JPH05506125A - 新規なスルーホールめっき印刷回路基板およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 新規なスルーホールめっき印刷回路基板およびその製造方法本発明は、導電性金 属層で被覆されていない表面にも金属層をガルバーニ電気または電気めっきもし くは！電解めっきすることにより、′少なくとも一つの導電性層が任意に両側に 設けられたポリマー基板材料またはセラミック材料に基づくスルーホールめっき の単層または多層重刷回路基板の製造方法に間するものであり、さらには印刷回 路基板それ自体に関する。

これまでスルーホールめっさ印刷回路基板は、基本的に基板材料の触媒的に活性 化された表面への化学的金属析出によって製造されていた。多層の印刷回路基板 もまたこの方法で製造される。外部電流を用いないで（無電解で）析出した金属 層は１次いで所望により、金属の電気めっＳ（ガルバーニ電気による金属析出（ ｇａｌマａ旧Ｃｍｅｔａｌ　ｄｅｐｏｓｉｔｉａｎ））によって更に強化される 。この技術により、高品質の印刷回路基板を製造することができる６表面の触媒 活性化は一般に、イオン性もしくは非イオン性の貴金属含有触媒、更に特にパラ ジウムおよびスズに基づく触媒によってもたらされる。しかしながら、貴金属を 含まない系１例えば銅に基づく系も用いることかでさる。場合によっては、物理 的方法、例えば蒸着によって設けられた触媒活性層を使用することも知られてい る。

上記の方法は、５８連文献１例えばヘルマン、■副回路基板ハンドブック、オイ ゲン・Ｇ、ロイゼ出阪、ザウルガウに記載されている。］を金属を含む系もしく は貴金属を含まない系を用いて実際に利用される湿式化学的触媒作用は、一般に 次のような手順で進められる。

１、清ｈ　／コンディショニング ２、すすぎ ３、活性化／初期エッチノブ ４、すすぎ ５、予四浸漬溶解 ６、触媒の適用 ７、すすぎ ８、促進剤／還元剤（ｒｅｄｕｃｔｏｒ）の添加９、新たなすすぎ １０、無電解金属化 １１、すすぎ １２、乾燥 被形成（触媒作用〕の品質、従って最終生成物の品質は、触媒作用に先立つ前処 理の方法に大いに依存する。これは特に、一方では表面が清浄にされ、他方では 縦孔（ｂｏｒｅ　ｈｏｌｅ）の壁が次の触媒作用のために調整されるフンディジ □ニング工程について当てはまることである。；ｌ整は、全表面を占有して、触 媒の核を吸着するという際立った性質を有する特別な界面活性剤によって達成さ れる。実際に触媒の適用の後には、系に適切な処理であって、邪魔な副生成物を 触媒処理から除去するかあるいは触媒に加えられている核を触媒活性な形態に変 える処理が続く０次いで　＊寛解金属化工程が行なわれる。４常は銅を析出させ る０作業工程の一つにおける定められた作業パラメータからのわずかな偏差が通 常、不完全な金属化を導き、従って多くの場合に最終生成物は使用できないもの である。

よって、これらの触媒系につぎものの本質的な欠点は、核形成密度が前処理１粒 子径および後処理工程に依存していることである。

核形成密度が高くなればなるほど、初期析出速度もしくは初期無電解鋼めっきの 密度はより良いものとなる。すなわち、高品質のスルーホールめっｙということ である。しかしながら、技術的専門用語で７空隙！　（４ｏｉｄｓ）と呼ばれる 欠陥偏所が極めて容易に発生しゃすど、この空隙はスルーホールめっきの品質を 非常に低下させたり、あるいは印刷回路基板を使用不可能にまでしてしまう、け れども。

最適条件下であっても完全に核で占められた表面を得ることはでさない、さらに 、現存の触媒系は不注意に導入される異質の鉄の影響を受けやすい、従って、操 作モードの安定性とともにその再現性は非常に低下している。貴金属を含む触媒 系のもう一つの欠点は使用される金属が高価なことである。

ガルへ−二電気的金属析出による任意の強化が後に続く無電解金属化を利用する 先行技術は広く利用されているものの、可能な選択肢がないためにこれまで我慢 しなければならなかった幾つかの欠点を持っている。なかでも還元作用の電解質 からの純粋に化学的な金属析出は非常に高台であり、分析の正確な技術および電 解質の精密な調整を必要とする。該電解質もまたずばぬけて高い化学製品を含ん でいる。それにもかかわらず、析出された暦は電気めっきによって得られる金属 層よりも物理的および機械的に品質が劣っている。

これまで利用されている技術の別の欠点は系の安定性における不確実性にある。

よって、析出速度および縦孔中の層厚が充分に再現できるか否かという不ｇ１実 性でもある。電解質は安定度が低いゆえに自動分解しがちである。ざらに、該電 解質は概して、還元剤として産業上の安全性の面から回避すべきホルムアルデヒ ドを含んでいる。さらに１選元的に作用する電解質は生物分解性が低い錯生成剤 を多量に含み、そのために廃水による相当な汚染の構成要素となっている。

長い間、化学的金属化を避けて、その代りとしてガルバーニ電気による直接金属 析出を用いることが試みられてきた。そのような方法は、例えば米国特許明ａ信 第３，０９９，６０８号およびドイツ公開未審査特許出ｍ１（ＤＥ−Ｏ５）３３ ０４００４号に記載されている。しかしながら、記載された方法は実際には採用 されていない、新たに調製されたガルバーニ電気作用をする電解質を用いてのみ 、かなり利用可能な結果に到達することができる。操作の開始直後にはすでに得 られた金属析出層の品質は、その後利用不可能な結果しか得られない程度にまで 低下している。ざらに、金属析出には相当長い時間を必要とする。米国特許明細 書第３，０９９．６０８吟に記載された方法を用いれば、金属析出には少なくと も２０分を賞する。さらにまた、欠Ｍ（Ｉ所（空隙）は金属化の際には非常に急 速に漸増的に発生する。従って、金属層は孔壁上に充分に接層しないで形成され る。

本発明の第一の目的は、ｔｓＭもしくは多層の印刷回路基板の製造方法であって 、使用される基板材料の安全で、強い付着性のある連続的な活性化をもたらすこ とができ、活性化された表面のガルバーニ電気による直接金属化を達成すること ができ、作業工程数を減らし、それにより速くかつ費用をかけずに品質の優れた 製品をもたらす方法を開発することである。さらにこの方法は、操作の再現可能 なモードに関して高い確実性先保証するように意図されている０次の金属化は従 来のような無を解の手順によってのみならず、ガルバーニ電気による直接的な方 法によっても実行できるように意図され本発明の目的は、！いたことには活性化 のための導電性表面として本質的に導電性のポリマーを用いることにより達成さ れる。該ポリマーは、酸化の前処理および後処理の工程を経て七ツマ−から生成 する。

本発明に従う方法は、以下のことを特徴とするものである：ａ）基板の表面を酸 化活性を有する溶液中で前処理すること。

ｂ）すすざにより残留溶液を除去した後、少なくとも一つのモノマーであってポ リマーまたはコポリ７−の形態で導電性である千ツマ−更に特にビロール、７ラ ン、チオフェンもしくはその誘導体（類）を含有する溶液中に基板を導入するこ と、Ｃ）次いで基板を酸性溶液中に移し、それにより導電性ポリマー暦、更に特 に重合または共重合したビロール、フラン、チオフよンもしくはその誘導体（撃 ）の暦。

そして、所望によりまたは必要により、残留溶液をすすぎにより除去し、ガルバ ーニ電気的または無電解の金属化を行なうこと。

特に有利であるのは、通し孔のあけられた印刷回路基板に初期エッチフッ作業お よび導板の非導電領域の表面処理を行なう作業工程が、ａ）工程に先立っている ことである。初期エツチングは酸化活性を有する酸性溶液により達成される。導 電性でない縦孔表面の処理は有機溶剤、好ましくは窒素含有溶剤またはそのアル カリ性水溶液により成し遂げられる。

ａ）の作業工程に用いられる溶液は、過マンガン酸塩、マンガン酸塩、過ヨウ素 酸塩および／またはセリウム（ｆｆ）化合物の塩を含む、＃化前忽理は以下に詳 細に述へるように、ｐＨが１未満から１４の範囲で２０〜９５℃の温度で行なう ことができる。０．１〜１０　ｇ／ｎの徽のイオン性または非イオン性界面活性 剤の添加は、醸化前処理の寅を改善するけれども必須ではない、酸化剤は０．１ ｇ／愛からその溶解度の限度の範囲の濃度で存在する。前処理時間は０．５〜２ ０分の間である。

ｂ）工程に用いられる溶液は、各々１〜５０％のビロールまたはフラン、チオフ ェン、ビロール誘導体類またはそれらの混合物、さらに補足的な量の溶剤または 溶解度促進剤そして任意にアルカリ性婚加剤も含んでいる。もちろん、溶剤また は溶解度促進剤の混合物もまた用いることができる。溶剤または溶解度促進剤と してそれぞれ使用可能なものは例えば、水、メタノール、エタノール、ｎ−プロ パツール、インプロパツール、高級アルコール類、ポリアルコール類、ＤＭＦ　 （ジメチルホルムアミド）、ケトン類、更に特にメチルエチルケトン、クメンス ルホネート、Ｎ−メチルピロリドン、トリプライム、ジグライム、トルエンスル ホネート類またはそれらのエチルエステル類のアルカリ金属塩、およびそれらの アルカリ水溶液または混合物である。

印刷回路基板のような金属化されるべき物には、ｂ）の作業工程に続いてＣ）の 作業工程において活性化が行なわれる。活性化は酸化物質１例えばアルカリ金属 の過硫酸塩、アルカリ金属のベルオキソニ硫酸塩、過酸化水素、塩化第二鉄、硫 酸第二鉄、ヘキサジ７ノＭ　（ＩＩＩ）　ＩＩカリウムなどの鉄（ＩＩＩ）塩、 アルカリ金属の過ヨウ素酸塩、または酸性媒体中の同様の化合物を用いて実施す ることができる。活性化を塩酸、硫酸、りん＃等が酸として用いられる酸性媒体 中で行なうことも可能である。活性化は、酸性媒体と同様に酸性の酸化媒体中で も水入空気パージをしながら達成できる。

例えば印刷回路基板のような金属化されるべき物のａ）、ｂ）およびＣ）の作業 工程に続く更にガルへ−二電気的な処理を、以下の段落でざらに説明する。

本発明に従う方法の好ましい態様において、銅、ニッケル、金。

パラジウム、スズ、鉛、スズ／ｌ？１などの金属が金属層の生成に用いられる。

本発明に従う方法により、少なくとも一つの導電性層が任意に両側に設けられた ポリマー基板材料またはセラミック材料に基づく、スルーホールめっさの単層ま たは多層印刷回路基板が得られる。このスルーホールめっき印刷回路基板は、通 しめっきされた縦孔の内部表面上の金属層と基板材料またはセラミック材料との 間に、導電性の合成重合物質の暦が存在することに特徴を有する。導電性合成物 質からなる層は、更に特に重合または共重合したビロール、フラン、チオフェン もしくはそれらの誘導体から構成される０合成ポリマーの層厚は０．１〜１０ｐ ｍであるのが好ましい、中間生成物として、少なくとも一つの導電性層が任意に 両側に設けられ、一方縦孔に接触する領域上には、好ましくはビロール、フラン 、チオフェンもしくはそれらの誘導体類の重合体また１士共重合体からなる導電 性合成ポリマーが存在する、ポリで一基板材料もしくはセラミ−ｙり材料に基づ く孔あきの単層もしくは多層基板が形成される。

導電性ポリマーは、ここ数年科学的な興味の中心に移ってきている、しかしなが ら、これまで工業的には利用されなかった。技術の開発および今日の工業的状態 は種々の概説記番１例えばヘルベルトφナーマン、ｒ化学工業Ｊ６／８７．５９ 〜６４頁のｒ導電性ポリマーＪ　：クラウスーメンケおよびジーグマル・ロス、 「我々の時代の化学ｊｌ／８８．１−１０頁および２／８６．３３〜４３頁の！ 金属導電性ポリマーエおよびＩ■」に発表されている。多数の様々な導電性ポリ マーの中から、更に特に非局在π電子系を含む系が選ばれている。ビロール、フ ラン、チオフェンまたはそれらの誘導体類に基づく系は適切であるようにみえる 。導電性ポリピロールは、電気化学的重合によってもまた単なる化学的手段によ っても生成でさることが先行技術から知られている（Ｋ、Ｃ，クルケおよびＲ１ ５、−ｙ７、ｒ高分子科学誌Ｊ　、Ｖｏｌ、２０　（１９８２）、１０８９およ び１０９５頁）。

ＥＰ−Ａ−０２０６１３３号には、導電性ポリマーの暦、更に特にポリピロール の暦を別の材料とに設ける方法が記載されている。

各種の基板の塗布は化学的手順により達成される。こうして、４２ｇｍの厚さの ポリエステルフィルムの表面に、１０重量％の過塩素酸鉄のエタノール溶液を塗 布する。＃剤を蒸発させながら、処理されたフィルムを１５０℃の温度で窒素中 に１０容量％のビロール蒸気を含む雰囲気に３０秒間さらす、その過程で、数秒 以内に黒色層がフィルム表面に形成される。この不溶性ポリピロール層は１０Ｓ 　／　ｃ　ｍの比導電率を示す、ＥＰ−Ａ−０２０６１３３号には、ポリピロー ル層が導電路を形成するのに適していることも述べられている。ざらに、溶液か ら七ツマ−を析出させて付加的酸化工程を利用することの可能性も述べられてい る。しかしながら、気体状態で操作するという利点が強調されている。得られた 暦の接着強度に関する示唆はなく、更に特に形成された層の次の金属化について は全く明らかにされていない。

しかしながら、先行技術に記載された手段はスルーボールめっさの単層または多 層印刷回路基板のｉｌ造には全く不適当である。更に特に、縦孔の内部表面上へ のポリピロールフィルムの充分な析出を達成することかできなかった。実際に有 用な結果は１本発明に従う方法のパラメータをよく見ることによってのみ得るこ とができる。

とりわけ、方法技術的観点から現実的である時間内に導電性ポリマーのすでに沈 着された暦りに金属を析出させることは、本発明に従う方法によってもっばら可 能となる。

使用される基板材料は更に特に、ガラス繊維強化エポキシ樹脂、ポリイミドおよ びその他の固体ポリブーである。基本的に、本発明に従う方法によって処理され る場合には金属層で被覆できる如何なる材料も適している。スルーホールめっき 印刷回路基板は、基本的に本発明に従う方法により異なる手順で製造することが できる。

第一に、ビロール、チオフェンおよびフランなどの導電性の重合複素環式化合物 の助けを借りて、ｆ！！電解の１元性電解質を同時に使用して金属を析出させる ことができる。

本発明に従う前処理方法−この方法については後述するが−によって前処理され た。ガラス繊維強化エポキシ樹脂などの基板材料からなる印刷回路基板を還元性 電解質中に置くと、金属、好ましくは銅が化学的に析出する。

異なる金属析出方法は、無電解作用の還元性電解質なしで導電性ポリマー化合物 、更に特にビロール、チオフェンおよびフランを使用する。この方法によれば銅 を析出させるのが好ましい０本発明に従う前処理方法−この方法についてはｖｋ 述するが−によって前処理された、ガラス繊維強化エポキシ樹脂などの基板材料 からなる印刷回路基板をガルバーニ電気の銅電解質中に置くと、前処理された縦 孔壁上と同様に印刷回路基板の前処理された銅の裏打ち上にも銅が析出する。

この手段の一つの変形は、後処理工程における変更からなる。それに従うと、導 電性ポリマーフィルムは前処理された縦孔壁上にのみ形成されて銅の裏打ち上に は形成されない。

第三の手段では、ビロール、チオフェンおよびフランなどの導電性の重合複素環 式化合物の助けを借りて、無電解の還元性電解質を同時に使用しであるいは無電 解作用の還元性電解質なしで、金属の裏打ちが設けられていない基板材料上に金 属を析出させる（付加的方法）０本発明に従う前処理方法−この方法については 後述するが−によって前処理されているが、金属の裏打ちが設けられていないガ ラス繊維強化エポキシ樹脂などの基板材料からなる印刷回路基板を１元性の銅電 解質中に置くと、１ｇ４が化学的に析出する。金属の裏打ちが設けられていない 印刷回路基板を直接、ガルバーニ電気の銅電ＩＩｆ買中に置いて印刷回路基板の 表面全体に銅の析出を生じさせることも可能である。

このようにして本発明に従う方法により、減法的、手放法的および加法的技術に よってスルーホールめっき印刷回路基板を製造することがで３る。

減法的技術では、銅で裏打ちされた基板材料、例えばガラス１ａ維強化エポキシ 樹脂が用いられる。孔のあけられた回路基板を本発明に従う方法により前処理し 、そして無電解の、または好ましくはガルバーニ電気による直接金属析出によっ て通しめつきする０次に、通しめっきされた印刷回路基板にそれ自体公知の方法 でスクリーン印刷または光印刷操作を行ない、露光および現像後導電画像が作ら れる０次いで、導電パターンを金Ｎ層のがルバー二電気による析出により付着す る。それ以上の作業工程は必要に応じて、例えばヘルマン、Ｔ印刷回路基板ハン ドブック」に記載されているそれ自体公知の方法で行なう、いわゆる役に足つ（ ｔｅｎｔｉｎｇ）技術によれば、本発明に従う方法によって通しめつきされた印 刷回路基板を直接的手順により表面的にガルバーニ電気的に金属化して、必要な 層厚を形成することができる。ポジ印刷では、その後必要に応じてエツチング工 程の間、導電画像および縦孔を保護するフォトレジストを塗布する。

手前法的技術では１本発明に従って前処理され、活性化され次いで金属化された 。裏打ちされていない基板材料を用いることができる。これらの工程の後にはそ れ自体公知の方法による光処理および導電画像の形成が続く、シかしながら、本 発明に従う方法によって前処理され、活性化されそして乾燥された銅で裏打ちさ れた基板材料、好ましくは５〜１２＃ｍの厚さの銅箔が貼られた基板材料０次に フォトレジストを塗布し、露光および現像後、導電画像がネガで作られる０次い で、導電画像を選択的に増強する。それ以上の処理はそれ自体公知の方法により 行なう。

本発明に突う方法は、一つの作業工程内における変更のために全く新規な印刷回 路基板の製造方法を明らかにしており、従って導電路の作成および縦孔の通し金 属化を選択的に行なうことが可能とな基板材料の金属化は例えば、導電路の作成 および適宜に用意された材料の通し金属化を、すでにフォトレジスト〒被覆され た基板上に達成することによって実施される。

更なる方法の変形では、孔があけられかつ銅で裏打ちされた基板材料を始めにエ ツチングし、状瞥調整し、次いで酸化前処理に付す（ａ）工程）、すすぎによっ て残留溶液を除去した債、基板をモノマー、更に特にビロールまたはビロール誘 導体（類）、またはフランの混合物、フラン誘導体頌、チオフよン、ビロールと チオフェンの誘導体（類）を含む溶液中に導入する（ｂ）工程）。

その後基板を酸性溶液中に導入すると、導電性のポリで一層が形成されてくる（ ｃ）工程）。

次に、基板をすすぎ、乾燥し、フォトレジストで被覆して所望の導電路パターン を介して露光し、次いで現像する。それにより、縦孔および導１画像がむＳ出し になる。導電路をガルバーニ電気的に強化するためおよび縦孔に通しめっきする ために、前処理された基板を適当な銅電解質中に置くことができ、これによりカ ルパー二電気による析出がレジストチャンネルおよび縦孔それぞれの中において のみ生じる。

加法的技術では、裏打ちされていない基板材料が用いられる。金属化される領域 および導電路等を選枳的に活性化し１次いで化学的および／またはガルバーニ電 気的に金属化する。これにより、導電画像の［接付若が達成される。

と述した加法的技術の変更は、次のような作業工程により特徴付けられる。

孔のあけられた基板材料を、フォトレジストのａＮｌのために最良に調整された 表面を有するように処理する０ｇ！４整された基板をフォトレジストで被覆し、 所望の導電路パターンマスクを介して露光し次いで現像する。それにより、縦孔 および導電画像がむき出しになる０次に基板をエツチングし、状態ｙ４整し、そ して酸化前処理に移す（ａ））、溶剤の歿冒物毫除去した後、基板を上記複漏環 （類）含有溶液の一つの中に通す（ｂ）工程）。

これに続いて、基板を酸性溶液中に置くと導電性暦が形成される（Ｃ）工程）。

次いで、強いすすぎ、ブラッシング、適当な手段または該清浄操作の組合せを用 いた機械的な清浄により、前処理された基板からフォトレジストに接着している ポリマー層を除去する。その後、基板を従来の酸洗い工程で処理し、ガルバーニ 電気的金属化を行なう。

金属化はレジストチャンネルと縦孔においてのみ達成される。

以下に、本発明に従う方法の作業工程を更に詳細に説明する。

本発明に従う方法は、次のような概括的工程によって特徴付けることができる。

１、ｉ北面処理　ａ） ？、すＴざ ３、触媒作用　ｂ） ６、無電解金属化 ７、すすぎ ８、酸洗い ９、銅の予＊強化（ガルバーニ電気的）スルーポールめっき印刷回路基板をガル へ−二！気的直接銅めっきによって作成しようとするならば、工程は次のように なる６１、酸化前処理　ａ） ２、すすぎ ３、触媒作用　ｂ） ６、酸洗い ７、ガルバーニ電気的銅めっき 本発明に従う方法の好ましい態様では、酸化前処理からなるａ）工程に先立って 、初期エツチングの工程、すすぎ操作、清浄工程。

縦孔の清浄と表面処理１次いで更なるすすぎ工程が実施されてもよ基板材料がす でに銅からなる導電性暦から構成されている場合には、印刷回路基板の初期二ｔ ・チングは酸化剤の供給されたｉ′ｌｙ販の酸性溶液中で行なわれる。これによ り、接近容易な銅の領域には全て均一で細かな模様付き表面が設けられる。処理 後４表面は酸化領域、指紋および他のきょう雑物から免れて均一な明色を示す。

印刷回路基板の非導電性領域（縦孔壁）の清浄および表面処理の作業工程は、清 浄効果に加えて印刷回路基板の非導電性領域を活性化し状態謂整を行なうもので もあるが、有機溶剤、好ましくは窒素含有溶剤によってもしくは各溶剤のアルカ リ水溶液を用いて行なわれる。この作業工程は活性化およびコンディショニング 効果を与えるのみならず、多層回路の場合にはもし存在するなら、縦孔壁上の銅 インレイのきょう雑物を次のきょう雑物除去のために調整するものでもある。処 理時間は一般に１〜２０分の間であり、２０〜８０℃の温度で行なわれる。先行 する工程は１次の作業のための印刷回路基板の最適前ｆｉ理を提供する。

印刷回路基板をガルバーニ電気的または化学的金属化のために調整する目的で、 該印刷回路基板には酸化前処理、ａ）が行なわれなければならない、酸化前処理 は、ｐＨが１未満〜１４の範囲で２０〜９５℃の温度で行なうことができる。０ ．１〜ｌｏｇ／Ｊｌの量のイオン性または非イオン性界面活性剤の添加は、酸化 前処理の質を改善するが必須ではない、ａ化剤は、Ｏ，Ｌｇ／ｌからその溶解度 の限度までのａ囲の一度で存在する。前処理時間は０．５〜２０分の間である。

酸化剤としては例えば、硫酸セリウム（■）、アルカリ金属のマンガン酸塩、ア ルカリ金属の過マンガン酸塩およびアルカリ金属の過ヨウ素酸塩を用いることが できる。好ましくは過マンガン酸カリウムを用いる。

アルカリ性条件下で金属化される物を前処理するための酸化媒体としては、２０ ｇ／ｉの過マンガン酸カリウムとＬｏｇ７′文の水酸化ナトリウムを含む水溶液 を用意する。約０．１ｇ／ｌの非イオン性の弗素界面活性剤を溶液に加えるのが 有利である。好ましくは、印刷回路基板を温めた溶液中に若干ゆすりながら１０ 分間置く、前翅理後、印刷回路基板を水洗する。

中性条件下で金属化される物を前処理するための酸化媒体としては、Ｌ２ｇ／ｌ の過マンガン酸カリウムと０．１ｇ／ｌの非イオン性の弗素界面活性剤を含む水 溶液を用意する。溶液のＰＨを約７にＷ箇するために、ｐＨＪ！ｆｆ物質（水酸 化ナトリウム、硫酸等）を用いる、好ましくは、処理されるべき印刷回路基板を 約６５℃に温めた溶液中に若干ゆすりながら５分間置く、酸化前処理後、印刷回 路基板を水洗する。

酸性条件下で金属化される物を前処理するための酸化媒体としては、Ｌｏｇ／ｌ の過マンガン＃ガリウム、Ｏ，１ｇ／ｌの非イオン性湿ｆｌ剤および硫酸を含む 水溶液を用意する。これにより、溶液のｐＨ値は約２となる。好ましくは、処理 されるへさ印刷回路基板を溶液中に若干ゆすりながら約１分間置く、溶液の温度 は好ましくは２０〜３０℃である。酸化前処理後、印刷回路基板を水洗する。

酸化媒体として、５０ｇ／見の硫酸セリウム（■）、非イオン性界面活性剤およ び硫酸の水溶液を用意する。これにより、溶液のｐＨ１ｌは１未満となる。好ま しくは、処理されるべき印刷回路基板を２０〜３０℃に温めた溶液中に若干揺ら しながら約５分間置く。

酸化前処理後、印刷回路基板を水洗する。

更に酸化媒体としては、５０ｇ／ｉの過ヨウ素酸ナトリウム、非イオン性界面活 性剤および硫酸の水溶液を用意する。これにより、溶液のｐＨ４ｍは１未満とな る。好ましくは、処理されるべき印刷回路基板を温めた溶液中に若干揺らしなが ら５分間置く、酸化前処理後、印刷回路基板を水洗する。

触媒作用のｂ）の作業工程には、複素環式化合物および水の溶解度促進剤／可溶 化剤として、複素環式化合物、更に特にビロール、チオフェンまたはフラン、水 混和性有機溶剤、例えばメタノール、エタノール、ロープロバノール、イソプロ ノ：ノール、高級アルコール類、ポリアルコール類、ＤＭＦ　（ジメチルホルム アミドン類，クメンスルホネート、Ｎ−メチルピロリドン、ト１ノグライム、ジ グライム、トルエンスルホネート類のアルカリ金属塩またはエチルエステル類、 およびそれらのアルカリ水溶液または混合物からなる溶液が用いられる．金属化 される基板（印刷回路基板）をこの溶液中に置く．印刷回路基板などの酸化前あ 理された物の高い反応性のために，複素環（類）を含有する触媒作用溶液の濃度 は広い範囲に渡ってもよく、従って０，１〜５０％の複素環類を含む溶液を用い ることがでさる．しかしながら、ｉ＃適の触媒作用特性は５〜３５％の複素環（ 類）を含む溶液によって示されることが判明している．印刷回路基板などの物の 触媒溶液中における滞留時間は数秒〜２０分のｉｆｆ囲である．滞留時間の最適 範囲は１〜５分の間であることが見い出されている．印刷回路基板などの基板を 触媒溶液中で処理する間、基板を若干ゆすってもよい．以降に示す表は，好まし く使用でさる触媒溶液の一覧表である。

触媒作用後、印刷回路基板などの金属化される物には、次の金属析出のための調 整として活性化．Ｃ）が行なわれる．活性化は酸化物質，例えばアルカリ金属の 過硫酸塩，アルカリ金属のベルオキソ二値酸塩，過酸化水素，塩化第二鉄，ｉ！ 酸酸第銑鉄ヘキサジ７ノ鉄（ｍ）酸カリウムなどの鉄（ｍ）塩、アルカリ金属の 過ヨウ素酸塩または酸性媒体中の同様の化合物を用いて達成することかでさる。

活性化を塙酸、硫酸、りん酸等が酸として用いられる酸性媒体中でだけ行なうこ ともまた可能である．酸性媒体中で水入空気パージをしながら活性化を遂げるこ ともできる。

金属化される物の酸性酸化媒体中における活性化では、触媒触媒作用をされた基 板を５　０　ｇ／ｌのベルオキソニ硫酸ナトウリムとｌＯｍ交／交の硫酸を含む 水溶液中で、若干揺らしながら５分間保持する．暗褐色または黒色のフィルムが 印刷回路基板の表面および縦孔壁上に形成される．活性化後、活性化された基板 を流水ですすぐ。

触媒作用をされた基板を，４０ｇ／ｌのへキサシアノ鉄（ｍ）酸カリウムと２０ ｍ４／ｕの硫酸を含む水溶液中で、若干揺らしながら４分間保持する．暗色の容 量の大，ｇなフィルムが印刷回路基板の表面全体に形成される．活性化後，活性 化された基板を流水ですすぐ。

２０ｇ／ｆＬのアルカリ金属の過ヨウ素酸塩と４０ｍ又／ｉの硫酸を含む水溶液 中における金属化される物の活性化は、若干揺らしながら２分以内にもたらされ る．黒色フィルムが表面全体に形成される。

さらに活性化は，５０ｇ／ｌの硫酸鉄（ＩＩＩ）と３０ｍ文／交の硫酸からなる 水溶液中で達成することができる．好ましくは，触媒作用をされた基板をこの溶 液中で若干揺らしながら５分間保持する。

暗色の塗膜か表面全体に形成される．活性化後，活性化された基板を流水ですす ぐ。

２０％の硫酸水溶液からなる酸性媒体中では，金属化される物の活性化は若干揺 らしながら永久空気パージ下で約５分以内に達成される．活性化後、活性化され た基板を流水ですすぐ。

５％の塩酸水溶液を活性化に用いる場合には、前処理された基板を溶液中に若干 揺らしながら好ましくは１０分間置く．５％塩酸を用いる活性化の後も活性化さ れた基板を水洗する。

８％のりん酸水溶液を用いる場合には、活性化される基板を該溶液中に若干揺ら しながら永久空気パージ下で１０分間置く．活性化後，活性化された基板を水洗 する。

活性化はまた，本発明に従って前％理された基板を６０ｇ／！Ｌのベルオキソニ 硫酸ナトウリムと４　０　ｍ　ｌ　／　ｌのＨ２ＳＯｓを含む水溶液中で，若干 揺らしながら永久空気パージ下で１０分間保持することにより行なうこともでき る．この種の活性化後も，活性化された基板を水洗する。

更に好ましい態様では，触媒作用をされた基板を１００ｍ見／文の硫酸と２　５ 　ｍ　ｌ　／　ｌの過酸化水素水溶液（３０％）を含む水溶液の作用に，若干揺 らしなから水火空気パージ下で約３分間さらす。

活性化後ここでも、活性化された基板を水洗する。

上記のダラムおよびミリリットルの量は水溶液１リツトルの総量に相対し，重量 および容量による濃度はそれぞれｇ／ｍ文，ｍ見／見である。

活性化後直ちに、上述の方法に従って処理された印刷回路基板などの物には無電 解の還元的金属析出を行なうことができる．活性化完了後直ちに、金属をガルバ ーニ電気的に析出させることも可能である．さらに、印刷回路基板などの活性化 された物を後はど金属で電気めっきすることができる。

無電解金属化のためには、市販の電解質，好ましくは例えばＭＥＴＡＬＹＴ　＝ ｊｃｕ　ＮＶなどの銅電解質が技工に知られているような従来の条件下で使用さ れる。

金属の電着もまた．公知のガルバーニ電気的電解質を用いることにより達成され る．基本的に、電気めつさのために使用することができる全ての金属もしくは合 金を析出させることができる．しかしながら、銅電解質を用いるのが好ましい． 特に好ましいのは．５０〜３００　ｇ／！；Ｌの含有量の遊離硫酸と５〜５０ｇ ／立の含有量の金属を有する硫酸からなる銅電解員溶液である。しかしながら、 スルファミンおよび有機スルホン酸に基づく電解質とともに、フルオロホウ酸、 増酸、チオ硫酸基またはビロリン酸塩を含む電解質、またはシアン化物の電解質 が適切であることが証明されている。電着は従来の条件下で、すなわち２０℃と ７０℃の間で０．１〜２０Ａ／ｄｍｊの間の電流密度で成し遂げられる１Ｍいた ことに、本発明に貧う活性化後直ちにガルバーニ電気的銅析出を行なうならば、 １着に要する時間を著しく短縮することができる。従って、特に好ましい場合に は該時間は２〜５分になる。得られた金属層は均一で連続していて、加えてしっ かりと接着して、いわゆる通し光試験では欠陥個所も見当たらない。

本発明に従う方法を、以下の実施例により更に説明する。

表Ｊｕ１↓ 両側に銅の被覆されたガラス！ｉｌ鑑強化エポキシ樹脂材料に従来の方法で縦孔 を設け、機械的に清浄にする０次に、５０　ｇ　／　ｌの硫酸セリウム（ｒＶ） の硫酸含有水溶液中で非イオン性の弗素界面活性剤を用いて、基板に酸化前処理 を行なう、印刷回路基板を２０〜３０℃の温度に維持された溶液中で若干ゆすり ながら５分間保持し、次いですすぐ、その後、２０％のビロールと２０％のイン プロパツールを含む室温の触媒水溶腋中に、印刷回路基板を若干ゆすりながら５ 分間浸漬する０次いで、５０ｇ／見のベルオキソニ硫酸ナトリウムとｌ　Ｏｍ　 ｌ　／　ｌの硫酸を含む水溶液中に、印刷回路基板を若干ゆすりながらもう５分 間浸漬する。暗褐色から黒色の導電性ポリマーフィルムが１表面および縦孔壁上 に形成される。処理された基板を次に流水ですすぎ、２０％の硫酸水溶液で酸洗 いし、そして市販の銅電解質浴中で銅めっきする。電解質として、出願人の商品 であるＣＵＰＲＯ５丁ＡＩ？　ＬＰ−１を用いる。この電解質は次のような組成 からなる。

銅：　１８−　２２　ｇ／ｌ 硫酸：　１８０−２５０　ｇ／文 塩化ナトリウム：　６０−１００ｍｇ／ｌポリエーテルヘースの添加剤＋４−８ ｍ１ｌ交温度は２０〜３０℃であり、電流密度は２〜４　Ａ　／　ｄ　ｍ・であ る、僅か８分後に、全ての縦孔が完全に金属化される。

実施例２ 実施例１におけるような基板を、２０ｇ／ｌの過マンガン酸カリウム、１０　ｇ ／ｉの水酸化ナトリウムおよび０　、１　ｇ／ｌの非イオン性の弗素界面活性剤 を含む９０℃の水溶液中で、ゆすりながら酸化処理した。すすぎ工程の後、１０ ％のビロール、１５％のイソプロパ／−ルおよび０　、１　ｇ／ｌの弗素界面活 性剤を含む室温の水溶液中に、基板を１０分間浸漬する。基板を若干ゆり動かし て縦孔中の液体の良好な交換を確実にする。この工程の後には、２０ｇ／ｌの過 酸化水素と約２０％の硫酸を含む水溶液中での処理が統〈、基板を室温でゆり動 かしながら約８分間ざらす、暗褐色から黒色の導電性ポリピロールフィルムが形 成される０次に、処理された基板を流水ですすぎ、実施例１で述へたように銅で 直接電気めっきする。

約５分後に、全ての縦孔がしっかり接着したｉ！鏡な金属層で完全にかつ均一に 金属化される。

スルーホール金属化された印刷回路基板を、縦孔中の銅層の厚さ２５ｇｍまでガ ルバーニ電気的に強化する。　ＭＩＬ　５ｐｅｃ、−Ｐ−５５１１０−（：に従 う熱衝撃試験に何ら問題を生じることなく及第する。

１直貫旦 実施例１におけるような基板を、２０１／文の過マンガン酸カリウム、１０　ｇ ／ｉの水酸化ナトリウムおよび０　、１　ｇ／ｉの非イオン性の弗素界面活性剤 を含む９０℃の水溶液中で、ゆすりながら酸化処理する。すすぎ工程の後、１０ ％のビロール、１０％のフラン、１５％のインプロパ／−ルおよびＯ，Ｉｇｌ旦 の弗素界面活性剤を含む室温の水溶液中に、基板を１０分間浸漬する。基板を若 干ゆり動かして縦孔中の液体の良好な交換を確実にする。この工程の後には、２ ０ｇ／交の過酸化水素と約２０％の硫酸を含む水溶液中での処理が統〈、基板を 室温でゆり動かしながら約８分間さらす。

暗褐色から黒色の導電性ポリマーフィルムが形成される６次に、処理された基板 を流水ですすぎ、実施例１で述べたように銅で直接電気めっきする。

約８分後に、全ての縦孔がしっかり接着した連続な金属層で完全にかつ均・−に 金属化される。スルーホール金属化された印刷回路基板を、縦孔中の銅層の厚ざ ２５牌ｍまでガルバーニ電気的に強化する。　ＩＩＩＬ　５ｐｅｃ−Ｐ−５５［ １１］−Ｃに従う熱衝撃試験に何ら間層を生じることなく及第する。

実施例４ 銅の被覆されていないガラス繊維強化エポキシ樹脂からなる基板材料を、実施例 ２の方法に従って前処理し、触媒作用をし、そして活性化する。得られた印刷回 路基板を鋼で直接電気めっさする。約１０分後に、全ての表面および縦孔がしっ かり接着した連続な金属層で完全にかつ均一に金属化される。

笈鼻亘１ 両側に銅の被覆されたガラス５１４１強化エポキシ樹脂からなる基板材料に、従 来の方法で縦孔を設け１機械的に清浄にする０次に。

２５ｇ／ｌのマンガン酸カリウムと１０　ｇ／ｌの水酸化カリ゛ウムの７０℃の 水溶液中で、若干揺らしながら１０分間基板に酸化前処理を行ない、次いですす ぐ、その後、２５９６のブタノール、５０％の水、１０％のビロール、２％の水 酸化ナトリウム水溶液（３０％）および１３％のクメンスルホネート水溶液（４ ０％）からなる溶液中に、印刷回路基板を５分間浸漬する。

その後、３００　ｍｌ１文の′ｉｉｔ＃と２０　ｇ／ｉのベルオキシニ！酸テト リウムを含む溶液中に、印刷回路基板を維持する。暗褐色から黒色の導電性ポリ マーフィルムが１表面および縦孔壁上に形成される１次に、処理された基板を流 水ですすぎ、２０％の硫酸溶液で酸洗いし１次いでＬＰ−１の銅（実施例１参照 ）で電気めっきする。１０分後に、全ての縦孔がしっかり接着したＩＩＬ続な金 属層で完全にかつ均一に金属化される。

１１上Ｊ 実施例１におけるような印刷回路基板を、２０　ｇ／ｌのマンガン鍍カリウムと ２０　ｇ／ｌの水酸化カリウムを含む８０℃の水溶液中で、若干揺らしながら１ ０分間酸化処理する０次に、２５％のグリセロール、２５％のトリグライム、３ ５％の水および１５％のピロールからなる溶液中に基板を若干揺らしながら１０ 分間浸漬する。

基板を浴から取り去り、２分間液体を排出させる０次いで、５０ｇ／文のベルオ キシニ硫酸ナトリウムとｌｏＯｍｉ／ＪＬの硫酸を含む水溶液中に基板を移し、 その中で若干揺らしながらかつ水火空気パージしながら５分間維持する。基板の 表面全体に暗褐色から黒色のフィルムが形成される０次に、基板を流水ですすぐ 、処理された印刷回路基板を２０％の硫酸溶液で酸洗いし、次いで銅電解質（実 施例１参照）中で電気めっさする。８分後に、全ての縦孔がしっかり！！した連 続な金属層で完全にかつ均一に金属化される。

Ｋ直璽１ アルカリ性条件下での酸化前処理（これに関しては実施例６参！！＠）に続いて 、印刷回路基板を、ｔｏｙ６の水、２０％のトリグライム、３０％のＮ−メチル ピロリドン、２０％のピロールおよび２０％のＤＭＦからなる溶液中に若干ぜら しながら５分間浸漬する。触媒作用後、処理された基板を５　ｇ／ｌのベルオキ ソニ硫酸ナトリウムと５０　ｍ　ｌ　／　ｌの硫酸を含む水溶液中に維持し、そ の中で若干揺らしながらかつ水火空気パージしながら５分間維持する。後続の処 理は実施例６に述べた通りである。

Ｘム亘１ 多層印刷回路（８内部Ｍ）に従来の方法で縦孔を設け、機械的に清浄にする０次 に、アルカリ性条件下で３０　ｇ　／　ｎの過マンガン酸カリウムと３０ｇ／ｌ の水酸化ナトリウムを含む７５℃からの温度の水溶液中で２若干ゆすりながら約 ７分間基板に酸化前処理を行ない、次いですすぐ０次いで、６６％のグリセロー ル、２７％＋７）Ｎ−メチルピロリドンおよび７％のピロール、かうなる室温の 触媒溶液中に、印刷回路基板を５分間浸漬する。触媒作用後、触媒作用をされた 多層基板を次いで、約３０容積％の硫＃七含む水溶液中で若干揺らしながらかつ 永久空気パージしながら５分間処理する。後続の処理は実施例６に述べた通りで ある。

１農■Ｊ 活性化工程で空気パージされた２０％の硫酸水溶液を用いること以外は、実施例 ２に述べたように印刷回路基板を前処理し、触媒作用をする。基板の滞留時間は ゆり動かしながら５分である。暗褐色から黒色の導電性ポリピロールフィルムが 形成され、縦孔にだけ接着している。銅で裏打ちされた表面は被覆されていない ０次に、基板をすすいで乾燥する。印刷回路基板に市販のフォトレジストを塗布 し、光に露光し、現像する。これにより導電画像はむき出しになる６次いで、ガ ルバーニ電気の銅電解質により、レジストチャンネルおよび縦孔内の層厚２５ｇ ｍまで基板を選択的に強化する０通し金属化された印刷回路基板は従来の方法で 更に処理することができる。

皮較璽 従来の方法で縦孔を設は機械的に清浄にされた印刷回路を、６６％のグリセロー ル、２７％のＮ−メチルピロリドンおよび７％のピロールからなる溶液中で約７ 分間基板する０次に、処理された印刷回路基板を、約３０容量％の硫酸を含む水 溶液中で若干揺らしながらかつ空気パージしながら５分間処理する。すすぎおよ び２０％の硫酸溶液中での酸洗いの後、市販の銅電解質中で４　Ａ　／　ｄ　ｍ ・の電流密度で基板に電気めっきを行なう、その後、縦孔壁上に銅の析出は観察 されなかった。

実施例１〜９および比較例の印刷回路基板には１機械的清浄後次の作業工程を行 なう： 初期エツチング、すすぎ、縦孔壁の清浄と表面処理およびもう一回のすすぎ。

上記したダラムおよびミリリットルの量はｌリットルの溶液に相対し、溶媒はほ かに断りのない限り水である。

基板に触媒作用をするために請求の範囲第１項に従ってｂ）工程で使用される浴 の好ましい組成、および各浴中にお（する基板の好ましい滞留時間についての更 なる実施例を次の表に示す。

−ｊ（− Ｎｏ、　１０　１１　１２　１３　１４　１５　１６　１７　１８　１９　２０ 　２１ピロール　５　１０　１０　ｔｏ　２０　３０　５　３０　３　１５　３ ０　２０水　５５’　６５　５０　５０　４５　２０　５５　−　４７　３５　 ＋０　３０ネート水溶液（４０％） ＮａＯＨ水溶液　−−−−５−−−−−−−（３０り 滞留時間： 分　３　１０　２　２　５　１０　１５　３　１．５　１　１．５　１補正書の 写しく翻訳文）提出書（特許法第１８４条の８）平成２年　８月３０日 ２、発明の名称 新規なスルーホールめフき印刷回路基板およびその製造方法３、特許出願人 名　称　プラスヘルク・オーベルフレヒエンテヒニーク・住　所　東京都新宿区 四谷２−１４ミッヤ四谷ビル８階１９９０年３月２２日 ６、補正の内容 特許請求の範囲の第２８〜３１頁を添付の同頁と差しかえる。

７、添付書類の目録 １９９０　３　２．２、特許 請求の範囲 １、スルーホールめっきの単層または多層印刷回路基板の製造方法であって、 該基板が、片側または両側に導電性層が任意に設けられたポリマー基板またはセ ラミック材料に基づいており。

該方法か、導電性層（群）が設けられていないポリマー基板またはセラミック材 料の表面をも、電解で金属化することからなり、それにより金属層か形成され、 ａ）ポリマー基板またはセラミック材料の表面を酸化活性を有する溶液中で前処 理すること、 ｂ）すすぎにより残留溶液を除去した後、ビロール、フラン、チオフェンもしく はその誘導体（ｍ）からなる群のうちの少なくとも一つの千ツマ−であって、ポ リマーまたはコポリマーの形感で導電性である千ツマ−を含有する溶液中に、ポ リマー基板またはセラミック材料を浸漬し、それによりモノマーをポリマー基板 またはセラミック材料の表面上に析出させること、Ｃ）次いで、ポリマー基板ま たはセラミック材料を酸性であって任意に酸化性の溶液中に移し、それにより重 合または共重合したビロール、フラン、チオフェンもしくはその誘導体く類）の 導電性ポリマー層がｂ）工程で析出したモノマーから形成されること、そして、 所望によりまたは必要により、残留溶液をすすぎにより除去したのち、電解で金 属化を行なうこと、を特徴とするスルーホールめフきの単層または多層印刷回路 基板の製造方法。

２、通し孔のあけられた印刷回路基板に初期エツチング作業および厚板の非４電 領域の表面処理を行なう作業工程が、ａ）工程に先立つことを特徴とする請求の 範囲第１項記載の方法。

３、印刷回路基板の初期エツチングが、酸化活性を有する酸性溶液により達成さ れることを特徴とする請求の範囲第２項記載の方法。

４、有機溶剤もしくはそわらのアルカリ性水溶液を表面処理に用いることを特徴 とする請求の範囲第２項もしくは第３項記載の方法。

５、有機溶剤が窒素を含有することを特徴とする請求の範囲第４項記載の方法。

６、金属層が、銅、ニッケル、金、パラジウム、スズ、鉛、スズ／鉛のうちの一 つの金属もしくは合金から構成されることを特徴とする請求の範囲第１項乃至第 ５項のいずれかの項記載のスルーホールめっきの単層または多層印刷回路基板の 製造方法。

７、ａ）工程の溶液が、酸化性の過マンガン酸塩、マンガン酸塩、過ヨウ素酸塩 および／または硫酸セリウム（ｒＶ）を含有することを特徴とする請求の範囲第 １項乃至第６項のいずれかの項記載の方法。

８、酸化１￥液のｐＨ値が１未満と１４の間であることを特徴とする請求の範囲 第１項乃至第７項のいずれかの項記載の方法。

９、酸化溶液が界面活性剤を含有することを特徴とする請求の範囲第１項乃至第 ８項のいずれかの項記載の方法。

１０、ｂ）工程を実施するための溶液か１〜５０％のビローＪし、フランおよび ／またはチオフェンと、９９〜５０％の溶剤または可溶化剤もしくは９９〜５０ ％の溶剤および可溶化剤からなる混合物とを含有することを特徴とする特許請求 の範囲第１項乃至第９項のいすねかの項記載の方法。

１１、可溶化剤または溶剤が、水、メタノール、エタノール、ｎ−プロパツール 、イソプロパツール、高級アルコール類、ポリアルコール類、ＤＭＦ　（ジメチ ルホルムアミド）、ケトン類、クメンスルホネート、Ｎ−メチルピロリドン、ト リグライム、ジグライム、トルエンスルホネート類またはそれらのエチルエステ ル類のアルカリ金属塩、およびそれらのアルカリ水溶液または混合物であること を特徴とする請求の範囲第１項乃至第１０項のいずれかの項記載の方法。

１２、片側または両側に導電性層が任意に設けられたポリマー基板またはセラミ ック材料に基づく基板であって、導電性の合成ポリマーの層が縦孔を取り囲む領 域の金属層と、ポリマー基板またはセラミック材料との間に存在していることを 特徴とするスルーホールめっきの単層または多層印刷回路。

１３、導電性の合成ボッマーの暦が、重合または共重合したビロール、フラン、 チオフェンもしくはその誘導体（類）から構成されることを特徴とする請求の範 囲第１２項記載のスルーホールめフきの単層または多層印刷回路基板。

１４、導電性の合成ポリ７−の層が０．１〜１０μｍの厚さであることを特徴と する請求の範囲第１２項もしくは第１３項記載のスルーホールめっきの単層また は多層印刷回路基板。

１５、特許請求の範囲第１項に記載のａ）、ｂ）およびＣ）工程に従い製造され た、片側または両側に導電性層が任意に設けられたポリマー基板またはセラミッ ク材料に基づく基板であって、縦孔を取り囲む領域上に導電性の合成ポリマーの 層があるスルーホールめフきの単層または多層印刷回路基板。

国際調査報告 ”””・ＩＩ”””””””ＰＣＴ／ＥＰ１１９７００２０４国際調査報告 ＥＰ　８９００２０４ Ｓ＾　２６９９７ 容１頁の続き ［相］Ｉｎｔ、　Ｃ１，’　識別記号　庁内整理番号８０５　Ｋ　３／４６　Ｎ 　６９２１−４Ｅ優先権主張　［相］１９８８年９月冴日［相］ドイツ（ＤＥ） ［相］Ｐ３８３２５０７．１始　明　者　クローネンベルク、ヴアルター　ドイ ツ連邦共和国、ラーセ、５ 特表千５−５０６１２５（１１） １、ケルン、８０、デー−５０００、リビニケル・シュト

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．導電性金属属で被覆されていない表面にも金属層を電気めっきまたは無電解 めっきすることにより、少なくとも一つの導電性層が任意に両側に設けられたポ リマー基板材料またはセラミック材料に基づく印刷回路基板の製造方法において 、ａ）基板の表面を酸化活性を有する溶液中で前処理すること、ｂ）すすざによ り残留溶液を除去した後、少なくとも一つのモノマーであってポリマーまたはコ ポリマーの形態で導電性であるモノマー、更に特にピロール、フラン、チオフェ ンもしくはその誘導体（類）を含有する溶液中に基板を導入すること、ｃ）次い で基板を酸性溶液中に移し、それにより導電性ポリマー層、更に特に重合または 共重合したピロール、フラン、チオフェンもしくはその誘導体（類）の層、 そして、所望によりまたは必要により、残留溶液をすすぎにより除去し、ガルバ ーニ電気的または無電解の金属化を行なうこと、を特徴とするスルーホールめっ きの単層または多層印刷回路基板の製造方法。 ２．通し孔のあけられた印刷回路基板に初期エッチング作業および導板の非導電 領域の表面処理を行なう作業工程が、ａ）工程に先立つことを特徴とする請求の 範囲第１項記載の方法。 ３．印刷回路基板の初期エッチングが、酸化活性を有する酸性溶液により達成さ れることを特徴とする請求の範囲第１項もしくは第２項記載の方法。 ４．有機溶剤またはそれらのアルカリ性水溶液を表面処理に用いることを特徴と する請求の範囲第１項乃至第３項のいずれかの項記載の方法。 ５，有機溶剤が窒素を含有することを特徴とする請求の範囲第４項記載の方法。 ６．金属層が、銅、ニッケル、金、パラジウム、スズ、鉛、スズ／鉛のうちの一 つの金属から構成されることを特徴とする請求の範囲第１項乃至第５項のいずれ かの項記載のスルーホールめつさの単層または多層印刷回路基板の製造方法。 ７．ａ）工程の溶液が、酸化性の過マンガン酸塩、マンガン酸塩、過ヨウ素酸塩 および／または硫酸セリウム（ＩＶ）を含有することを特徴とする請求の範囲第 １項乃至第６項のいずれかの項記載の方法。 ８．酸化溶液のｐＨ値が１未満と１４の間であることを特徴とする請求の範囲第 １項乃至第７項のいずれかの項記載の方法。 ９．酸化溶液が界面活性剤を含有することを特徴とする請求の範囲第１項乃至第 ８項のいずれかの項記載の方法。 １０．少なくとも一つの導電性層が任意に両側に設けられたポリマー基板材料ま たはセラミック材料に基づく印刷回路基板において、縦孔に接触する領域の金属 層と基板材料またはセラミック材料との間に、導電性の合成ポリマーの層がある ことを特徴とするスルーホールめっきの単層または多層印刷回路基板。 １１．導電性の合成ポリマーの層が、重合または共重合したピロール、フラン． チオフエンもしくはその誘導体（類）から構成されることを特徴とする請求の範 囲第１０項記載のスルーホールめっきの単層または多層印刷回路基板。 １２．導電性の合成ポリマーの層が０．１〜１０μｍの厚さであることを特徴と する請求の範囲第１０項もしくは第１１項記載のスルーホールめっきの単層また は多層印刷回路基板。 １３．少なくとも一つの導電性層が任意に再側に設けられたポリマー基板材料ま たはセラミック材料に基づく印刷回路基板であって、縦孔に接触する領域上に導 電性の合成ポリマーの層があるスルーホールめっきの単層または多層印刷回路基 板。 １４．重合の際に導電性ポリマーを生じるモノマー、可溶化剤および溶剤もしく はそれらの混合物を含有する、請求の範囲第１項乃至第９項記載の方法のｂ）工 程を実施するための水溶液。 １５．１〜５０％のピロール、フランおよび／またはチオフェンと、９９〜５０ ％の溶剤または可溶化剤もしくは９９〜５０％の溶剤および可溶化剤からなる混 合物とを含有する請求の範囲第１４項記載の溶液。 １６．可溶化剤または溶剤が、水、メタノール、エタノール、ｎープロパノール 、イソプロパノール、高級アルコール類、ポリアルコール類、ＤＭＦ（ジメチル ホルムアミド）、ケトン類、クメンスルホネート、Ｎ−メチルピロリドン、トリ グライム、ジグライム、トルエンスルホネート類またはそれらのエチルエステル 類のアルカリ金属塩、およびそれらのアルカリ水溶液または混合物であることを 特徴とする請求の範囲第１４項もしくは第１５項記載の溶液。 １７．１〜５０％のピロール、フランおよび／またはチオフェンと、９９〜５０ ％の溶剤または可溶化剤もしくは９９〜５０％の溶剤および可溶化剤からなる混 合物とを含有する水溶液の使用。