JPH0556442B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0556442B2 JPH0556442B2 JP791685A JP791685A JPH0556442B2 JP H0556442 B2 JPH0556442 B2 JP H0556442B2 JP 791685 A JP791685 A JP 791685A JP 791685 A JP791685 A JP 791685A JP H0556442 B2 JPH0556442 B2 JP H0556442B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- distance
- amount
- measurement
- deviation
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 101
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 15
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 24
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 5
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000004323 axial length Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/28—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring contours or curvatures
- G01B7/287—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring contours or curvatures using a plurality of fixed, simultaneously operating transducers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B21—MECHANICAL METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
- B21B—ROLLING OF METAL
- B21B38/00—Methods or devices for measuring, detecting or monitoring specially adapted for metal-rolling mills, e.g. position detection, inspection of the product
- B21B38/12—Methods or devices for measuring, detecting or monitoring specially adapted for metal-rolling mills, e.g. position detection, inspection of the product for measuring roll camber
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
〔産業上の利用分野〕
本発明は等間隔に配した3個の距離センサを圧
延ロール等の被測定物の表面に沿わせるようにし
て移動させ、該距離センサがその配置間隔分移動
する都度の距離測定値に基づき被測定物の表面プ
ロフイールを測定する、所謂逐次三点法と呼ばれ
る測定方法の改良、及びその実施に使用する装置
に関するものである。
〔従来技術〕
圧延ロールの表面(周面)の摩耗が進行する
と、その表面プロフイールが悪化し、被圧延材の
品質を劣化するので、該圧延ロールの表面プロフ
イールを定期的に測定し、摩耗が進行している場
合は、これを研削し手入れする必要がある。
従来、この種の圧延ロールの表面プロフイール
測定方法としては、第12図に示すように圧延ロ
ール11の軸長方向に3個の距離センサ131,
132,133を等間隔にて並設した測定ユニツ
ト13を該圧延ロール11の軸長方向に平行移動
させ、測定ユニツト13が距離センサ131,1
32,133の配置間隔分移動する都度、各距離
センサ131,132,133の距離測定値を逐
次検出する、所謂逐次三点法と呼ばれる方法が知
られている。以下この方法につき詳しく説明す
る。
圧延ロール11の表面からその径方向に適長離
隔した位置には、該圧延ロール11の軸長方向に
平行にして1対のレール12,12を並設してあ
る。レール12,12上には直方体状の測定ユニ
ツト13のセンサ取付台13aを跨設してある。
取付台13aはレール12,12間の中央にこれ
と平行に横架した螺杆14に螺合している。
螺杆14は電動機15の出力軸に連結してあ
り、該電動機15の駆動によりセンサ取付台13
a、つまり測定ユニツト13はレール12,12
の延設方向に図中白抜矢符で示す方向へ螺条送り
されることになる。電動機15にはロータリエン
コーダ16を連結してあり、電動機15の出力軸
と一体回転する螺杆14の回転数、換言すればこ
れにより螺条送りされる測定ユニツト13の移動
量に応じた数だけのパルスを発し、このパルスを
演算装置20に与える。
センサ取付台13a上にはレール12の延設方
向にLだけの距離を隔てて3個の距離センサ13
1,132,133を並設してある。各距離セン
サ131,132,133の圧延ロール11側に
は夫々の接触子131a,132a,133aが
位置している。各接触子131a,132a,1
33aの高さ位置は圧延ロール11の軸心の高さ
位置と同一に定められている。そして圧延ロール
11の表面に凹凸が存在する場合でも、接触子1
31a,132a,133aの先端が常時該表面
に対して所定の接触圧で摺接するようにセンサ取
付台13aに固定された、距離センサ131,1
32,133夫々のセンサ本体131b,132
b,133bに各接触子131a,132a,1
33aが弾持されている。
なお、距離センサとしてはこのような接触型の
ものに限るものではなく、光、静電容量又は渦電
流を利用した非接触型のものであつてもよい。
距離センサ131,132,133は圧延ロー
ル11の表面〜各距離センサ本体131b,13
2b,133b間の離隔距離を測定し、測定結果
を演算装置20に入力する。
演算装置20はロータリエンコーダ16からの
パルス数を計数することにより、測定ユニツト1
3が距離センサ配置間距離Lだけ移動したことを
検出すると、その移動の都度各距離センサ13
1,132,133出力ym i,jを逐次読込んで蓄積
する。
ここに添字i、jは共に自然数であつて、iは
測定位置又は距離センサ出力値の読込位置を示す
番号、即ち測定時の測定ユニツト13の占位位置
を示す番号であり、また、jは各距離センサ13
1,132,133により順次距離を測定される
点の通し番号である。このjに対応する圧延ロー
ル11表面位置を図面に、…で示す。例えば
測定ユニツト13が測定開始位置(i=1の位
置)にある場合の、該測定ユニツト13の移動方
向における最後に位置する距離センサ131に正
対する位置がj=1の測定点となり、以下移動方
向にLだけ偏位した位置が夫々第2測定点、第
3測定点…となる。
次いで、この蓄積データに基づき、次に述べる
ような演算を実行し、測定ユニツト13の駆動機
構それ自体に起因して発生する測定ユニツト13
の移動中における振動或いは前記レール12,1
2の曲がり等に起因して測定ユニツト13が圧延
ロール11に正対しなくなる結果、圧延ロール1
1の径方向に出入する測定ユニツト13の偏位量
(具体的には中間に位置する距離センサ132の
偏位量)及び中間に位置する距離センサ132を
支点にして水平面内で回動する距離センサ13
1,133夫々の偏位量(圧延ロール11の径方
向における距離センサ132〜距離センサ131
又は133間距離であり、以下首振り量という。)
を補正することにより、圧延ロール11の前記各
測定点における凹凸(表面プロフイール値)を測
定する。
次に、この演算内容について第8図に基づき説
明する。第8図は圧延ロール11表面の測定位置
及び各距離センサ131,132,133の距離
測定値、偏位量、首振量を示す説明図である。
演算装置20は測定ユニツト13が測定開始位
置(i=1)にあるときの、各距離センサ13
1,132,133出力(距離測定値)ym 1,1、
ym 1,2、ym 1,3を読込み蓄積する。
ところで、この場合に前述した如くレール1
2,12の曲がり等により測定ユニツト13、又
は距離センサ132は第13図に示すように圧延
ロール11の径方向に基準線Cからd1だけ偏位
し、また、両側距離センサ131,133は±k1
だけ偏位しているとする。ここでセンサユニツト
は剛体として移動し、且つ首振り、偏位を行う。
従つてある測定タイミングにおける首振量k1、偏
位量d1はセンサユニツト内のr個の各距離センサ
に共通の未知数となる。ここに基準線Cはレール
12,12の中心線であり、偏位量d1の符号は距
離センサ132が基準線Cから圧延ロール11側
に位置する場合を正とし、逆方向に位置する場合
を負とし、また、首振量k1の符号は距離センサ1
31が圧延ロール11に対して接近する向きを負
とし、離反する向きを正とする。
今、各測定点における真正の表面プロフイール
値(圧延ロール11表面〜基準線C間距離)をyj
(j=1、2…)とすると、これらの値とセンサ
出力との間には、図示の場合には次の関係が成立
する。
ym 1,1=y1−d1+k1+ε1,1
ym 1,2=y2−d1+ε1,2
ym 1,3=y3−d1−k1+ε1,3 ……(1)
但し、εi,jは距離センサ131,132,13
3それ自体が有する測定誤差であり、なお、(1)式
においてym 1,2の項にk1が存在しないのは、前述し
た如く距離センサ132を首振りの支点と見做し
たことによる。
次いで、ロータリエンコーダ16の出力により
測定ユニツト13がLだけ移動したことを検出す
ると、即ちi=2の測定位置に移動すると、その
ときのセンサ出力ym 2,2、ym 2,3、ym 2,4を読み込む。こ
の場合も同様に次の関係が成立する。
ym 2,2=y2−d2+k2+ε2,2
ym 2,3=y3−d2+ε2,3
ym 2,4=y4−d2−k2+ε2,4 ……(2)
次いで、下記(3)式に示す演算を実行し、第3測
定点についての距離センサ132,133の距
離測定値の差b2′を求める。
b2′=ym 2,3−ym 1,3 ……(3)
ここにb2′は測定ユニツト13がその中央の距
離センサ132が仮基準線C′〔第1測定位置(i
=1)における、3個の距離センサ131,13
2,133を結ぶ直線〕上にある状態で移動する
場合は零になるはずの値である。念のため補足す
れば仮基準線C′はある測定対象に対して1本だけ
定まるものであり、センサユニツトの移動に伴つ
て変化するものではない。図示の例では測定ユニ
ツト13の第1測定位置における距離センサ13
2の前記偏位量d1と第2測定位置における偏位量
d2との差d2−d1から第1測定位置における距離セ
ンサ133の首振量k1を差し引いた値に相当す
る。またaは、第1測定位置における首振量k1と
第2測定位置における首振量k2との差k2−k1に相
当し、下記(4)式にてa2′を求める。
a2′=ym 2,2−ym 1,2−b2′ ……(4)
なおa2′、b2′は測距ユニツト13がある測定点
に位置する時に定まる値であり、測定点iの関数
として
bi′=ym i,i+1−yc i-1,i+1
ai′=ym i,i−ym 1,i−bi′
(i=2、…、n)
(但し、yc 1,3=ym 1,3)
として表わされる。
次にこのa2′とb2′とに基づき下記(5)式に示す演
算を実行することにより、距離センサ133の第
4測定点における距離測定値ym 2,4の補正値yc 2,4を
求める。
yc 2,4=ym 2,4+a2′−b2′=ym 2,4+(ym 2,2−ym 1,2)
−2(ym 2,3−ym 1,3)=y4−d1−2k1+(−ε1,2+2ε1
,3−2ε2,3+ε2,2+ε2,4)
……(5)
この補正値yc 2,4は第1測定位置(i=1)にお
ける3つの距離センサ131,132,133を
結ぶ直線を仮基準線C′とし、この仮基準線C′と測
定点との距離を表す値である。
また、別の表現をすればこの補正値は、距離測
定値ym i,jから測定ユニツト13の偏位量(di)、首
振量(ki)を補正した後のj点における距離測定
値である。
次いで、測定ユニツト13が第3測定位置(i
=3)に占位したことを検出すると、そのときの
センサ出力ym 3,3、ym 3,4、ym 3,5を読み込み、次の関係
を得る。
ym 3,3=y3−d3+k3+ε3,3
ym 3,4=y4−d3+ε3,4
ym 3,5=y5−d3−k3+ε3,5 ……(6)
そして、同様に下記(7)式に示す演算を実行する
ことにより第5測定位置における補正値yc 3,5を
求める。
yc 3,5=ym 3,5+a3′−b3′=…=y5−d1−3k1+
(−2ε1,2+3ε1,3+2ε2,2−4ε2,3+2ε2,3+ε3,3
−2ε3,4+ε3,5)
……(7)
但し、
b3′=ym 3,4−yc 2,4
a3′=ym 3,3−ym 1,3−b3′ ……(8)
さて、表面プロフイールは各測定位置における
相対的な凹凸が問題となり、各測定位置における
或る特定基準線から表面に至る距離の絶対量を求
めることは必ずしも必要ではない。
従つて本来の基準線Cからの距離y4、y5…を必
ずしも求める必要はなく、仮基準線C′からの距離
yc 2,4、yc 3,5等を求めて、これを用いてもよい。なお
基準線Cからの距離yjと仮基準線C′からの距離yc i,j
とは(5)、(7)式にみられるように
yc i,j=yj(±)d1(±)(j−2)k1+(距
離センサ自体が有する測定誤差成分)
として表わされ、右辺第2、3項が仮基準値C′を
表わす1次式となつている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかしながら、上述の逐次三点法による場合
は、表面プロフイール値中に含まれる測定誤差
εi,j成分が測定位置の進行につれて著しく増加し、
この結果精度の良い測定が行えないという問題点
があつた。
即ち、前述の(5)、(7)式より明らかなようにyc 2,4、
yc 3,5中には夫々(5)、(7)式の右辺第4項に示すよう
な測定誤差成分を含んでいる。
以下同様にしてyc 4,6、yc 5,7、yc 6,8を求めると、
yc 4,6=y6−d1−4k1+(−3ε1,2+4ε1,3+3ε2,2−6
ε2,3+3ε2,4+2ε3,3−4ε3,4+2ε3,5+ε4,4−2ε4
,5+ε4,6)……(9)
yc 5,7=y7−d1−5k1+(−4ε1,2+5ε1,3+4ε2,2−8
ε2,3+4ε2,4+3ε3,3−6ε3,4+3ε3,5+2ε4,4
−4ε4,5+2ε4,6+ε5,5−2ε5,6+ε5,7)……(1
0)
yc 6,8=y8−d1−6k1+(−5ε1,2+6ε1,3+5ε2,2−10
ε2,3+5ε2,4+4ε3,3−8ε3,4+4ε3,5+3ε4,4
−6ε4,5+3ε4,6+2ε5,5−4ε5,6+2ε5,7+ε6,
6−2ε6,7+ε6,8)……(11)
となり、夫々第4項中に測定誤差成分を含む。
そして、上記各測定誤差成分の測定精度に与え
る影響を厳正に評価すべき、誤差要素の係数の2
乗和平方根(以下測定誤差の累積という)を具体
的に求めると、次のようになる。
yc 2,4については
√(−1)2+22+12+(−2)2+12=√11≒3.32
……(12)
yc 3,5については
√(−2)2+32+22+(−4)2+22+12+
(−2)2+12=43≒6.56……(13)
yc 4,6については
√(−3)2+42+32+(−6)2+32+22+(−4)2
+22+12+(−2)2+12=√109≒10.44……(14)
yc 5,7については
√(−4)2+52+42+(−8)2+42+32+(−6)2
+32+22+(−4)2+22+12+(−2)2+12=221≒1
4.87
……(15)
yc 6,8については
√(−5)2+62+52+(−10)2+52+42+(−8)2
+42+32+(−6)2+32+22+(−4)2+22+12
+(−2)2+12=√391≒19.77……(16)
(12)〜(16)式から明らかなように、上述の如き逐次
3点法にあつては、測定位置の進行に従つて測定
誤差の累積が飛躍的に増大する結果、この測定誤
差の累積効果により後半の測定位置にあつては前
記補正値は大きな誤差成分を含んだものとなり、
精度のよい表面プロフイール測定が行えない。
因みに、第1表に各測定点における累積を示
す。
[Industrial Application Field] The present invention moves three distance sensors arranged at equal intervals along the surface of an object to be measured such as a rolling roll, and each time the distance sensors move by the distance of the arrangement interval. The present invention relates to an improvement in a measurement method called the so-called sequential three-point method, which measures the surface profile of a measured object based on the measured distance value, and to an apparatus used to implement the measurement method. [Prior art] As wear progresses on the surface (circumferential surface) of a rolling roll, its surface profile deteriorates and the quality of the rolled material deteriorates. Therefore, the surface profile of the rolling roll is periodically measured to check for wear. If it has progressed, it will need to be ground and taken care of. Conventionally, as a method for measuring the surface profile of this type of roll, as shown in FIG. 12, three distance sensors 131,
The measuring unit 13 in which distance sensors 132 and 133 are arranged side by side at equal intervals is moved in parallel in the axial length direction of the rolling roll 11, and the measuring unit 13 is connected to distance sensors 131 and 1.
A method called the so-called sequential three-point method is known in which the distance measurement values of the respective distance sensors 131, 132, 133 are sequentially detected each time the sensor moves by the arrangement interval of 32, 133. This method will be explained in detail below. A pair of rails 12, 12 are arranged parallel to the axial direction of the roll 11 at positions spaced apart from the surface of the roll 11 by an appropriate length in the radial direction. A sensor mounting base 13a of a rectangular parallelepiped measuring unit 13 is mounted on the rails 12,12.
The mounting base 13a is screwed into a screw rod 14 horizontally installed in the center between the rails 12, 12 and parallel to the rails. The screw rod 14 is connected to the output shaft of an electric motor 15, and when the electric motor 15 is driven, the sensor mounting base 13
a, that is, the measuring unit 13 is connected to the rails 12, 12
The thread will be threaded in the direction shown by the white arrow in the figure. A rotary encoder 16 is connected to the electric motor 15, and the number of rotations of the screw rod 14 that rotates integrally with the output shaft of the electric motor 15 is determined by the number of rotations, or in other words, the number of rotations corresponds to the amount of movement of the measuring unit 13 that is threaded. A pulse is generated and this pulse is given to the arithmetic unit 20. Three distance sensors 13 are mounted on the sensor mounting base 13a at a distance of L in the extending direction of the rail 12.
1, 132, and 133 are arranged in parallel. Contacts 131a, 132a, 133a are located on the rolling roll 11 side of each distance sensor 131, 132, 133, respectively. Each contact 131a, 132a, 1
The height position of 33a is determined to be the same as the height position of the axis of the rolling roll 11. Even if there are irregularities on the surface of the rolling roll 11, the contact 1
Distance sensors 131, 1 are fixed to the sensor mounting base 13a such that the tips of 31a, 132a, 133a are always in sliding contact with the surface with a predetermined contact pressure.
32, 133 respective sensor bodies 131b, 132
b, 133b, each contactor 131a, 132a, 1
33a is held. Note that the distance sensor is not limited to such a contact type, but may be a non-contact type that uses light, capacitance, or eddy current. The distance sensors 131, 132, 133 are connected to the surface of the rolling roll 11 to the respective distance sensor bodies 131b, 13.
The separation distance between 2b and 133b is measured, and the measurement result is input to the calculation device 20. The calculation device 20 calculates the measurement unit 1 by counting the number of pulses from the rotary encoder 16.
3 has moved by the distance L between distance sensor arrangements, each distance sensor 13
1,132,133 outputs y m i,j are sequentially read and accumulated. Here, the subscripts i and j are both natural numbers, i is a number indicating the measurement position or the reading position of the distance sensor output value, that is, the number indicating the occupied position of the measurement unit 13 at the time of measurement, and j is Each distance sensor 13
1, 132, and 133 are serial numbers of points whose distances are sequentially measured. The surface position of the rolling roll 11 corresponding to this j is shown in the drawing by... For example, when the measurement unit 13 is at the measurement start position (position i = 1), the position directly facing the last distance sensor 131 in the movement direction of the measurement unit 13 becomes the measurement point j = 1, and the measurement point j = 1 is the measurement point j = 1. The positions shifted by L in the direction become the second measurement point, the third measurement point, etc., respectively. Next, based on this accumulated data, the following calculations are performed to detect the measurement unit 13 that occurs due to the drive mechanism of the measurement unit 13 itself.
vibration during movement of the rails 12,1
As a result of the measurement unit 13 not directly facing the rolling roll 11 due to the bending of the rolling roll 1, etc.
The amount of deviation of the measuring unit 13 moving in and out in the radial direction of the sensor 1 (specifically, the amount of deviation of the distance sensor 132 located in the middle) and the distance it rotates in a horizontal plane using the distance sensor 132 located in the middle as a fulcrum. Sensor 13
1,133 respective deviation amounts (distance sensor 132 to distance sensor 131 in the radial direction of the rolling roll 11
or 133 distance, hereinafter referred to as the swing amount. )
By correcting the above, the unevenness (surface profile value) at each measurement point of the rolling roll 11 is measured. Next, the contents of this calculation will be explained based on FIG. 8. FIG. 8 is an explanatory diagram showing the measurement position on the surface of the rolling roll 11, the distance measurement values of the distance sensors 131, 132, and 133, the amount of deviation, and the amount of oscillation. The arithmetic device 20 calculates each distance sensor 13 when the measurement unit 13 is at the measurement start position (i=1).
1,132,133 output (distance measurement value) y m 1,1 ,
Read and accumulate y m 1,2 and y m 1,3 . By the way, in this case, as mentioned above, rail 1
2 and 12, the measuring unit 13 or the distance sensor 132 deviates from the reference line C in the radial direction of the rolling roll 11 by d1 as shown in FIG. ±k 1
Suppose that it is deviated by . Here, the sensor unit moves as a rigid body, and also oscillates and deflects.
Therefore, the amount of head vibration k 1 and the amount of deviation d 1 at a certain measurement timing are unknown quantities common to each of the r distance sensors in the sensor unit. Here, the reference line C is the center line of the rails 12, 12, and the sign of the deviation amount d1 is positive when the distance sensor 132 is located on the rolling roll 11 side from the reference line C, and when it is located in the opposite direction. is negative, and the sign of the head vibration amount k 1 is the distance sensor 1
The direction in which the roller 31 approaches the rolling roll 11 is defined as negative, and the direction in which it moves away from the rolling roll 11 is defined as positive. Now, the true surface profile value (distance between the surface of the rolling roll 11 and the reference line C) at each measurement point is y j
When (j=1, 2, . . . ), the following relationship holds true between these values and the sensor output in the illustrated case. y m 1,1 =y 1 −d 1 +k 1 +ε 1,1 y m 1,2 =y 2 −d 1 +ε 1,2 y m 1,3 =y 3 −d 1 −k 1 +ε 1,3 ...(1) However, ε i,j are distance sensors 131, 132, 13
3 This is a measurement error that it itself has, and the reason why k 1 does not exist in the term y m 1,2 in equation (1) is because the distance sensor 132 is regarded as the fulcrum of the swing as described above. . Next, when it is detected by the output of the rotary encoder 16 that the measurement unit 13 has moved by L, that is, when it moves to the measurement position of i=2, the sensor outputs at that time are y m 2,2 , y m 2,3 , y Load m 2,4 . In this case as well, the following relationship holds true. y m 2,2 =y 2 −d 2 +k 2 +ε 2,2 y m 2,3 =y 3 −d 2 +ε 2,3 y m 2,4 =y 4 −d 2 −k 2 +ε 2,4 ...(2) Next, the calculation shown in the following equation (3) is executed to obtain the difference b 2 ' between the distance measurement values of the distance sensors 132 and 133 regarding the third measurement point. b 2 ′=y m 2,3 −y m 1,3 ……(3) Here, b 2 ′ is the distance sensor 132 at the center of the measuring unit 13 located at the temporary reference line C′ [first measurement position (i
= 1), three distance sensors 131, 13
2,133] is a value that should be zero when moving while on the straight line connecting 2,133. Just to be sure, only one temporary reference line C' is determined for a certain measurement object, and it does not change as the sensor unit moves. In the illustrated example, the distance sensor 13 at the first measuring position of the measuring unit 13
The deviation amount d 1 of 2 and the deviation amount at the second measurement position
It corresponds to the value obtained by subtracting the amount of head vibration k 1 of the distance sensor 133 at the first measurement position from the difference d 2 −d 1 with respect to d 2 . Further, a corresponds to the difference k 2 −k 1 between the amount of head vibration k 1 at the first measurement position and the amount k 2 of head vibration at the second measurement position, and a 2 ′ is obtained using the following equation (4). a 2 ′=y m 2,2 −y m 1,2 −b 2 ′ ...(4) Note that a 2 ′ and b 2 ′ are values determined when the distance measuring unit 13 is located at a certain measurement point, As a function of measurement point i, b i ′=y m i,i+1 −y c i-1,i+1 a i ′=y m i,i −y m 1,i −b i ′ (i=2 ,...,n) (However, y c 1,3 = y m 1,3 ). Next, by executing the calculation shown in equation (5) below based on a 2 ′ and b 2 ′, the correction value y c 2 of the distance measurement value y m 2,4 at the fourth measurement point of the distance sensor 133 is obtained. Find ,4 . y c 2,4 = y m 2,4 + a 2 ′−b 2 ′ = y m 2,4 + (y m 2,2 − y m 1,2 )
−2(y m 2,3 −y m 1,3 )=y 4 −d 1 −2k 1 +(−ε 1,2 +2ε 1
,3 −2ε 2,3 +ε 2,2 +ε 2,4 )
...(5) This correction value y c 2,4 is calculated using the temporary reference line C', which is the straight line connecting the three distance sensors 131, 132, 133 at the first measurement position (i=1). This value represents the distance between the measurement point and the measurement point. In other words, this correction value is the distance measurement value at point j after correcting the deviation amount ( di ) and head vibration amount (ki) of the measurement unit 13 from the distance measurement value y m i,j. It is. Next, the measuring unit 13 moves to the third measuring position (i
=3), the sensor outputs y m 3,3 , y m 3,4 , y m 3,5 at that time are read to obtain the following relationship. y m 3,3 =y 3 −d 3 +k 3 +ε 3,3 y m 3,4 =y 4 −d 3 +ε 3,4 y m 3,5 =y 5 −d 3 −k 3 +ε 3,5 ...(6) Then, the correction value y c 3,5 at the fifth measurement position is obtained by similarly executing the calculation shown in equation (7) below. y c 3,5 =y m 3,5 +a 3 ′−b 3 ′=…=y 5 −d 1 −3k 1 +
(−2ε 1,2 +3ε 1,3 +2ε 2,2 −4ε 2,3 +2ε 2,3 +ε 3,3
−2ε 3,4 +ε 3,5 )
...(7) However, b 3 ′=y m 3,4 −y c 2,4 a 3 ′=y m 3,3 −y m 1,3 −b 3 ′ ...(8) Now, the surface profile The relative unevenness at each measurement position becomes a problem, and it is not necessarily necessary to determine the absolute amount of distance from a certain reference line to the surface at each measurement position. Therefore, it is not necessarily necessary to find the distances y 4 , y 5 ... from the original reference line C, but rather the distance from the temporary reference line C'.
You may also find and use y c 2,4 , y c 3,5 , etc. Note that the distance y j from the reference line C and the distance y c i,j from the temporary reference line C'
As seen in equations (5) and (7), y c i,j = y j (±) d 1 (±) (j-2) k 1 + (measurement error component of the distance sensor itself). The second and third terms on the right side are linear expressions representing the provisional reference value C'. [Problems to be Solved by the Invention] However, in the case of the above-mentioned sequential three-point method, the measurement error ε i,j component included in the surface profile value increases significantly as the measurement position advances;
As a result, there was a problem that accurate measurements could not be performed. That is, as is clear from equations (5) and (7) above, y c 2,4 ,
y c 3 and 5 include measurement error components as shown in the fourth term on the right side of equations (5) and (7), respectively. Similarly, y c 4,6 , y c 5,7 , y c 6,8 are calculated as follows: y c 4,6 = y 6 −d 1 −4k 1 + (−3ε 1,2 +4ε 1,3 +3ε 2,2 −6
ε 2,3 +3ε 2,4 +2ε 3,3 −4ε 3,4 +2ε 3,5 +ε 4,4 −2ε 4
,5 +ε 4,6 )...(9) y c 5,7 =y 7 −d 1 −5k 1 +(−4ε 1,2 +5ε 1,3 +4ε 2,2 −8
ε 2,3 +4ε 2,4 +3ε 3,3 −6ε 3,4 +3ε 3,5 +2ε 4,4 −4ε 4,5 +2ε 4,6 +ε 5,5 −2ε 5,6 +ε 5,7 )... (1
0) y c 6,8 =y 8 −d 1 −6k 1 +(−5ε 1,2 +6ε 1,3 +5ε 2,2 −10
ε 2,3 +5ε 2,4 +4ε 3,3 −8ε 3,4 +4ε 3,5 +3ε 4,4 −6ε 4,5 +3ε 4,6 +2ε 5,5 −4ε 5,6 +2ε 5,7 +ε 6,
6 −2ε 6,7 +ε 6,8 )...(11), each of which includes a measurement error component in the fourth term. The influence of each of the above measurement error components on measurement accuracy should be strictly evaluated.
The concrete calculation of the square root of the sum of products (hereinafter referred to as the accumulation of measurement errors) is as follows. For y c 2,4 , √(-1) 2 +2 2 +1 2 +(-2) 2 +1 2 =√11≒3.32
...(12) For y c 3,5 , √(-2) 2 +3 2 +2 2 +(-4) 2 +2 2 +1 2 +
(-2) 2 +1 2 =43≒6.56...(13) For y c 4,6 , √(-3) 2 +4 2 +3 2 +(-6) 2 +3 2 +2 2 +(-4) 2
+2 2 +1 2 +(-2) 2 +1 2 =√109≒10.44...(14) For y c 5,7 , √(-4) 2 +5 2 +4 2 +(-8) 2 +4 2 +3 2 + (-6) 2
+3 2 +2 2 +(-4) 2 +2 2 +1 2 +(-2) 2 +1 2 =221≒1
4.87
...(15) For y c 6,8 , √(-5) 2 +6 2 +5 2 +(-10) 2 +5 2 +4 2 +(-8) 2 +4 2 +3 2 +(-6) 2 +3 2 +2 2 +(-4) 2 +2 2 +1 2
+(-2) 2 +1 2 =√391≒19.77...(16) As is clear from equations (12) to (16), in the sequential three-point method as described above, as the measurement position progresses, As a result, the accumulation of measurement errors increases dramatically, and due to the cumulative effect of measurement errors, the correction value includes a large error component at the latter half of the measurement position.
Accurate surface profile measurements cannot be performed. Incidentally, Table 1 shows the accumulation at each measurement point.
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであ
り、等間隔に3個配した距離センサを被測定物の
表面に沿う向きに移動させ、該距離センサがその
配置間隔分移動する都度、そのときの各距離セン
サの距離測定値を得、該距離測定値夫々につい
て、これら距離測定値相互間の関係により導かれ
る、各距離センサの偏位量、首振量並びに前記被
測定物の測定点における、後述するような仮基準
線を基準とする表面プロフイール値を未知数とす
る連立一次方程式を得、これを解くことにより前
記被測定物の表面プロフイールを求めることとし
て、各距離センサそれ自体が有する測定誤差の累
積を大幅に低減し得、この結果精度の良い測定が
行える表面プロフイール測定方法を提供すること
を目的とする。
第1発明に係る表面プロフイール測定方法は、
移動方向に等間隔にて距離センサを3個配した測
定ユニツトを、被測定物の表面に沿わせるように
して移動させ、該測定ユニツトが距離センサの配
置間隔分移動する都度の距離測定値を得、これに
基づき被測定物の表面プロフイールを測定する方
法において、3個の内の任意の1個の距離センサ
の前記被測定物の表面に接近、離反する方向への
測定ユニツトの移動が画像ではないことに起因す
る偏位量、前記距離センサを基準とした他の2つ
の距離センサ夫々の前記方向への首振量及びこれ
らの偏位量、首振量がない場合の1つの測定点毎
に定まる真の距離を未知数とし、これらと前記距
離測定値との関係を表す多数の連立一次方程式を
得、次いで、この連立一次方程式において、表面
プロフイール特定のための基準線とすべき直線が
一義的に定まるように、前記未知数の任意の2つ
の値の組合せの内、前記真の距離と偏位量、真の
距離と首振量、偏位量同士又は偏位量と首振量の
組合せに係る2つの値を0として、連立一次方程
式を解くことにより、前記被測定物の表面プロフ
イールを求めることを特徴とする。
第2発明に係る表面プロフイール測定装置は、
被測定物の表面に沿う方向に移動可能になしてあ
つて、その移動方向に3個の距離センサを等間隔
にて配設してある測定ユニツトと、前記距離セン
サ夫々がその配置間隔分移動する都度の距離測定
値を読込み蓄積する手段と、これらの蓄積データ
相互の関係により導かれる任意の1個の距離セン
サの前記被測定物の表面に接近、離反する方向へ
の偏位量及び前記任意の1個の距離センサに対す
る他の2個の距離センサの前記方向への首振量を
算出する手段と、前記距離測定値夫々について前
記偏位量、首振量及びこれらがない場合の1つの
測定点毎に定まる真の距離を未知数とする多数の
連立一次方程式を得る手段と、この連立一次方程
式において、表面プロフイール特定のための基準
線とすべき直線が一義的に定まるように、前記未
知数の任意の2つの値の組合せの内、前記真の距
離と偏位量、真の距離と首振量、偏位量同士又は
偏位量と首振量の組合せに係る2つの値を0とし
て、連立一次方程式を解く手段とを具備すること
を特徴とする。
〔実施例〕
以下本発明をその実施例を示す図面に基づいて
詳述する。第1図は本発明に係る表面プロフイー
ル測定方法の実施状態を示す模式的平面図、第2
図は第1図の左側断面図である。
圧延機から取外され、図示しない支持部材によ
り支持された圧延ロール1の表面からその径方向
に適長離隔した位置には、該圧延ロール1の軸長
方向に平行にして1対のレール2,2を並設して
ある。レール2,2間には測定ユニツト3の直方
体状のセンサ取付台3aを跨設してある。センサ
取付台3aの下面中央には該センサ取付台3aよ
りも狭幅であつて、略同長の長手寸法を有する角
柱状の螺合体3bを固着してある。螺合体3bの
中央には長手方向にネジ穴3cを穿設してあり、
該ネジ穴3cにはレール2,2間にこれに平行に
横架した螺杆4を螺合させてある。螺杆4の一側
端部は電動機5の出力軸に連結してあり、該電動
機5の駆動により回転される。螺杆4が回転する
と、これに螺合した螺合体3b、つまり測定ユニ
ツト3は図中白抜矢符で示す測定方向に螺条送り
されることになる。電動機5にはロータリエンコ
ーダ6を連結してあり、電動機5の出力軸と一体
回転する螺杆4の回転数、換言すればこれにより
螺条送りされる測定ユニツト3の移動量に応じた
数だけのパルスを発し、このパルスを演算装置1
0に与える。
センサ取付台3a上にはレール2,2の延設方
向にLだけの距離を隔てて5個の距離センサ3
1,32,33を並設してある。各距離センサ3
1,32,33の圧延ロール1側には夫々の接触
子31a,32a,33aが位置している。各接
触子31a,32a,33aの高さ位置は圧延ロ
ール1の軸心の高さ位置と同一に定められてい
る。そして、圧延ロール1の表面に凹凸が存在す
る場合でも、接触子31a,32a,33a夫々
の先端が常時ロール表面に対して所定の接触圧で
摺接するようにセンサ取付台3a上に固定された
距離センサ31,32,33夫々のセンサ本体3
1b,32b,33bに弾持されている。距離セ
ンサ31,32,33は圧延ロール1の表面〜セ
ンサ本体31b,32b,33b夫々の間の離隔
距離を測定し、測定結果を演算装置10に入力す
る。
なお、このような測定系の構成は第7図で示し
た従来方法のそれと同一である。
演算装置10はロータリエンコーダ6からのパ
ルスを計数することにより、測定ユニツト3が距
離センサ配置間距離Lだけ移動したことを検出す
るとその都度前述の従来方法で説明したのと同様
の各距離センサ31,32,33出力ym i,jを逐次
読込んで蓄積する。そして、この蓄積データに基
づき次に述べるような演算を実行することによ
り、各距離センサ31,32,33の移動中の偏
位量、首振量及び表面プロフイール値を求める。
次に演算装置10の演算内容について説明す
る。今、測定ユニツト3が第1測定位置(i=
1)から第n測定位置(i=n)迄移動し、その
都度各距離センサ31,32,33出力を読込ん
だとすると、演算装置10は各距離センサ31,
32,33夫々についてn個、合計5n個の距離
測定値ym i,j(i=1、2…n、j=1、2…n+
2)を得る。演算装置10はこの3n個の距離測
定値ym i,j夫々について、前述の従来法で説明した
如き関係を作成する。そうすると、下記(17)式に示
す3n個の連立一次方程式を得る。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and it moves three distance sensors arranged at equal intervals in a direction along the surface of the object to be measured, and each time the distance sensors move by the distance, Obtain the distance measurement value of each distance sensor at the time, and for each distance measurement value, calculate the deflection amount, head vibration amount, and measurement point of the object to be measured of each distance sensor, which are derived from the relationship between these distance measurement values. In order to obtain the surface profile of the object to be measured by obtaining simultaneous linear equations whose unknowns are the surface profile values based on a temporary reference line as described later, and solving the simultaneous linear equations, each distance sensor itself has It is an object of the present invention to provide a surface profile measuring method that can significantly reduce the accumulation of measurement errors and, as a result, can perform highly accurate measurements. The surface profile measuring method according to the first invention includes:
A measurement unit with three distance sensors arranged at equal intervals in the movement direction is moved along the surface of the object to be measured, and the distance measurement value is calculated each time the measurement unit moves by the distance sensor arrangement interval. In the method of measuring the surface profile of the object to be measured based on this, the movement of the measuring unit in the direction of approaching or away from the surface of the object by any one of the three distance sensors is an image. The amount of deviation caused by the fact that the distance sensor is not the same, the amount of swing of each of the other two distance sensors in the direction with respect to the distance sensor, the amount of these deviations, and one measurement point when there is no amount of swing. Using the true distance determined for each unknown as an unknown, a number of simultaneous linear equations expressing the relationship between these and the measured distance values are obtained. Next, in these simultaneous linear equations, a straight line that should be used as a reference line for specifying the surface profile is determined. As uniquely determined, among the combinations of any two values of the unknown quantity, the true distance and deviation amount, the true distance and the amount of head vibration, the amount of deviation together, or the amount of deviation and the amount of head vibration. The method is characterized in that the surface profile of the object to be measured is determined by solving simultaneous linear equations with two values related to the combination set to zero. The surface profile measuring device according to the second invention includes:
A measurement unit that is movable in a direction along the surface of an object to be measured and has three distance sensors arranged at equal intervals in the direction of movement, and each of the distance sensors moves by the distance of the arrangement. a means for reading and accumulating distance measurement values each time a distance measurement is performed; a deviation amount of any one distance sensor in a direction toward or away from the surface of the object to be measured, which is guided by the mutual relationship between these accumulated data; Means for calculating the amount of swing in the direction of two other distance sensors with respect to any one distance sensor, and the amount of deviation and the amount of swing for each of the distance measurement values, and a case where there is no such amount. means for obtaining a large number of simultaneous linear equations in which the true distance determined for each measurement point is an unknown; Among the combinations of any two unknown values, set the two values related to the true distance and deviation amount, the true distance and head vibration amount, the deviation amounts to each other, or the combination of deviation amount and head vibration amount to 0. The method is characterized by comprising means for solving simultaneous linear equations. [Examples] The present invention will be described in detail below based on drawings showing examples thereof. FIG. 1 is a schematic plan view showing the implementation state of the surface profile measuring method according to the present invention, and FIG.
The figure is a left sectional view of FIG. 1. A pair of rails 2 are installed parallel to the axial direction of the roll 1 at a position radially apart from the surface of the roll 1 which has been removed from the rolling mill and supported by a support member (not shown). , 2 are installed in parallel. A rectangular parallelepiped sensor mounting base 3a of a measurement unit 3 is provided between the rails 2, 2. A prismatic threaded body 3b having a longitudinal dimension narrower than the sensor mount 3a and approximately the same length is fixed to the center of the lower surface of the sensor mount 3a. A screw hole 3c is drilled in the center of the screw body 3b in the longitudinal direction,
A screw rod 4, which is horizontally suspended between the rails 2 and 2, is screwed into the screw hole 3c. One end of the screw rod 4 is connected to the output shaft of an electric motor 5, and is rotated by the drive of the electric motor 5. When the screw rod 4 rotates, the screw assembly 3b screwed thereon, that is, the measurement unit 3, is threaded in the measurement direction shown by the white arrow in the figure. A rotary encoder 6 is connected to the electric motor 5, and the number of rotations of the screw rod 4 that rotates integrally with the output shaft of the electric motor 5 is determined by the number of rotations, or in other words, the number of rotations corresponds to the amount of movement of the measuring unit 3 that is threaded. A pulse is emitted and this pulse is sent to the calculation device 1.
Give to 0. Five distance sensors 3 are mounted on the sensor mounting base 3a at a distance of L in the extending direction of the rails 2, 2.
1, 32, and 33 are arranged side by side. Each distance sensor 3
Contactors 31a, 32a, and 33a are located on the rolling roll 1 side of 1, 32, and 33, respectively. The height position of each contactor 31a, 32a, 33a is determined to be the same as the height position of the axis of the rolling roll 1. The contactors 31a, 32a, and 33a are fixed on the sensor mounting base 3a so that the tips of the contacts 31a, 32a, and 33a are always in sliding contact with the roll surface with a predetermined contact pressure even when the surface of the rolling roll 1 is uneven. Sensor body 3 of each distance sensor 31, 32, 33
1b, 32b, and 33b. The distance sensors 31 , 32 , 33 measure the distance between the surface of the rolling roll 1 and each of the sensor bodies 31 b , 32 b , 33 b and input the measurement results to the arithmetic device 10 . The configuration of such a measurement system is the same as that of the conventional method shown in FIG. By counting pulses from the rotary encoder 6, the arithmetic unit 10 detects that the measuring unit 3 has moved by the distance L between the distance sensor arrangements, and each time it detects that the measuring unit 3 has moved by the distance L between the distance sensor arrangements, it activates each distance sensor 31 in the same manner as described in the conventional method described above. , 32, 33 outputs y m i,j are sequentially read and accumulated. Then, by executing the calculations described below based on this accumulated data, the amount of deviation, amount of swing, and surface profile value of each distance sensor 31, 32, and 33 during movement are determined. Next, the content of calculations performed by the calculation device 10 will be explained. Now, the measuring unit 3 is at the first measuring position (i=
1) to the n-th measurement position (i=n) and read the output of each distance sensor 31, 32, 33 each time.
n distance measurements for each of 32 and 33, a total of 5n distance measurements y m i,j (i=1, 2...n, j=1, 2...n+
2) is obtained. The arithmetic unit 10 creates a relationship as described in the conventional method described above for each of these 3n distance measurement values y m i,j . Then, 3n simultaneous linear equations shown in equation (17) below are obtained.
【表】
但し、yj、di、kiについては前述の従来法で説
明したものと同様であり、また、測定誤差εi,jに
ついては後述するので、ここでは無視する。
さて、(17)式は行列の積を用いて下記(18)式で示さ
れる。
Ax→=b→ ……(18)
但し、Aは(17)式において未知数yj、di、kiの係
数で作られる(3n、3n+2)行列、x→は未知数
yj、di、kiの(3n+2、1)行列、b→は距離測定
値ym i,jの(3n、1)行列である。
(18)式の詳細は下記(19)式で示される。[Table] However, y j , d i , and k i are the same as those explained in the conventional method described above, and the measurement error ε i,j will be described later, so it will be ignored here. Now, equation (17) can be expressed as equation (18) below using matrix multiplication. Ax→=b→ ...(18) However, A is a (3n, 3n+2) matrix created by the coefficients of unknowns y j , d i , k i in equation (17), and x→ is an unknown.
A (3n+2,1) matrix of y j , d i , k i and b→ is a (3n,1) matrix of distance measurements y m i,j . The details of equation (18) are shown in equation (19) below.
【表】【table】
Claims (1)
た測定ユニツトを、被測定物の表面に沿わせるよ
うにして移動させ、該測定ユニツトが距離センサ
の配置間隔分移動する都度の距離測定値を得、こ
れに基づき被測定物の表面プロフイールを測定す
る方法において、 3個の内の任意の1個の距離センサの前記被測
定物の表面に接近、離反する方向への測定ユニツ
トの移動が画像ではないことに起因する偏位量、
前記距離センサを基準とした他の2つの距離セン
サ夫々の前記方向への首振量及びこれらの偏位
量、首振量がない場合の1つの測定点毎に定まる
真の距離を未知数とし、これらと前記距離測定値
との関係を表す多数の連立一次方程式を得、次い
で、この連立一次方程式において、表面プロフイ
ール特定のための基準線とすべき直線が一義的に
定まるように、前記未知数の任意の2つの値の組
合せの内、前記真の距離と偏位量、真の距離と首
振量、偏位量同士又は偏位量と首振量の組合せに
係る2つの値を0として、連立一次方程式を解く
ことにより、前記被測定物の表面プロフイールを
求めることを特徴とする表面プロフイール測定方
法。 2 被測定物の表面に沿う方向に移動可能になし
てあつて、その移動方向に3個の距離センサを等
間隔にて配設してある測定ユニツトと、前記距離
センサ夫々がその配置間隔分移動する都度の距離
測定値を読込み蓄積する手段と、これらの蓄積デ
ータ相互の関係により導かれる任意の1個の距離
センサの前記被測定物の表面に接近、離反する方
向への偏位量及び前記任意の1個の距離センサに
対する他の2個の距離センサの前記方向への首振
量を算出する手段と、前記距離測定値夫々につい
て前記偏位量、首振量及びこれらがない場合の1
つの測定点毎に定まる真の距離を未知数とする多
数の連立一次方程式を得る手段と、この連立一次
方程式において、表面プロフイール特定のための
基準線とすべき直線が一義的に定まるように、前
記未知数の任意の2つの値の組合せの内、前記真
の距離と偏位量、真の距離と首振量、偏位量同士
又は偏位量と首振量の組合せに係る2つの値を0
として、連立一次方程式を解く手段とを具備する
ことを特徴とする表面プロフイール測定装置。[Claims] 1. A measurement unit in which three distance sensors are arranged at equal intervals in the movement direction is moved along the surface of the object to be measured, and the measurement unit is moved by the distance at which the distance sensors are arranged. In this method, a distance measurement value is obtained each time a distance measurement is performed, and a surface profile of the object to be measured is measured based on the distance measurement value. The amount of deviation due to the movement of the measurement unit is not an image,
The amount of swing of each of the other two distance sensors in the direction based on the distance sensor, the amount of deviation thereof, and the true distance determined for each measurement point when there is no amount of swing are unknown; A number of simultaneous linear equations expressing the relationship between these and the distance measurement value are obtained, and then, in this simultaneous linear equation, the unknown quantity is Among the combinations of any two values, two values related to the true distance and deviation amount, true distance and head vibration amount, combinations of deviation amounts or deviation amount and head vibration amount are set to 0, A surface profile measuring method characterized in that the surface profile of the object to be measured is determined by solving simultaneous linear equations. 2. A measurement unit that is movable in a direction along the surface of the object to be measured and has three distance sensors arranged at equal intervals in the direction of movement, and each of the distance sensors A means for reading and accumulating distance measurement values each time the distance is moved, and the amount of deviation of any one distance sensor in the direction toward or away from the surface of the object, which is guided by the relationship between these accumulated data, and means for calculating the amount of oscillation in the direction of the other two distance sensors with respect to the arbitrary one distance sensor; 1
means for obtaining a large number of simultaneous linear equations in which the true distance determined for each measurement point is an unknown; Among the combinations of any two unknown values, set the two values related to the true distance and deviation amount, the true distance and head vibration amount, the deviation amounts to each other, or the combination of deviation amount and head vibration amount to 0.
and means for solving simultaneous linear equations.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP791685A JPS61167810A (en) | 1985-01-19 | 1985-01-19 | Method and device for measuring surface profile |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP791685A JPS61167810A (en) | 1985-01-19 | 1985-01-19 | Method and device for measuring surface profile |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61167810A JPS61167810A (en) | 1986-07-29 |
JPH0556442B2 true JPH0556442B2 (en) | 1993-08-19 |
Family
ID=11678857
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP791685A Granted JPS61167810A (en) | 1985-01-19 | 1985-01-19 | Method and device for measuring surface profile |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61167810A (en) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6375608A (en) * | 1986-09-19 | 1988-04-06 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Method for measuring roll profile |
JPH0615970B2 (en) * | 1987-09-01 | 1994-03-02 | 三菱重工業株式会社 | Roll profile measurement method |
US5088207A (en) * | 1989-12-13 | 1992-02-18 | Betsill Harry E | True end-to-end electronic saddle micrometer |
KR20030095073A (en) * | 2002-06-11 | 2003-12-18 | 주식회사 포스코 | Apparatus for measuring profile and true circle degree of rolling roll |
US8256147B2 (en) | 2004-11-22 | 2012-09-04 | Frampton E. Eliis | Devices with internal flexibility sipes, including siped chambers for footwear |
JP5246952B2 (en) * | 2009-06-29 | 2013-07-24 | 慧 清野 | Measuring method |
-
1985
- 1985-01-19 JP JP791685A patent/JPS61167810A/en active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS61167810A (en) | 1986-07-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5617645A (en) | Non-contact precision measurement system | |
KR20160079024A (en) | Method for thickness measurement on measurement objects and device for applying the method | |
JPH0556442B2 (en) | ||
KR101198492B1 (en) | method and system for measurement of roll diameter | |
CN105698739B (en) | A kind of square rail width Linearity surveying decision maker and method | |
JPH07146131A (en) | Railroad-tie surveying apparatus | |
JP5246952B2 (en) | Measuring method | |
JP2008524576A (en) | Sequential multi-probe method for straightness measurement of straight rulers | |
RU2439487C2 (en) | Device and method for noncontact measurement of curvature of long object | |
JPH0435005B2 (en) | ||
JPH0556443B2 (en) | ||
JPS6288912A (en) | Method and instrument for measuring surface profile | |
JPH08201053A (en) | Method and apparatus for measuring planarity | |
JPS62162908A (en) | Method and instrument for measuring surface profile | |
JPH04250307A (en) | Straightness measuring device | |
JPS61100606A (en) | Measuring of surface profile | |
KR100660224B1 (en) | Method for on-line measuring camber of strip | |
JPH01295108A (en) | Method and device for measuring profile of roll | |
SU1749697A1 (en) | Cylindrical part element linearity tester | |
JPH07256418A (en) | Method for measuring roll interval in continuous casting equipment and its device | |
RU2819109C1 (en) | Method of controlling alignment of shafts | |
JP3126101B2 (en) | Contact type measuring instrument | |
EP1710117A1 (en) | Apparatus for measuring the height of the electrical contact line of a railroad, and associated method | |
SU1737255A1 (en) | Method of measuring deviations from parallel ism of straight lines in plane | |
WO2006064442A1 (en) | Method and apparatus for measurement of straightness of a straightedge using a multi-probe sensor |