JPH05343498A - 動力導入機構およびその制御方法 - Google Patents
動力導入機構およびその制御方法Info
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- JPH05343498A JPH05343498A JP14778192A JP14778192A JPH05343498A JP H05343498 A JPH05343498 A JP H05343498A JP 14778192 A JP14778192 A JP 14778192A JP 14778192 A JP14778192 A JP 14778192A JP H05343498 A JPH05343498 A JP H05343498A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】気密容器外に設置された駆動源により気密容器
内の搭載物を、該搭載物が搭載されている平面の面方向
任意の位置へ移動させる動力導入機構として、コンパク
トで移動ストロークが大きくなる動力導入機構の構成
と、この機構を、搭載物が目標位置へ直線状に移動する
ように制御する方法とを提供する。 【構成】気密容器３に回転をガイドされる第１回転テー
ブル１と、第１回転テーブル１に回転をガイドされる，
軸心が第１回転テーブルの軸心から偏心した第２回転テ
ーブル９とを用いて機構を構成し、搭載物１５は第２回
転テーブル９の偏心位置に設置する。直線移動は、目標
位置と搭載物とを結ぶ直線上で搭載物からの微小距離点
を通る第１回転テーブル軸心中心の円弧と，搭載物位置
を通る第２回転テーブル軸心中心の円弧との交点を通っ
て前記微小距離点へ搭載物を移し、この動作を繰り返し
て行う。
内の搭載物を、該搭載物が搭載されている平面の面方向
任意の位置へ移動させる動力導入機構として、コンパク
トで移動ストロークが大きくなる動力導入機構の構成
と、この機構を、搭載物が目標位置へ直線状に移動する
ように制御する方法とを提供する。 【構成】気密容器３に回転をガイドされる第１回転テー
ブル１と、第１回転テーブル１に回転をガイドされる，
軸心が第１回転テーブルの軸心から偏心した第２回転テ
ーブル９とを用いて機構を構成し、搭載物１５は第２回
転テーブル９の偏心位置に設置する。直線移動は、目標
位置と搭載物とを結ぶ直線上で搭載物からの微小距離点
を通る第１回転テーブル軸心中心の円弧と，搭載物位置
を通る第２回転テーブル軸心中心の円弧との交点を通っ
て前記微小距離点へ搭載物を移し、この動作を繰り返し
て行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば半導体製造装
置等に用いられる真空容器等の気密容器外に設置された
駆動源により気密容器内の搭載物を、該搭載物が搭載さ
れている平面の面方向任意の位置へ移動させるための動
力導入機構の構成と、この構成による動力導入機構を、
搭載物が目標位置へ直線上を移動するように制御する制
御方法とに関する。
置等に用いられる真空容器等の気密容器外に設置された
駆動源により気密容器内の搭載物を、該搭載物が搭載さ
れている平面の面方向任意の位置へ移動させるための動
力導入機構の構成と、この構成による動力導入機構を、
搭載物が目標位置へ直線上を移動するように制御する制
御方法とに関する。
【０００２】
【従来の技術】真空中での平面移動の方法としては、特
殊駆動源，特殊軸受等を用いて構成される，真空中で使
用可能なＸＹステージを、真空容器の中に直接入れて使
用する方法があるが、価格，信頼性等の問題があり普及
に到っていない。図４は従来実用されている動力導入機
構の一例として、外部からの駆動により、真空中で搭載
物を平面移動させるベローズ方式の構成を示した説明図
である。図において、搭載物を搭載してＸ方向およびＹ
方向に移動するＸＹステージ３１は、気密容器３２の壁
面から支持されたステージベース３３上に取り付けられ
ており、搭載物の取り付けられた移動ベース３５はＸＹ
ステージ３１上に固定されている。ＸＹステージ３１は
Ｘ方向ステージ３１Ｘと、Ｙ方向ステージ３１と、ステ
ージベース３３に固定されＹ方向ステージ３１Ｙを紙面
と垂直方向に移動させるボールねじが回転子に取り付け
られた駆動モータ３１ＹM と、Ｙ方向ステージ３１Ｙに
固定された取付けベースＹ1 に支持物３１Ｙ2 を介して
固定されＸ方向ステージ３１Ｘを紙面と平行方向に移動
させるボールねじ３１ＸB が回転子に取り付けられた駆
動モータ３１ＸM とを用いて構成されている。なお、図
中の符号３１ＹL はＹ方向ステージ３１Ｙの方向移動摩
擦を小さくするための直線軸受けである。
殊駆動源，特殊軸受等を用いて構成される，真空中で使
用可能なＸＹステージを、真空容器の中に直接入れて使
用する方法があるが、価格，信頼性等の問題があり普及
に到っていない。図４は従来実用されている動力導入機
構の一例として、外部からの駆動により、真空中で搭載
物を平面移動させるベローズ方式の構成を示した説明図
である。図において、搭載物を搭載してＸ方向およびＹ
方向に移動するＸＹステージ３１は、気密容器３２の壁
面から支持されたステージベース３３上に取り付けられ
ており、搭載物の取り付けられた移動ベース３５はＸＹ
ステージ３１上に固定されている。ＸＹステージ３１は
Ｘ方向ステージ３１Ｘと、Ｙ方向ステージ３１と、ステ
ージベース３３に固定されＹ方向ステージ３１Ｙを紙面
と垂直方向に移動させるボールねじが回転子に取り付け
られた駆動モータ３１ＹM と、Ｙ方向ステージ３１Ｙに
固定された取付けベースＹ1 に支持物３１Ｙ2 を介して
固定されＸ方向ステージ３１Ｘを紙面と平行方向に移動
させるボールねじ３１ＸB が回転子に取り付けられた駆
動モータ３１ＸM とを用いて構成されている。なお、図
中の符号３１ＹL はＹ方向ステージ３１Ｙの方向移動摩
擦を小さくするための直線軸受けである。
【０００３】移動ベース３５の上部には、第１シール３
６を介してベローズ３７が気密に取り付けられ、ベロー
ズ３７の上部は第２シール３８を介して気密容器３２の
壁面に気密に固定されている。
６を介してベローズ３７が気密に取り付けられ、ベロー
ズ３７の上部は第２シール３８を介して気密容器３２の
壁面に気密に固定されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来の動力導入機構では、ＸＹ方向の平面移動に対する気
密保持をベローズで行っているため、ベローズの許容偏
心量で移動限界が決まることになり、移動ストロークが
短く、現状ある物では±２０ｍｍ程度である。また、移
動ストロークを伸ばすためには、ベローズをより大口径
で長い物を使用すれば良いが、機構が大型化してしまう
ため実用的ではない。
来の動力導入機構では、ＸＹ方向の平面移動に対する気
密保持をベローズで行っているため、ベローズの許容偏
心量で移動限界が決まることになり、移動ストロークが
短く、現状ある物では±２０ｍｍ程度である。また、移
動ストロークを伸ばすためには、ベローズをより大口径
で長い物を使用すれば良いが、機構が大型化してしまう
ため実用的ではない。
【０００５】本発明の目的は、コンパクトな機構で移動
ストロークが大きくなる動力導入機構の構成と、この構
成による動力導入機構を、搭載物が目標位置へ直線上を
平面移動するように制御する方法とを提供することであ
る。
ストロークが大きくなる動力導入機構の構成と、この構
成による動力導入機構を、搭載物が目標位置へ直線上を
平面移動するように制御する方法とを提供することであ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、この発明においては、気密容器外に設置された駆動
源により気密容器内の搭載物を、該搭載物が搭載されて
いる平面の面方向任意の位置へ移動させるための動力導
入機構を、前記気密容器に回転をガイドされ且つ該気密
容器との間で軸シールされる第１回転テーブルと、該第
１回転テーブル中で該回転テーブルの軸心から偏心した
位置に軸心が位置して該回転テーブルに回転をガイドさ
れ且つ該回転テーブルとの間で軸シールされる第２回転
テーブルとを備え、前記搭載物が第２回転テーブル上
に、且つ該第２回転テーブルの軸心から偏心した位置に
設置される機構とする。
に、この発明においては、気密容器外に設置された駆動
源により気密容器内の搭載物を、該搭載物が搭載されて
いる平面の面方向任意の位置へ移動させるための動力導
入機構を、前記気密容器に回転をガイドされ且つ該気密
容器との間で軸シールされる第１回転テーブルと、該第
１回転テーブル中で該回転テーブルの軸心から偏心した
位置に軸心が位置して該回転テーブルに回転をガイドさ
れ且つ該回転テーブルとの間で軸シールされる第２回転
テーブルとを備え、前記搭載物が第２回転テーブル上
に、且つ該第２回転テーブルの軸心から偏心した位置に
設置される機構とする。
【０００７】ここで、搭載物設置位置の第２回転テーブ
ル軸心からの偏心の距離を、第１回転テーブル軸心と第
２回転テーブル軸心との距離と等しくすれば好適であ
る。そして、第２回転テーブル上に設置された搭載物が
目標位置へ直線上を移動するように上記機構を制御する
方法は、第１回転テーブルおよび第２回転テーブルをそ
れぞれパルスモータ，サーボモータ等で回転角度を制御
しつつ回転駆動するようにして、目標位置と搭載物位置
とを結ぶ直線上で搭載物位置からの目標位置側微小距離
点を通る第１回転テーブル軸心中心の円弧と、搭載物位
置を通る第２回転テーブル軸心中心の円弧との交点位置
へ第２回転テーブルの回転動作により搭載物を移動さ
せ、つづいて第１回転テーブルの回転動作により搭載物
をさらに前記最小距離点へ移動させてこの最小距離点を
次の搭載物初期位置としつつ上記第１，第２回転テーブ
ルの交互微小回転動作の繰返しにより搭載物を小刻みの
ジグザグ状に直線上を移動させる方法とする。
ル軸心からの偏心の距離を、第１回転テーブル軸心と第
２回転テーブル軸心との距離と等しくすれば好適であ
る。そして、第２回転テーブル上に設置された搭載物が
目標位置へ直線上を移動するように上記機構を制御する
方法は、第１回転テーブルおよび第２回転テーブルをそ
れぞれパルスモータ，サーボモータ等で回転角度を制御
しつつ回転駆動するようにして、目標位置と搭載物位置
とを結ぶ直線上で搭載物位置からの目標位置側微小距離
点を通る第１回転テーブル軸心中心の円弧と、搭載物位
置を通る第２回転テーブル軸心中心の円弧との交点位置
へ第２回転テーブルの回転動作により搭載物を移動さ
せ、つづいて第１回転テーブルの回転動作により搭載物
をさらに前記最小距離点へ移動させてこの最小距離点を
次の搭載物初期位置としつつ上記第１，第２回転テーブ
ルの交互微小回転動作の繰返しにより搭載物を小刻みの
ジグザグ状に直線上を移動させる方法とする。
【０００８】
【作用】このように、動力導入機構を、第１回転テーブ
ルに第２回転テーブルを偏心させて取り付けた構成とす
れば、シール構造を回転シールとすることができ、ま
た、ベローズを必要としないため、移動ストロークを伸
ばしても機構をコンパクトにすることができる。また、
以下に詳述するように、平面移動が回転移動の組合わせ
で行えるため、気密容器が円筒状のものであれば、気密
容器内のほぼ全域にわたり搭載物を任意の位置へ移動さ
せることができる。以下、この機構による平面移動の原
理を説明する。
ルに第２回転テーブルを偏心させて取り付けた構成とす
れば、シール構造を回転シールとすることができ、ま
た、ベローズを必要としないため、移動ストロークを伸
ばしても機構をコンパクトにすることができる。また、
以下に詳述するように、平面移動が回転移動の組合わせ
で行えるため、気密容器が円筒状のものであれば、気密
容器内のほぼ全域にわたり搭載物を任意の位置へ移動さ
せることができる。以下、この機構による平面移動の原
理を説明する。
【０００９】図３においてＡは第１回転テーブルの軸
心、Ｂは第２回転テーブルの軸心であり、第２回転テー
ブルの偏心量はＲb である。搭載物は軸心Ｂから距離Ｒ
b の位置に設置している。いま、軸心Ａを中心とし、２
Ｒb を半径とする円を最大軌道円、軸心Ｂを中心とし、
Ｒb を半径とする円を第２軌道円ということにすると、
第２軌道円上の位置Ｄに設置された搭載物を最大軌道円
内の任意の位置Ｅへ移動 置を通る，第１回転テーブル軸心中心の円を以下第１軌
道円という）と第２軌道円との交点Ｃに位置Ｄの搭載物
が来るまで第２回転テーブルを回転させ、次に第１回転
テーブルを第２回転テーブルごと回転させて位置Ｃにあ
る搭載物を位置Ｅまで移動させる。
心、Ｂは第２回転テーブルの軸心であり、第２回転テー
ブルの偏心量はＲb である。搭載物は軸心Ｂから距離Ｒ
b の位置に設置している。いま、軸心Ａを中心とし、２
Ｒb を半径とする円を最大軌道円、軸心Ｂを中心とし、
Ｒb を半径とする円を第２軌道円ということにすると、
第２軌道円上の位置Ｄに設置された搭載物を最大軌道円
内の任意の位置Ｅへ移動 置を通る，第１回転テーブル軸心中心の円を以下第１軌
道円という）と第２軌道円との交点Ｃに位置Ｄの搭載物
が来るまで第２回転テーブルを回転させ、次に第１回転
テーブルを第２回転テーブルごと回転させて位置Ｃにあ
る搭載物を位置Ｅまで移動させる。
【００１０】このようにして、第２回転テーブル上の搭
載物は、最大軌道円内全域の任意の位置に平面移動させ
ることができ、最大軌道円の直径を気密容器の内径とほ
ぼ等しくとることにより、気密容器内のほぼ全域にわた
り、任意の位置に搭載物を移動させることが可能にな
る。以上の説明では、搭載物の設置位置を、第２回転テ
ーブル軸心からＲb の距離偏心した位置としたが、偏心
量がＲb より小さいとき、あるいはＲb より大きいとき
には、Ｒb とこの偏心量との差を半径とした第１回転テ
ーブル軸心中心の円Ｋ内の位置へは、この円外から搭載
物を移動させることができない。従って、第１回転テー
ブルの軸心近傍への搭載物の移動を必要としないもので
は、第２回転テーブルを小形に形成して、わずかながら
も機構の軽量化を図ることができる。しかし、ＸＹテー
ブルと同一機能を持たせるには、上述のように偏心量を
第１，第２回転テーブル軸心間距離とする必要がある。
載物は、最大軌道円内全域の任意の位置に平面移動させ
ることができ、最大軌道円の直径を気密容器の内径とほ
ぼ等しくとることにより、気密容器内のほぼ全域にわた
り、任意の位置に搭載物を移動させることが可能にな
る。以上の説明では、搭載物の設置位置を、第２回転テ
ーブル軸心からＲb の距離偏心した位置としたが、偏心
量がＲb より小さいとき、あるいはＲb より大きいとき
には、Ｒb とこの偏心量との差を半径とした第１回転テ
ーブル軸心中心の円Ｋ内の位置へは、この円外から搭載
物を移動させることができない。従って、第１回転テー
ブルの軸心近傍への搭載物の移動を必要としないもので
は、第２回転テーブルを小形に形成して、わずかながら
も機構の軽量化を図ることができる。しかし、ＸＹテー
ブルと同一機能を持たせるには、上述のように偏心量を
第１，第２回転テーブル軸心間距離とする必要がある。
【００１１】以上には、目標位置への搭載物の移動が、
第１回転テーブルと第２回転テーブルとのそれぞれ１回
のみの回転動作の組合わせで可能なことを示したが、搭
載物の移動軌跡を円弧でなく直線状とする場合には、第
２回転テーブル上の搭載物と移動目標位置とを結ぶ直線
上で搭載物に至近の距離へ第１，第２回転テーブルをそ
れぞれ１回回転動作させて移動させ、移動後の位置を新
たに搭載物の初期位置としてこの動作を繰り返すことに
より、搭載物を目標位置へ小刻みのジグザグ状に直線上
を移動させることができる。
第１回転テーブルと第２回転テーブルとのそれぞれ１回
のみの回転動作の組合わせで可能なことを示したが、搭
載物の移動軌跡を円弧でなく直線状とする場合には、第
２回転テーブル上の搭載物と移動目標位置とを結ぶ直線
上で搭載物に至近の距離へ第１，第２回転テーブルをそ
れぞれ１回回転動作させて移動させ、移動後の位置を新
たに搭載物の初期位置としてこの動作を繰り返すことに
より、搭載物を目標位置へ小刻みのジグザグ状に直線上
を移動させることができる。
【００１２】
【実施例】図１に本発明による動力導入機構の一実施例
を示す。図において、第１回転テーブル１は第１回転軸
受２を介して容器壁面３により保持され、第１回転テー
ブル１と同心円上に配置した第１回転軸シール４により
気密が保持されている。更に、容器壁面３により図示さ
れない支持物を介して支持された第１パルスモータ５に
より第１ピニオンギヤ６を介して、第１ステージ１に取
り付けられた第１リングギヤ７を駆動し第１回転ステー
ジ１を回転させている。第１回転テーブル１の第１軸心
１ａから距離Ｒｂ８だけ偏心させた第２軸心９ａを中心
として、第２回転テーブル９は第２回転軸受１０を介し
て第１回転テーブル１により保持され、第２回転テーブ
ル９と同心円上に配置した第２回転軸シール１１により
気密が保持されている。更に、第１回転テーブル１から
第２パルスモータ１２により第２ピニオンギヤ１３を介
して、第２回転ステージ９に取り付けられた第２リング
ギヤ１４を駆動し第２回転ステージ９を回転させてい
る。第２回転テーブル９上で第２軌道円９ｂが第１軸心
１ａを通る位置、つまり，第２軸心９ａからの距離Ｒｂ
８の位置に搭載物１５は取りつけられており、第１回転
テーブル１と第２回転テーブル９の回転角の組合わせに
より、搭載物１５を任意の位置へ移動させる。
を示す。図において、第１回転テーブル１は第１回転軸
受２を介して容器壁面３により保持され、第１回転テー
ブル１と同心円上に配置した第１回転軸シール４により
気密が保持されている。更に、容器壁面３により図示さ
れない支持物を介して支持された第１パルスモータ５に
より第１ピニオンギヤ６を介して、第１ステージ１に取
り付けられた第１リングギヤ７を駆動し第１回転ステー
ジ１を回転させている。第１回転テーブル１の第１軸心
１ａから距離Ｒｂ８だけ偏心させた第２軸心９ａを中心
として、第２回転テーブル９は第２回転軸受１０を介し
て第１回転テーブル１により保持され、第２回転テーブ
ル９と同心円上に配置した第２回転軸シール１１により
気密が保持されている。更に、第１回転テーブル１から
第２パルスモータ１２により第２ピニオンギヤ１３を介
して、第２回転ステージ９に取り付けられた第２リング
ギヤ１４を駆動し第２回転ステージ９を回転させてい
る。第２回転テーブル９上で第２軌道円９ｂが第１軸心
１ａを通る位置、つまり，第２軸心９ａからの距離Ｒｂ
８の位置に搭載物１５は取りつけられており、第１回転
テーブル１と第２回転テーブル９の回転角の組合わせに
より、搭載物１５を任意の位置へ移動させる。
【００１３】図２は本発明による動力導入機構の制御動
作を示す。図において、点Ｃ１６にある搭載物１５を点
Ｅ１７に移動させるものとする。まず、移動先である点
Ｅ１７の座標値から第１軸心１ａとの距離Ｒａ１８を求
め、第１軸心１ａを中心とした半径Ｒａ１８の第１軌道
円１ｂを決める。次に、第２軸心９ａから搭載物１５ま
での距離Ｒｂ１８を半径とした第２軌道円９ｂと、前記
第１軌道円１ｂとの交点である点Ｄ１９の座標を計算に
より求める。ここで、第２軌道円９ｂと第１軌道円１ｂ
の２個所の交点は、点Ｃ１６から最も近い交点を選択
し、距離が等しい場合は任意の片方を選択するものとす
る。次に、点Ｃ１６−第２軸心９ａ−点Ｄ１９で示され
る角度θＢ２０を求め、角度θＢ２０だけ第２回転ステ
ージ９を点１９の方向に回転させ、搭載物１５を点Ｄ１
９に移動させる。次に、点Ｄ１９−第１軸心１ａ−点Ｅ
１７で示される角度θＡ２１を求め、角度θＡ２１だけ
第１回転ステージ１を点Ｅ１７方向に回転させ、搭載物
１５を点Ｅ１７に移動させ目的の動作を得る。搭載物を
点Ｃ１６から点Ｅ１７へ直線上を移動させる場合には、
点Ｃ１６と点Ｅ１７を結ぶ直線上に中間移動点△Ｅ２２
をとり、前記説明で移動先の点Ｅ１７を△Ｅ２２と置き
換えて前記の制御動作を繰り返すことにより、回転移動
を直線移動に変換することができる。
作を示す。図において、点Ｃ１６にある搭載物１５を点
Ｅ１７に移動させるものとする。まず、移動先である点
Ｅ１７の座標値から第１軸心１ａとの距離Ｒａ１８を求
め、第１軸心１ａを中心とした半径Ｒａ１８の第１軌道
円１ｂを決める。次に、第２軸心９ａから搭載物１５ま
での距離Ｒｂ１８を半径とした第２軌道円９ｂと、前記
第１軌道円１ｂとの交点である点Ｄ１９の座標を計算に
より求める。ここで、第２軌道円９ｂと第１軌道円１ｂ
の２個所の交点は、点Ｃ１６から最も近い交点を選択
し、距離が等しい場合は任意の片方を選択するものとす
る。次に、点Ｃ１６−第２軸心９ａ−点Ｄ１９で示され
る角度θＢ２０を求め、角度θＢ２０だけ第２回転ステ
ージ９を点１９の方向に回転させ、搭載物１５を点Ｄ１
９に移動させる。次に、点Ｄ１９−第１軸心１ａ−点Ｅ
１７で示される角度θＡ２１を求め、角度θＡ２１だけ
第１回転ステージ１を点Ｅ１７方向に回転させ、搭載物
１５を点Ｅ１７に移動させ目的の動作を得る。搭載物を
点Ｃ１６から点Ｅ１７へ直線上を移動させる場合には、
点Ｃ１６と点Ｅ１７を結ぶ直線上に中間移動点△Ｅ２２
をとり、前記説明で移動先の点Ｅ１７を△Ｅ２２と置き
換えて前記の制御動作を繰り返すことにより、回転移動
を直線移動に変換することができる。
【００１４】
【発明の効果】本発明では動力導入機構を以上のように
構成したので、以下に記載する効果が得られる。請求項
１の動力導入機構では、平面移動が回転移動の組合わせ
で行えるため、シール構造を回転軸シールとすることが
でき、ベローズを必要としないため移動ストロークを大
きくすることができ、気密容器の大きさに実用上見合っ
た大きさのベローズを使用する場合と比較し５倍以上の
移動ストロークが得られるため、機構をコンパクトにす
ることができる。
構成したので、以下に記載する効果が得られる。請求項
１の動力導入機構では、平面移動が回転移動の組合わせ
で行えるため、シール構造を回転軸シールとすることが
でき、ベローズを必要としないため移動ストロークを大
きくすることができ、気密容器の大きさに実用上見合っ
た大きさのベローズを使用する場合と比較し５倍以上の
移動ストロークが得られるため、機構をコンパクトにす
ることができる。
【００１５】請求項２の動力導入機構では、最大軌道円
（第１回転テーブルの軸心を中心とし、第１，第２回転
テーブル軸心間距離の２倍を半径とする円）内の全域に
搭載物を移動させることができる。従って、最大軌道円
の直径を気密容器の内径とほぼ等しくとることにより、
気密容器内のほぼ全域にわたり任意の位置へ搭載物を移
動させることができる。
（第１回転テーブルの軸心を中心とし、第１，第２回転
テーブル軸心間距離の２倍を半径とする円）内の全域に
搭載物を移動させることができる。従って、最大軌道円
の直径を気密容器の内径とほぼ等しくとることにより、
気密容器内のほぼ全域にわたり任意の位置へ搭載物を移
動させることができる。
【００１６】また、請求項３の動力導入機構制御方法で
は、搭載物を、微小な回転動作の繰り返しにより任意の
位置へ直線移動させることができ、また、Ｘ方向のみの
直線移動、Ｙ方向のみの直線移動も可能となるので、ベ
ローズ等により移動量を拘束されないＸＹテーブルと全
く同一の機能をこの機構に持たせることができる。
は、搭載物を、微小な回転動作の繰り返しにより任意の
位置へ直線移動させることができ、また、Ｘ方向のみの
直線移動、Ｙ方向のみの直線移動も可能となるので、ベ
ローズ等により移動量を拘束されないＸＹテーブルと全
く同一の機能をこの機構に持たせることができる。
【図１】本発明による動力導入機構構成の一実施例を示
す図であって、同図（ａ）はこの機構を気密容器内から
みた上面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＣ−Ｃ線に沿う
側面断面図
す図であって、同図（ａ）はこの機構を気密容器内から
みた上面図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＣ−Ｃ線に沿う
側面断面図
【図２】本発明による動力導入機構の制御動作を示す説
明図
明図
【図３】本発明による動力導入機構制御方法の原理を示
す説明図
す説明図
【図４】従来の動力導入機構構成の一例を示す側面断面
図
図
１ 第１回転テーブル １ａ 軸心 ２ 軸受け ３ 気密容器 ４ 軸シール ５ パルスモータ（第１パルスモータ） ９ 第２回転テーブル ９ａ 軸心 １０ 軸受け １１ 軸シール １２ パルスモータ １５ 搭載物 ３１ ＸＹステージ ３１ＸM 駆動モータ ３１ＹM 駆動モータ ３２ 気密容器 ３４ 搭載物 ３７ ベローズ
Claims (3)
- 【請求項１】気密容器外に設置された駆動源により気密
容器内の搭載物を、該搭載物が搭載されている平面の面
方向任意の位置へ移動させるための動力導入機構におい
て、前記気密容器に回転をガイドされ且つ該気密容器と
の間で軸シールされる第１回転テーブルと、該第１回転
テーブル中で該回転テーブルの軸心から偏心した位置に
軸心が位置して該回転テーブルに回転をガイドされ且つ
該回転テーブルとの間で軸シールされる第２回転テーブ
ルとを備え、前記搭載物が第２回転テーブル上に、且つ
該第２回転テーブルの軸心から偏心した位置に設置され
ることを特徴とする動力導入機構。 - 【請求項２】請求項第１項記載の動力導入機構におい
て、搭載物設置位置の第２回転テーブル軸心からの偏心
距離を、第１回転テーブル軸心と第２回転テーブル軸心
との距離と等しくしたことを特徴とする動力導入機構。 - 【請求項３】請求項第１項または第２項に記載の動力導
入機構を、搭載物が目標位置へ直線上を移動するように
制御する方法であって、第１回転テーブルおよび第２回
転テーブルをそれぞれパルスモータ，サーボモータ等で
回転角度を制御しつつ回転駆動するようにして、目標位
置と搭載物位置とを結ぶ直線上で搭載物位置からの目標
位置側微小距離点を通る第１回転テーブル軸心中心の円
弧と、搭載物位置を通る第２回転テーブル軸心中心の円
弧との交点位置へ第２回転テーブルの回転動作により搭
載物を移動させ、つづいて第１回転テーブルの回転動作
により搭載物をさらに前記最小距離点へ移動させてこの
最小距離点を次の搭載物初期位置としつつ上記第１，第
２回転テーブルの交互微小回転動作の繰返しにより搭載
物を小刻みのジグザグ状に直線上を移動させることを特
徴とする動力導入機構の制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14778192A JPH05343498A (ja) | 1992-06-09 | 1992-06-09 | 動力導入機構およびその制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14778192A JPH05343498A (ja) | 1992-06-09 | 1992-06-09 | 動力導入機構およびその制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05343498A true JPH05343498A (ja) | 1993-12-24 |
Family
ID=15438049
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14778192A Pending JPH05343498A (ja) | 1992-06-09 | 1992-06-09 | 動力導入機構およびその制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05343498A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001027977A1 (en) * | 1999-10-08 | 2001-04-19 | Etec Systems, Inc. | Epicyclic stage |
| JP2012215311A (ja) * | 2011-03-31 | 2012-11-08 | Taiyo Nippon Sanso Corp | 凍結保存装置 |
-
1992
- 1992-06-09 JP JP14778192A patent/JPH05343498A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001027977A1 (en) * | 1999-10-08 | 2001-04-19 | Etec Systems, Inc. | Epicyclic stage |
| JP2012215311A (ja) * | 2011-03-31 | 2012-11-08 | Taiyo Nippon Sanso Corp | 凍結保存装置 |
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