JPH05322802A - X線ct装置 - Google Patents
X線ct装置Info
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- JPH05322802A JPH05322802A JP4152920A JP15292092A JPH05322802A JP H05322802 A JPH05322802 A JP H05322802A JP 4152920 A JP4152920 A JP 4152920A JP 15292092 A JP15292092 A JP 15292092A JP H05322802 A JPH05322802 A JP H05322802A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 正確な拡大投影像と断層像を簡単に得ること
ができるX線CT装置を提供することを目的とする。 【構成】 先端中央が鋭角な調整用サンプルAを回転テ
ーブル2の上に設置し、X線発生装置1と調整用サンプ
ルとの距離を変化させ、各距離において得られるそれぞ
れの拡大投影像を画像表示装置5aに表示し、それぞれ
の拡大投影像の拡大率と調整用サンプルの上端部分のそ
れぞれの位置座標とからX線焦点10の位置を求め、求
められた焦点の位置に基づいて、二次元X線検出器4の
中心の法線延長上にX線焦点10の位置を一致させるこ
とにより、回転テーブル2の回転軸を断層面を含む平面
上の法線と等しくさせる。
ができるX線CT装置を提供することを目的とする。 【構成】 先端中央が鋭角な調整用サンプルAを回転テ
ーブル2の上に設置し、X線発生装置1と調整用サンプ
ルとの距離を変化させ、各距離において得られるそれぞ
れの拡大投影像を画像表示装置5aに表示し、それぞれ
の拡大投影像の拡大率と調整用サンプルの上端部分のそ
れぞれの位置座標とからX線焦点10の位置を求め、求
められた焦点の位置に基づいて、二次元X線検出器4の
中心の法線延長上にX線焦点10の位置を一致させるこ
とにより、回転テーブル2の回転軸を断層面を含む平面
上の法線と等しくさせる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はX線CT装置に係り、特
に、被検査物の投影像を得ることができ、かつ、上記投
影像の中心位置の断面像を観察することにより複合的に
非破壊で検査するようにした産業用のX線CT装置に用
いて好適なものである。
に、被検査物の投影像を得ることができ、かつ、上記投
影像の中心位置の断面像を観察することにより複合的に
非破壊で検査するようにした産業用のX線CT装置に用
いて好適なものである。
【0002】
【従来の技術】周知の通り、X線CT装置は外部から人
体の内部を観察することができるという優れた特徴を有
しているので、医療分野において広く使用されている。
また、上記X線CT装置を用いれば各種工業製品の内部
を非破壊で検査することができるので、X線CT装置は
近年産業の分野においても徐々に普及しつつある。
体の内部を観察することができるという優れた特徴を有
しているので、医療分野において広く使用されている。
また、上記X線CT装置を用いれば各種工業製品の内部
を非破壊で検査することができるので、X線CT装置は
近年産業の分野においても徐々に普及しつつある。
【0003】ところで、産業用のX線CT装置において
は、通常は被検査物を回転させてX線の透過データを得
るようにしている。そこで、例えば「非破壊検査」3
9,9A 第763頁から第764頁に記載されている
ように、X線投影検査装置と組み合わされて使用される
場合もある。
は、通常は被検査物を回転させてX線の透過データを得
るようにしている。そこで、例えば「非破壊検査」3
9,9A 第763頁から第764頁に記載されている
ように、X線投影検査装置と組み合わされて使用される
場合もある。
【0004】このようにX線投影検査とX線CTとを組
み合わせた場合には、断面像が被検査物のどの部分を観
察しているのかを正確に判断する必要がある。また、マ
イクロフォーカスX線を利用した顕微的な検査の場合に
は、スライス幅を薄くしてCT画像の空間分解能を向上
させる必要がある。したがって、高精度な検出を行うた
めには観察する断層面を含む平面の法線と等しくなるよ
うにX線を照射することが重要である。すなわち、被検
査物の回転軸に垂直になるように、X線を精度良く照射
させることが重要である。
み合わせた場合には、断面像が被検査物のどの部分を観
察しているのかを正確に判断する必要がある。また、マ
イクロフォーカスX線を利用した顕微的な検査の場合に
は、スライス幅を薄くしてCT画像の空間分解能を向上
させる必要がある。したがって、高精度な検出を行うた
めには観察する断層面を含む平面の法線と等しくなるよ
うにX線を照射することが重要である。すなわち、被検
査物の回転軸に垂直になるように、X線を精度良く照射
させることが重要である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の産業用
X線CT装置では、上記したように被検査物の回転軸に
X線を垂直に照射するための特別の装置や手段が設けら
れていなかった。したがって、このような操作は観測者
の経験や技量に頼る手作業で行っていた。
X線CT装置では、上記したように被検査物の回転軸に
X線を垂直に照射するための特別の装置や手段が設けら
れていなかった。したがって、このような操作は観測者
の経験や技量に頼る手作業で行っていた。
【0006】ところで、二次元X線検出器によって投影
像を得る場合、X線焦点の位置は二次元X線検出器の受
光面の中心からの法線上にあり、かつ被検査物の回転軸
は、断層面を含む平面上の法線と等しくなる方向にX線
が照射されるように正確に位置決めする必要がある。仮
に、上記の条件を満足させることができない場合には、
得られる投影像は幾何学的な倍率の歪みから不正確なも
のとなる。さらに、回転装置の回転に伴って被検査物の
スライス位置が変化するので、再構成を行っても明瞭な
断層像が得られないという問題があった。
像を得る場合、X線焦点の位置は二次元X線検出器の受
光面の中心からの法線上にあり、かつ被検査物の回転軸
は、断層面を含む平面上の法線と等しくなる方向にX線
が照射されるように正確に位置決めする必要がある。仮
に、上記の条件を満足させることができない場合には、
得られる投影像は幾何学的な倍率の歪みから不正確なも
のとなる。さらに、回転装置の回転に伴って被検査物の
スライス位置が変化するので、再構成を行っても明瞭な
断層像が得られないという問題があった。
【0007】また、10ミクロン程度の高い分解能が要
求される産業用のX線CT装置では、焦点径が10ミク
ロン以下のマイクロフォーカスX線が利用される。この
ように焦点径が小さいX線を使用する場合には、上記の
条件はますます正確さが要求される。さらに、被検査物
が数ミリ以下の大きさの微小被検査物を拡大して、分解
能が数ミクロン程度の顕微的なCT画像を得る場合に
は、画素サイズと同等のスライス幅でX線を透過させる
ことが必要なので、上記の条件でX線を照射することが
ますます重要になる。
求される産業用のX線CT装置では、焦点径が10ミク
ロン以下のマイクロフォーカスX線が利用される。この
ように焦点径が小さいX線を使用する場合には、上記の
条件はますます正確さが要求される。さらに、被検査物
が数ミリ以下の大きさの微小被検査物を拡大して、分解
能が数ミクロン程度の顕微的なCT画像を得る場合に
は、画素サイズと同等のスライス幅でX線を透過させる
ことが必要なので、上記の条件でX線を照射することが
ますます重要になる。
【0008】しかし、従来のように二次元X線検出器の
中心とX線源の位置とを、手作業で被検査物の回転軸に
垂直に合わせる方法では、通常何回かの試行錯誤を繰り
返さなければならない。このため、従来は二次元X線検
出器の中心とX線源の位置とを合わせるのに多大な調整
時間が必要となり、効率が悪い問題があった。
中心とX線源の位置とを、手作業で被検査物の回転軸に
垂直に合わせる方法では、通常何回かの試行錯誤を繰り
返さなければならない。このため、従来は二次元X線検
出器の中心とX線源の位置とを合わせるのに多大な調整
時間が必要となり、効率が悪い問題があった。
【0009】また、従来の方法ではその精度に限界があ
る。さらに、操作の再現性にも乏しいので、数ミリ以下
の大きさの微小被検査物を顕微的に検査する場合には実
用的でない等の問題があった。本発明は上述の問題点に
かんがみ、簡便な手段で二次元X線検出器受光面の中心
点を通る法線上にX線源を正確に位置させ、かつ被検査
物の回転軸がX線放射面の法線となる位置関係に位置決
めすることが容易なX線CT装置を提供することを目的
とするものである。
る。さらに、操作の再現性にも乏しいので、数ミリ以下
の大きさの微小被検査物を顕微的に検査する場合には実
用的でない等の問題があった。本発明は上述の問題点に
かんがみ、簡便な手段で二次元X線検出器受光面の中心
点を通る法線上にX線源を正確に位置させ、かつ被検査
物の回転軸がX線放射面の法線となる位置関係に位置決
めすることが容易なX線CT装置を提供することを目的
とするものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明に係るX線CT装置は、X線発生装置と、被
検査物を保持して回転させる回転装置と、上記回転装置
を中にして上記X線発生装置と対向して配置され、上記
X線発生装置により放射されて上記被検査物を透過した
後のX線を検出する二次元X線検出装置とを有し、上記
被検査物の拡大投影像を画像表示装置に表示するととも
に、上記回転装置によって上記被検査物を微小角度づつ
回転させて上記二次元X線検出器の中央位置での数本の
画素列を利用してCT画像再構成処理に必要な透過デー
タを収集し、上記透過データにより上記被検査物の断層
像を再構成して上記画像表示装置に表示するX線CT装
置において、上記回転装置に設置されていて、その先端
の中央が鋭角に形成された調整用サンプルと、上記X線
発生装置との距離を種々に変化させ、各距離においてそ
れぞれ得られる拡大投影像を上記画像表示装置に表示し
たときに、上記調整用サンプルの先端部分のそれぞれの
位置座標と上記それぞれの拡大投影像の拡大率とからX
線焦点の位置を求める検出手段と、上記検出手段により
求めたX線焦点の位置に基づいて上記X線発生装置の位
置を変化させて、上記二次元X線検出器の中心の法線延
長上にX線焦点の位置を一致させ、かつ被検査物の回転
軸を断層面を含む平面上の法線と等しくさせるX線焦点
位置調整手段とを設けたことを特徴とするものである。
めに本発明に係るX線CT装置は、X線発生装置と、被
検査物を保持して回転させる回転装置と、上記回転装置
を中にして上記X線発生装置と対向して配置され、上記
X線発生装置により放射されて上記被検査物を透過した
後のX線を検出する二次元X線検出装置とを有し、上記
被検査物の拡大投影像を画像表示装置に表示するととも
に、上記回転装置によって上記被検査物を微小角度づつ
回転させて上記二次元X線検出器の中央位置での数本の
画素列を利用してCT画像再構成処理に必要な透過デー
タを収集し、上記透過データにより上記被検査物の断層
像を再構成して上記画像表示装置に表示するX線CT装
置において、上記回転装置に設置されていて、その先端
の中央が鋭角に形成された調整用サンプルと、上記X線
発生装置との距離を種々に変化させ、各距離においてそ
れぞれ得られる拡大投影像を上記画像表示装置に表示し
たときに、上記調整用サンプルの先端部分のそれぞれの
位置座標と上記それぞれの拡大投影像の拡大率とからX
線焦点の位置を求める検出手段と、上記検出手段により
求めたX線焦点の位置に基づいて上記X線発生装置の位
置を変化させて、上記二次元X線検出器の中心の法線延
長上にX線焦点の位置を一致させ、かつ被検査物の回転
軸を断層面を含む平面上の法線と等しくさせるX線焦点
位置調整手段とを設けたことを特徴とするものである。
【0011】
【作用】本発明に係るX線CT装置は上記のように構成
したので、先端中央が鋭角である調整用サンプルの位置
を変化させるとともに、各位置においてX線を放射する
ことにより得られたそれぞれの拡大投影像を用いて、上
記調整用サンプルの先端部分を画像表示装置の画面上か
ら読み取ると、調整用サンプル投影像の拡大率の変化に
応じて画面上で上記調整用サンプルの先端の位置が変化
する。
したので、先端中央が鋭角である調整用サンプルの位置
を変化させるとともに、各位置においてX線を放射する
ことにより得られたそれぞれの拡大投影像を用いて、上
記調整用サンプルの先端部分を画像表示装置の画面上か
ら読み取ると、調整用サンプル投影像の拡大率の変化に
応じて画面上で上記調整用サンプルの先端の位置が変化
する。
【0012】X線焦点位置検出手段は、上記調整用サン
プルの先端の位置変化とそれぞれの拡大率とに基づい
て、二次元X線検出器の中心の法線延長上からX線焦点
の位置がずれている方向と距離を検出する。
プルの先端の位置変化とそれぞれの拡大率とに基づい
て、二次元X線検出器の中心の法線延長上からX線焦点
の位置がずれている方向と距離を検出する。
【0013】X線焦点位置調整手段は、X線焦点位置検
出手段によって得られた二次元X線検出器の中心の法線
延長上からX線焦点の位置がずれている方向と距離に基
づいてX線発生装置の位置を変化させて、二次元X線検
出器の中心の法線延長上にX線焦点位置を一致させ、か
つ被検査物の回転軸は、断層面を含む平面上の法線と等
しくさせる。
出手段によって得られた二次元X線検出器の中心の法線
延長上からX線焦点の位置がずれている方向と距離に基
づいてX線発生装置の位置を変化させて、二次元X線検
出器の中心の法線延長上にX線焦点位置を一致させ、か
つ被検査物の回転軸は、断層面を含む平面上の法線と等
しくさせる。
【0014】
【実施例】以下に、本発明のX線CT装置の一実施例に
ついて図面を参照しつつ説明する。図1は本発明の一実
施例を示し、X線CT装置の概略配置図である。図1に
示したように、本実施例のX線CT装置はX線発生装置
1、回転テーブル2、移動ステージ3、二次元X線検出
器4、コンピュータ5、画像表示装置5aにより構成さ
れている。
ついて図面を参照しつつ説明する。図1は本発明の一実
施例を示し、X線CT装置の概略配置図である。図1に
示したように、本実施例のX線CT装置はX線発生装置
1、回転テーブル2、移動ステージ3、二次元X線検出
器4、コンピュータ5、画像表示装置5aにより構成さ
れている。
【0015】X線発生装置1は、微小焦点10からコー
ン状のX線ビーム20を照射するために設けられてい
る。また、回転テーブル2は調整用サンプルAを保持し
て回転させるためのものであり、移動ステージ3上に設
置されていて、X線発生装置1と画像表示装置5aとの
間を平行移動できるようになされている。
ン状のX線ビーム20を照射するために設けられてい
る。また、回転テーブル2は調整用サンプルAを保持し
て回転させるためのものであり、移動ステージ3上に設
置されていて、X線発生装置1と画像表示装置5aとの
間を平行移動できるようになされている。
【0016】また、二次元X線検出器4は、調整用サン
プルAを透過した後のX線を検出するためのものであ
り、この二次元X線検出器4によって得られた多数のX
線透過データがコンピュータ5によって処理される。そ
して、このコンピュータ5により、投影拡大像およびC
T画像再構成等が行われ、画像表示装置5aに表示され
る。なお、以下の説明においては、図2に示すようにX
線焦点10の位置から二次元X線検出器4迄の距離をL
とする。
プルAを透過した後のX線を検出するためのものであ
り、この二次元X線検出器4によって得られた多数のX
線透過データがコンピュータ5によって処理される。そ
して、このコンピュータ5により、投影拡大像およびC
T画像再構成等が行われ、画像表示装置5aに表示され
る。なお、以下の説明においては、図2に示すようにX
線焦点10の位置から二次元X線検出器4迄の距離をL
とする。
【0017】このような構成により、X線焦点10の位
置と調整用サンプルAとの距離、およびX線焦点10の
位置と二次元X線検出器4との距離に応じた倍率で、二
次元X線検出器4の位置に調整用サンプルAが拡大投影
される。また、移動ステージ3は二次元X線検出器4の
中心(これを原点Oとする)を通る法線(これをY軸Y
とする)に平行に移動可能とされている。このため、拡
大投影されるX線ビームの拡大率は、移動ステージ3を
移動させることによって変えることができる。
置と調整用サンプルAとの距離、およびX線焦点10の
位置と二次元X線検出器4との距離に応じた倍率で、二
次元X線検出器4の位置に調整用サンプルAが拡大投影
される。また、移動ステージ3は二次元X線検出器4の
中心(これを原点Oとする)を通る法線(これをY軸Y
とする)に平行に移動可能とされている。このため、拡
大投影されるX線ビームの拡大率は、移動ステージ3を
移動させることによって変えることができる。
【0018】また、回転テーブル2の回転軸は移動ステ
ージ3の移動方向に対して直角となるよう予め設置され
ている。このため、回転テーブル2の回転軸はY軸Yに
対して常に垂直である。したがって、X線焦点10の位
置をY軸Yに一致させれば本発明の目的が達成される。
ージ3の移動方向に対して直角となるよう予め設置され
ている。このため、回転テーブル2の回転軸はY軸Yに
対して常に垂直である。したがって、X線焦点10の位
置をY軸Yに一致させれば本発明の目的が達成される。
【0019】次に、このように構成された本実施例のX
線CT装置において、X線焦点位置を検出する動作につ
いて説明する。図2および図4は、X線CT装置の要部
の位置を幾何学的な関係で示した図である。図2および
図4において、a,bは二次元X線検出器4と調整用サ
ンプルAの頂点Tとの間の距離をそれぞれ示している。
また、図3および図5は、それぞれ図2、図4に示した
各部の幾何学的な関係を上から見た場合に相当する図で
ある。
線CT装置において、X線焦点位置を検出する動作につ
いて説明する。図2および図4は、X線CT装置の要部
の位置を幾何学的な関係で示した図である。図2および
図4において、a,bは二次元X線検出器4と調整用サ
ンプルAの頂点Tとの間の距離をそれぞれ示している。
また、図3および図5は、それぞれ図2、図4に示した
各部の幾何学的な関係を上から見た場合に相当する図で
ある。
【0020】さらに、図6および図7は、それぞれ図
3、図5の配置における画像出力装置4aの画面上に表
示される拡大投影像を示す図であり、原点Oを中心に水
平方向にX軸X、垂直方向にZ軸ZからなるX−Z座標
で表されている。
3、図5の配置における画像出力装置4aの画面上に表
示される拡大投影像を示す図であり、原点Oを中心に水
平方向にX軸X、垂直方向にZ軸ZからなるX−Z座標
で表されている。
【0021】これらの図において、X線焦点10の位置
をF(x,L,z)、X線焦点位置と垂直に二次元X線
検出器4と交わる点をC(x,0,z)、調整用サンプ
ルAの頂点Tが、図2および図3の幾何学的関係で二次
元X線検出器4に投影される点をD(D1 ,0,
D3 )、図4および図5の関係で表示される点をE(E
1 ,0,E3 )とする。
をF(x,L,z)、X線焦点位置と垂直に二次元X線
検出器4と交わる点をC(x,0,z)、調整用サンプ
ルAの頂点Tが、図2および図3の幾何学的関係で二次
元X線検出器4に投影される点をD(D1 ,0,
D3 )、図4および図5の関係で表示される点をE(E
1 ,0,E3 )とする。
【0022】図2および図3において、直線CFを含む
Y軸Yに平行な平面と調整用サンプルの頂点Tとの距離
をh、直線CFを含むZ軸Zに平行な平面と頂点Tとの
距離をdとし、拡大投影像の拡大率をM(=(L−a)
/L)とすると、
Y軸Yに平行な平面と調整用サンプルの頂点Tとの距離
をh、直線CFを含むZ軸Zに平行な平面と頂点Tとの
距離をdとし、拡大投影像の拡大率をM(=(L−a)
/L)とすると、
【0023】
【数1】
【0024】の幾何学的な関係がある。同様に、図4お
よび図5においても拡大投影像の拡大率をN(=(L−
b)/L)とすると、
よび図5においても拡大投影像の拡大率をN(=(L−
b)/L)とすると、
【0025】
【数2】
【0026】の幾何学的な関係がある。したがって、
(1)式、(2)式により、
(1)式、(2)式により、
【0027】
【数3】
【0028】が得られ、この式からx,zの値を求める
ことができる。
ことができる。
【0029】次に、x,zの値を求める手順を説明す
る。L、a、bの値を予めコンピュータ5に入力し、拡
大率M、Nを記憶させる。図2および図3の配置で、図
6における画像表示装置5aの画面上に表示される調整
用サンプルAの拡大投影像の頂点の座標Dは数値化さ
れ、コンピュータ4の内部メモリーにD1 、D3 が記憶
される。
る。L、a、bの値を予めコンピュータ5に入力し、拡
大率M、Nを記憶させる。図2および図3の配置で、図
6における画像表示装置5aの画面上に表示される調整
用サンプルAの拡大投影像の頂点の座標Dは数値化さ
れ、コンピュータ4の内部メモリーにD1 、D3 が記憶
される。
【0030】また、図4および図5の配置で、図7にお
ける画像表示装置5aの画面上の調整用サンプルAの拡
大投影像の頂点の座標Eも数値化されてコンピュータ5
の内部メモリーにE1 、E3 が記憶される。コンピュー
タ5は、(3)式に基づいてyおよびzの値を求め、そ
の信号をX線焦点位置調整手段(図示せず)に送る。な
お、拡大率M、Nは画像表示装置5aに表示される拡大
投影像から直接読み取るようにしても良い。
ける画像表示装置5aの画面上の調整用サンプルAの拡
大投影像の頂点の座標Eも数値化されてコンピュータ5
の内部メモリーにE1 、E3 が記憶される。コンピュー
タ5は、(3)式に基づいてyおよびzの値を求め、そ
の信号をX線焦点位置調整手段(図示せず)に送る。な
お、拡大率M、Nは画像表示装置5aに表示される拡大
投影像から直接読み取るようにしても良い。
【0031】X線焦点位置調整手段は、例えばステップ
パルスモータにより構成されていて、コンピュータ5か
らの信号を受けてX線発生装置1を図中Y軸Y、Z軸Z
方向に移動させることができるようになされている。し
たがって、求められたyおよびzだけそれぞれY軸Y方
向、Z軸Z方向に移動することによって、X線焦点10
の位置をX軸X上に一致させることができる。なお、上
記ステップパルスモータの代わりにマイクロメータを設
け、手動でX線焦点の位置の調整を行う構成とすること
もできる。
パルスモータにより構成されていて、コンピュータ5か
らの信号を受けてX線発生装置1を図中Y軸Y、Z軸Z
方向に移動させることができるようになされている。し
たがって、求められたyおよびzだけそれぞれY軸Y方
向、Z軸Z方向に移動することによって、X線焦点10
の位置をX軸X上に一致させることができる。なお、上
記ステップパルスモータの代わりにマイクロメータを設
け、手動でX線焦点の位置の調整を行う構成とすること
もできる。
【0032】このようにして、X線焦点10の位置をX
軸X上に一致させることができるので、X線焦点の位置
は二次元X線検出器受光面の中心からの法線上にあり、
かつ被検査物の回転軸は、断層面を含む平面上の法線と
等しくなる方向にX線が照射されるように位置決めする
ことができる。したがって、正確な拡大投影像が得られ
ので、二次元X線検出器の中央位置での数本の画素列を
利用してCT画像再構成処理に必要な透過データを収集
し再構成すれば、明瞭なCT画像が得られる。
軸X上に一致させることができるので、X線焦点の位置
は二次元X線検出器受光面の中心からの法線上にあり、
かつ被検査物の回転軸は、断層面を含む平面上の法線と
等しくなる方向にX線が照射されるように位置決めする
ことができる。したがって、正確な拡大投影像が得られ
ので、二次元X線検出器の中央位置での数本の画素列を
利用してCT画像再構成処理に必要な透過データを収集
し再構成すれば、明瞭なCT画像が得られる。
【0033】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、調
整用サンプルを用いて、正確なX線焦点の位置を求める
ことができ、この求めたX線焦点の位置によって、二次
元X線検出器受光面の中心からの法線上で、かつ被検査
物の回転軸は、断層面を含む平面上の法線と等しくなる
方向にX線が照射されるように正確に修正することがで
きるので、投影像の幾何学的な倍率の歪みを低減できる
とともに、回転装置の回転に伴って被検査物のスライス
位置が変化しないようにすることができ、正確な拡大投
影像と断層像を得ることのできるX線CT装置を提供で
きる。
整用サンプルを用いて、正確なX線焦点の位置を求める
ことができ、この求めたX線焦点の位置によって、二次
元X線検出器受光面の中心からの法線上で、かつ被検査
物の回転軸は、断層面を含む平面上の法線と等しくなる
方向にX線が照射されるように正確に修正することがで
きるので、投影像の幾何学的な倍率の歪みを低減できる
とともに、回転装置の回転に伴って被検査物のスライス
位置が変化しないようにすることができ、正確な拡大投
影像と断層像を得ることのできるX線CT装置を提供で
きる。
【図1】本発明の一実施例を示すX線CT装置の配置図
である。
である。
【図2】X線発生装置から放射され二次元X線検出器に
よって検出されるX線ビームと、調整用サンプル先端と
の幾何学的な関係を示す図である。
よって検出されるX線ビームと、調整用サンプル先端と
の幾何学的な関係を示す図である。
【図3】図2の幾何学的関係を上からみたときの図であ
る。
る。
【図4】投影像の拡大率を変化させた場合のX線発生装
置から放射され二次元X線検出器によって検出されるX
線ビームと、調整用サンプル先端との幾何学的な関係を
示す図である。
置から放射され二次元X線検出器によって検出されるX
線ビームと、調整用サンプル先端との幾何学的な関係を
示す図である。
【図5】図4の幾何学的関係を上からみたときの図であ
る。
る。
【図6】図2および図3の配置で得られる拡大投影像を
画面上に表示した例を示す図である。
画面上に表示した例を示す図である。
【図7】図4および図5の配置で得られる拡大投影像を
画面上に表示した例を示す図である。
画面上に表示した例を示す図である。
1 X線発生装置 2 回転テーブル 3 移動ステージ 4 二次元X線検出器 5 コンピュータ 5a 画像表示装置 10 X線焦点 20 X線ビーム A 調整用サンプル T 調整用サンプルの頂点
Claims (1)
- 【請求項1】 X線発生装置と、被検査物を保持して回
転させる回転装置と、上記回転装置を中にして上記X線
発生装置と対向して配置され、上記X線発生装置により
放射されて上記被検査物を透過した後のX線を検出する
二次元X線検出装置とを有し、上記被検査物の拡大投影
像を画像表示装置に表示するとともに、上記回転装置に
よって上記被検査物を微小角度づつ回転させて上記二次
元X線検出器の中央位置での数本の画素列を利用してC
T画像再構成処理に必要な透過データを収集し、上記透
過データにより上記被検査物の断層像を再構成して上記
画像表示装置に表示するX線CT装置において、 上記回転装置に設置されていて、その先端の中央が鋭角
に形成された調整用サンプルと、 上記X線発生装置との距離を種々に変化させ、各距離に
おいてそれぞれ得られる拡大投影像を上記画像表示装置
に表示したときに、上記調整用サンプルの先端部分のそ
れぞれの位置座標と、上記それぞれの拡大投影像の拡大
率とからX線焦点の位置を求める検出手段と、 上記検出手段により求めたX線焦点の位置に基づいて上
記X線発生装置の位置を変化させて、上記二次元X線検
出器の中心の法線延長上にX線焦点の位置を一致させ、
かつ被検査物の回転軸を断層面を含む平面上の法線と等
しくさせるX線焦点位置調整手段とを設けたことを特徴
とするX線CT装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4152920A JPH05322802A (ja) | 1992-05-20 | 1992-05-20 | X線ct装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4152920A JPH05322802A (ja) | 1992-05-20 | 1992-05-20 | X線ct装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05322802A true JPH05322802A (ja) | 1993-12-07 |
Family
ID=15551043
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4152920A Withdrawn JPH05322802A (ja) | 1992-05-20 | 1992-05-20 | X線ct装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05322802A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999018428A1 (fr) * | 1997-10-03 | 1999-04-15 | Hitachi, Ltd. | Appareil d'inspection radiographique |
WO2009036983A1 (de) * | 2007-09-13 | 2009-03-26 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zur bestimmung eines korrekturwerts einer brennfleckposition einer röntgenquelle einer messanordnung sowie eine messandordnung zum erzeugen von durchstrahlungsbildern |
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KR20150141889A (ko) * | 2014-06-10 | 2015-12-21 | 한국건설기술연구원 | 3D X-ray CT 촬영을 이용한 재료의 이방성 측정방법 |
-
1992
- 1992-05-20 JP JP4152920A patent/JPH05322802A/ja not_active Withdrawn
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US10048214B2 (en) | 2011-08-26 | 2018-08-14 | Ntn Corporation | Rolling element inspection method, rolling element manufacturing method, and rolling element |
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Legal Events
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---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990803 |