵抗
体3及び電極4などの電解腐食や酸化を防止する。ま
た、サーマルヘッド本体5の形成は、クリーンルーム内
で行われるが、異物7の付着を完全に防止することは困
難である。
通常、マグネトロンスパッタにより形成され、発熱抵抗
体3及び電極4などの電解腐食や酸化を防止する。ま
た、サーマルヘッド本体5の形成は、クリーンルーム内
で行われるが、異物7の付着を完全に防止することは困
難である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記のように構成され
た従来のサーマルヘッドにおいては、サーマルヘッド本
体5上の異物7が使用時に離脱することなどにより、図
6に示すように、サーマルヘッド保護膜6にピンホール
8やクラック(図示せず)が発生し、これにより電極4
の一部が露出したり、この露出した部分にナトリウム,
カリウム又は塩素などのイオン9が付着したりして、電
極4に酸化・電解腐食部4aが発生し、サーマルヘッド
全体の信頼性が低下するという問題点があった。また、
このようなサーマルヘッドでは、電極4の一部に欠陥が
生じただけで、ヘッド全体が不良となり、ヘッド全体の
歩留まりが低下してしまい、コストが高くなるなどの問
題点もあった。
た従来のサーマルヘッドにおいては、サーマルヘッド本
体5上の異物7が使用時に離脱することなどにより、図
6に示すように、サーマルヘッド保護膜6にピンホール
8やクラック(図示せず)が発生し、これにより電極4
の一部が露出したり、この露出した部分にナトリウム,
カリウム又は塩素などのイオン9が付着したりして、電
極4に酸化・電解腐食部4aが発生し、サーマルヘッド
全体の信頼性が低下するという問題点があった。また、
このようなサーマルヘッドでは、電極4の一部に欠陥が
生じただけで、ヘッド全体が不良となり、ヘッド全体の
歩留まりが低下してしまい、コストが高くなるなどの問
題点もあった。
【0005】この発明は、上記のような問題点を解決す
ることを課題としてなされたものであり、サーマルヘッ
ド本体の発熱抵抗体及び電極の電解腐食や酸化を防止す
ることができ、これによりサーマルヘッド全体の信頼性
を向上させることができるとともに、サーマルヘッド全
体の歩留まりを向上させ、コストを低減させることがで
きるサーマルヘッド保護膜の製造方法を得ることを目的
とする。
ることを課題としてなされたものであり、サーマルヘッ
ド本体の発熱抵抗体及び電極の電解腐食や酸化を防止す
ることができ、これによりサーマルヘッド全体の信頼性
を向上させることができるとともに、サーマルヘッド全
体の歩留まりを向上させ、コストを低減させることがで
きるサーマルヘッド保護膜の製造方法を得ることを目的
とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明に係るサーマル
ヘッド保護膜の製造方法は、サーマルヘッド本体上に第
1層保護膜を形成し、次に第1層保護膜を貫通した異物
を第1層保護膜中から除去し、この後第1層保護膜上に
第2層保護膜を形成するものである。
ヘッド保護膜の製造方法は、サーマルヘッド本体上に第
1層保護膜を形成し、次に第1層保護膜を貫通した異物
を第1層保護膜中から除去し、この後第1層保護膜上に
第2層保護膜を形成するものである。
【0007】
【作用】この発明においては、第1層保護膜を形成した
後に第1層保護膜中から異物を除去し、この後第2層保
護膜を形成することにより、サーマルヘッド保護膜全体
を貫通するピンホールが発生するのを防止する。
後に第1層保護膜中から異物を除去し、この後第2層保
護膜を形成することにより、サーマルヘッド保護膜全体
を貫通するピンホールが発生するのを防止する。
【0008】
【実施例】以下、この発明の実施例を図について説明す
る。図1はこの発明の一実施例によるサーマルヘッドの
断面図であり、図5及び図6と同一又は相当部分には同
一符号を付し、その説明を省略する。図において、11は
サーマルヘッド本体5上に形成されている第1層保護
膜、12は第1層保護膜11上に形成されている第2層保護
膜、13は第1層及び第2層保護膜11,12からなるガラス
質材料製のサーマルヘッド保護膜であり、このサーマル
ヘッド保護膜13の厚さは従来とほぼ同様である。また、
第1層保護膜11の膜厚は、例えばサーマルヘッド保護膜
13全体の膜厚の1/3程度である。
る。図1はこの発明の一実施例によるサーマルヘッドの
断面図であり、図5及び図6と同一又は相当部分には同
一符号を付し、その説明を省略する。図において、11は
サーマルヘッド本体5上に形成されている第1層保護
膜、12は第1層保護膜11上に形成されている第2層保護
膜、13は第1層及び第2層保護膜11,12からなるガラス
質材料製のサーマルヘッド保護膜であり、このサーマル
ヘッド保護膜13の厚さは従来とほぼ同様である。また、
第1層保護膜11の膜厚は、例えばサーマルヘッド保護膜
13全体の膜厚の1/3程度である。
【0009】次に、上記のサーマルヘッド保護膜13の製
造方法について説明する。まず、図2に示すように、サ
ーマルヘッド本体5上にマグネトロンスパッタ等により
第1層保護膜11を形成する。次に、第1層保護膜11の表
面を研磨(ラッピング)する。これにより、サーマルヘ
ッド本体5上に付着し第1層保護膜11を貫通した異物7
は、図3に示すように、第1層保護膜11中から完全に除
去、又は第1層保護膜11中から除去されてその表面上に
移動される。従って、第1層保護膜11には、ピンホール
8が発生する。この後、図4に示すように、第1層保護
膜11上に第1層保護膜11と同様にして第2層保護膜12を
形成する。
造方法について説明する。まず、図2に示すように、サ
ーマルヘッド本体5上にマグネトロンスパッタ等により
第1層保護膜11を形成する。次に、第1層保護膜11の表
面を研磨(ラッピング)する。これにより、サーマルヘ
ッド本体5上に付着し第1層保護膜11を貫通した異物7
は、図3に示すように、第1層保護膜11中から完全に除
去、又は第1層保護膜11中から除去されてその表面上に
移動される。従って、第1層保護膜11には、ピンホール
8が発生する。この後、図4に示すように、第1層保護
膜11上に第1層保護膜11と同様にして第2層保護膜12を
形成する。
【0010】このようなサーマルヘッド保護膜13の製造
方法では、第1層保護膜11のピンホール8は第2層保護
膜11により埋められる。また、異物7は平面的には微小
なものであり、第1層及び第2層保護膜11,12のピンホ
ール11が互いに重なることは殆どないので、第2層保護
膜12のピンホール8の下には第1層保護膜11が存在す
る。従って、第1層及び第2層保護膜11,12の形成時に
異物7が付着する確率は従来と同様であるが、サーマル
ヘッド保護膜13全体を貫通するピンホール8が発生する
確率は極めて低くなり、ほぼ完全に防止される。
方法では、第1層保護膜11のピンホール8は第2層保護
膜11により埋められる。また、異物7は平面的には微小
なものであり、第1層及び第2層保護膜11,12のピンホ
ール11が互いに重なることは殆どないので、第2層保護
膜12のピンホール8の下には第1層保護膜11が存在す
る。従って、第1層及び第2層保護膜11,12の形成時に
異物7が付着する確率は従来と同様であるが、サーマル
ヘッド保護膜13全体を貫通するピンホール8が発生する
確率は極めて低くなり、ほぼ完全に防止される。
【0011】このため、従来と同一の製造設備を使用す
るにも拘わらず、サーマルヘッド本体5の電解腐食や酸
化がより確実に防止され、サーマルヘッド全体の信頼性
が向上する。また、サーマルヘッドの不良が減少するた
め、サーマルヘッド全体としての歩留まりが向上し、コ
ストが低減される。
るにも拘わらず、サーマルヘッド本体5の電解腐食や酸
化がより確実に防止され、サーマルヘッド全体の信頼性
が向上する。また、サーマルヘッドの不良が減少するた
め、サーマルヘッド全体としての歩留まりが向上し、コ
ストが低減される。
【0012】なお、上記実施例ではラッピングにより第
1層保護膜11中から異物7を除去したが、例えば洗浄な
ど、他の方法で除去してもよい。また、上記実施例では
第1層及び第2層保護膜11,12を同材質で同じ方法によ
り形成したが、異なる材質,方法で形成してもよい。さ
らに、サーマルヘッド保護膜13全体の膜厚なども特に限
定されるものではない。
1層保護膜11中から異物7を除去したが、例えば洗浄な
ど、他の方法で除去してもよい。また、上記実施例では
第1層及び第2層保護膜11,12を同材質で同じ方法によ
り形成したが、異なる材質,方法で形成してもよい。さ
らに、サーマルヘッド保護膜13全体の膜厚なども特に限
定されるものではない。
【0013】
【発明の効果】以上説明したように、この発明のサーマ
ルヘッド保護膜の製造方法は、サーマルヘッド本体上に
第1層保護膜を形成した後、第1層保護膜中から異物を
除去し、この後第2層保護膜を形成するようにしたの
で、サーマルヘッド保護膜全体を貫通するピンホールや
クラックの発生が防止され、これによりピンホールやク
ラックに対する気密性が向上し、発熱抵抗体及び電極の
電解腐食や酸化を防止することができ、この結果サーマ
ルヘッド全体の信頼性を向上させることができ、またサ
ーマルヘッド全体の歩留まりを向上させ、コストを低減
させることができるなどの効果を奏する。
ルヘッド保護膜の製造方法は、サーマルヘッド本体上に
第1層保護膜を形成した後、第1層保護膜中から異物を
除去し、この後第2層保護膜を形成するようにしたの
で、サーマルヘッド保護膜全体を貫通するピンホールや
クラックの発生が防止され、これによりピンホールやク
ラックに対する気密性が向上し、発熱抵抗体及び電極の
電解腐食や酸化を防止することができ、この結果サーマ
ルヘッド全体の信頼性を向上させることができ、またサ
ーマルヘッド全体の歩留まりを向上させ、コストを低減
させることができるなどの効果を奏する。
【図1】この発明の一実施例によるサーマルヘッドの断
面図である。
面図である。
【図2】図1のサーマルヘッド保護膜の第1層保護膜を
形成した状態を示す断面図である。
形成した状態を示す断面図である。
【図3】図1のサーマルヘッド保護膜の第1層保護膜を
ラッピングした状態を示す断面図である。
ラッピングした状態を示す断面図である。
【図4】図1のサーマルヘッド保護膜の第1層保護膜を
形成した状態を示す断面図である。
形成した状態を示す断面図である。
【図5】従来のサーマルヘッドの一例の断面図である。
【図6】図5のサーマルヘッド保護膜にピンホールが生
じた状態を示す断面図である。
じた状態を示す断面図である。
3 発熱抵抗体 4 電極 5 サーマルヘッド本体 7 異物 11 第1層保護膜 12 第2層保護膜 13 サーマルヘッド保護膜
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項1】 発熱抵抗体及び電極を有するサーマルヘ
ッド本体上に第1層保護膜を形成し、次に前記第1層保
護膜を貫通した異物を前記第1層保護膜中から除去し、
この後前記第1層保護膜上に第2層保護膜を形成するこ
とを特徴とするサーマルヘッド保護膜の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3164492A JP2634332B2 (ja) | 1991-07-04 | 1991-07-04 | サーマルヘッド保護膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3164492A JP2634332B2 (ja) | 1991-07-04 | 1991-07-04 | サーマルヘッド保護膜の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH058418A true JPH058418A (ja) | 1993-01-19 |
JP2634332B2 JP2634332B2 (ja) | 1997-07-23 |
Family
ID=15794190
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3164492A Expired - Lifetime JP2634332B2 (ja) | 1991-07-04 | 1991-07-04 | サーマルヘッド保護膜の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2634332B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6081287A (en) * | 1997-04-22 | 2000-06-27 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Thermal head method of manufacturing the same |
US6137520A (en) * | 1997-07-17 | 2000-10-24 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Thermal head |
RU2510561C2 (ru) * | 2009-07-30 | 2014-03-27 | Мицуба Корпорейшн | Электродвигатель с редуктором |
US10576752B2 (en) | 2016-03-29 | 2020-03-03 | Kyocera Corporation | Thermal head and thermal printer |
-
1991
- 1991-07-04 JP JP3164492A patent/JP2634332B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6081287A (en) * | 1997-04-22 | 2000-06-27 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Thermal head method of manufacturing the same |
US6175377B1 (en) | 1997-04-22 | 2001-01-16 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Thermal head and method of manufacturing the same |
US6137520A (en) * | 1997-07-17 | 2000-10-24 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Thermal head |
RU2510561C2 (ru) * | 2009-07-30 | 2014-03-27 | Мицуба Корпорейшн | Электродвигатель с редуктором |
US10576752B2 (en) | 2016-03-29 | 2020-03-03 | Kyocera Corporation | Thermal head and thermal printer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2634332B2 (ja) | 1997-07-23 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |