JPH0537288A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JPH0537288A JPH0537288A JP20884391A JP20884391A JPH0537288A JP H0537288 A JPH0537288 A JP H0537288A JP 20884391 A JP20884391 A JP 20884391A JP 20884391 A JP20884391 A JP 20884391A JP H0537288 A JPH0537288 A JP H0537288A
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- Japan
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- piezoelectric substrate
- surface acoustic
- acoustic wave
- sheet
- external body
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- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 圧電基板とパッケージとの熱膨張係数の差に
よる機械的歪及び外部体からの機械的衝撃や振動の影響
を少くし、高信頼性を有する弾性表面波装置を得る。 【構成】 圧電基板1とパッケージ8の間に部分接着に
よる接着剤9,11を介して弾力性のあるシート10を
設けた。
よる機械的歪及び外部体からの機械的衝撃や振動の影響
を少くし、高信頼性を有する弾性表面波装置を得る。 【構成】 圧電基板1とパッケージ8の間に部分接着に
よる接着剤9,11を介して弾力性のあるシート10を
設けた。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、フィルタ、レゾネー
タ、遅延線などとして用いられる弾性表面波装置に関す
るものである。
タ、遅延線などとして用いられる弾性表面波装置に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】図2、図3は、例えば表面波デバイスと
その応用、電子材料工業学会編、日刊工業新聞社発行の
第138頁に示された、従来の弾性表面波装置を示す構
成図である。図において、1はニオブ酸リチウム(Li
NbO3 )YZ基板などによる圧電基板である。2はこ
の圧電基板1上に配置されて、弾性表面波を励振する弾
性表面波励振用すだれ状電極である。3は圧電基板1上
に弾性表面波励振用すだれ状電極2に対向して配置さ
れ、弾性表面波励振用すだれ状電極2にて励振された弾
性表面波を受信する弾性表面波受信用すだれ状電極であ
る。
その応用、電子材料工業学会編、日刊工業新聞社発行の
第138頁に示された、従来の弾性表面波装置を示す構
成図である。図において、1はニオブ酸リチウム(Li
NbO3 )YZ基板などによる圧電基板である。2はこ
の圧電基板1上に配置されて、弾性表面波を励振する弾
性表面波励振用すだれ状電極である。3は圧電基板1上
に弾性表面波励振用すだれ状電極2に対向して配置さ
れ、弾性表面波励振用すだれ状電極2にて励振された弾
性表面波を受信する弾性表面波受信用すだれ状電極であ
る。
【0003】4は互いに平行に配列された短冊状の電極
指であり、5はこの電極指4を一端で櫛形に連結するパ
ッドである。前記弾性表面波励振用すだれ状電極2およ
び弾性表面波受信用すだれ状電極3はそれぞれ、このパ
ッド5によって櫛形に連結された2組の電極指4を交差
指形に配置することによって形成されている。
指であり、5はこの電極指4を一端で櫛形に連結するパ
ッドである。前記弾性表面波励振用すだれ状電極2およ
び弾性表面波受信用すだれ状電極3はそれぞれ、このパ
ッド5によって櫛形に連結された2組の電極指4を交差
指形に配置することによって形成されている。
【0004】6a,6bは弾性表面波励振用すだれ状電
極2の各パッド5に接続されて、電気信号が入力される
入力端子であり、7a,7bは弾性表面波受信用すだれ
状電極3の各パッド5に接続されて電気信号が出力され
る出力端子である。
極2の各パッド5に接続されて、電気信号が入力される
入力端子であり、7a,7bは弾性表面波受信用すだれ
状電極3の各パッド5に接続されて電気信号が出力され
る出力端子である。
【0005】次に動作について説明する。入力端子6
a,6b間に入力された電気信号は、圧電基板1上の弾
性表面波励振用すだれ状電極2の各パッド5に印加され
る。電気信号が印加された弾性表面波励振用すだれ状電
極2は、当該電気信号に応じて弾性表面波を励振して圧
電基板1上に送出する。
a,6b間に入力された電気信号は、圧電基板1上の弾
性表面波励振用すだれ状電極2の各パッド5に印加され
る。電気信号が印加された弾性表面波励振用すだれ状電
極2は、当該電気信号に応じて弾性表面波を励振して圧
電基板1上に送出する。
【0006】弾性表面波励振用すだれ状電極2より送出
された弾性表面波は、自由伝搬路の伝搬速度で圧電基板
1の上を伝搬し、弾性表面波受信用すだれ状電極3に到
達する。弾性表面波受信用すだれ状電極3は弾性表面波
を受け取ると、それを再度電気信号に変換して出力端子
7a,7bより出力する。
された弾性表面波は、自由伝搬路の伝搬速度で圧電基板
1の上を伝搬し、弾性表面波受信用すだれ状電極3に到
達する。弾性表面波受信用すだれ状電極3は弾性表面波
を受け取ると、それを再度電気信号に変換して出力端子
7a,7bより出力する。
【0007】8は前記圧電基板1、弾性表面波励振用す
だれ状電極2、弾性表面波受信用すだれ状電極3等で構
成されたいわゆる弾性表面波素子を収納するパッケージ
であり、9はパッケージ上の圧電基板1を固定するため
の接着剤である。
だれ状電極2、弾性表面波受信用すだれ状電極3等で構
成されたいわゆる弾性表面波素子を収納するパッケージ
であり、9はパッケージ上の圧電基板1を固定するため
の接着剤である。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】従来の弾性表面波装置
は以上のように構成されているので、温度変動時の圧電
基板とパッケージ間の熱膨張係数の違いによる機械的
歪、および機械的衝撃、振動がパッケージを介して直接
弾性表面波素子に伝わることによる圧電基板の割れが発
生し、性能劣化などの問題点があった。
は以上のように構成されているので、温度変動時の圧電
基板とパッケージ間の熱膨張係数の違いによる機械的
歪、および機械的衝撃、振動がパッケージを介して直接
弾性表面波素子に伝わることによる圧電基板の割れが発
生し、性能劣化などの問題点があった。
【0009】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、圧電基板の割れを防止し、弾性
表面波装置の信頼性を向上させることを目的とする。
ためになされたもので、圧電基板の割れを防止し、弾性
表面波装置の信頼性を向上させることを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】この発明に係る弾性表面
波装置は、圧電基板と外部体との熱膨張係数の差による
機械的歪及び外部体からの機械的衝撃や振動を吸収する
ために、圧電基板と外部体との間に設けられ圧電基板お
よび外部体に部分固定された弾力性のあるシートを備え
たものである。
波装置は、圧電基板と外部体との熱膨張係数の差による
機械的歪及び外部体からの機械的衝撃や振動を吸収する
ために、圧電基板と外部体との間に設けられ圧電基板お
よび外部体に部分固定された弾力性のあるシートを備え
たものである。
【0011】
【作用】この発明における弾性表面波装置は、外部体と
圧電基板の間に、弾力性のあるシートを備えているた
め、圧電基板と外部体との熱膨張係数の差による機械的
歪及び外部体からの機械的衝撃や振動を吸収することが
でき、高信頼性の弾性表面波装置が得られる。
圧電基板の間に、弾力性のあるシートを備えているた
め、圧電基板と外部体との熱膨張係数の差による機械的
歪及び外部体からの機械的衝撃や振動を吸収することが
でき、高信頼性の弾性表面波装置が得られる。
【0012】
【実施例】実施例1.以下、この発明の一実施例を図に
ついて説明する。図1において、1は圧電基板、5はパ
ッド、6aは入力端子、7aは出力端子であり、図2、
図3に同一符号を付した従来のものと同一、あるいは相
当部分であるため詳細な説明は省力する。
ついて説明する。図1において、1は圧電基板、5はパ
ッド、6aは入力端子、7aは出力端子であり、図2、
図3に同一符号を付した従来のものと同一、あるいは相
当部分であるため詳細な説明は省力する。
【0013】10は例えば銅箔のような厚さの薄い導体
シート(弾力性のあるシート)、9は従来例と同じく圧
電基板1と導体シート10間を固定するための接着剤、
11は導体シート10とパッケージ8間を固定するため
の接着剤であり、この時、接着剤9,11共に導電シー
ト10に歪を吸収するための遊びとしての余裕を持たせ
るために、全面ではなく部分的な接着を行う。
シート(弾力性のあるシート)、9は従来例と同じく圧
電基板1と導体シート10間を固定するための接着剤、
11は導体シート10とパッケージ8間を固定するため
の接着剤であり、この時、接着剤9,11共に導電シー
ト10に歪を吸収するための遊びとしての余裕を持たせ
るために、全面ではなく部分的な接着を行う。
【0014】次に動作について説明する。電気的な動作
は従来例と同一であるため詳細な説明は省略する。圧電
基板1とパッケージ8との間に導体シート10があるた
め、温度変動時の圧電基板1とパッケージ8の熱膨張係
数の違いによる機械的歪は、この導体シート10に吸収
され、又、外部体からの機械的衝撃や振動も吸収され
る。従って弾性表面波装置の信頼性を向上する効果があ
る。
は従来例と同一であるため詳細な説明は省略する。圧電
基板1とパッケージ8との間に導体シート10があるた
め、温度変動時の圧電基板1とパッケージ8の熱膨張係
数の違いによる機械的歪は、この導体シート10に吸収
され、又、外部体からの機械的衝撃や振動も吸収され
る。従って弾性表面波装置の信頼性を向上する効果があ
る。
【0015】実施例2.なお、上記実施例では圧電基板
1とパッケージ8との間に厚さの薄い導体シートを設け
たものを示したが、圧電基板1とパッケージ8との間に
例えばフィルム状の絶縁シートを設けてもよく、上記実
施例と同様の効果を奏する。
1とパッケージ8との間に厚さの薄い導体シートを設け
たものを示したが、圧電基板1とパッケージ8との間に
例えばフィルム状の絶縁シートを設けてもよく、上記実
施例と同様の効果を奏する。
【0016】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば圧電基
板と外部体との間に設けられ圧電基板および外部体に部
分固定された弾力性のあるシートを設けたので、温度変
動による機械的歪や外部体の機械的衝撃や振動を吸収す
ることができ、高信頼性の弾性表面波装置が得られる効
果がある。
板と外部体との間に設けられ圧電基板および外部体に部
分固定された弾力性のあるシートを設けたので、温度変
動による機械的歪や外部体の機械的衝撃や振動を吸収す
ることができ、高信頼性の弾性表面波装置が得られる効
果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例による弾性表面波装置を示
す断面側面図である。
す断面側面図である。
【図2】従来の弾性表面波装置を示す断面側面図であ
る。
る。
【図3】従来の弾性表面波装置を示す斜視図である。
1 圧電基板 2 弾性表面波励振用すだれ状電極 3 弾性表面波受信用すだれ状電極 8 パッケージ(外部体) 10 導電シート又は絶縁シート(弾力性のあるシー
ト)
ト)
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項1】 圧電基板と、前記圧電基板上に配置され
て、弾性表面波を励振する弾性表面波励振すだれ状電極
と、前記圧電基板上に前記弾性表面波励振用すだれ状電
極に対向して配置され、前記弾性表面波励振用すだれ状
電極にて励振された弾性表面波を受信する弾性表面波受
信用すだれ状電極と、前記圧電基板と外部体との間に設
けられ、前記圧電基板に部分固定され、かつ、前記外部
体に部分固定された弾力性のあるシートとを備えた弾性
表面波装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20884391A JPH0537288A (ja) | 1991-07-26 | 1991-07-26 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20884391A JPH0537288A (ja) | 1991-07-26 | 1991-07-26 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0537288A true JPH0537288A (ja) | 1993-02-12 |
Family
ID=16563025
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20884391A Pending JPH0537288A (ja) | 1991-07-26 | 1991-07-26 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0537288A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6236521B1 (en) | 1998-02-09 | 2001-05-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Objective lens and image pickup device using the same |
US7041958B2 (en) | 2003-02-05 | 2006-05-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Lens system and image-taking apparatus having the same |
US7940478B2 (en) | 2008-04-11 | 2011-05-10 | Nikon Corporation | Imaging lens, optical apparatus and method for forming image using this imaging lens |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5691517A (en) * | 1979-12-26 | 1981-07-24 | Fujitsu Ltd | Elastic surface wave device |
JPH0387462A (ja) * | 1989-08-30 | 1991-04-12 | Nippon Steel Chem Co Ltd | 防音床材 |
-
1991
- 1991-07-26 JP JP20884391A patent/JPH0537288A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5691517A (en) * | 1979-12-26 | 1981-07-24 | Fujitsu Ltd | Elastic surface wave device |
JPH0387462A (ja) * | 1989-08-30 | 1991-04-12 | Nippon Steel Chem Co Ltd | 防音床材 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6236521B1 (en) | 1998-02-09 | 2001-05-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Objective lens and image pickup device using the same |
US7041958B2 (en) | 2003-02-05 | 2006-05-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Lens system and image-taking apparatus having the same |
US7161132B2 (en) | 2003-02-05 | 2007-01-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Lens system and image-taking apparatus having the same |
US7940478B2 (en) | 2008-04-11 | 2011-05-10 | Nikon Corporation | Imaging lens, optical apparatus and method for forming image using this imaging lens |
US8027100B2 (en) | 2008-04-11 | 2011-09-27 | Nikon Corporation | Imaging lens, optical apparatus and method for forming image using this imaging lens |
US8385010B2 (en) | 2008-04-11 | 2013-02-26 | Nikon Corporation | Imaging lens, optical apparatus and method for forming image using this imaging lens |
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