JPH0582468B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は真空蒸着、スパツタリングその他の真
空処理装置における真空処理槽内を所謂エアブロ
ーによりクリーニングする装置に関する。

（従来の技術） 本願出願人は、先にこの種装置として、真空ポ
ンプその他の真空排気系に連なる真空処理槽に、
ブロアとフイルタとを有する一側の給気通路と、
その他側の排気通路とを接続させ、該ブロアの作
動によれば、空気その他の気体、該給気通路から
該処理槽内を介して該排気通路に導かれて、該処
理槽内のダスト粒子がこれに伴われるようにした
式のもの、これを換言すれば、エアフロー式のク
リーニング手段を提案した。

（発明が解決しようとする問題点） 然し乍ら、かかるものでは、該処理槽内の該気
体の流れが、所謂定常流となつて壁面付近に境界
層を生じ、これが時には数10ミクロンの厚さとな
り、かくて、問題とされる１ミクロン以下のダス
ト粒子に対し有効に作用しないことが考えられ
る。

（問題点を解決するための手段） 本発明はかかる不都合のない装置、即ち境界層
の発生による不都合を無くす装置を得ることをそ
の目的としたもので、真空ポンプその他の真空排
気系に連なる真空処理槽に、ブロアとフイルタを
有する一側の給気通路と、その他側の排気通路と
を接続させ、該ブロアの作動によれば、空気その
他の気体が、該給気通路から該処理槽内を介して
該排気通路に導かれて該処理槽内のダスト粒子が
これに伴われるようにした式のものにおいて、衝
撃波又は圧力波の発生源を備え、これを適宜作動
させて該処理槽内を導かれる該気体に該衝撃波又
は圧力波を作用させるようにして成る。

（実施例） 本発明の実施例を別紙図面に付説明する。

第１図はその１例を示すもので、１は真空処理
装置を構成すべき真空処理槽を示し、該処理槽１
は真空ポンプその他の真空排気系２とリークバル
ブ３とを備えると共に、その内部にウエハその他
のワークを出入自在に収容すべく構成されたもの
で、この点は従来のものと特に異ならない。

先の提案によれば、これにエアブロー式のクリ
ーニング作用を与えるべく、該処理槽１にブロア
４と、高性能のフイルタ５とを有する一側の給気
通路６と、その他側の排気通路７とを備え、かく
て該ブロア４の作動によれば、外部の空気がフイ
ルタ５で浄化されて該給気通路６から、該処理槽
１内を介して該排気通路７に導かれてこれに該処
理槽１内のダスト粒子が伴われるもので、更に詳
細には、該処理槽１内のダスト粒子は、該給気通
路６から比較的高速で導かれる該空気により舞い
上りを生じ、次で該空気に伴われて該排気通路７
から排出されるようにし、これを換言すれば、該
処理槽１内に所謂エアブロー式のクリーニング作
用を与えられるようにした。

両通路６，７にはこれを開閉する各バルブ８，
９が介入されると共に、該排気通路６にはその上
流端にも高性能のフイルタ１０が備えられるよう
にした。

以上は先に提案したものと特に異ならないが、
本発明によれば衝撃波又は圧力波の発生源１１を
備え、これを適宜作動させて該処理槽１内に導か
れる前記した気体に該衝撃波又は圧力波を作用さ
せるようにした。

図示のものでは、該発生源１１は間歇的に開閉
制御される制御弁１１ａと、該弁１１ａを介して
前記した給気通路６に連なる比較的高圧のN₂そ
の他の気体の供給源１１ｂとから成り、該制御弁
１１ａの開閉毎にその出力側に該気体の衝撃波又
は圧力波が生ずるようにした。この衝撃波又は圧
力波は該通路６を介して該処理室１内に導かれる
もので、該室１内に前記した空気が定常流となつ
てそれによる境界層が存する場合、該衝撃波又は
圧力波は該層を破つてその内部の壁面上のダスト
粒子に作用してこれを舞い上らせるべく機能す
る。

第２図は他の１例を示すもので、該給気通路６
の上流端に該排気通路７の下流端を連結して全体
として循環路とし、これに空気に代えて外部の供
給源１２から導かれるN₂その他の不活性ガスを
循環させる型式とするもので、この点は先に提案
したものと特に異ならないが、本発明によれば、
これに前記した発生源１１を備えるようにした。
該発生源１１は先の実施例と略同様に間歇的に開
放制御される制御弁１１ａと、該弁１１ａを介し
て該通路６に連なる供給源１１ｂとから成るもの
で、図示のものでは該供給源１２を前記した供給
源１２と共用させるようにした。

該供給源１２は前記した循環路に開閉自在のバ
ルブ１３を介して連なるものとし、更に該供給源
１１ｂは該制御弁１１ａにバルブ１４とフイルタ
１５とを介して連なるようにした。

尚該発生源１１は前記した第１図或は第２図示
のものに限ることなく、例えば第３図或は第４図
示のものとすることも可能である。即ち第３図示
のものでは、該発生源１１は該処理槽１内に連な
る空間１１ｃ内の奥部を放物面１１ｄに形成させ
ると共にその焦点位置に自動車の点火プラグに類
する火花発生器１１ｅを備える型式とし、かくて
該発生器１１ｅの作動毎に生ずる圧力波は該放物
面１１ｄで反射されて該空間１１ｃ内を介して該
処理槽１内に導かれるもので略同様の作動を得ら
れる。

更に第４図示のものでは、該発生源１１は該処
理槽１内の抵抗線１１ｆと、これに連なる電源１
１ｇとから成る型式とし、かくて該抵抗線１１ｆ
は通電によれば加熱されて断線し、該断線によれ
ば圧力波が円筒状に生ずるもので略同様の作動を
得られる。

（作用） その作動を例えば第１図示のにものにつき説明
するに、該ブロア４の作動によれば、外部の空気
がこれに引かれて該吸気通路６から該処理槽１内
を介して該排気通路７に導かれると共に、該槽１
内のダスト粒子は該空気の流れを作用されて舞い
上つて該空気に伴われて外部に排出されるもの
で、この点は先に提案したものと特に異らない
が、かかるエアブロー式の作動によれば該空気の
流れは該槽１内で定常流となつて壁面付近に境界
槽を生じその厚さによつてはダスト粒子に対し有
効に作用しないことが考えられ、この場合に備え
て、該発生源１１を間歇的に或は連続的に作動さ
せる。かくて生ずる衝撃波又は圧力波は該処理槽
１内の空気に作用して、壁面付近にその境界層が
存する場合、これを打破つてその内部のダスト粒
子に作用し、これを舞い上らせることが出来、こ
れを換言すれば、クリーニング効果を一層良好に
することが可能である。

その効果を確認するため、発明者は次の実験を
行つた。即ちダスト粒子を付着させたウエハを用
意し、これを第１図示の実施例におけるバルブ８
の個所、即ち該バルブ８を取外してその個所にセ
ツトし、この状態からブロア４による空気流と、
該発生源１１による衝撃波とを作用させた。その
結果、ウエハに多数付着していたダスト粒子の殆
んどを舞い上らせて除去することが出来た。尚、
空気流のみでは、該粒子は殆ど除去出来なかつ
た。

（発明の効果） このように本発明によるときは、空気その他の
気体を給気通路から真空処理槽内を介して排気通
路に導かせて該槽内に所謂エアブロー式のクリー
ニング作用を与える式のものにおいて、別個に衝
撃波又は圧力波の発生源を備え、生ずる該波を該
槽内の該気体に作用させるもので、該槽内の該気
体の流れが定常となつて壁面付近に境界層を生ず
る場合、該波はこれを打破つてその内部のダスト
粒子を舞い上らせるべく有効に作用し、かくてク
リーニング効果を著しく向上させ得られ、その構
成は単に発生源を加えるのみで比較的簡単であ
り、廉価に得られる等の効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明装置の１例の説明線図、第２図
は他の１例の説明線図、第３図及び第４図は衝撃
波又は圧力波の発生源の変形例の説明線図であ
る。 １……真空処理槽、２……真空排気系、４……
ブロア、５……フイルタ、６……給気通路、７…
…排気通路、１１……衝撃波又は圧力波の発生
源。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 真空ポンプその他の真空排気系に連なる真空
   処理槽に、ブロアとフイルタとを有する一側の給
   気通路と、その他側の排気通路とを接続させ、該
   ブロアの作動によれば、空気その他の気体が、該
   給気通路から該処理槽内を介して該排気通路に導
   かれて該処理槽内のダスト粒子がこれに伴われる
   ようにした式のものにおいて、衝撃波又は圧力波
   の発生源を備え、これを適宜作動させて該処理槽
   内を導かれる該気体に該衝撃波又は圧力波を作用
   させるようにして成る真空処理槽のクリーニング
   装置。