JPH05326672A - チップ突き上げ装置 - Google Patents
チップ突き上げ装置Info
- Publication number
- JPH05326672A JPH05326672A JP15433592A JP15433592A JPH05326672A JP H05326672 A JPH05326672 A JP H05326672A JP 15433592 A JP15433592 A JP 15433592A JP 15433592 A JP15433592 A JP 15433592A JP H05326672 A JPH05326672 A JP H05326672A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- push
- pin
- head member
- chip
- movable rod
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 取り扱うチップのサイズ変更に伴う段取り替
えの所要時間を短縮させることができるチップ突き上げ
装置を提供する。 【構成】 シート上に貼り付けられたチップを裏面側よ
り突き上げて剥離させるチップ突き上げ装置であって、
シートを吸着するための吸着面14が形成されたヘッド
部材11と、ヘッド部材11の内部に固定された支持板
15と、ヘッド部材11の吸着面14から上端部を突出
可能な状態で支持板15に支持され、且つ弾性部材19
により支持板15側に付勢された突き上げピン17と、
ヘッド部材11が着脱自在に装着されるとともに、弾性
部材19の付勢力に抗して突き上げピン17の下端部を
押し上げるための可動ロッド22が設けられた駆動シリ
ンダ12とを備えている。
えの所要時間を短縮させることができるチップ突き上げ
装置を提供する。 【構成】 シート上に貼り付けられたチップを裏面側よ
り突き上げて剥離させるチップ突き上げ装置であって、
シートを吸着するための吸着面14が形成されたヘッド
部材11と、ヘッド部材11の内部に固定された支持板
15と、ヘッド部材11の吸着面14から上端部を突出
可能な状態で支持板15に支持され、且つ弾性部材19
により支持板15側に付勢された突き上げピン17と、
ヘッド部材11が着脱自在に装着されるとともに、弾性
部材19の付勢力に抗して突き上げピン17の下端部を
押し上げるための可動ロッド22が設けられた駆動シリ
ンダ12とを備えている。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造工程の中で
も、特にシート上に貼り付けられたチップを一個ずつピ
ックアップする工程において、チップをシートから剥離
させるために用いられるチップ突き上げ装置に関するも
のである。
も、特にシート上に貼り付けられたチップを一個ずつピ
ックアップする工程において、チップをシートから剥離
させるために用いられるチップ突き上げ装置に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】図4は従来装置の一態様を示す分解斜視
図である。図示のように従来のチップ突き上げ装置50
は、大きくはヘッド部材51とピンユニット52と駆動
シリンダ53とから構成される。ヘッド部材51の上面
には、複数の吸引孔54が穿設されてなる吸着面55が
形成されている。また、ヘッド部材51の内周面には段
付部56が形成されている。一方、ピンユニット52
は、ベース板57と突き上げピン58とにより構成され
ている。ベース板57の下面側には突子59が一体に形
成されている。また、突き上げピン58は、その下側を
ベース板57に挿入して横方向から止め螺子60で固定
されている。駆動シリンダ53には、例えばモータを駆
動源として上下動する可動ロッド61と、この可動ロッ
ド61をガイドする案内部材62とが組み込まれてお
り、さらに案内部材62と外周壁との間にはバキューム
溝63が形成されている。
図である。図示のように従来のチップ突き上げ装置50
は、大きくはヘッド部材51とピンユニット52と駆動
シリンダ53とから構成される。ヘッド部材51の上面
には、複数の吸引孔54が穿設されてなる吸着面55が
形成されている。また、ヘッド部材51の内周面には段
付部56が形成されている。一方、ピンユニット52
は、ベース板57と突き上げピン58とにより構成され
ている。ベース板57の下面側には突子59が一体に形
成されている。また、突き上げピン58は、その下側を
ベース板57に挿入して横方向から止め螺子60で固定
されている。駆動シリンダ53には、例えばモータを駆
動源として上下動する可動ロッド61と、この可動ロッ
ド61をガイドする案内部材62とが組み込まれてお
り、さらに案内部材62と外周壁との間にはバキューム
溝63が形成されている。
【0003】上記従来のチップ突き上げ装置50を組み
立てる場合は、まず駆動シリンダ53の可動ロッド61
に設けた孔64にピンユニット52の突子59を位置合
わせして挿入し、可動ロッド61の上面にピンユニット
52を載置する。次に、可動ロッド61に螺合させた止
め螺子65をピンユニット52の突子50に突き当て
て、ピンユニット52全体を駆動シリンダ53に固定す
る。続いて、ヘッド部材51の段付部56を駆動シリン
ダ53の段付部66に位置合わせしながら嵌め込み、そ
の後、止め螺子67を締め込んで駆動シリンダ53にヘ
ッド部材51を固定する。以上の手順に従ってチップ突
き上げ装置50が組み立てられる。
立てる場合は、まず駆動シリンダ53の可動ロッド61
に設けた孔64にピンユニット52の突子59を位置合
わせして挿入し、可動ロッド61の上面にピンユニット
52を載置する。次に、可動ロッド61に螺合させた止
め螺子65をピンユニット52の突子50に突き当て
て、ピンユニット52全体を駆動シリンダ53に固定す
る。続いて、ヘッド部材51の段付部56を駆動シリン
ダ53の段付部66に位置合わせしながら嵌め込み、そ
の後、止め螺子67を締め込んで駆動シリンダ53にヘ
ッド部材51を固定する。以上の手順に従ってチップ突
き上げ装置50が組み立てられる。
【0004】さらに、このチップ突き上げ装置50を用
いてシート上に貼り付けられたチップを剥離させる場合
は、まずヘッド部材51の吸着面55上にチップを配置
して、そのシートを吸着面55で真空吸着する。次に、
駆動シリンダ53の駆動により可動ロッド61を押し出
して、ヘッド部材51の吸着面55から突き上げ孔68
を通して突き上げピン58の上端部を突出させる。これ
により、シート上のチップは、その裏面側から突き上げ
ピン58によって強制的に突き上げられ、シートから剥
離される。
いてシート上に貼り付けられたチップを剥離させる場合
は、まずヘッド部材51の吸着面55上にチップを配置
して、そのシートを吸着面55で真空吸着する。次に、
駆動シリンダ53の駆動により可動ロッド61を押し出
して、ヘッド部材51の吸着面55から突き上げ孔68
を通して突き上げピン58の上端部を突出させる。これ
により、シート上のチップは、その裏面側から突き上げ
ピン58によって強制的に突き上げられ、シートから剥
離される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この種のチ
ップ突き上げ装置に設けられる突き上げピン58の本数
は、取り扱うチップのサイズによって、例えば図4に示
すように1本であったり、或いは図5に示すように4本
であったりする。したがって、従来のチップ突き上げ装
置50による製造工程では、取り扱うチップのサイズが
変わる度に、駆動シリンダ53に対してヘッド部材51
とピンユニット52とを交換する必要があり、この交換
作業が非常に面倒で且つ時間のかかるものとなってい
た。
ップ突き上げ装置に設けられる突き上げピン58の本数
は、取り扱うチップのサイズによって、例えば図4に示
すように1本であったり、或いは図5に示すように4本
であったりする。したがって、従来のチップ突き上げ装
置50による製造工程では、取り扱うチップのサイズが
変わる度に、駆動シリンダ53に対してヘッド部材51
とピンユニット52とを交換する必要があり、この交換
作業が非常に面倒で且つ時間のかかるものとなってい
た。
【0006】すなわち従来のチップ突き上げ装置50に
おいては、ヘッド部材51とピンユニット52とが別個
に構成されているため、交換作業が煩雑になるうえに、
突き上げピン58の高さを冶具等を用いて調整しなけれ
ばならず、段取り替えに多くの時間を要していた。ま
た、ヘッド部材51とピンユニット52とは1対1の組
み合わせになっているので、常に一対の状態で取り扱わ
なければならず、そのための管理、保管が面倒であっ
た。
おいては、ヘッド部材51とピンユニット52とが別個
に構成されているため、交換作業が煩雑になるうえに、
突き上げピン58の高さを冶具等を用いて調整しなけれ
ばならず、段取り替えに多くの時間を要していた。ま
た、ヘッド部材51とピンユニット52とは1対1の組
み合わせになっているので、常に一対の状態で取り扱わ
なければならず、そのための管理、保管が面倒であっ
た。
【0007】本発明は、上記問題を解決するためになさ
れたもので、取り扱うチップのサイズ変更に伴う段取り
替えの所要時間を短縮させることができるチップ突き上
げ装置を提供することを目的とする。
れたもので、取り扱うチップのサイズ変更に伴う段取り
替えの所要時間を短縮させることができるチップ突き上
げ装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するためになされたもので、シート上に貼り付けられ
たチップを裏面側より突き上げて剥離させるチップ突き
上げ装置において、シートを吸着するための吸着面が形
成されたヘッド部材と、このヘッド部材の内部に固定さ
れた支持板と、ヘッド部材の吸着面から上端部を突出可
能な状態で支持板に支持され、且つ弾性部材により支持
板側に付勢された突き上げピンと、ヘッド部材が着脱自
在に装着されるとともに、弾性部材の付勢力に抗して突
き上げピンの下端部を押し上げるための可動ロッドが設
けられた駆動シリンダとを備えたものである。
成するためになされたもので、シート上に貼り付けられ
たチップを裏面側より突き上げて剥離させるチップ突き
上げ装置において、シートを吸着するための吸着面が形
成されたヘッド部材と、このヘッド部材の内部に固定さ
れた支持板と、ヘッド部材の吸着面から上端部を突出可
能な状態で支持板に支持され、且つ弾性部材により支持
板側に付勢された突き上げピンと、ヘッド部材が着脱自
在に装着されるとともに、弾性部材の付勢力に抗して突
き上げピンの下端部を押し上げるための可動ロッドが設
けられた駆動シリンダとを備えたものである。
【0009】
【作用】本発明のチップ突き上げ装置においては、駆動
シリンダの駆動により可動ロッドが押し出されると、こ
の可動ロッドは弾性部材の付勢力に抗して突き上げピン
の下端部を押し上げ、これにより突き上げピンの上端部
がヘッド部材の吸着面から突出した状態となる。また、
駆動シリンダの可動ロッドを元の位置まで引き戻すと、
突き上げピンは弾性部材の付勢力によって引き下げら
れ、これにより突き上げピンの上端部がヘッド部材の吸
着面から引っ込んだ状態となる。
シリンダの駆動により可動ロッドが押し出されると、こ
の可動ロッドは弾性部材の付勢力に抗して突き上げピン
の下端部を押し上げ、これにより突き上げピンの上端部
がヘッド部材の吸着面から突出した状態となる。また、
駆動シリンダの可動ロッドを元の位置まで引き戻すと、
突き上げピンは弾性部材の付勢力によって引き下げら
れ、これにより突き上げピンの上端部がヘッド部材の吸
着面から引っ込んだ状態となる。
【0010】
【実施例】以下、本発明に係わるチップ突き上げ装置の
実施例を図面に基づいて詳細に説明する。図1は本発明
の第1実施例の一態様を示す分解斜視図である。図示し
たチップ突き上げ装置10は、大きくはヘッド部材11
と駆動シリンダ12とから構成される。
実施例を図面に基づいて詳細に説明する。図1は本発明
の第1実施例の一態様を示す分解斜視図である。図示し
たチップ突き上げ装置10は、大きくはヘッド部材11
と駆動シリンダ12とから構成される。
【0011】ヘッド部材11の上面には、複数の吸引孔
13が穿設されてなる吸着面14が形成されており、こ
の吸着面14に図示せぬ真空装置の作動によって、チッ
プが貼り付けられたシートが吸着されるようになってい
る。また、ヘッド部材11の内部には支持板15が組み
込まれており、この支持板15は、ヘッド部材11に螺
合された止め螺子16によって固定されている。なお、
図示はしないがこの支持板15には複数の空気流通孔が
穿設されている。
13が穿設されてなる吸着面14が形成されており、こ
の吸着面14に図示せぬ真空装置の作動によって、チッ
プが貼り付けられたシートが吸着されるようになってい
る。また、ヘッド部材11の内部には支持板15が組み
込まれており、この支持板15は、ヘッド部材11に螺
合された止め螺子16によって固定されている。なお、
図示はしないがこの支持板15には複数の空気流通孔が
穿設されている。
【0012】さらに、ヘッド部材11の内部に固定され
た支持板15には突き上げピン17が支持されており、
しかもこの突き上げピン17の上端部は、以下の手段に
よりヘッド部材11の吸着面14から突出可能な状態と
なっている。まず、突き上げピン17の略中間には、位
置決め用のフランジ部17aが形成されている。そして
突き上げピン17は、吸着面14の裏面側とフランジ部
17aとの間に介装された弾性部材19によって支持板
15側に付勢されており、これにより突き上げピン17
の上下方向の位置決めがなされている。また、フランジ
部17aを境に、突き上げピン17の上端部はヘッド部
材11の吸着面14の中心に穿設された突き上げ孔18
に挿入され、同下端部は支持板15に挿通されて下方に
突出している。この状態で突き上げピン17は、支持板
15に対して上下動自在に支持されており、その上端部
は、ヘッド部材11の吸着面14よりも僅かに下がった
位置に配置されている。
た支持板15には突き上げピン17が支持されており、
しかもこの突き上げピン17の上端部は、以下の手段に
よりヘッド部材11の吸着面14から突出可能な状態と
なっている。まず、突き上げピン17の略中間には、位
置決め用のフランジ部17aが形成されている。そして
突き上げピン17は、吸着面14の裏面側とフランジ部
17aとの間に介装された弾性部材19によって支持板
15側に付勢されており、これにより突き上げピン17
の上下方向の位置決めがなされている。また、フランジ
部17aを境に、突き上げピン17の上端部はヘッド部
材11の吸着面14の中心に穿設された突き上げ孔18
に挿入され、同下端部は支持板15に挿通されて下方に
突出している。この状態で突き上げピン17は、支持板
15に対して上下動自在に支持されており、その上端部
は、ヘッド部材11の吸着面14よりも僅かに下がった
位置に配置されている。
【0013】一方、上記ヘッド部材11に対して、駆動
シリンダ12は以下のように構成されている。まず、駆
動シリンダ12の外径は、上述したヘッド部材11の外
径とほぼ同一寸法に設定されている。また、駆動シリン
ダ12の外周面には段付部20が形成されており、この
段付部20の外径が、ヘッド部材11の内周面に形成さ
れた段付部21の内径よりも僅かに小さく設定されてい
る。この構成によりヘッド部材11は駆動シリンダ12
に着脱自在に装着されるようになっている。
シリンダ12は以下のように構成されている。まず、駆
動シリンダ12の外径は、上述したヘッド部材11の外
径とほぼ同一寸法に設定されている。また、駆動シリン
ダ12の外周面には段付部20が形成されており、この
段付部20の外径が、ヘッド部材11の内周面に形成さ
れた段付部21の内径よりも僅かに小さく設定されてい
る。この構成によりヘッド部材11は駆動シリンダ12
に着脱自在に装着されるようになっている。
【0014】加えて、駆動シリンダ12の内部には、例
えばモータを駆動源として上下動する可動ロッド22
と、この可動ロッド22をガイドする案内部材23とが
組み込まれており、さらに案内部材23と外周壁との間
には空気を吸引するためのバキューム溝24が形成され
ている。
えばモータを駆動源として上下動する可動ロッド22
と、この可動ロッド22をガイドする案内部材23とが
組み込まれており、さらに案内部材23と外周壁との間
には空気を吸引するためのバキューム溝24が形成され
ている。
【0015】このように構成されたチップ突き上げ装置
10を組み立てる場合は、まず駆動シリンダ12の段付
部20にヘッド部材11の段付部21を位置合わせしな
がら嵌め込み、その後、止め螺子25を締め込んで駆動
シリンダ12にヘッド部材11を固定する。このように
組み立てられた状態では、駆動シリンダ12の可動ロッ
ド22の真上に突き上げピン17の下端部が近接され
る。
10を組み立てる場合は、まず駆動シリンダ12の段付
部20にヘッド部材11の段付部21を位置合わせしな
がら嵌め込み、その後、止め螺子25を締め込んで駆動
シリンダ12にヘッド部材11を固定する。このように
組み立てられた状態では、駆動シリンダ12の可動ロッ
ド22の真上に突き上げピン17の下端部が近接され
る。
【0016】続いて、上記チップ突き上げ装置10の動
作について説明する。まず、駆動シリンダ12を駆動し
て可動ロッド22を押し出すと、可動ロッド22は弾性
部材19の付勢力に抗して突き上げピン17の下端部を
押し上げる。これにより突き上げピン17の上端部は、
ヘッド部材11の吸着面14から突出した状態となる。
一方、駆動シリンダ12の可動ロッド22を元の位置ま
で引き戻すと、突き上げピン17は弾性部材19の弾性
力によって引き下げられる。これにより突き上げピン1
7の上端部は、ヘッド部材11の吸着面14から引っ込
んだ状態となる。
作について説明する。まず、駆動シリンダ12を駆動し
て可動ロッド22を押し出すと、可動ロッド22は弾性
部材19の付勢力に抗して突き上げピン17の下端部を
押し上げる。これにより突き上げピン17の上端部は、
ヘッド部材11の吸着面14から突出した状態となる。
一方、駆動シリンダ12の可動ロッド22を元の位置ま
で引き戻すと、突き上げピン17は弾性部材19の弾性
力によって引き下げられる。これにより突き上げピン1
7の上端部は、ヘッド部材11の吸着面14から引っ込
んだ状態となる。
【0017】図2は、本発明の第一実施例の他の態様を
示す分解斜視図であり、上記態様のものと同等の部材に
は同じ符号が付されている。図示したチップ突き上げ装
置20においては、ヘッド部材11の内部に固定した支
持板15の所定位置に、複数本(図例では4本)の突き
上げピン17が支持されている。これ以外の構成、及び
動作については、上述した態様の場合と同様であるので
説明を省略する。
示す分解斜視図であり、上記態様のものと同等の部材に
は同じ符号が付されている。図示したチップ突き上げ装
置20においては、ヘッド部材11の内部に固定した支
持板15の所定位置に、複数本(図例では4本)の突き
上げピン17が支持されている。これ以外の構成、及び
動作については、上述した態様の場合と同様であるので
説明を省略する。
【0018】本第1実施例のチップ突き上げ装置10、
20においては、いづれもヘッド部材11の内部に固定
した支持板15に突き上げピン17が支持されている。
つまり、ヘッド部材11と突き上げピン17とは一体に
構成されているのである。よって、取り扱うチップのサ
イズが変更になった場合でも、装置の交換作業として
は、駆動シリンダ12に対してヘッド部材11だけを交
換すれば済むようになる。
20においては、いづれもヘッド部材11の内部に固定
した支持板15に突き上げピン17が支持されている。
つまり、ヘッド部材11と突き上げピン17とは一体に
構成されているのである。よって、取り扱うチップのサ
イズが変更になった場合でも、装置の交換作業として
は、駆動シリンダ12に対してヘッド部材11だけを交
換すれば済むようになる。
【0019】図3は、本発明の第2実施例を示す分解斜
視図である。本第2実施例においては、上記第1実施例
の場合と同等の部材には同じ符号を付し、重複する説明
は省略する。図示したチップ突き上げ装置30は、大き
くはヘッド部材11と駆動シリンダ12とから構成され
る。ヘッド部材11の内部には支持板15が固定されて
おり、この支持板15に第1の突き上げピン17bと第
2の突き上げピン17cとが支持されている。まず第1
の突き上げピン17bは、ヘッド部材11の中心に配置
されており、この第1の突き上げピン17bの周囲に第
2の突き上げピン17cが複数本(図例では4本)配置
されている。
視図である。本第2実施例においては、上記第1実施例
の場合と同等の部材には同じ符号を付し、重複する説明
は省略する。図示したチップ突き上げ装置30は、大き
くはヘッド部材11と駆動シリンダ12とから構成され
る。ヘッド部材11の内部には支持板15が固定されて
おり、この支持板15に第1の突き上げピン17bと第
2の突き上げピン17cとが支持されている。まず第1
の突き上げピン17bは、ヘッド部材11の中心に配置
されており、この第1の突き上げピン17bの周囲に第
2の突き上げピン17cが複数本(図例では4本)配置
されている。
【0020】これに対して駆動シリンダ12には、第1
の可動ロッド22aと第2の可動ロッド22bとが組み
込まれており、各可動ロッド22a、22bは例えば駆
動源を別にすることで、それぞれ独立して駆動するよう
になっている。この駆動シリンダ12は、上記第1の実
施例と同様に段付部20、21の嵌め込みによりヘッド
部材11と着脱自在に構成されており、両者が組み立て
られた状態では、第1の可動ロッド22aの真上に第1
の突き上げピン17bの下端部が近接され、第2の可動
ロッド22bの真上に第2の突き上げピン17cの下端
部が近接されるようになっている。
の可動ロッド22aと第2の可動ロッド22bとが組み
込まれており、各可動ロッド22a、22bは例えば駆
動源を別にすることで、それぞれ独立して駆動するよう
になっている。この駆動シリンダ12は、上記第1の実
施例と同様に段付部20、21の嵌め込みによりヘッド
部材11と着脱自在に構成されており、両者が組み立て
られた状態では、第1の可動ロッド22aの真上に第1
の突き上げピン17bの下端部が近接され、第2の可動
ロッド22bの真上に第2の突き上げピン17cの下端
部が近接されるようになっている。
【0021】続いて、本第2実施例のチップ突き上げ装
置30の動作について説明する。まず、駆動シリンダ1
2を駆動して第1の可動ロッド22aだけを押し出す
と、この第1の可動ロッド22aは弾性部材19の付勢
力に抗して第1の突き上げピン17bの下端部を押し上
げる。これにより第1の突き上げピン17bの上端部
は、ヘッド部材11の吸着面14から突出した状態とな
る。一方、駆動シリンダ12を駆動して第2の可動ロッ
ド22bだけを押し出すと、この第2の可動ロッド22
bは弾性部材19の付勢力に抗して第2の突き上げピン
17cの下端部を押し上げる。これにより第2の突き上
げピン17cの上端部は、ヘッド部材11の吸着面14
から突出した状態となる。
置30の動作について説明する。まず、駆動シリンダ1
2を駆動して第1の可動ロッド22aだけを押し出す
と、この第1の可動ロッド22aは弾性部材19の付勢
力に抗して第1の突き上げピン17bの下端部を押し上
げる。これにより第1の突き上げピン17bの上端部
は、ヘッド部材11の吸着面14から突出した状態とな
る。一方、駆動シリンダ12を駆動して第2の可動ロッ
ド22bだけを押し出すと、この第2の可動ロッド22
bは弾性部材19の付勢力に抗して第2の突き上げピン
17cの下端部を押し上げる。これにより第2の突き上
げピン17cの上端部は、ヘッド部材11の吸着面14
から突出した状態となる。
【0022】このように本第2実施例のチップ突き上げ
装置30においては、駆動シリンダ12の駆動動作を制
御することにより、ヘッド部材11の中心に配置された
第1の突き上げピン17bと、その周囲に複数本配置さ
れた第2の突き上げピン17cとを任意のタイミングで
別々に押し上げられることができる。よって、取り扱う
チップのサイズが変更になった場合でも、いちいち装置
の交換作業を行う必要がなく、駆動シリンダ12の動作
設定を変えるだけで工程の段取り替えが完了する。
装置30においては、駆動シリンダ12の駆動動作を制
御することにより、ヘッド部材11の中心に配置された
第1の突き上げピン17bと、その周囲に複数本配置さ
れた第2の突き上げピン17cとを任意のタイミングで
別々に押し上げられることができる。よって、取り扱う
チップのサイズが変更になった場合でも、いちいち装置
の交換作業を行う必要がなく、駆動シリンダ12の動作
設定を変えるだけで工程の段取り替えが完了する。
【0023】さらに本第2実施例のチップ突き上げ装置
30では、駆動シリンダ12を構成する際に第1の可動
ロッド22aと第2の可動ロッド22bの可動量を適宜
調整することにより、シート上に貼り付けられたチップ
を、まず第2の突き上げピン17cである程度突き上げ
ておいて、それから第1の突き上げピン17bで突き上
げるといった、いわゆる多段式の突き上げ動作を行わせ
ることも容易に可能である。
30では、駆動シリンダ12を構成する際に第1の可動
ロッド22aと第2の可動ロッド22bの可動量を適宜
調整することにより、シート上に貼り付けられたチップ
を、まず第2の突き上げピン17cである程度突き上げ
ておいて、それから第1の突き上げピン17bで突き上
げるといった、いわゆる多段式の突き上げ動作を行わせ
ることも容易に可能である。
【0024】
【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
シート上のチップを突き上げるための突き上げピンがヘ
ッド部材と一体に構成されているので、取り扱うチップ
のサイズが変更となる場合でも、駆動シリンダに対して
ヘッド部材だけを交換すれば済むようになる。また、ヘ
ッド部材を組み立てる際に突き上げピンの取付位置を一
度調節しておけば、装置の交換作業を行うたびに突き上
げピンの高さを調整する必要がなくなる。その結果、チ
ップサイズの変更に伴う装置の交換作業が非常に簡単で
且つ楽になり、段取り替えの所要時間を従来よりも大幅
に短縮させることができる。また、ヘッド部材と突き上
げピンとが一体化されたことで、持ち運び等に伴う装置
の取扱い、並びに保管、管理が簡単になる。
シート上のチップを突き上げるための突き上げピンがヘ
ッド部材と一体に構成されているので、取り扱うチップ
のサイズが変更となる場合でも、駆動シリンダに対して
ヘッド部材だけを交換すれば済むようになる。また、ヘ
ッド部材を組み立てる際に突き上げピンの取付位置を一
度調節しておけば、装置の交換作業を行うたびに突き上
げピンの高さを調整する必要がなくなる。その結果、チ
ップサイズの変更に伴う装置の交換作業が非常に簡単で
且つ楽になり、段取り替えの所要時間を従来よりも大幅
に短縮させることができる。また、ヘッド部材と突き上
げピンとが一体化されたことで、持ち運び等に伴う装置
の取扱い、並びに保管、管理が簡単になる。
【0025】さらに、駆動シリンダに設けた第1の可動
ロッドと第2の可動ロッドとで、ヘッド部材内に組み込
んだ第1の突き上げピンと第2の突き上げピンとをそれ
ぞれ別々に押し上げられるようにすれば、チップサイズ
の変更に伴う工程の段取り替えは駆動シリンダの動作設
定だけを変えるだけで済むので、上記所要時間を一層短
縮させることが可能となる。
ロッドと第2の可動ロッドとで、ヘッド部材内に組み込
んだ第1の突き上げピンと第2の突き上げピンとをそれ
ぞれ別々に押し上げられるようにすれば、チップサイズ
の変更に伴う工程の段取り替えは駆動シリンダの動作設
定だけを変えるだけで済むので、上記所要時間を一層短
縮させることが可能となる。
【図1】本発明の第1実施例の一態様を示す分解斜視図
である。
である。
【図2】本発明の第1実施例の他の態様を示す分解斜視
図である。
図である。
【図3】本発明の第2実施例を示す分解斜視図である。
【図4】従来装置の一態様を示す分解斜視図である。
【図5】従来装置の他の態様を示す分解斜視図である。
10、20、30 チップ突き上げ装置 11 ヘ
ッド部材 12 駆動シリンダ 14 吸
着面 15 支持板 17 突
き上げピン 17a フランジ部 17b
第1の突き上げピン 17c 第2の突き上げピン 19 弾
性部材 22 可動ロッド 22a
第1の可動ロッド 22b 第2の可動ロッド
ッド部材 12 駆動シリンダ 14 吸
着面 15 支持板 17 突
き上げピン 17a フランジ部 17b
第1の突き上げピン 17c 第2の突き上げピン 19 弾
性部材 22 可動ロッド 22a
第1の可動ロッド 22b 第2の可動ロッド
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成4年5月29日
【手続補正1】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正内容】
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
Claims (3)
- 【請求項1】 シート上に貼り付けられたチップを裏面
側より突き上げて剥離させるチップ突き上げ装置におい
て、 前記シートを吸着するための吸着面が形成されたヘッド
部材と、 前記ヘッド部材の内部に固定された支持板と、 前記ヘッド部材の吸着面から上端部を突出可能な状態で
前記支持板に支持され、且つ弾性部材により前記支持板
側に付勢された突き上げピンと、 前記ヘッド部材が着脱自在に装着されるとともに、前記
弾性部材の付勢力に抗して前記突き上げピンの下端部を
押し上げるための可動ロッドが設けられた駆動シリンダ
とを備えたことを特徴とするチップ突き上げ装置。 - 【請求項2】 前記突き上げピンの略中間には位置決め
用のフランジ部が形成されるとともに、このフランジ部
が前記弾性部材の付勢力によって前記支持板の上面に突
き当てられ、且つこのフランジ部よりも下端部が前記支
持板に挿通されて下方に突出していることを特徴とする
請求項1記載のチップ突き上げ装置。 - 【請求項3】 前記ヘッド部材の内部に固定した支持板
には、そのヘッド部材の中心に配置された第1の突き上
げピンと、この第1の突き上げピンの周囲に複数本配置
された第2の突き上げピンとが支持されるとともに、 前記駆動シリンダには、前記第1の突き上げピンの下端
部を押し上げための第1の可動ロッドと、前記第2の突
き上げピンの下端部を押し上げるための第2の可動ロッ
ドとが設けられたことを特徴とする請求項1記載のチッ
プ突き上げ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15433592A JP3245961B2 (ja) | 1992-05-21 | 1992-05-21 | チップ突き上げ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15433592A JP3245961B2 (ja) | 1992-05-21 | 1992-05-21 | チップ突き上げ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05326672A true JPH05326672A (ja) | 1993-12-10 |
JP3245961B2 JP3245961B2 (ja) | 2002-01-15 |
Family
ID=15581906
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15433592A Expired - Fee Related JP3245961B2 (ja) | 1992-05-21 | 1992-05-21 | チップ突き上げ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3245961B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012169321A (ja) * | 2011-02-10 | 2012-09-06 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | ダイ供給装置 |
JP2015062253A (ja) * | 2014-12-02 | 2015-04-02 | 富士機械製造株式会社 | ダイ供給装置 |
JP2017224640A (ja) * | 2016-06-13 | 2017-12-21 | ファスフォードテクノロジ株式会社 | 半導体製造装置および半導体装置の製造方法 |
CN111128846A (zh) * | 2019-12-24 | 2020-05-08 | 颀中科技(苏州)有限公司 | 一种用于芯片封装的顶针装置 |
JP2021016004A (ja) * | 2020-11-18 | 2021-02-12 | ファスフォードテクノロジ株式会社 | 半導体製造装置および半導体装置の製造方法 |
-
1992
- 1992-05-21 JP JP15433592A patent/JP3245961B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012169321A (ja) * | 2011-02-10 | 2012-09-06 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | ダイ供給装置 |
JP2015062253A (ja) * | 2014-12-02 | 2015-04-02 | 富士機械製造株式会社 | ダイ供給装置 |
JP2017224640A (ja) * | 2016-06-13 | 2017-12-21 | ファスフォードテクノロジ株式会社 | 半導体製造装置および半導体装置の製造方法 |
CN111128846A (zh) * | 2019-12-24 | 2020-05-08 | 颀中科技(苏州)有限公司 | 一种用于芯片封装的顶针装置 |
WO2021129053A1 (zh) * | 2019-12-24 | 2021-07-01 | 颀中科技(苏州)有限公司 | 一种用于芯片封装的顶针装置 |
CN111128846B (zh) * | 2019-12-24 | 2022-02-22 | 颀中科技(苏州)有限公司 | 一种用于芯片封装的顶针装置 |
JP2021016004A (ja) * | 2020-11-18 | 2021-02-12 | ファスフォードテクノロジ株式会社 | 半導体製造装置および半導体装置の製造方法 |
JP2022066502A (ja) * | 2020-11-18 | 2022-04-28 | ファスフォードテクノロジ株式会社 | 半導体製造装置および半導体装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3245961B2 (ja) | 2002-01-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4516354B2 (ja) | 部品供給方法 | |
US20050014345A1 (en) | Substrate joining method and apparatus | |
JPH05326672A (ja) | チップ突き上げ装置 | |
JPH11297793A (ja) | チップ突き上げ装置及びそれを用いたダイボンディング装置 | |
JPH06216596A (ja) | 実装機におけるノズル交換装置 | |
JP5652868B2 (ja) | ウエハパレット及び部品実装機並びにダイシングシートの取付方法 | |
JPH02235400A (ja) | 電子部品装着装置 | |
JP2003170419A (ja) | 基板分断方法および基板分断装置 | |
JP3758932B2 (ja) | マウンタの基板セット装置及びバックアップピン切替え方法 | |
JPH05338730A (ja) | ウエハリング移載装置 | |
JP3146604B2 (ja) | スクリーン印刷機 | |
TWI830034B (zh) | 零件頂起裝置及零件安裝裝置 | |
JP4241001B2 (ja) | 部品取出し方法、部品取出し装置およびこの装置を備える組み立て装置 | |
JPH0781755A (ja) | 基板保持装置 | |
JPH06268047A (ja) | 半導体レーザチップの供給方法及び供給装置 | |
JPH0575299A (ja) | チツプの実装装置 | |
JPH0625964Y2 (ja) | ダイエジェクタ装置 | |
JP2002353253A (ja) | 半導体チップ供給装置及び供給方法 | |
JPH09162535A (ja) | 位置決め装置 | |
JPH10107481A (ja) | 部品打抜装置 | |
JP2003334727A (ja) | 多軸ねじ締め機へのねじ供給方法及びねじ供給トレイ | |
JP2005268314A (ja) | バックアップピンの位置決め治具及びバックアッピンの段取り替え方法 | |
JPH04139784A (ja) | 基板の固定方法 | |
JPH06164194A (ja) | 電子部品装着方法及び装置 | |
JPH10277979A (ja) | 部品供給装置及びその部品供給方法並びに分割フィンガ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |