JPH0575328B2 - - Google Patents
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- JPH0575328B2 JPH0575328B2 JP62263103A JP26310387A JPH0575328B2 JP H0575328 B2 JPH0575328 B2 JP H0575328B2 JP 62263103 A JP62263103 A JP 62263103A JP 26310387 A JP26310387 A JP 26310387A JP H0575328 B2 JPH0575328 B2 JP H0575328B2
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- JP
- Japan
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- calculation means
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- displacement
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- image sensor
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 30
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/30—Hydrogen technology
- Y02E60/50—Fuel cells
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Description
〔産業上の利用分野〕
本発明は、レーザ光などの光を使用してターゲ
ツトの変位量を測定する光学式変位測定装置に関
するものである。 〔従来の技術〕 この種の光学式変位測定装置の一例としては、
第５図に示す如き装置が実用化されている。図に
おいて、TGはＸ，Ｙの二方向（以下、これを変
位軸という）に変位するターゲツト、１はレーザ
光などの光を出射する光源、２１，２２はハーフ
ミラー、３１，３２はレンズ、４は絞り、５X，
５Yはフオトダイオードアレイよりなるイメージ
センサ、６はイメージセンサ５X，５Yの出力から
ターゲツトTGの変位量に応じた出力信号を発生
する信号処理回路である。また、ターゲツトTG
の表面には、変位量の検出を容易にするために、
格子模様の書かれた再帰反射性のテープが貼られ
ている。このテープは格子模様の方向がそれぞれ
ターゲツトTGの変位軸Ｘ，Ｙと一致するように
位置決めされている。図に示す装置は、イメージ
センサ５X，５Y上にターゲツトTGの像を結ばせ、
その像の動きをイメージセンサ５X，５Yにより直
接検出するようにしたものである。イメージセン
サ５X，５Yはそれぞれ像の変位軸Ｘ方向または変
位軸Ｙ方向の動きに対して感度を持つように配置
されている。以下、イメージセンサ５X，５Yにお
いて、感度を持つ方向を検出軸という。すなわ
ち、光源１から出射された光は、ハーフミラー２
１を介してターゲツトTGに照射され、ターゲツ
トTGにより反射された光は、ハーフミラー２１
を通過した後、レンズ３１、絞り４およびレンズ
３２を通り、ハーフミラー２２で２つの分けら
れ、それぞれイメージセンサ５X，５Y上にターゲ
ツトTGの像（格子像）を結ぶ。 第６図はイメージセンサ５X，５Y上に結像する
格子像における光強度の分布状態と、イメージセ
ンサ５X，５Yを構成するフオトダイオードアレイ
との関係を示したものである。図は、８素子のフ
オトダイオードPD1〜PD8によりフオトダイオー
ドアレイの１ピツチを構成する場合を例示してい
る。フオトダイオードアレイをこのように接続す
ると、フオトダイオードの配列ピツチＰに応じた
空間フイルタ特性を持たせることができる。 したがつて、フオトダイオードPD1〜PD8を順
次走査すると、光強度の分布（格子像）に応じた
信号波形を得ることができる。ここで、格子像は
ターゲツトTGの変位に応じて矢印の方向に移動
するので、この信号波形の位相変化を検出すれ
ば、ターゲツトTGの変位量を知ることができ
る。また、このような光学式変位測定装置でで
は、格子像のピツチをフオトダイオードアレイの
ピツチと一致させることにより、空間フイルタの
検出信号レベルを高くして、Ｓ／Ｎを向上させる
ことができる。 〔発明が解決しようとする問題点〕 しかしながら、このような光学式変位測定装置
においては、イメージセンサ５X，５Yにおける検
出軸の方向と格子像における変位軸Ｘ，Ｙの方向
とがそれぞれ一致していないと、例えば第７図に
示す如く、フオトダイオードアレイの配列パター
ンと格子像の縞とが斜めに交差するようになり、
Ｓ／Ｎが低下したり、変位軸Ｘ，Ｙの分離（クロ
ストーク）が悪くなり、測定誤差を生じてしま
う。 従来、このような格子像の変位軸Ｘ，Ｙとイメ
ージセンサ５X，５Yの検出軸との関係を知る有効
な方法はなく、この種の測定誤差を完全に無くす
ことができなかつた。 本発明は、上記のような従来装置の欠点をなく
し、格子像の変位軸とイメージセンサの検出軸と
のずれを測定、表示し、検出軸の軸合せを容易に
行なうことのできる光学式変位測定装置を簡単な
構成により実現することを目的としたものであ
る。 〔問題点を解決するための手段〕 本発明の光学式変位測定装置は、格子模様の書
かれた再帰反射性のテープが貼られたターゲツト
に光を照射するとともにその反射光を利用してイ
メージセンサ上にターゲツトの像を結ばせターゲ
ツトの変位に応じた結像の動きをイメージセンサ
により検出するようにした光学式変位測定装置に
おいて、空間フイルタ特性を持つように複数のフ
オトダイオードを一列に配置したイメージセンサ
と、このイメージセンサを含む検出光学系をその
光軸を中心として回転可能に支持する支持機構
と、前記複数のフオトダイオードの出力にその素
子の空間フイルタ上の位置に応じて正弦波状に変
化する乗率を乗じて加算する第１の演算手段と、
前記複数のフオトダイオードの出力にその素子の
空間フイルタ上の位置に応じて余弦波状に変化す
る乗率を乗じて加算する第２の演算手段と、これ
ら第１の演算手段の出力V1と第２の演算手段の
出力V2との比のアークタンジエントtan-1（V1／
V2）を求める第３の演算手段と、前記第１およ
び第２の演算手段の出力から√1 2＋2 2の演算
を行なう第４の演算手段と、この第４の演算手段
により得られる出力の大きさを表示する表示手段
とを具備し、前記第３の演算手段の出力から前記
ターゲツトの変位量を求めることを特徴としたも
のである。 〔作 用〕 このように、イメージセンサを構成する複数の
フオトダイオードの出力を、それぞれその位置に
応じた乗数を乗じて加算し、この出力を利用して
ターゲツトの変位量を算出するようにすると、フ
オトダイオードの出力をスイツチなどにより走査
する必要がなくなり、スイツチングノイズなどの
影響を受けない光学式変位測定装置を実現するこ
とができる。また、第４の演算手段により得られ
る出力√1 2＋2 2はイメージセンサに入射する
光の強度に対応しており、格子像における変位軸
の方向とイメージセンサにおける検出軸の方向と
が一致した時に最大となるので、この出力から変
位軸と検出軸とのずれを測定することができ、こ
の大きさを表示手段によりモニタしながらイメー
ジセンサを含む検出光学系をその光軸を中心とし
て回転させれば、検出軸の軸合せを容易に行なう
ことができる。 〔実施例〕 第１図は本発明の光学式変位測定装置の一実施
例を示す構成図である。図において、前記第５図
と同様のものは同一符号を付して示す。５０はイ
メージセンサ５X，５Yを含む検出光学系をその光
軸を中心として回転可能に支持する支持機構であ
る。また、第２図はこの支持機構５０の一実施例
を示す構成図である。図において、５１は検出光
学系が組み込まれた筺体５１，５２はこの筺体５
１に取り付けられた回転リング、５３はこの回転
リング５２を介して筺体５１を回転可能に支持す
るガイドである。なお、イメージセンサ５X，５Y
はその検出軸が光学的に直交するように配置され
ている。 したがつて、この検出光学系をその光軸を中心
として回転させると、イメージセンサ５X，５Yに
おける検出軸の向きを、同時に格子像における変
位軸Ｘ，Ｙの向きに合わせることができ、検出軸
の軸合めを容易に行なうことができる。 第３図は本発明の光学式変位測定装置における
信号処理回路の一実施例を示す構成図であり、タ
ーゲツトTGにおける２つの変位軸Ｘ，Ｙのう
ち、Ｘ軸方向の変位量に対する測定回路を例示し
たものである。図において、前記第５図および第
６図と同様様のものは同一符号を付して示す。イ
メージセンサ５Xは４つのフオトダイオードPD1
〜PD4を空間フイルタの１ピツチとするように接
続されている。７1は加算点であり、フオトダイ
オードPD1〜PD4の出力にその素子の空間フイル
タ上の位置に応じて正弦波状に変化する乗率Siを
乗じて加算する第１の演算手段を構成している。
同様に、加算点７2は、フオトダイオードPD1〜
PD4の出力にその素子に空間フイルタ上の位置に
応じて余弦波状に変化する乗率Ciを乗じて加算す
る第２の演算手段を構成している。ここで、４つ
のフオトダイオードPD1〜PD4における空間フイ
ルタ上の位置（位相）およこれに応じた乗率Si，
Ciは、下表のように定められている。
ツトの変位量を測定する光学式変位測定装置に関
するものである。 〔従来の技術〕 この種の光学式変位測定装置の一例としては、
第５図に示す如き装置が実用化されている。図に
おいて、TGはＸ，Ｙの二方向（以下、これを変
位軸という）に変位するターゲツト、１はレーザ
光などの光を出射する光源、２１，２２はハーフ
ミラー、３１，３２はレンズ、４は絞り、５X，
５Yはフオトダイオードアレイよりなるイメージ
センサ、６はイメージセンサ５X，５Yの出力から
ターゲツトTGの変位量に応じた出力信号を発生
する信号処理回路である。また、ターゲツトTG
の表面には、変位量の検出を容易にするために、
格子模様の書かれた再帰反射性のテープが貼られ
ている。このテープは格子模様の方向がそれぞれ
ターゲツトTGの変位軸Ｘ，Ｙと一致するように
位置決めされている。図に示す装置は、イメージ
センサ５X，５Y上にターゲツトTGの像を結ばせ、
その像の動きをイメージセンサ５X，５Yにより直
接検出するようにしたものである。イメージセン
サ５X，５Yはそれぞれ像の変位軸Ｘ方向または変
位軸Ｙ方向の動きに対して感度を持つように配置
されている。以下、イメージセンサ５X，５Yにお
いて、感度を持つ方向を検出軸という。すなわ
ち、光源１から出射された光は、ハーフミラー２
１を介してターゲツトTGに照射され、ターゲツ
トTGにより反射された光は、ハーフミラー２１
を通過した後、レンズ３１、絞り４およびレンズ
３２を通り、ハーフミラー２２で２つの分けら
れ、それぞれイメージセンサ５X，５Y上にターゲ
ツトTGの像（格子像）を結ぶ。 第６図はイメージセンサ５X，５Y上に結像する
格子像における光強度の分布状態と、イメージセ
ンサ５X，５Yを構成するフオトダイオードアレイ
との関係を示したものである。図は、８素子のフ
オトダイオードPD1〜PD8によりフオトダイオー
ドアレイの１ピツチを構成する場合を例示してい
る。フオトダイオードアレイをこのように接続す
ると、フオトダイオードの配列ピツチＰに応じた
空間フイルタ特性を持たせることができる。 したがつて、フオトダイオードPD1〜PD8を順
次走査すると、光強度の分布（格子像）に応じた
信号波形を得ることができる。ここで、格子像は
ターゲツトTGの変位に応じて矢印の方向に移動
するので、この信号波形の位相変化を検出すれ
ば、ターゲツトTGの変位量を知ることができ
る。また、このような光学式変位測定装置でで
は、格子像のピツチをフオトダイオードアレイの
ピツチと一致させることにより、空間フイルタの
検出信号レベルを高くして、Ｓ／Ｎを向上させる
ことができる。 〔発明が解決しようとする問題点〕 しかしながら、このような光学式変位測定装置
においては、イメージセンサ５X，５Yにおける検
出軸の方向と格子像における変位軸Ｘ，Ｙの方向
とがそれぞれ一致していないと、例えば第７図に
示す如く、フオトダイオードアレイの配列パター
ンと格子像の縞とが斜めに交差するようになり、
Ｓ／Ｎが低下したり、変位軸Ｘ，Ｙの分離（クロ
ストーク）が悪くなり、測定誤差を生じてしま
う。 従来、このような格子像の変位軸Ｘ，Ｙとイメ
ージセンサ５X，５Yの検出軸との関係を知る有効
な方法はなく、この種の測定誤差を完全に無くす
ことができなかつた。 本発明は、上記のような従来装置の欠点をなく
し、格子像の変位軸とイメージセンサの検出軸と
のずれを測定、表示し、検出軸の軸合せを容易に
行なうことのできる光学式変位測定装置を簡単な
構成により実現することを目的としたものであ
る。 〔問題点を解決するための手段〕 本発明の光学式変位測定装置は、格子模様の書
かれた再帰反射性のテープが貼られたターゲツト
に光を照射するとともにその反射光を利用してイ
メージセンサ上にターゲツトの像を結ばせターゲ
ツトの変位に応じた結像の動きをイメージセンサ
により検出するようにした光学式変位測定装置に
おいて、空間フイルタ特性を持つように複数のフ
オトダイオードを一列に配置したイメージセンサ
と、このイメージセンサを含む検出光学系をその
光軸を中心として回転可能に支持する支持機構
と、前記複数のフオトダイオードの出力にその素
子の空間フイルタ上の位置に応じて正弦波状に変
化する乗率を乗じて加算する第１の演算手段と、
前記複数のフオトダイオードの出力にその素子の
空間フイルタ上の位置に応じて余弦波状に変化す
る乗率を乗じて加算する第２の演算手段と、これ
ら第１の演算手段の出力V1と第２の演算手段の
出力V2との比のアークタンジエントtan-1（V1／
V2）を求める第３の演算手段と、前記第１およ
び第２の演算手段の出力から√1 2＋2 2の演算
を行なう第４の演算手段と、この第４の演算手段
により得られる出力の大きさを表示する表示手段
とを具備し、前記第３の演算手段の出力から前記
ターゲツトの変位量を求めることを特徴としたも
のである。 〔作 用〕 このように、イメージセンサを構成する複数の
フオトダイオードの出力を、それぞれその位置に
応じた乗数を乗じて加算し、この出力を利用して
ターゲツトの変位量を算出するようにすると、フ
オトダイオードの出力をスイツチなどにより走査
する必要がなくなり、スイツチングノイズなどの
影響を受けない光学式変位測定装置を実現するこ
とができる。また、第４の演算手段により得られ
る出力√1 2＋2 2はイメージセンサに入射する
光の強度に対応しており、格子像における変位軸
の方向とイメージセンサにおける検出軸の方向と
が一致した時に最大となるので、この出力から変
位軸と検出軸とのずれを測定することができ、こ
の大きさを表示手段によりモニタしながらイメー
ジセンサを含む検出光学系をその光軸を中心とし
て回転させれば、検出軸の軸合せを容易に行なう
ことができる。 〔実施例〕 第１図は本発明の光学式変位測定装置の一実施
例を示す構成図である。図において、前記第５図
と同様のものは同一符号を付して示す。５０はイ
メージセンサ５X，５Yを含む検出光学系をその光
軸を中心として回転可能に支持する支持機構であ
る。また、第２図はこの支持機構５０の一実施例
を示す構成図である。図において、５１は検出光
学系が組み込まれた筺体５１，５２はこの筺体５
１に取り付けられた回転リング、５３はこの回転
リング５２を介して筺体５１を回転可能に支持す
るガイドである。なお、イメージセンサ５X，５Y
はその検出軸が光学的に直交するように配置され
ている。 したがつて、この検出光学系をその光軸を中心
として回転させると、イメージセンサ５X，５Yに
おける検出軸の向きを、同時に格子像における変
位軸Ｘ，Ｙの向きに合わせることができ、検出軸
の軸合めを容易に行なうことができる。 第３図は本発明の光学式変位測定装置における
信号処理回路の一実施例を示す構成図であり、タ
ーゲツトTGにおける２つの変位軸Ｘ，Ｙのう
ち、Ｘ軸方向の変位量に対する測定回路を例示し
たものである。図において、前記第５図および第
６図と同様様のものは同一符号を付して示す。イ
メージセンサ５Xは４つのフオトダイオードPD1
〜PD4を空間フイルタの１ピツチとするように接
続されている。７1は加算点であり、フオトダイ
オードPD1〜PD4の出力にその素子の空間フイル
タ上の位置に応じて正弦波状に変化する乗率Siを
乗じて加算する第１の演算手段を構成している。
同様に、加算点７2は、フオトダイオードPD1〜
PD4の出力にその素子に空間フイルタ上の位置に
応じて余弦波状に変化する乗率Ciを乗じて加算す
る第２の演算手段を構成している。ここで、４つ
のフオトダイオードPD1〜PD4における空間フイ
ルタ上の位置（位相）およこれに応じた乗率Si，
Ciは、下表のように定められている。
以上説明したように、本発明の光学式変位測定
装置では、格子模様の書かれた再帰反射性のテー
プが貼られたターゲツトに光を照射するとともに
その反射光を利用してイメージセンサ上にターゲ
ツトの像を結ばせターゲツトの変位に応じた結像
の動きをイメージセンサにより検出するようにし
た光学式変位測定装置において、空間フイルタ特
性を持つように複数のフオトダイオードを一列に
配置したイメージセンサと、このイメージセンサ
を含む検出光学系をその光軸を中心として回転可
能に支持する支持機構と、前記複数のフオトダイ
オードの出力にその素子の空間フイルタ上の位置
に応て正弦波状に変化する乗率を乗じて加算する
第１の演算手段と、前記複数のフオトダイオード
の出力にその素子の空間フイルタ上の位置に応じ
て余弦波状に変化する乗率を乗じて加算する第２
の演算手段と、これら第１の演算手段の出力V1
と第２の演算手段の出力V2との比のアークタン
ジエントtan-1（V1／V2）を求める第３の演算手
段と、前記第１および第２の演算手段の出力から
√1 2＋2 2の演算を行なう第４の演算手段と、
この第４の演算手段により得られる出力の大きさ
を表示する表示手段とを具備し、前記第３の演算
手段の出力から前記ターゲツトの変位量を求める
ようにしているので、フオトダイオードの出力を
スイツチなどにより走査する必要がなく、スイツ
チングノイズなどの影響を受けることなくターゲ
ツトの変位量を測定することができる。また、第
４の演算手段の出力はイメージセンサに入射する
光の強度に対応しているので、この出力を利用す
れば、格子像の変位軸とイメージセンサの検出軸
とのずれを測定、表示し、検出軸の軸合せを容易
に行なうことのできる光学式変位測定装置を簡単
な構成により実現することができる。
装置では、格子模様の書かれた再帰反射性のテー
プが貼られたターゲツトに光を照射するとともに
その反射光を利用してイメージセンサ上にターゲ
ツトの像を結ばせターゲツトの変位に応じた結像
の動きをイメージセンサにより検出するようにし
た光学式変位測定装置において、空間フイルタ特
性を持つように複数のフオトダイオードを一列に
配置したイメージセンサと、このイメージセンサ
を含む検出光学系をその光軸を中心として回転可
能に支持する支持機構と、前記複数のフオトダイ
オードの出力にその素子の空間フイルタ上の位置
に応て正弦波状に変化する乗率を乗じて加算する
第１の演算手段と、前記複数のフオトダイオード
の出力にその素子の空間フイルタ上の位置に応じ
て余弦波状に変化する乗率を乗じて加算する第２
の演算手段と、これら第１の演算手段の出力V1
と第２の演算手段の出力V2との比のアークタン
ジエントtan-1（V1／V2）を求める第３の演算手
段と、前記第１および第２の演算手段の出力から
√1 2＋2 2の演算を行なう第４の演算手段と、
この第４の演算手段により得られる出力の大きさ
を表示する表示手段とを具備し、前記第３の演算
手段の出力から前記ターゲツトの変位量を求める
ようにしているので、フオトダイオードの出力を
スイツチなどにより走査する必要がなく、スイツ
チングノイズなどの影響を受けることなくターゲ
ツトの変位量を測定することができる。また、第
４の演算手段の出力はイメージセンサに入射する
光の強度に対応しているので、この出力を利用す
れば、格子像の変位軸とイメージセンサの検出軸
とのずれを測定、表示し、検出軸の軸合せを容易
に行なうことのできる光学式変位測定装置を簡単
な構成により実現することができる。
第１図〜第３図は本発明の光学式変位測定装置
の一実施例を示す構成図、第４図は第１および第
２の演算手段７1，７2の出力V1，V2と位相θお
よび演算値ｒとの関係を示す概念図、第５図〜第
７図は従来の光学式変位測定装置の一例を示す構
成図およびその動作説明図である。 TG……ターゲツト、１……光源、２１，２２
……ハーフミラー、３１，３２……レンズ、４…
…絞り、５X，５Y……イメージセンサ、６……信
号処理回路、PD1〜PD8……フオトダイオード、
５０……支持機構、５１……筺体、５２……回転
リング、５３……ガイド、７1，７2……第１およ
び第２の演算手段、７11，７21……増幅器、７12，
７22……アナログ・デイジタル変換器、８……演
算回路、８1……メモリ、８2……デイジタル・ア
ナログ変換器、９……表示手段。
の一実施例を示す構成図、第４図は第１および第
２の演算手段７1，７2の出力V1，V2と位相θお
よび演算値ｒとの関係を示す概念図、第５図〜第
７図は従来の光学式変位測定装置の一例を示す構
成図およびその動作説明図である。 TG……ターゲツト、１……光源、２１，２２
……ハーフミラー、３１，３２……レンズ、４…
…絞り、５X，５Y……イメージセンサ、６……信
号処理回路、PD1〜PD8……フオトダイオード、
５０……支持機構、５１……筺体、５２……回転
リング、５３……ガイド、７1，７2……第１およ
び第２の演算手段、７11，７21……増幅器、７12，
７22……アナログ・デイジタル変換器、８……演
算回路、８1……メモリ、８2……デイジタル・ア
ナログ変換器、９……表示手段。
Claims (1)
- １ 格子模様の書かれた再帰反射性のテープが貼
られたターゲツトに光を照射するとともにその反
射光を利用してイメージセンサ上にターゲツトの
像を結ばせターゲツトの変位に応じた結像の動き
をイメージセンサにより検出するようにした光学
式変位測定装置において、空間フイルタ特性を持
つように複数のフオトダイオードを一列に配置し
たイメージセンサと、このメージセンサを含む検
出光学系をその光軸を中心として回転可能に支持
する支持機構と、前記複数のフオトダイオードの
出力にその素子の空間フイルタ上の位置に応じて
正弦波状に変化する乗率を乗じて加算する第１の
演算手段と、前記複数のフオトダイオードの出力
にその素子の空間フイルタ上の位置に応じて余弦
波状に変化する乗率を乗じて加算する第２の演算
手段と、これら第１の演算手段の出力V1と第２
の演算手段の出力V2との比のアークタンジエン
トtan-1（V1／V2）を求める第３の演算手段と、
前記第１および第２の演算手段の出力から√1 2
＋V2 2の演算を行なう第４の演算手段と、この第
４の演算手段により得られる出力の大きさを表示
する表示手段とを具備し、前記第３の演算手段の
出力から前記ターゲツトの変位量を求めることを
特徴とする光学式変位測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62263103A JPH01105103A (ja) | 1987-10-19 | 1987-10-19 | 光学式変位測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62263103A JPH01105103A (ja) | 1987-10-19 | 1987-10-19 | 光学式変位測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01105103A JPH01105103A (ja) | 1989-04-21 |
| JPH0575328B2 true JPH0575328B2 (ja) | 1993-10-20 |
Family
ID=17384865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62263103A Granted JPH01105103A (ja) | 1987-10-19 | 1987-10-19 | 光学式変位測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01105103A (ja) |
-
1987
- 1987-10-19 JP JP62263103A patent/JPH01105103A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01105103A (ja) | 1989-04-21 |
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