JPH0574900A - Ｉｃオートハンドラー - Google Patents
ＩｃオートハンドラーInfo
- Publication number
- JPH0574900A JPH0574900A JP3238120A JP23812091A JPH0574900A JP H0574900 A JPH0574900 A JP H0574900A JP 3238120 A JP3238120 A JP 3238120A JP 23812091 A JP23812091 A JP 23812091A JP H0574900 A JPH0574900 A JP H0574900A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ics
- marking
- tester
- lens
- visual inspection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】半導体の電気的特性を測定、分類するＩＣオー
トハンドラーとＣＣＤカメラ７、レンズ８、レザー発信
機９、ハーフミラー１０、ミラー１１、捺印マスク１２
で構成され、さらにＣＣＤカメラ７、レンズ８、捺印マ
スク１２は移動機構を有する。ＩＣオートハンドラー
は、ＩＣ４の電気的特性別にレザー発信機９、捺印マス
ク１２、ミラー１１、ハーフミラー１０、レンズ８より
ＩＣ４の捺印をおこなう。さらに、ＩＣ４の画像データ
ーをレンズ８、ＣＣＤカメラ７より取り込みＩＣ４の外
観検査を実施し、ＩＣ４の外観検査良否を判定する。つ
ぎにＩＣオートハンドラは、この良否判定別にＩＣ４を
ソートレール５に搬送し、収容マガジン６に収容する。 【効果】ＩＣ検査工程において、作業コストを削減し、
ＩＣが完成するまでのリードタイムを低減できる。ま
た、ＩＣの良品、不良品混入等による作業ミスも阻止す
ることが実現できる。
トハンドラーとＣＣＤカメラ７、レンズ８、レザー発信
機９、ハーフミラー１０、ミラー１１、捺印マスク１２
で構成され、さらにＣＣＤカメラ７、レンズ８、捺印マ
スク１２は移動機構を有する。ＩＣオートハンドラー
は、ＩＣ４の電気的特性別にレザー発信機９、捺印マス
ク１２、ミラー１１、ハーフミラー１０、レンズ８より
ＩＣ４の捺印をおこなう。さらに、ＩＣ４の画像データ
ーをレンズ８、ＣＣＤカメラ７より取り込みＩＣ４の外
観検査を実施し、ＩＣ４の外観検査良否を判定する。つ
ぎにＩＣオートハンドラは、この良否判定別にＩＣ４を
ソートレール５に搬送し、収容マガジン６に収容する。 【効果】ＩＣ検査工程において、作業コストを削減し、
ＩＣが完成するまでのリードタイムを低減できる。ま
た、ＩＣの良品、不良品混入等による作業ミスも阻止す
ることが実現できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＩＣテストシステムに係
わる、ＩＣの電気的特性を測定、分類するためのＩＣオ
ートハンドラーに関する。
わる、ＩＣの電気的特性を測定、分類するためのＩＣオ
ートハンドラーに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来ＩＣの捺印と外観検査は、ＩＣの電
気的特性を測定、分類する工程の前後、別工程において
ＩＣ捺印専用機及び外観検査専用機により実施してい
た。
気的特性を測定、分類する工程の前後、別工程において
ＩＣ捺印専用機及び外観検査専用機により実施してい
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、別工程におい
てＩＣ捺印専用機及びＩＣ外観検査専用機でＩＣの捺
印、外観検査を行うと、作業コストがかかり、ＩＣが完
成するまでのリードタイムも増え、またＩＣの良品、不
良品混入等による作業ミスも発生する結果となってしま
う。
てＩＣ捺印専用機及びＩＣ外観検査専用機でＩＣの捺
印、外観検査を行うと、作業コストがかかり、ＩＣが完
成するまでのリードタイムも増え、またＩＣの良品、不
良品混入等による作業ミスも発生する結果となってしま
う。
【０００４】そこで本発明は、ＩＣオートハンドラーに
ＩＣの捺印機構と外観検査機構を取り付け、ＩＣの電気
的特性を測定し、ただちにＩＣの捺印と外観検査を行
い、その後分類するため作業コストも削減され、ＩＣが
完成するまでのリードタイムも低減できる。また、ＩＣ
の良品、不良品混入等による作業ミスも阻止することが
できる。
ＩＣの捺印機構と外観検査機構を取り付け、ＩＣの電気
的特性を測定し、ただちにＩＣの捺印と外観検査を行
い、その後分類するため作業コストも削減され、ＩＣが
完成するまでのリードタイムも低減できる。また、ＩＣ
の良品、不良品混入等による作業ミスも阻止することが
できる。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のＩＣオートハン
ドラーは、ＩＣの電気的特性を測定するテスターとハン
ドリング装置を含むテストシステムにおいて、上記テス
ターのテストヘッドと、ＩＣの間で電気的特性を測定、
分類するために用いられるＩＣオートハンドラーにおい
て、ＩＣの捺印機構と外観検査機構を取り付けたことを
特徴とする。
ドラーは、ＩＣの電気的特性を測定するテスターとハン
ドリング装置を含むテストシステムにおいて、上記テス
ターのテストヘッドと、ＩＣの間で電気的特性を測定、
分類するために用いられるＩＣオートハンドラーにおい
て、ＩＣの捺印機構と外観検査機構を取り付けたことを
特徴とする。
【０００６】
【実施例】以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。
明する。
【０００７】図１は本発明のＩＣオートハンドラーの概
略図である。
略図である。
【０００８】図１において、ＩＣ４が収容されている供
給マガジン１より、ＩＣ４はＩＣオートハンドラー本体
のチャンバーレール２に収容される。
給マガジン１より、ＩＣ４はＩＣオートハンドラー本体
のチャンバーレール２に収容される。
【０００９】このチャンバーレール２により、ＩＣ４は
測定部３に適した並びとされ、必要に応じた個数が収容
される。
測定部３に適した並びとされ、必要に応じた個数が収容
される。
【００１０】さらにＩＣ４の電気的特性の測定条件に合
わせた温度に設定される。
わせた温度に設定される。
【００１１】チャンバーレール２に収容されたＩＣ４は
設定温度、待機時間の確認をおこない測定部３に搬送さ
れ、テスター等によりＩＣ４の電気的特性を測定する。
設定温度、待機時間の確認をおこない測定部３に搬送さ
れ、テスター等によりＩＣ４の電気的特性を測定する。
【００１２】この電気的特性の測定結果により、テスタ
ーはＩＣオートハンドラーにＩＣ４の分類データーを転
送する。
ーはＩＣオートハンドラーにＩＣ４の分類データーを転
送する。
【００１３】ＩＣオートハンドラーは、この分類データ
ー別にＩＣ４の捺印を行うため、捺印マスク１２、レン
ズ８を適正位置に設置する。
ー別にＩＣ４の捺印を行うため、捺印マスク１２、レン
ズ８を適正位置に設置する。
【００１４】捺印マスク１２、レンズ８設置後、レーザ
ー発信機９より発射されたレーザー光線は捺印マスク１
２を通過する事により、捺印マスク１２どうりに加工整
形される。
ー発信機９より発射されたレーザー光線は捺印マスク１
２を通過する事により、捺印マスク１２どうりに加工整
形される。
【００１５】この加工整形されたレーザー光線はミラー
１１、ハーフミラー１０、レンズ８を通過し、測定部３
のＩＣ４に到達する。
１１、ハーフミラー１０、レンズ８を通過し、測定部３
のＩＣ４に到達する。
【００１６】ＩＣ４はこのレザー光線を受け、テスター
からの分類デター別に捺印される。次にＩＣオートハン
ドラーは外観検査をおこなうため、ＩＣの外観検査項目
別にレンズ８、ＣＣＤカメラ７を適正位置に移動させ
る。
からの分類デター別に捺印される。次にＩＣオートハン
ドラーは外観検査をおこなうため、ＩＣの外観検査項目
別にレンズ８、ＣＣＤカメラ７を適正位置に移動させ
る。
【００１７】移動動作終了を確認後、ＩＣオートハンド
ラーは画像データーをレンズ８、ＣＣＤカメラ７より取
り込み、予め取り込んである良品画像データーと比較を
おこなう。
ラーは画像データーをレンズ８、ＣＣＤカメラ７より取
り込み、予め取り込んである良品画像データーと比較を
おこなう。
【００１８】この比較値が設定値以下の場合、つぎの外
観検査項目をおこなうため再びレンズ８、ＣＣＤカメラ
７を適正位置に移動させる。
観検査項目をおこなうため再びレンズ８、ＣＣＤカメラ
７を適正位置に移動させる。
【００１９】移動動作終了を確認後、ＩＣオートハンド
ラーは画像データーをレンズ８、ＣＣＤカメラ７より取
り込み、予め取り込んである良品画像データーと比較を
おこない、比較値が設定値以上になるまでＩＣオートハ
ンドラーは以上の作業を繰り返す。
ラーは画像データーをレンズ８、ＣＣＤカメラ７より取
り込み、予め取り込んである良品画像データーと比較を
おこない、比較値が設定値以上になるまでＩＣオートハ
ンドラーは以上の作業を繰り返す。
【００２０】全ての外観検査項目において、予め取り込
んである良品画像データーとの比較値が設定値以下の場
合、ＩＣオートハンドラーはＩＣ４を外観検査良品 と
判定する。
んである良品画像データーとの比較値が設定値以下の場
合、ＩＣオートハンドラーはＩＣ４を外観検査良品 と
判定する。
【００２１】測定部３において外観検査されたＩＣ４
は、ＩＣオートハンドラの良品ソートレール５に搬送さ
れ、電気的特性及び、外観検査別に分類され、収容マガ
ジン６に収容される。
は、ＩＣオートハンドラの良品ソートレール５に搬送さ
れ、電気的特性及び、外観検査別に分類され、収容マガ
ジン６に収容される。
【００２２】
【発明の効果】以上に述べたように本発明によれば、半
導体の電気的特性を測定するテスターとハンドリング装
置を含むテストシステムで、上記テスターのテストヘッ
ドとＩＣの間で電気的特性を測定、分類するために用い
られるＩＣオートハンドラーにおいて、ＩＣの捺印をお
こなう捺印機構と、外観検査をおこなう外観検査機構を
設けることにより、ＩＣが完成するまでのリードタイ
ム、作業コストの低減と、ＩＣの不良品混入等の作業ミ
スを阻止できるため、ＩＣのコストを下げ、品質の高い
ＩＣの生産を実現できる。
導体の電気的特性を測定するテスターとハンドリング装
置を含むテストシステムで、上記テスターのテストヘッ
ドとＩＣの間で電気的特性を測定、分類するために用い
られるＩＣオートハンドラーにおいて、ＩＣの捺印をお
こなう捺印機構と、外観検査をおこなう外観検査機構を
設けることにより、ＩＣが完成するまでのリードタイ
ム、作業コストの低減と、ＩＣの不良品混入等の作業ミ
スを阻止できるため、ＩＣのコストを下げ、品質の高い
ＩＣの生産を実現できる。
【図１】本発明のＩＣオートハンドラーの一実施例を示
す主要構成図。
す主要構成図。
１ 供給マガジン ２ チャンバーレール ３ 測定部 ４ ＩＣ ５ ソートレール ６ 収容マガジン ７ ＣＣＤカメラ ８ レンズ ９ レーザー発信機 １０ ハーフミラー １１ ミラー １２ 捺印マスク
Claims (1)
- 【請求項１】 ＩＣの電気的特性を測定するテスターと
ハンドリング装置を含むテストシステムで、上記テスタ
ーのテストヘッドとＩＣの間で電気的特性を測定するた
めに用いられるＩＣオートハンドラーにおいて、ＩＣの
捺印機構と外観検査機構を取り付けたことを特徴とする
ＩＣオートハンドラー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3238120A JPH0574900A (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | Ｉｃオートハンドラー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3238120A JPH0574900A (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | Ｉｃオートハンドラー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0574900A true JPH0574900A (ja) | 1993-03-26 |
Family
ID=17025480
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3238120A Pending JPH0574900A (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | Ｉｃオートハンドラー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0574900A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005119774A1 (en) * | 2004-06-01 | 2005-12-15 | Manufacturing Integration Technology Ltd | Method and apparatus for precise marking and placement of an object |
| US6990421B2 (en) | 2002-10-02 | 2006-01-24 | Seiko Epson Corporation | Method of displaying measurement result in inspection process and system thereof, and computer program |
| US7123979B2 (en) | 2002-10-23 | 2006-10-17 | Seiko Epson Corporation | Method of intercorporate information-sharing, system, and computer program |
-
1991
- 1991-09-18 JP JP3238120A patent/JPH0574900A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6990421B2 (en) | 2002-10-02 | 2006-01-24 | Seiko Epson Corporation | Method of displaying measurement result in inspection process and system thereof, and computer program |
| USRE43405E1 (en) | 2002-10-02 | 2012-05-22 | Seiko Epson Corporation | Method of displaying measurement result in inspection process and system thereof, and computer program |
| US7123979B2 (en) | 2002-10-23 | 2006-10-17 | Seiko Epson Corporation | Method of intercorporate information-sharing, system, and computer program |
| WO2005119774A1 (en) * | 2004-06-01 | 2005-12-15 | Manufacturing Integration Technology Ltd | Method and apparatus for precise marking and placement of an object |
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