JPH05318350A - 真空用ロボットの昇降機構 - Google Patents
真空用ロボットの昇降機構Info
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- JPH05318350A JPH05318350A JP14992992A JP14992992A JPH05318350A JP H05318350 A JPH05318350 A JP H05318350A JP 14992992 A JP14992992 A JP 14992992A JP 14992992 A JP14992992 A JP 14992992A JP H05318350 A JPH05318350 A JP H05318350A
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- Japan
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- arm
- vacuum
- robot
- vacuum chamber
- atmospheric pressure
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 大気圧中でアームの動作をティーチングした
後に真空排気しても、該アームの動作に位置ずれが生じ
ない真空用ロボットの昇降機構を提供すること。 【構成】 物品を搬送するアーム10を真空室75内に
収納する。真空室75の外側にはアーム10やスライド
30等の昇降する部分全体を昇降せしめる昇降用駆動軸
55を設ける。そして真空室75内を真空排気して真空
状態としたときの真空用ロボットへの大気圧力作用中心
点を、昇降用駆動軸55の中心軸と一致せしめる。これ
によって昇降用駆動軸55に対しては大気圧力による回
転力が作用しなくなる。
後に真空排気しても、該アームの動作に位置ずれが生じ
ない真空用ロボットの昇降機構を提供すること。 【構成】 物品を搬送するアーム10を真空室75内に
収納する。真空室75の外側にはアーム10やスライド
30等の昇降する部分全体を昇降せしめる昇降用駆動軸
55を設ける。そして真空室75内を真空排気して真空
状態としたときの真空用ロボットへの大気圧力作用中心
点を、昇降用駆動軸55の中心軸と一致せしめる。これ
によって昇降用駆動軸55に対しては大気圧力による回
転力が作用しなくなる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、真空中で物品を移動す
るときに使用される真空用ロボットに関するものであ
り、特にその昇降機構に関するものである。
るときに使用される真空用ロボットに関するものであ
り、特にその昇降機構に関するものである。
【0002】
【従来技術】従来、半導体製造プロセス等において、真
空中でウエハを搬送するには、該真空室内に収納したロ
ボットのアームを用いる。つまり真空室中にロボットの
アームと該アームを回転駆動させる操作軸の部分を外部
から気密状態で収納しておき、該真空室内を大気圧とし
た状態で該ロボットにその動作をティーチングし、その
後該真空室内を真空排気し、前記ロボットのアームに前
記ティーチングした動作を再現させてウエハを搬送させ
るのである。
空中でウエハを搬送するには、該真空室内に収納したロ
ボットのアームを用いる。つまり真空室中にロボットの
アームと該アームを回転駆動させる操作軸の部分を外部
から気密状態で収納しておき、該真空室内を大気圧とし
た状態で該ロボットにその動作をティーチングし、その
後該真空室内を真空排気し、前記ロボットのアームに前
記ティーチングした動作を再現させてウエハを搬送させ
るのである。
【0003】ところでこの種の真空用ロボットには、真
空室の外側に昇降装置を取り付けたものがあり、該昇降
装置の昇降用駆動軸によって前記アーム等を上下動させ
ることによって、前記真空用ロボットのアームや操作軸
等を昇降せしめている。
空室の外側に昇降装置を取り付けたものがあり、該昇降
装置の昇降用駆動軸によって前記アーム等を上下動させ
ることによって、前記真空用ロボットのアームや操作軸
等を昇降せしめている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこの種の
従来の真空用ロボットにおいては、真空用ロボットの昇
降する部分全体の重心点と、真空室の内部を真空にした
ときに該真空用ロボットに外部から作用する大気圧力作
用中心点と、昇降用駆動軸の軸中心の3点が一致してい
なかった。このため、前述のように真空室内を大気圧と
して前記真空用ロボットのアームにその動作を予めティ
ーチングした後に、該真空室内を真空排気したとき、該
真空用ロボットにこれを回転させようとする力が働いて
しまい、真空用ロボットの昇降する部分全体が傾いてし
まい、ティーチングした動作に位置ずれが生じてしまう
という問題点があった。
従来の真空用ロボットにおいては、真空用ロボットの昇
降する部分全体の重心点と、真空室の内部を真空にした
ときに該真空用ロボットに外部から作用する大気圧力作
用中心点と、昇降用駆動軸の軸中心の3点が一致してい
なかった。このため、前述のように真空室内を大気圧と
して前記真空用ロボットのアームにその動作を予めティ
ーチングした後に、該真空室内を真空排気したとき、該
真空用ロボットにこれを回転させようとする力が働いて
しまい、真空用ロボットの昇降する部分全体が傾いてし
まい、ティーチングした動作に位置ずれが生じてしまう
という問題点があった。
【0005】本発明は上述の点に鑑みてなされたもので
あり、その目的は、大気圧中でアームの動作をティーチ
ングした後に真空排気しても、該アームの動作に位置ず
れが生じない真空用ロボットの昇降機構を提供すること
にある。
あり、その目的は、大気圧中でアームの動作をティーチ
ングした後に真空排気しても、該アームの動作に位置ず
れが生じない真空用ロボットの昇降機構を提供すること
にある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め本発明は、図1に示すように、アーム10を真空室7
5中に収納し、該真空室75の外側には前記アーム10
を昇降せしめる昇降用駆動軸55を設け、該昇降用駆動
軸55によって前記アーム10を昇降し且つ前記アーム
10によって真空室75中の物品を搬送する真空用ロボ
ットにおいて、少なくとも前記真空室75内を真空排気
して真空状態としたときの前記真空用ロボットへの大気
圧力作用中心点を、前記昇降用駆動軸55の中心軸と一
致せしめるように構成した。
め本発明は、図1に示すように、アーム10を真空室7
5中に収納し、該真空室75の外側には前記アーム10
を昇降せしめる昇降用駆動軸55を設け、該昇降用駆動
軸55によって前記アーム10を昇降し且つ前記アーム
10によって真空室75中の物品を搬送する真空用ロボ
ットにおいて、少なくとも前記真空室75内を真空排気
して真空状態としたときの前記真空用ロボットへの大気
圧力作用中心点を、前記昇降用駆動軸55の中心軸と一
致せしめるように構成した。
【0007】
【作用】真空用ロボットのアーム10の動作を予め大気
圧中でティーチングした後に真空排気したとき、内外圧
の差によって該真空用ロボットには大気圧力が作用す
る。ここで本発明においては、この大気圧力作用中心点
が昇降用駆動軸55の中心軸上にあるため、該昇降用駆
動軸55に対しては大気圧力による回転力が作用せず、
このため該昇降用駆動軸55によって支えられたアーム
10等の昇降部分は真空室75内が大気圧のときの位置
から傾かない。従ってアーム10の動作に位置ズレが生
じなくなる。
圧中でティーチングした後に真空排気したとき、内外圧
の差によって該真空用ロボットには大気圧力が作用す
る。ここで本発明においては、この大気圧力作用中心点
が昇降用駆動軸55の中心軸上にあるため、該昇降用駆
動軸55に対しては大気圧力による回転力が作用せず、
このため該昇降用駆動軸55によって支えられたアーム
10等の昇降部分は真空室75内が大気圧のときの位置
から傾かない。従ってアーム10の動作に位置ズレが生
じなくなる。
【0008】
【実施例】以下、本発明の1実施例を図面に基づいて詳
細に説明する。図1は本発明の1実施例にかかる真空用
ロボットの昇降機構を示す図であり、同図(a)は概略
側断面図(同図(b)のA−A断面図)、同図(b)は
同図(a)の平面図(但しアーム10と真空室の壁70
は省略し、ベローズ65の外形は点線で示している)で
ある。
細に説明する。図1は本発明の1実施例にかかる真空用
ロボットの昇降機構を示す図であり、同図(a)は概略
側断面図(同図(b)のA−A断面図)、同図(b)は
同図(a)の平面図(但しアーム10と真空室の壁70
は省略し、ベローズ65の外形は点線で示している)で
ある。
【0009】同図において真空室75の壁70には穴7
1が設けられており、該穴71を通して真空室75内に
ロボットのアーム10や該アーム10を操作する操作軸
20が挿入されている。ここでこのアーム10は3つの
アーム部材11,12,13を2つの関節14,15に
よって連結して構成されている。
1が設けられており、該穴71を通して真空室75内に
ロボットのアーム10や該アーム10を操作する操作軸
20が挿入されている。ここでこのアーム10は3つの
アーム部材11,12,13を2つの関節14,15に
よって連結して構成されている。
【0010】一方操作軸20は外軸21と内軸23によ
って構成され、これら外軸21と内軸23によって3つ
のアーム部材11,12,13が自在に回転駆動され
る。
って構成され、これら外軸21と内軸23によって3つ
のアーム部材11,12,13が自在に回転駆動され
る。
【0011】この操作軸20はスライド30(具体的に
は下記するスライド本体31に固定された軸支部材3
3)に回動自在に軸支されており、またこのスライド3
0はベース50に昇降自在に取り付けられている。
は下記するスライド本体31に固定された軸支部材3
3)に回動自在に軸支されており、またこのスライド3
0はベース50に昇降自在に取り付けられている。
【0012】スライド30はブロック状のスライド本体
31の上端面中央に軸支部材33を取り付けるととも
に、その下端面中央に螺合部材35を取り付けて構成さ
れている。
31の上端面中央に軸支部材33を取り付けるととも
に、その下端面中央に螺合部材35を取り付けて構成さ
れている。
【0013】ここで軸支部材33はその中央に前記操作
軸20が回動自在に挿入され軸支されている。軸支部材
33と操作軸20の間は磁気シール37によってシール
されている。そして軸支部材33を貫通した外軸21の
先端には歯車39が取り付けられており、該歯車39は
スライド本体31に固定されたモータ41の駆動歯車4
3に螺合している。一方内軸23の先端には歯車45が
取り付けられており、該歯車45はスライド本体31に
固定されたモータ47の駆動歯車49に螺合している。
軸20が回動自在に挿入され軸支されている。軸支部材
33と操作軸20の間は磁気シール37によってシール
されている。そして軸支部材33を貫通した外軸21の
先端には歯車39が取り付けられており、該歯車39は
スライド本体31に固定されたモータ41の駆動歯車4
3に螺合している。一方内軸23の先端には歯車45が
取り付けられており、該歯車45はスライド本体31に
固定されたモータ47の駆動歯車49に螺合している。
【0014】一方螺合部材35の中央にはボールネジで
構成された昇降用駆動軸55が螺合している。またスラ
イド本体31の両側面とベース50の間には、該スライ
ド本体31を上下方向に直動可能に支持するスライドガ
イド51,53が取り付けられている。
構成された昇降用駆動軸55が螺合している。またスラ
イド本体31の両側面とベース50の間には、該スライ
ド本体31を上下方向に直動可能に支持するスライドガ
イド51,53が取り付けられている。
【0015】次にベース50は前記壁70の外側面に固
定され、その所定位置には前記螺合部材35に螺合した
昇降用駆動軸55を回動自在に軸支するベアリング57
が取り付けられている。また該ベース50にはモータ6
1が固定され、その駆動歯車63が昇降用駆動軸55の
下端に取り付けた歯車59に螺合している。そしてモー
タ61を駆動すれば、昇降用駆動軸55が回転し、これ
に螺合した螺合部材35が上下動し、これと一体のスラ
イド30やアーム10も上下動する。
定され、その所定位置には前記螺合部材35に螺合した
昇降用駆動軸55を回動自在に軸支するベアリング57
が取り付けられている。また該ベース50にはモータ6
1が固定され、その駆動歯車63が昇降用駆動軸55の
下端に取り付けた歯車59に螺合している。そしてモー
タ61を駆動すれば、昇降用駆動軸55が回転し、これ
に螺合した螺合部材35が上下動し、これと一体のスラ
イド30やアーム10も上下動する。
【0016】一方壁70の内側には、スライド30の上
端面を覆うように、上下方向に伸縮可能な金属製のベロ
ーズ65が取り付けられており、該ベローズ65と2つ
のOリング67,69と磁気シール37によって真空室
75の穴71を気密状に密閉している。
端面を覆うように、上下方向に伸縮可能な金属製のベロ
ーズ65が取り付けられており、該ベローズ65と2つ
のOリング67,69と磁気シール37によって真空室
75の穴71を気密状に密閉している。
【0017】ところでこの発明における昇降用駆動軸5
5の取り付け位置は、該昇降用駆動軸55の中心軸上
に、真空室75の内部を真空にした際にこの真空用ロボ
ットにかかる大気圧力作用中心点(この実施例において
は大気圧力はベローズ65の平面全体にかかり、その中
心点はベローズ65の中心点である)が通るように構成
されている。
5の取り付け位置は、該昇降用駆動軸55の中心軸上
に、真空室75の内部を真空にした際にこの真空用ロボ
ットにかかる大気圧力作用中心点(この実施例において
は大気圧力はベローズ65の平面全体にかかり、その中
心点はベローズ65の中心点である)が通るように構成
されている。
【0018】なおこの実施例においては、該昇降用駆動
軸55の中心軸上に、スライド30全体の重心点が通
り、また該昇降用駆動軸55の中心軸が前記操作軸20
の中心軸と一致するように構成され、さらに2つのスラ
イドガイド51,53が前記大気圧作用中心点に対して
対称となるように配置せしめられている。
軸55の中心軸上に、スライド30全体の重心点が通
り、また該昇降用駆動軸55の中心軸が前記操作軸20
の中心軸と一致するように構成され、さらに2つのスラ
イドガイド51,53が前記大気圧作用中心点に対して
対称となるように配置せしめられている。
【0019】そしてこの真空用ロボットを使用するに
は、まず真空室75内を大気圧として、ロボットのアー
ム10に該アーム10の行うべき動作をティーチングす
る。そして真空室75内を真空排気して、前記3つのモ
ータ41,47,61を駆動してアーム10に予めティ
ーチングした動作を行わせるのである。
は、まず真空室75内を大気圧として、ロボットのアー
ム10に該アーム10の行うべき動作をティーチングす
る。そして真空室75内を真空排気して、前記3つのモ
ータ41,47,61を駆動してアーム10に予めティ
ーチングした動作を行わせるのである。
【0020】ところで真空室75内を真空排気したと
き、内外圧の差によってベローズ65やスライド30に
は外部から真空室75内部に向かう圧力(大気圧力)が
作用する。しかしながらこの実施例においては、該大気
圧力作用中心点が昇降用駆動軸55の中心軸上にあるた
め、該昇降用駆動軸55に対して大気圧力による回転力
が作用せず、このため該昇降用駆動軸55によって上下
動自在に支えられたスライド30等の昇降する部分は当
初の位置(真空室75内が大気圧のときの位置)から傾
きにくく、従ってアーム10の動作に位置ズレが生じな
い。
き、内外圧の差によってベローズ65やスライド30に
は外部から真空室75内部に向かう圧力(大気圧力)が
作用する。しかしながらこの実施例においては、該大気
圧力作用中心点が昇降用駆動軸55の中心軸上にあるた
め、該昇降用駆動軸55に対して大気圧力による回転力
が作用せず、このため該昇降用駆動軸55によって上下
動自在に支えられたスライド30等の昇降する部分は当
初の位置(真空室75内が大気圧のときの位置)から傾
きにくく、従ってアーム10の動作に位置ズレが生じな
い。
【0021】特にこの実施例においては、昇降用駆動軸
55の中心軸上にスライド30の重心点が通り、また該
昇降用駆動軸55の中心軸が操作軸20の中心軸と一致
しているので、これら重心点や操作軸20にも大気圧力
による回転力が作用しない。さらに2つのスライドガイ
ド51,53が前記大気圧作用中心点に対して対称とな
っているので、両スライドガイド51,53に加わる大
気圧力が同一となり、バランスがとれる。従ってこの実
施例によれば、さらにアーム10やスライド30等の昇
降する部分は昇降用駆動軸55に対して安定し、ティー
チング当初の位置から傾きにくく、アーム10の動作に
位置ズレが生じなくなる。
55の中心軸上にスライド30の重心点が通り、また該
昇降用駆動軸55の中心軸が操作軸20の中心軸と一致
しているので、これら重心点や操作軸20にも大気圧力
による回転力が作用しない。さらに2つのスライドガイ
ド51,53が前記大気圧作用中心点に対して対称とな
っているので、両スライドガイド51,53に加わる大
気圧力が同一となり、バランスがとれる。従ってこの実
施例によれば、さらにアーム10やスライド30等の昇
降する部分は昇降用駆動軸55に対して安定し、ティー
チング当初の位置から傾きにくく、アーム10の動作に
位置ズレが生じなくなる。
【0022】なお本発明は上記実施例の構造に限定され
るものではなく、昇降駆動機構の構造や真空用ロボット
の構造は他のどのような構造のものでもよい。
るものではなく、昇降駆動機構の構造や真空用ロボット
の構造は他のどのような構造のものでもよい。
【0023】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明にか
かる真空用ロボットの昇降機構によれば、真空用ロボッ
トへの大気圧力作用中心点と昇降用駆動軸の軸中心を一
致させたので、該真空用ロボットのアームを予め大気圧
中でティーチングした後に真空排気しても、該真空用ロ
ボットのアームの動作に全く位置ずれを生じず、従って
真空用ロボットの精密な動作が可能になるという優れた
効果を有する。
かる真空用ロボットの昇降機構によれば、真空用ロボッ
トへの大気圧力作用中心点と昇降用駆動軸の軸中心を一
致させたので、該真空用ロボットのアームを予め大気圧
中でティーチングした後に真空排気しても、該真空用ロ
ボットのアームの動作に全く位置ずれを生じず、従って
真空用ロボットの精密な動作が可能になるという優れた
効果を有する。
【図1】本発明の1実施例にかかる真空用ロボットの昇
降機構を示す図である。
降機構を示す図である。
10 アーム 75 真空室 55 昇降用駆動軸
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 青木 克行 神奈川県藤沢市本藤沢4丁目2番1号 株 式会社荏原総合研究所内
Claims (1)
- 【請求項1】 アームを真空室中に収納し、該真空室の
外側には前記アームを昇降せしめる昇降用駆動軸を設
け、該昇降用駆動軸によって前記アームを昇降し且つ前
記アームによって真空室中の物品を搬送する真空用ロボ
ットにおいて、 少なくとも前記真空室内を真空排気して真空状態とした
ときの前記真空用ロボットへの大気圧力作用中心点を、
前記昇降用駆動軸の中心軸と一致せしめたことを特徴と
する真空用ロボットの昇降機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14992992A JPH05318350A (ja) | 1992-05-18 | 1992-05-18 | 真空用ロボットの昇降機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14992992A JPH05318350A (ja) | 1992-05-18 | 1992-05-18 | 真空用ロボットの昇降機構 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05318350A true JPH05318350A (ja) | 1993-12-03 |
Family
ID=15485661
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14992992A Pending JPH05318350A (ja) | 1992-05-18 | 1992-05-18 | 真空用ロボットの昇降機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05318350A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000047731A (ja) * | 1998-07-29 | 2000-02-18 | Janome Sewing Mach Co Ltd | スカラロボット |
US6190104B1 (en) | 1998-06-08 | 2001-02-20 | Kokusai Electric Co., Ltd. | Treatment object conveyor apparatus, semiconductor manufacturing apparatus, and treatment object treatment method |
CN104271321A (zh) * | 2013-01-07 | 2015-01-07 | 日本电产三协株式会社 | 工业用机器人 |
WO2017217497A1 (ja) * | 2016-06-15 | 2017-12-21 | 株式会社 三共製作所 | 搬送装置 |
-
1992
- 1992-05-18 JP JP14992992A patent/JPH05318350A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6190104B1 (en) | 1998-06-08 | 2001-02-20 | Kokusai Electric Co., Ltd. | Treatment object conveyor apparatus, semiconductor manufacturing apparatus, and treatment object treatment method |
JP2000047731A (ja) * | 1998-07-29 | 2000-02-18 | Janome Sewing Mach Co Ltd | スカラロボット |
CN104271321A (zh) * | 2013-01-07 | 2015-01-07 | 日本电产三协株式会社 | 工业用机器人 |
WO2017217497A1 (ja) * | 2016-06-15 | 2017-12-21 | 株式会社 三共製作所 | 搬送装置 |
JPWO2017217497A1 (ja) * | 2016-06-15 | 2019-04-11 | 株式会社三共製作所 | 搬送装置 |
US10843349B2 (en) | 2016-06-15 | 2020-11-24 | Sankyo Seisakusho Co. | Conveyance device |
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