JPH05343340A - 縦型炉 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 縦型の反応管を具備する減圧ＣＶＤ装置や拡
散炉の構造の改良に関し、ウエーハ取り出し中に反応管
内の反応ガスの温度が低下するのを防止し、パーティク
ルがウエーハの表面に付着してウエーハを汚染するのを
防止することが可能となる縦型炉の提供を目的とする。 【構成】 上部に反応ガスの供給口1aを備え、下部に開
口1bを有し、ヒーター２により加熱されている反応管１
内に、ウエーハキャリア４に収納されているウエーハ６
をローダー３により下方から挿入し、このウエーハ６を
この反応管１内で熱処理する縦型炉において、このウエ
ーハキャリア４の頂上面4aに載置する、赤外線とガスを
透過させない材料からなり、この反応管１の下部の開口
1bの内周に形成されている周縁部1cにより保持すること
が可能な遮蔽物５を具備するように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、縦型の反応管を具備す
る減圧ＣＶＤ装置や拡散炉の構造の改良に関するもので
ある。

【０００２】縦型の反応管を具備する減圧ＣＶＤ装置や
拡散炉においてウエーハを反応管内に挿入・取り出しす
る際に、反応管内の反応ガスの放熱や落下するパーティ
クルによるウエーハの汚染などの種々の障害が発生して
いる。

【０００３】以上のような状況から、ウエーハを反応管
内に挿入・取り出しする際に、反応管内の反応ガスの放
熱や落下するパーティクルによるウエーハの汚染を防止
することが可能となる縦型炉が要望されている。

【０００４】

【従来の技術】従来の縦型炉の概略構造及び縦型炉の反
応管内へのウエーハの挿入・取り出し方法について図５
〜図６により詳細に説明する。

【０００５】図５及び図６は従来の縦型炉へのウエーハ
の挿入・取り出し方法を示す図である。従来の縦型炉は
図５(a) に示すように、上部に反応ガスの供給口11a を
備え、下部に開口11b を有し、ヒーター12により加熱さ
れている反応管11内に、ウエーハキャリア14に収納され
ているウエーハ６をローダー13により下方から挿入し、
このウエーハ６をこの反応管11内で熱処理する縦型炉で
ある。

【０００６】このような縦型炉内での熱処理が完了した
ウエーハ６を反応管11内から取り出す場合には、図５
(b) に矢印で示す方向にローダー13を下降し、ウエーハ
キャリア14を反応管11内から完全に取り出した後、図６
(a) に示すようにシャッタ15により反応管11の開口11b
を閉止している。

【０００７】熱処理を行おうとするウエーハ６を反応管
11内に挿入する場合には、取り出す場合とは逆にシャッ
タ15を開いてローダー13を上昇させてウエーハキャリア
14を反応管11内に挿入する。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】以上説明した従来の縦
型炉においては、ローダーを下降させて反応管外に取り
出した後、熱処理完了済のウエーハをウエーハキャリア
から取り出しているが、ウエーハを収納したウエーハキ
ャリアが完全に反応管外に出て、シャッタが反応管の開
口を閉じるまでの間は反応管の開口が開放された状態に
なり、反応管内の反応ガスの温度が低下し、また、反応
管の内壁に付着した生成物が剥離して生じたパーティク
ルが、ウエーハキャリア内に収納されているウエーハの
表面に付着してウエーハを汚染するという問題点があっ
た。

【０００９】本発明は以上のような状況からウエーハ取
り出し中に反応管内の反応ガスの温度が低下するのを防
止し、パーティクルがウエーハの表面に付着してウエー
ハを汚染するのを防止することが可能となる縦型炉の提
供を目的としたものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の縦型炉は、上部
に反応ガスの供給口を備え、下部に開口を有し、ヒータ
ーにより加熱されている反応管内に、ウエーハキャリア
に収納されているウエーハをローダーにより下方から挿
入し、このウエーハをこの反応管内で熱処理する縦型炉
において、このウエーハキャリアの頂上面に載置する、
赤外線とガスを透過させない材料からなり、この反応管
の下部の開口の内周に形成されている周縁部により保持
することが可能な遮蔽物を具備するか、或いは赤外線と
ガスを透過させない材料からなる遮蔽物をこのウエーハ
キャリアの頂上面に固定して具備するように構成する。

【００１１】

【作用】即ち本発明においては、赤外線とガスを透過さ
せない材料からなり、反応管の下部の開口の内周に形成
されている周縁部により保持することが可能な遮蔽物を
ウエーハキャリアの頂上面に載置するから、ウエーハの
熱処理中に上部の供給口から導入した反応ガスの反応管
内の流れを整流することができ、ウエーハを反応管内か
ら取り出す場合にこの遮蔽物により反応管の開口面積が
減少するので、反応管内の反応ガスの放出を減少するこ
とができ、また、落下するパーティクルがこの遮蔽物に
より遮蔽されるので、ウエーハへのパーティクルの付着
も防止することが可能となる。

【００１２】

【実施例】以下図1〜図4により本発明による一実施例の
縦型炉について詳細に説明する。図１及び図２は本発明
による一実施例の縦型炉へのウエーハの挿入・取り出し
方法を示す図、図３は本発明による縦型炉の遮蔽物の第
１の実施例を示す図、図４は本発明による縦型炉の遮蔽
物の第２の実施例を示す図である。

【００１３】本発明による一実施例の縦型炉は図１(a)
に示すように、上部に反応ガスの供給口1aを備え、下部
に開口1bを有し、ヒーター２により加熱されている反応
管１内に、ウエーハキャリア４に収納されているウエー
ハ６をローダー３により下方から挿入し、このウエーハ
６をこの反応管１内で熱処理する縦型炉である。

【００１４】本発明においては赤外線とガスが透過しな
い材料からなり、この反応管１の下部の開口1bの内周に
形成されている周縁部1cにより保持することが可能な遮
蔽物５をこのウエーハキャリア４の頂上面4aに載置して
いる。

【００１５】図３に示す第１の実施例の遮蔽物は不透明
石英或いは炭化珪素からなり、反応管１内の開口1bの内
周に形成されている周縁部1cにより保持される主円板5c
に、４ケ所で支持棒5bを介して５枚の円板5aを固定した
ものである。

【００１６】図４に示す第２の実施例の遮蔽物は、反応
管１内の開口1bの内周に形成されている周縁部1cにより
保持される不透明石英或いは炭化珪素からなる主円板15
c に、同じ材料からなるケース15a により石英ウールな
どのガラスウール15b を真空密封したものである。

【００１７】このような遮蔽物５をウエーハキャリア４
の頂上面4aに載置しているので、ウエーハ６の熱処理中
に上部の供給口1aから導入した反応ガスの反応管１内の
流れを整流することができる。

【００１８】縦型炉内での熱処理が完了したウエーハ６
を反応管１内から取り出す場合には、図１(b) に矢印で
示す方向にローダー３を下降し、ウエーハキャリア４を
反応管１内から取り出し、図２(a) に示すようにウエー
ハキャリア４を完全に取り出す前に遮蔽物５が反応管１
の開口1bの内周に設けた周縁部1cにより保持されて開口
1bを閉止する。

【００１９】熱処理を行おうとするウエーハ６を反応管
１内に挿入する場合には、取り出す場合とは逆にローダ
ー３を上昇させると、遮蔽物５が頂上面4aに載置される
からそのまま更にローダー３を上昇させてウエーハキャ
リア４を反応管１内に挿入することが可能である。

【００２０】このようにローダー３を下降或いは上昇
し、ウエーハキャリア４を反応管１内から取り出したり
挿入したりする場合には、ウエーハキャリア４の頂上面
4aに遮蔽物５を載置しており、反応管１と主円板5cとの
間隔が反応管１とウエーハキャリア４との間隔よりも狭
いから、反応管１の開口1bから放出される反応ガスの量
を減少することができ、また、遮蔽物５の上方から落下
してくるパーティクルがウエーハキャリア４内のウエー
ハ６の表面に付着するのを防止することが可能となる。

【００２１】本実施例においては遮蔽物５とウエーハキ
ャリア４とは固定されていないが、遮蔽物５とウエーハ
キャリア４とを固定し、反応管１の開口1bに周縁部1cを
設けないで、遮蔽物５の下端が反応管１の開口1b近傍に
下降するまでローダー３を下降させ、この位置でウエー
ハキャリア４へのウエーハ６の出し入れを行えば、遮蔽
物５による本実施例と同様の効果を得ることが可能であ
る。

【００２２】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば極めて簡単な構造の改良により、熱処理中の反
応管内の反応ガスの流れを整流し、ウエーハの反応管内
への挿入・取り出しの際の反応管内温度の低下を防止
し、パーティクルによるウエーハの汚染を防止すること
が可能となる等の利点があり、著しい経済的及び、信頼
性向上の効果が期待できる縦型炉の提供が可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明による一実施例の縦型炉へのウエーハ
の挿入・取り出し方法を示す図(1) 、

【図２】 本発明による一実施例の縦型炉へのウエーハ
の挿入・取り出し方法を示す図(2) 、

【図３】 本発明による縦型炉の遮蔽物の第１の実施例
を示す図、

【図４】 本発明による縦型炉の遮蔽物の第２の実施例
を示す図、

【図５】 従来の縦型炉へのウエーハの挿入・取り出し
方法を示す図(1)

【図６】 従来の縦型炉へのウエーハの挿入・取り出し
方法を示す図(2)

【符号の説明】

１は反応管、1aは供給口、1bは開口、1cは周縁部、２は
ヒーター、３はローダー、４はウエーハキャリア、4aは
頂上面、５は遮蔽物、６はウエーハ、

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上部に反応ガスの供給口(1a)を備え、下
   部に開口(1b)を有し、ヒーター(2) により加熱されてい
   る反応管(1) 内に、ウエーハキャリア(4) に収納されて
   いるウエーハ(6) をローダー(3) により下方から挿入
   し、前記ウエーハ(6) を前記反応管(1) 内で熱処理する
   縦型炉において、 前記ウエーハキャリア(4) の頂上面(4a)に載置する、赤
   外線とガスを透過させない材料からなり、前記反応管
   (1) の下部の開口(1b)の内周に形成されている周縁部(1
   c)により保持することが可能な遮蔽物(5) を具備するこ
   とを特徴とする縦型炉。
2. 【請求項２】 上部に反応ガスの供給口(1a)を備え、下
   部に開口(1b)を有し、ヒーター(2) により加熱されてい
   る反応管(1) 内に、ウエーハキャリア(4) に収納されて
   いるウエーハ(6) をローダー(3) により下方から挿入
   し、前記ウエーハ(6) を前記反応管(1) 内で熱処理する
   縦型炉において、 赤外線とガスを透過させない材料からなる遮蔽物(5) を
   前記ウエーハキャリア(4) の頂上面(4a)に固定して具備
   することを特徴とする縦型炉。