JPH0538388U - 真空ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本考案は、ポンプを大型化することなくガス
や水分等の分子が通過する翼の段数を多くして、ポンプ
におけるガスや水分等の分子の流量や圧縮比を大きくす
ることを目的とする。 【構成】 本考案の真空ポンプは、ケーシング１とロー
タ４との間に翼部５、６等により構成されるガス搬送手
段を設けるとともに、ロータ４の筒部４ａと内筒７との
間にも翼部２４、２５等により構成されるガス搬送手段
を設けた構成としたものである。 【効果】 本考案の真空ポンプによれば、ポンプを大型
化することなくガスや水分等の分子が通過する翼の段数
を多くして、ポンプにおけるガスや水分等の分子の流量
や圧縮比を大きくすることができる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、真空チャンバ等を真空にする真空ポンプに関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来、例えばＩＣ製品等を製造する場合に、各工程を各作業室内において行っ ており、一作業室内で一工程が完了すると、被作業物を次の作業室へ搬送してい る。ここで例えば、一作業室においてはこの室内を真空にする必要がある場合が あり（真空チャンバ）、この場合には真空ポンプを使用していた。

【０００３】 このような真空ポンプとしては、例えば図２に示すような全翼型のターボ分子 ポンプがある。同図において、符号１０１はケーシングであり、このケーシング １０１には吸込口部１０２及び排出口部１０３が形成されている。ケーシング１ ０１内にはロータ１０４が収装され、このロータ１０４にはケーシング１０１内 周壁面に向かうロータ翼１０５が形成されている。このロータ翼１０５に対向し て、ステータ翼１０６がケーシング１０１の内周壁面に取り付けられている。ロ ータ１０４はケーシング１０１内に収装されたモータ１０７によって回転され、 ロータ翼１０５がステータ翼１０６に対して相対的に高速回転する。

【０００４】 また、ロータ１０４にはロータ軸１１２が固設され、ロータ軸１１２は軸方向 電磁石１１３及び半径方向電磁石１１４によって磁気浮上させられて、回転自在 に支持される。また磁気浮上させられているロータ軸１１２が、電磁石１１３、 １１４によって正常に回転支持されず倒れた場合に、これを回転自在に支持して 保護する保護軸受１１５、１１６が固定部材側に設けられていて、この保護軸受 １１５、１１６はロータ軸１１２の定常回転時にはロータ軸１１２とは非接触に なるよう設けられている。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】 このような従来のターボ分子ポンプは、流量や圧縮比を大きくとろうとするに は、できるだけ翼の段数を多くすることが望ましい。真空チャンバからの気体分 子は何段もの翼を通過して次第に圧縮されていくからである。しかしながら、む やみに翼の段数を多くするとポンプの大型化、重量化を招くという問題点がある 。そこで本考案は、このような問題点を解決することを課題とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

上記課題を解決するために本考案は、略円筒状のケーシングと、このケーシン グの軸線部に配置される略円筒状の内筒と、この内筒の軸線部にロータ軸が回転 駆動可能に支持され前記ケーシングと内筒との間に略円筒状の筒部を有するロー タと、前記ケーシングとロータとの間に設けられ翼部により構成されるガス搬送 手段とを備えた全翼型の真空ポンプにおいて、前記内筒とロータの筒部との間に も前記ガス搬送手段と同様のガス搬送手段を設けた構成としたものである。

【０００７】

【実施例】

以下、本考案の実施例について図面に基づいて説明する。図１は、本考案によ る真空ポンプの一実施例に係るターボ分子ポンプを示す図である。 まず構成を説明する。同図において、符号１はターボ分子ポンプのケーシング であり、このケーシング１は全体が略円筒状になっており、このケーシング１の 上方には真空チャンバとしての作業室（図示せず）の開口部と接続する吸込口部 ２が形成され、ケーシング１の下側のベース１３には排出口部３が形成されてい る。ケーシング１内の軸線方向にはロータ４が収装されており、このロータ４の 半径外方には、ケーシング１の内壁面に向かって伸びる複数のロータ翼５が形成 されていて、このロータ翼５はロータ４の軸線方向に多段に複数形成されている 。ケーシング１の内周壁面には、ロータ翼５と同じように複数形成されたステー タ翼６がロータ４の半径内方に向かって伸び、ロータ翼５と交互に重なるように 配設されている。ロータ４の半径内方には円筒状の内筒７が設けられ、ロータ４ は、その内筒７とケーシング１との間に円筒状の筒部４ａを有している。この筒 部４ａにはその外側のロータ翼５とともに、その内側にもロータ翼２４が形成さ れている。また、ロータ４の半径内方に設けられた内筒７の外周には、ロータ翼 ２４と同じように形成された複数のステータ翼２５がロータ翼２４と交互に重な るように配設されている。

【０００８】 また、ロータ４に設けられたロータ翼５、２４が静止しているステータ翼６、 ２５に対して相対的に高速回転すると、前記作業室内のガスや水分等の分子が吸 込口部２に飛び込んだ場合、ロータ翼５、ステータ翼６、ロータ翼２４、ステー タ翼２５により圧縮されて搬送された後、排出口部３から排出されるようになっ ている。

【０００９】 一方、内筒７の軸線部分にはロータ軸８がロータ４と一体的に回転するように 配設されている。内筒７の内側にはロータ軸８を約20,000〜90,000r.p.m の高速 で回転駆動して、ロータ翼５、２４をステータ翼６、２５に対して相対回転させ るモータ９と、ロータ軸８を半径方向に磁気浮上させて無接触で回転支持する半 径方向電磁石１０と、ロータ軸８をアマーチャディスク１２を介して軸線方向に 磁気浮上させて無接触で回転支持する軸方向電磁石１１とが設けられている。ま た、内筒７の上・下端部のそれぞれには、高速回転するロータ軸８が電磁石１０ 、１１によって正常に回転支持されず倒れた場合に、内筒７等に直接触れるのを 防止して、ロータ軸８を回転自在に支持して保護する第１、第２保護軸受２１、 ２２が設けられている。

【００１０】 次に作用を説明する。ターボ分子ポンプによって作業室（真空チャンバ）を真 空にしたい場合は、まずモータ９を起動させてロータ４を回転駆動させ、ロータ 翼５、２４を静止しているステータ翼６、２５に対して相対的に高速回転させる 。このように、ロータ翼５、２４がステータ翼６、２５に対して相対回転すると 、作業室内のガスや水分等の分子が吸込口部２に飛び込んだ場合、ロータ、ステ ータ翼群５、６、２４、２５を通り、さらに排気通路２７を通って排出口部３か ら排出される。このときガスや水分等の分子はロータ翼５とステータ翼６とによ りロータ４の筒部４ａの外側の経路を搬送された後、今度はロータ４の筒部４ａ の下端を回り込んで、ロータ翼２４とステータ翼２５とにより筒部４ａの内側の 経路を搬送された後、排気通路２７を通って排出口部３から排出される。このよ うにガスや水分等の分子はロータ４の筒部４ａの外側のロータ翼５とステータ翼 ６とにより搬送されることに付加して、ロータ４の筒部４ａの内側のロータ翼２ ４とステータ翼２５とにより搬送されるため、ポンプを大型化することなくガス や水分等の分子が通過する翼の段数を多くして、ポンプにおけるガスや水分等の 分子の流量や圧縮比を大きくすることができる。

【００１１】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案の真空ポンプによればポンプを大型化することな くガスや水分等の分子が通過する翼の段数を多くして、ポンプにおけるガスや水 分等の分子の流量や圧縮比を大きくすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案による真空ポンプの一実施例を示す全体
断面図である。

【図２】従来の真空ポンプを示す全体断面図である。

【符号の説明】

１ ケーシング ４ ロータ ４ａ 筒部 ５、２４ ロータ翼（ガス搬送手段） ６、２５ ステータ翼（ガス搬送手段） ７ 内筒 ８ ロータ軸

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 略円筒状のケーシングと、このケーシン
   グの軸線部に配置される略円筒状の内筒と、この内筒の
   軸線部にロータ軸が回転駆動可能に支持され前記ケーシ
   ングと内筒との間に略円筒状の筒部を有するロータと、
   前記ケーシングとロータとの間に設けられ翼部により構
   成されるガス搬送手段とを備えた全翼型の真空ポンプに
   おいて、前記内筒とロータの筒部との間にも前記ガス搬
   送手段と同様のガス搬送手段を設けたことを特徴とする
   真空ポンプ。