JPH05322802A - Ｘ線ｃｔ装置 - Google Patents
Ｘ線ｃｔ装置Info
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- JPH05322802A JPH05322802A JP4152920A JP15292092A JPH05322802A JP H05322802 A JPH05322802 A JP H05322802A JP 4152920 A JP4152920 A JP 4152920A JP 15292092 A JP15292092 A JP 15292092A JP H05322802 A JPH05322802 A JP H05322802A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 正確な拡大投影像と断層像を簡単に得ること
ができるＸ線ＣＴ装置を提供することを目的とする。 【構成】 先端中央が鋭角な調整用サンプルＡを回転テ
ーブル２の上に設置し、Ｘ線発生装置１と調整用サンプ
ルとの距離を変化させ、各距離において得られるそれぞ
れの拡大投影像を画像表示装置５ａに表示し、それぞれ
の拡大投影像の拡大率と調整用サンプルの上端部分のそ
れぞれの位置座標とからＸ線焦点１０の位置を求め、求
められた焦点の位置に基づいて、二次元Ｘ線検出器４の
中心の法線延長上にＸ線焦点１０の位置を一致させるこ
とにより、回転テーブル２の回転軸を断層面を含む平面
上の法線と等しくさせる。
ができるＸ線ＣＴ装置を提供することを目的とする。 【構成】 先端中央が鋭角な調整用サンプルＡを回転テ
ーブル２の上に設置し、Ｘ線発生装置１と調整用サンプ
ルとの距離を変化させ、各距離において得られるそれぞ
れの拡大投影像を画像表示装置５ａに表示し、それぞれ
の拡大投影像の拡大率と調整用サンプルの上端部分のそ
れぞれの位置座標とからＸ線焦点１０の位置を求め、求
められた焦点の位置に基づいて、二次元Ｘ線検出器４の
中心の法線延長上にＸ線焦点１０の位置を一致させるこ
とにより、回転テーブル２の回転軸を断層面を含む平面
上の法線と等しくさせる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＸ線ＣＴ装置に係り、特
に、被検査物の投影像を得ることができ、かつ、上記投
影像の中心位置の断面像を観察することにより複合的に
非破壊で検査するようにした産業用のＸ線ＣＴ装置に用
いて好適なものである。
に、被検査物の投影像を得ることができ、かつ、上記投
影像の中心位置の断面像を観察することにより複合的に
非破壊で検査するようにした産業用のＸ線ＣＴ装置に用
いて好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】周知の通り、Ｘ線ＣＴ装置は外部から人
体の内部を観察することができるという優れた特徴を有
しているので、医療分野において広く使用されている。
また、上記Ｘ線ＣＴ装置を用いれば各種工業製品の内部
を非破壊で検査することができるので、Ｘ線ＣＴ装置は
近年産業の分野においても徐々に普及しつつある。
体の内部を観察することができるという優れた特徴を有
しているので、医療分野において広く使用されている。
また、上記Ｘ線ＣＴ装置を用いれば各種工業製品の内部
を非破壊で検査することができるので、Ｘ線ＣＴ装置は
近年産業の分野においても徐々に普及しつつある。
【０００３】ところで、産業用のＸ線ＣＴ装置において
は、通常は被検査物を回転させてＸ線の透過データを得
るようにしている。そこで、例えば「非破壊検査」３
９，９Ａ 第７６３頁から第７６４頁に記載されている
ように、Ｘ線投影検査装置と組み合わされて使用される
場合もある。
は、通常は被検査物を回転させてＸ線の透過データを得
るようにしている。そこで、例えば「非破壊検査」３
９，９Ａ 第７６３頁から第７６４頁に記載されている
ように、Ｘ線投影検査装置と組み合わされて使用される
場合もある。
【０００４】このようにＸ線投影検査とＸ線ＣＴとを組
み合わせた場合には、断面像が被検査物のどの部分を観
察しているのかを正確に判断する必要がある。また、マ
イクロフォーカスＸ線を利用した顕微的な検査の場合に
は、スライス幅を薄くしてＣＴ画像の空間分解能を向上
させる必要がある。したがって、高精度な検出を行うた
めには観察する断層面を含む平面の法線と等しくなるよ
うにＸ線を照射することが重要である。すなわち、被検
査物の回転軸に垂直になるように、Ｘ線を精度良く照射
させることが重要である。
み合わせた場合には、断面像が被検査物のどの部分を観
察しているのかを正確に判断する必要がある。また、マ
イクロフォーカスＸ線を利用した顕微的な検査の場合に
は、スライス幅を薄くしてＣＴ画像の空間分解能を向上
させる必要がある。したがって、高精度な検出を行うた
めには観察する断層面を含む平面の法線と等しくなるよ
うにＸ線を照射することが重要である。すなわち、被検
査物の回転軸に垂直になるように、Ｘ線を精度良く照射
させることが重要である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の産業用
Ｘ線ＣＴ装置では、上記したように被検査物の回転軸に
Ｘ線を垂直に照射するための特別の装置や手段が設けら
れていなかった。したがって、このような操作は観測者
の経験や技量に頼る手作業で行っていた。
Ｘ線ＣＴ装置では、上記したように被検査物の回転軸に
Ｘ線を垂直に照射するための特別の装置や手段が設けら
れていなかった。したがって、このような操作は観測者
の経験や技量に頼る手作業で行っていた。
【０００６】ところで、二次元Ｘ線検出器によって投影
像を得る場合、Ｘ線焦点の位置は二次元Ｘ線検出器の受
光面の中心からの法線上にあり、かつ被検査物の回転軸
は、断層面を含む平面上の法線と等しくなる方向にＸ線
が照射されるように正確に位置決めする必要がある。仮
に、上記の条件を満足させることができない場合には、
得られる投影像は幾何学的な倍率の歪みから不正確なも
のとなる。さらに、回転装置の回転に伴って被検査物の
スライス位置が変化するので、再構成を行っても明瞭な
断層像が得られないという問題があった。
像を得る場合、Ｘ線焦点の位置は二次元Ｘ線検出器の受
光面の中心からの法線上にあり、かつ被検査物の回転軸
は、断層面を含む平面上の法線と等しくなる方向にＸ線
が照射されるように正確に位置決めする必要がある。仮
に、上記の条件を満足させることができない場合には、
得られる投影像は幾何学的な倍率の歪みから不正確なも
のとなる。さらに、回転装置の回転に伴って被検査物の
スライス位置が変化するので、再構成を行っても明瞭な
断層像が得られないという問題があった。
【０００７】また、１０ミクロン程度の高い分解能が要
求される産業用のＸ線ＣＴ装置では、焦点径が１０ミク
ロン以下のマイクロフォーカスＸ線が利用される。この
ように焦点径が小さいＸ線を使用する場合には、上記の
条件はますます正確さが要求される。さらに、被検査物
が数ミリ以下の大きさの微小被検査物を拡大して、分解
能が数ミクロン程度の顕微的なＣＴ画像を得る場合に
は、画素サイズと同等のスライス幅でＸ線を透過させる
ことが必要なので、上記の条件でＸ線を照射することが
ますます重要になる。
求される産業用のＸ線ＣＴ装置では、焦点径が１０ミク
ロン以下のマイクロフォーカスＸ線が利用される。この
ように焦点径が小さいＸ線を使用する場合には、上記の
条件はますます正確さが要求される。さらに、被検査物
が数ミリ以下の大きさの微小被検査物を拡大して、分解
能が数ミクロン程度の顕微的なＣＴ画像を得る場合に
は、画素サイズと同等のスライス幅でＸ線を透過させる
ことが必要なので、上記の条件でＸ線を照射することが
ますます重要になる。
【０００８】しかし、従来のように二次元Ｘ線検出器の
中心とＸ線源の位置とを、手作業で被検査物の回転軸に
垂直に合わせる方法では、通常何回かの試行錯誤を繰り
返さなければならない。このため、従来は二次元Ｘ線検
出器の中心とＸ線源の位置とを合わせるのに多大な調整
時間が必要となり、効率が悪い問題があった。
中心とＸ線源の位置とを、手作業で被検査物の回転軸に
垂直に合わせる方法では、通常何回かの試行錯誤を繰り
返さなければならない。このため、従来は二次元Ｘ線検
出器の中心とＸ線源の位置とを合わせるのに多大な調整
時間が必要となり、効率が悪い問題があった。
【０００９】また、従来の方法ではその精度に限界があ
る。さらに、操作の再現性にも乏しいので、数ミリ以下
の大きさの微小被検査物を顕微的に検査する場合には実
用的でない等の問題があった。本発明は上述の問題点に
かんがみ、簡便な手段で二次元Ｘ線検出器受光面の中心
点を通る法線上にＸ線源を正確に位置させ、かつ被検査
物の回転軸がＸ線放射面の法線となる位置関係に位置決
めすることが容易なＸ線ＣＴ装置を提供することを目的
とするものである。
る。さらに、操作の再現性にも乏しいので、数ミリ以下
の大きさの微小被検査物を顕微的に検査する場合には実
用的でない等の問題があった。本発明は上述の問題点に
かんがみ、簡便な手段で二次元Ｘ線検出器受光面の中心
点を通る法線上にＸ線源を正確に位置させ、かつ被検査
物の回転軸がＸ線放射面の法線となる位置関係に位置決
めすることが容易なＸ線ＣＴ装置を提供することを目的
とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明に係るＸ線ＣＴ装置は、Ｘ線発生装置と、被
検査物を保持して回転させる回転装置と、上記回転装置
を中にして上記Ｘ線発生装置と対向して配置され、上記
Ｘ線発生装置により放射されて上記被検査物を透過した
後のＸ線を検出する二次元Ｘ線検出装置とを有し、上記
被検査物の拡大投影像を画像表示装置に表示するととも
に、上記回転装置によって上記被検査物を微小角度づつ
回転させて上記二次元Ｘ線検出器の中央位置での数本の
画素列を利用してＣＴ画像再構成処理に必要な透過デー
タを収集し、上記透過データにより上記被検査物の断層
像を再構成して上記画像表示装置に表示するＸ線ＣＴ装
置において、上記回転装置に設置されていて、その先端
の中央が鋭角に形成された調整用サンプルと、上記Ｘ線
発生装置との距離を種々に変化させ、各距離においてそ
れぞれ得られる拡大投影像を上記画像表示装置に表示し
たときに、上記調整用サンプルの先端部分のそれぞれの
位置座標と上記それぞれの拡大投影像の拡大率とからＸ
線焦点の位置を求める検出手段と、上記検出手段により
求めたＸ線焦点の位置に基づいて上記Ｘ線発生装置の位
置を変化させて、上記二次元Ｘ線検出器の中心の法線延
長上にＸ線焦点の位置を一致させ、かつ被検査物の回転
軸を断層面を含む平面上の法線と等しくさせるＸ線焦点
位置調整手段とを設けたことを特徴とするものである。
めに本発明に係るＸ線ＣＴ装置は、Ｘ線発生装置と、被
検査物を保持して回転させる回転装置と、上記回転装置
を中にして上記Ｘ線発生装置と対向して配置され、上記
Ｘ線発生装置により放射されて上記被検査物を透過した
後のＸ線を検出する二次元Ｘ線検出装置とを有し、上記
被検査物の拡大投影像を画像表示装置に表示するととも
に、上記回転装置によって上記被検査物を微小角度づつ
回転させて上記二次元Ｘ線検出器の中央位置での数本の
画素列を利用してＣＴ画像再構成処理に必要な透過デー
タを収集し、上記透過データにより上記被検査物の断層
像を再構成して上記画像表示装置に表示するＸ線ＣＴ装
置において、上記回転装置に設置されていて、その先端
の中央が鋭角に形成された調整用サンプルと、上記Ｘ線
発生装置との距離を種々に変化させ、各距離においてそ
れぞれ得られる拡大投影像を上記画像表示装置に表示し
たときに、上記調整用サンプルの先端部分のそれぞれの
位置座標と上記それぞれの拡大投影像の拡大率とからＸ
線焦点の位置を求める検出手段と、上記検出手段により
求めたＸ線焦点の位置に基づいて上記Ｘ線発生装置の位
置を変化させて、上記二次元Ｘ線検出器の中心の法線延
長上にＸ線焦点の位置を一致させ、かつ被検査物の回転
軸を断層面を含む平面上の法線と等しくさせるＸ線焦点
位置調整手段とを設けたことを特徴とするものである。
【００１１】
【作用】本発明に係るＸ線ＣＴ装置は上記のように構成
したので、先端中央が鋭角である調整用サンプルの位置
を変化させるとともに、各位置においてＸ線を放射する
ことにより得られたそれぞれの拡大投影像を用いて、上
記調整用サンプルの先端部分を画像表示装置の画面上か
ら読み取ると、調整用サンプル投影像の拡大率の変化に
応じて画面上で上記調整用サンプルの先端の位置が変化
する。
したので、先端中央が鋭角である調整用サンプルの位置
を変化させるとともに、各位置においてＸ線を放射する
ことにより得られたそれぞれの拡大投影像を用いて、上
記調整用サンプルの先端部分を画像表示装置の画面上か
ら読み取ると、調整用サンプル投影像の拡大率の変化に
応じて画面上で上記調整用サンプルの先端の位置が変化
する。
【００１２】Ｘ線焦点位置検出手段は、上記調整用サン
プルの先端の位置変化とそれぞれの拡大率とに基づい
て、二次元Ｘ線検出器の中心の法線延長上からＸ線焦点
の位置がずれている方向と距離を検出する。
プルの先端の位置変化とそれぞれの拡大率とに基づい
て、二次元Ｘ線検出器の中心の法線延長上からＸ線焦点
の位置がずれている方向と距離を検出する。
【００１３】Ｘ線焦点位置調整手段は、Ｘ線焦点位置検
出手段によって得られた二次元Ｘ線検出器の中心の法線
延長上からＸ線焦点の位置がずれている方向と距離に基
づいてＸ線発生装置の位置を変化させて、二次元Ｘ線検
出器の中心の法線延長上にＸ線焦点位置を一致させ、か
つ被検査物の回転軸は、断層面を含む平面上の法線と等
しくさせる。
出手段によって得られた二次元Ｘ線検出器の中心の法線
延長上からＸ線焦点の位置がずれている方向と距離に基
づいてＸ線発生装置の位置を変化させて、二次元Ｘ線検
出器の中心の法線延長上にＸ線焦点位置を一致させ、か
つ被検査物の回転軸は、断層面を含む平面上の法線と等
しくさせる。
【００１４】
【実施例】以下に、本発明のＸ線ＣＴ装置の一実施例に
ついて図面を参照しつつ説明する。図１は本発明の一実
施例を示し、Ｘ線ＣＴ装置の概略配置図である。図１に
示したように、本実施例のＸ線ＣＴ装置はＸ線発生装置
１、回転テーブル２、移動ステージ３、二次元Ｘ線検出
器４、コンピュータ５、画像表示装置５ａにより構成さ
れている。
ついて図面を参照しつつ説明する。図１は本発明の一実
施例を示し、Ｘ線ＣＴ装置の概略配置図である。図１に
示したように、本実施例のＸ線ＣＴ装置はＸ線発生装置
１、回転テーブル２、移動ステージ３、二次元Ｘ線検出
器４、コンピュータ５、画像表示装置５ａにより構成さ
れている。
【００１５】Ｘ線発生装置１は、微小焦点１０からコー
ン状のＸ線ビーム２０を照射するために設けられてい
る。また、回転テーブル２は調整用サンプルＡを保持し
て回転させるためのものであり、移動ステージ３上に設
置されていて、Ｘ線発生装置１と画像表示装置５ａとの
間を平行移動できるようになされている。
ン状のＸ線ビーム２０を照射するために設けられてい
る。また、回転テーブル２は調整用サンプルＡを保持し
て回転させるためのものであり、移動ステージ３上に設
置されていて、Ｘ線発生装置１と画像表示装置５ａとの
間を平行移動できるようになされている。
【００１６】また、二次元Ｘ線検出器４は、調整用サン
プルＡを透過した後のＸ線を検出するためのものであ
り、この二次元Ｘ線検出器４によって得られた多数のＸ
線透過データがコンピュータ５によって処理される。そ
して、このコンピュータ５により、投影拡大像およびＣ
Ｔ画像再構成等が行われ、画像表示装置５ａに表示され
る。なお、以下の説明においては、図２に示すようにＸ
線焦点１０の位置から二次元Ｘ線検出器４迄の距離をＬ
とする。
プルＡを透過した後のＸ線を検出するためのものであ
り、この二次元Ｘ線検出器４によって得られた多数のＸ
線透過データがコンピュータ５によって処理される。そ
して、このコンピュータ５により、投影拡大像およびＣ
Ｔ画像再構成等が行われ、画像表示装置５ａに表示され
る。なお、以下の説明においては、図２に示すようにＸ
線焦点１０の位置から二次元Ｘ線検出器４迄の距離をＬ
とする。
【００１７】このような構成により、Ｘ線焦点１０の位
置と調整用サンプルＡとの距離、およびＸ線焦点１０の
位置と二次元Ｘ線検出器４との距離に応じた倍率で、二
次元Ｘ線検出器４の位置に調整用サンプルＡが拡大投影
される。また、移動ステージ３は二次元Ｘ線検出器４の
中心（これを原点Ｏとする）を通る法線（これをＹ軸Ｙ
とする）に平行に移動可能とされている。このため、拡
大投影されるＸ線ビームの拡大率は、移動ステージ３を
移動させることによって変えることができる。
置と調整用サンプルＡとの距離、およびＸ線焦点１０の
位置と二次元Ｘ線検出器４との距離に応じた倍率で、二
次元Ｘ線検出器４の位置に調整用サンプルＡが拡大投影
される。また、移動ステージ３は二次元Ｘ線検出器４の
中心（これを原点Ｏとする）を通る法線（これをＹ軸Ｙ
とする）に平行に移動可能とされている。このため、拡
大投影されるＸ線ビームの拡大率は、移動ステージ３を
移動させることによって変えることができる。
【００１８】また、回転テーブル２の回転軸は移動ステ
ージ３の移動方向に対して直角となるよう予め設置され
ている。このため、回転テーブル２の回転軸はＹ軸Ｙに
対して常に垂直である。したがって、Ｘ線焦点１０の位
置をＹ軸Ｙに一致させれば本発明の目的が達成される。
ージ３の移動方向に対して直角となるよう予め設置され
ている。このため、回転テーブル２の回転軸はＹ軸Ｙに
対して常に垂直である。したがって、Ｘ線焦点１０の位
置をＹ軸Ｙに一致させれば本発明の目的が達成される。
【００１９】次に、このように構成された本実施例のＸ
線ＣＴ装置において、Ｘ線焦点位置を検出する動作につ
いて説明する。図２および図４は、Ｘ線ＣＴ装置の要部
の位置を幾何学的な関係で示した図である。図２および
図４において、ａ，ｂは二次元Ｘ線検出器４と調整用サ
ンプルＡの頂点Ｔとの間の距離をそれぞれ示している。
また、図３および図５は、それぞれ図２、図４に示した
各部の幾何学的な関係を上から見た場合に相当する図で
ある。
線ＣＴ装置において、Ｘ線焦点位置を検出する動作につ
いて説明する。図２および図４は、Ｘ線ＣＴ装置の要部
の位置を幾何学的な関係で示した図である。図２および
図４において、ａ，ｂは二次元Ｘ線検出器４と調整用サ
ンプルＡの頂点Ｔとの間の距離をそれぞれ示している。
また、図３および図５は、それぞれ図２、図４に示した
各部の幾何学的な関係を上から見た場合に相当する図で
ある。
【００２０】さらに、図６および図７は、それぞれ図
３、図５の配置における画像出力装置４ａの画面上に表
示される拡大投影像を示す図であり、原点Ｏを中心に水
平方向にＸ軸Ｘ、垂直方向にＺ軸ＺからなるＸ−Ｚ座標
で表されている。
３、図５の配置における画像出力装置４ａの画面上に表
示される拡大投影像を示す図であり、原点Ｏを中心に水
平方向にＸ軸Ｘ、垂直方向にＺ軸ＺからなるＸ−Ｚ座標
で表されている。
【００２１】これらの図において、Ｘ線焦点１０の位置
をＦ（ｘ，Ｌ，ｚ）、Ｘ線焦点位置と垂直に二次元Ｘ線
検出器４と交わる点をＣ（ｘ，０，ｚ）、調整用サンプ
ルＡの頂点Ｔが、図２および図３の幾何学的関係で二次
元Ｘ線検出器４に投影される点をＤ（Ｄ1 ，０，
Ｄ3 ）、図４および図５の関係で表示される点をＥ（Ｅ
1 ，０，Ｅ3 ）とする。
をＦ（ｘ，Ｌ，ｚ）、Ｘ線焦点位置と垂直に二次元Ｘ線
検出器４と交わる点をＣ（ｘ，０，ｚ）、調整用サンプ
ルＡの頂点Ｔが、図２および図３の幾何学的関係で二次
元Ｘ線検出器４に投影される点をＤ（Ｄ1 ，０，
Ｄ3 ）、図４および図５の関係で表示される点をＥ（Ｅ
1 ，０，Ｅ3 ）とする。
【００２２】図２および図３において、直線ＣＦを含む
Ｙ軸Ｙに平行な平面と調整用サンプルの頂点Ｔとの距離
をｈ、直線ＣＦを含むＺ軸Ｚに平行な平面と頂点Ｔとの
距離をｄとし、拡大投影像の拡大率をＭ（＝（Ｌ−ａ）
／Ｌ）とすると、
Ｙ軸Ｙに平行な平面と調整用サンプルの頂点Ｔとの距離
をｈ、直線ＣＦを含むＺ軸Ｚに平行な平面と頂点Ｔとの
距離をｄとし、拡大投影像の拡大率をＭ（＝（Ｌ−ａ）
／Ｌ）とすると、
【００２３】
【数１】
【００２４】の幾何学的な関係がある。同様に、図４お
よび図５においても拡大投影像の拡大率をＮ（＝（Ｌ−
ｂ）／Ｌ）とすると、
よび図５においても拡大投影像の拡大率をＮ（＝（Ｌ−
ｂ）／Ｌ）とすると、
【００２５】
【数２】
【００２６】の幾何学的な関係がある。したがって、
（１）式、（２）式により、
（１）式、（２）式により、
【００２７】
【数３】
【００２８】が得られ、この式からｘ，ｚの値を求める
ことができる。
ことができる。
【００２９】次に、ｘ，ｚの値を求める手順を説明す
る。Ｌ、ａ、ｂの値を予めコンピュータ５に入力し、拡
大率Ｍ、Ｎを記憶させる。図２および図３の配置で、図
６における画像表示装置５ａの画面上に表示される調整
用サンプルＡの拡大投影像の頂点の座標Ｄは数値化さ
れ、コンピュータ４の内部メモリーにＤ1 、Ｄ3 が記憶
される。
る。Ｌ、ａ、ｂの値を予めコンピュータ５に入力し、拡
大率Ｍ、Ｎを記憶させる。図２および図３の配置で、図
６における画像表示装置５ａの画面上に表示される調整
用サンプルＡの拡大投影像の頂点の座標Ｄは数値化さ
れ、コンピュータ４の内部メモリーにＤ1 、Ｄ3 が記憶
される。
【００３０】また、図４および図５の配置で、図７にお
ける画像表示装置５ａの画面上の調整用サンプルＡの拡
大投影像の頂点の座標Ｅも数値化されてコンピュータ５
の内部メモリーにＥ1 、Ｅ3 が記憶される。コンピュー
タ５は、（３）式に基づいてｙおよびｚの値を求め、そ
の信号をＸ線焦点位置調整手段（図示せず）に送る。な
お、拡大率Ｍ、Ｎは画像表示装置５ａに表示される拡大
投影像から直接読み取るようにしても良い。
ける画像表示装置５ａの画面上の調整用サンプルＡの拡
大投影像の頂点の座標Ｅも数値化されてコンピュータ５
の内部メモリーにＥ1 、Ｅ3 が記憶される。コンピュー
タ５は、（３）式に基づいてｙおよびｚの値を求め、そ
の信号をＸ線焦点位置調整手段（図示せず）に送る。な
お、拡大率Ｍ、Ｎは画像表示装置５ａに表示される拡大
投影像から直接読み取るようにしても良い。
【００３１】Ｘ線焦点位置調整手段は、例えばステップ
パルスモータにより構成されていて、コンピュータ５か
らの信号を受けてＸ線発生装置１を図中Ｙ軸Ｙ、Ｚ軸Ｚ
方向に移動させることができるようになされている。し
たがって、求められたｙおよびｚだけそれぞれＹ軸Ｙ方
向、Ｚ軸Ｚ方向に移動することによって、Ｘ線焦点１０
の位置をＸ軸Ｘ上に一致させることができる。なお、上
記ステップパルスモータの代わりにマイクロメータを設
け、手動でＸ線焦点の位置の調整を行う構成とすること
もできる。
パルスモータにより構成されていて、コンピュータ５か
らの信号を受けてＸ線発生装置１を図中Ｙ軸Ｙ、Ｚ軸Ｚ
方向に移動させることができるようになされている。し
たがって、求められたｙおよびｚだけそれぞれＹ軸Ｙ方
向、Ｚ軸Ｚ方向に移動することによって、Ｘ線焦点１０
の位置をＸ軸Ｘ上に一致させることができる。なお、上
記ステップパルスモータの代わりにマイクロメータを設
け、手動でＸ線焦点の位置の調整を行う構成とすること
もできる。
【００３２】このようにして、Ｘ線焦点１０の位置をＸ
軸Ｘ上に一致させることができるので、Ｘ線焦点の位置
は二次元Ｘ線検出器受光面の中心からの法線上にあり、
かつ被検査物の回転軸は、断層面を含む平面上の法線と
等しくなる方向にＸ線が照射されるように位置決めする
ことができる。したがって、正確な拡大投影像が得られ
ので、二次元Ｘ線検出器の中央位置での数本の画素列を
利用してＣＴ画像再構成処理に必要な透過データを収集
し再構成すれば、明瞭なＣＴ画像が得られる。
軸Ｘ上に一致させることができるので、Ｘ線焦点の位置
は二次元Ｘ線検出器受光面の中心からの法線上にあり、
かつ被検査物の回転軸は、断層面を含む平面上の法線と
等しくなる方向にＸ線が照射されるように位置決めする
ことができる。したがって、正確な拡大投影像が得られ
ので、二次元Ｘ線検出器の中央位置での数本の画素列を
利用してＣＴ画像再構成処理に必要な透過データを収集
し再構成すれば、明瞭なＣＴ画像が得られる。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、調
整用サンプルを用いて、正確なＸ線焦点の位置を求める
ことができ、この求めたＸ線焦点の位置によって、二次
元Ｘ線検出器受光面の中心からの法線上で、かつ被検査
物の回転軸は、断層面を含む平面上の法線と等しくなる
方向にＸ線が照射されるように正確に修正することがで
きるので、投影像の幾何学的な倍率の歪みを低減できる
とともに、回転装置の回転に伴って被検査物のスライス
位置が変化しないようにすることができ、正確な拡大投
影像と断層像を得ることのできるＸ線ＣＴ装置を提供で
きる。
整用サンプルを用いて、正確なＸ線焦点の位置を求める
ことができ、この求めたＸ線焦点の位置によって、二次
元Ｘ線検出器受光面の中心からの法線上で、かつ被検査
物の回転軸は、断層面を含む平面上の法線と等しくなる
方向にＸ線が照射されるように正確に修正することがで
きるので、投影像の幾何学的な倍率の歪みを低減できる
とともに、回転装置の回転に伴って被検査物のスライス
位置が変化しないようにすることができ、正確な拡大投
影像と断層像を得ることのできるＸ線ＣＴ装置を提供で
きる。
【図１】本発明の一実施例を示すＸ線ＣＴ装置の配置図
である。
である。
【図２】Ｘ線発生装置から放射され二次元Ｘ線検出器に
よって検出されるＸ線ビームと、調整用サンプル先端と
の幾何学的な関係を示す図である。
よって検出されるＸ線ビームと、調整用サンプル先端と
の幾何学的な関係を示す図である。
【図３】図２の幾何学的関係を上からみたときの図であ
る。
る。
【図４】投影像の拡大率を変化させた場合のＸ線発生装
置から放射され二次元Ｘ線検出器によって検出されるＸ
線ビームと、調整用サンプル先端との幾何学的な関係を
示す図である。
置から放射され二次元Ｘ線検出器によって検出されるＸ
線ビームと、調整用サンプル先端との幾何学的な関係を
示す図である。
【図５】図４の幾何学的関係を上からみたときの図であ
る。
る。
【図６】図２および図３の配置で得られる拡大投影像を
画面上に表示した例を示す図である。
画面上に表示した例を示す図である。
【図７】図４および図５の配置で得られる拡大投影像を
画面上に表示した例を示す図である。
画面上に表示した例を示す図である。
１ Ｘ線発生装置 ２ 回転テーブル ３ 移動ステージ ４ 二次元Ｘ線検出器 ５ コンピュータ ５ａ 画像表示装置 １０ Ｘ線焦点 ２０ Ｘ線ビーム Ａ 調整用サンプル Ｔ 調整用サンプルの頂点
Claims (1)
- 【請求項１】 Ｘ線発生装置と、被検査物を保持して回
転させる回転装置と、上記回転装置を中にして上記Ｘ線
発生装置と対向して配置され、上記Ｘ線発生装置により
放射されて上記被検査物を透過した後のＸ線を検出する
二次元Ｘ線検出装置とを有し、上記被検査物の拡大投影
像を画像表示装置に表示するとともに、上記回転装置に
よって上記被検査物を微小角度づつ回転させて上記二次
元Ｘ線検出器の中央位置での数本の画素列を利用してＣ
Ｔ画像再構成処理に必要な透過データを収集し、上記透
過データにより上記被検査物の断層像を再構成して上記
画像表示装置に表示するＸ線ＣＴ装置において、 上記回転装置に設置されていて、その先端の中央が鋭角
に形成された調整用サンプルと、 上記Ｘ線発生装置との距離を種々に変化させ、各距離に
おいてそれぞれ得られる拡大投影像を上記画像表示装置
に表示したときに、上記調整用サンプルの先端部分のそ
れぞれの位置座標と、上記それぞれの拡大投影像の拡大
率とからＸ線焦点の位置を求める検出手段と、 上記検出手段により求めたＸ線焦点の位置に基づいて上
記Ｘ線発生装置の位置を変化させて、上記二次元Ｘ線検
出器の中心の法線延長上にＸ線焦点の位置を一致させ、
かつ被検査物の回転軸を断層面を含む平面上の法線と等
しくさせるＸ線焦点位置調整手段とを設けたことを特徴
とするＸ線ＣＴ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4152920A JPH05322802A (ja) | 1992-05-20 | 1992-05-20 | Ｘ線ｃｔ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4152920A JPH05322802A (ja) | 1992-05-20 | 1992-05-20 | Ｘ線ｃｔ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05322802A true JPH05322802A (ja) | 1993-12-07 |
Family
ID=15551043
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4152920A Withdrawn JPH05322802A (ja) | 1992-05-20 | 1992-05-20 | Ｘ線ｃｔ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05322802A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999018428A1 (fr) * | 1997-10-03 | 1999-04-15 | Hitachi, Ltd. | Appareil d'inspection radiographique |
| WO2009036983A1 (de) * | 2007-09-13 | 2009-03-26 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zur bestimmung eines korrekturwerts einer brennfleckposition einer röntgenquelle einer messanordnung sowie eine messandordnung zum erzeugen von durchstrahlungsbildern |
| KR100964649B1 (ko) * | 2007-10-24 | 2010-06-22 | (주)바텍이우홀딩스 | 엑스 레이 씨티 촬영 장치에서 중심축 이동에 기인된배율을 보정하는 방법 |
| JP2013044717A (ja) * | 2011-08-26 | 2013-03-04 | Ntn Corp | 転動体の検査方法、転動体の製造方法および転動体 |
| KR20150141889A (ko) * | 2014-06-10 | 2015-12-21 | 한국건설기술연구원 | 3D X-ray CT 촬영을 이용한 재료의 이방성 측정방법 |
-
1992
- 1992-05-20 JP JP4152920A patent/JPH05322802A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
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| WO2013031450A1 (ja) * | 2011-08-26 | 2013-03-07 | Ntn株式会社 | 転動体の検査方法、転動体の製造方法および転動体 |
| US10048214B2 (en) | 2011-08-26 | 2018-08-14 | Ntn Corporation | Rolling element inspection method, rolling element manufacturing method, and rolling element |
| KR20150141889A (ko) * | 2014-06-10 | 2015-12-21 | 한국건설기술연구원 | 3D X-ray CT 촬영을 이용한 재료의 이방성 측정방법 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990803 |