JPH05304196A - ウエハ搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 搬送時に生じる半導体ウエハ面内の各部の温
度差を低減することによって、生産性を向上させる。 【構成】 ウエハ搬送アーム１における半導体ウエハ２
載置部下に位置する部分に、加熱手段９を設ける。そし
て、ウエハ搬送アーム１には、この加熱手段９と半導体
ウエハ２とを所定間隔だけ離間させた状態で半導体ウエ
ハを保持し得るように、半導体ウエハ２を支持する支持
部１０が設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、半導体製造装置にお
ける半導体ウエハの移載を行なうウエハ搬送装置に関
し、特に搬送アームの構造に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から、半導体製造装置において、半
導体ウエハの移載を行なうためのウエハ搬送装置は用い
られてきた。このウエハ搬送装置の形態に関しては種々
のものがあるが、このウエハ搬送装置の一例として、た
とえば実開昭６０−１２５０９０号公報に開示されてい
るウエハ搬送装置について説明する。図６は、上記の実
開昭６０−１２５０９０号公報に開示されているウエハ
搬送装置の概略構成と、これを用いて、半導体ウエハ
を、たとえばＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｕｒ
Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法などを用いて薄膜形成を行
なう薄膜形成装置に搬入している様子を示す図である。

【０００３】図６を参照して、この従来のウエハ搬送装
置は、ウエハ搬送アーム４１と、搬送アーム移動機構４
３と、搬送アーム移動機構の制御部４４とを備えてい
る。ウエハ搬送アーム４１は、半導体ウエハ４２を保持
した状態で搬送する機能を有している。搬送アーム移動
機構４３は、このウエハ搬送アーム４１を並行・上下・
円周運動等をさせ得る機構を有するものである。そし
て、このようにウエハ搬送アーム４１を移動させる際
に、この搬送アーム移動機構４３の動作を制御するため
に制御部４４が設けられている。

【０００４】上記のような構成を有するウエハ搬送装置
によって、半導体ウエハ４２は、半導体製造装置におけ
る所望の場所に搬送されることになる。ここで再び図６
を参照して、半導体ウエハ４２は、ウエハ搬送アーム４
１に保持された状態で、この場合であれば、薄膜形成装
置４９における反応室４５内に搬送される。この反応室
４５内には、半導体ウエハ４２を固定保持するためのウ
エハステージ４７が設けられている。このウエハステー
ジ４７における半導体ウエハ４２の保持手段４６として
は、この場合であれば、真空チャックが用いられてい
る。また、ウエハステージ４７には、このウエハステー
ジ４７を予め加熱昇温させるためのヒータ４８が設けら
れている。

【０００５】ここで、上記のような構造を有するウエハ
搬送装置におけるウエハ搬送アーム４１の構造につい
て、図７を用いてより詳しく説明する。図７は、従来の
ウエハ搬送アーム４１の一部を示す拡大斜視図である。
図７を参照して、従来のウエハ搬送アーム４１は、ベー
スプレート４１ａの先端部に、半導体ウエハ４２を載置
保持するウエハ載置部４１ｂが設けられている。このウ
エハ載置部４１ｂには、半導体ウエハ４２の種々の大き
さに合わせて段差部５０が設けられている。この段差部
５０によって、半導体ウエハ４２が保持されることにな
る。それにより、半導体ウエハ４２は、この段差部５０
によって保持された状態で搬送され得ることになる。

【０００６】上記のような構造を有するウエハ搬送装置
に、半導体ウエハ４２が保持された状態で、薄膜形成装
置４９などの半導体製造装置内に搬送されることにな
る。そして、薄膜形成装置４９における反応室４５内に
運びこまれた半導体ウエハ４２は、ウエハステージ４７
に向かって搬送される。そして、ウエハステージ４７に
設けられた真空チャックなどのウエハ保持手段４６によ
って、ウエハステージ４７におけるステージ面に固定保
持されることになる。その後、半導体ウエハ４２は、ウ
エハステージ４７におけるステージ面に固定保持された
状態で、反応室４５内において薄膜形成処理が施される
ことになる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】一般に、上記のウエハ
ステージ４７は、半導体ウエハ４２への薄膜堆積が可能
となるように、ヒータ４８によって７００℃程度の温度
に加熱されている。このような高温に加熱されているウ
エハステージ４７に半導体ウエハ４２を近づけることに
よって、以下に説明するような問題点が生じていた。高
温に加熱されているウエハステージ４７に半導体ウエハ
４２を近づけることによって、半導体ウエハ４２は、ウ
エハステージ４７から熱輻射を受ける。それにより、半
導体ウエハ４２内に温度差が生じ、その温度差によって
半導体ウエハ４２に熱応力が生じる。このとき、この熱
応力は、半導体ウエハ４２の面内温度差が大きいほど大
きく、その温度の絶対値が大きいほど大きいものとな
る。この場合、７００℃程度の高温に加熱されたウエハ
ステージ４７からの熱輻射を受けるため、半導体ウエハ
４２内に生じる熱応力は大きいものとなる。そして、そ
の熱応力により半導体ウエハが反るという現象が引き起
こされる。そのため、半導体ウエハ４２をウエハステー
ジ４７のステージ面に固定保持する際に、半導体ウエハ
４２のウエハ保持手段６がたとえば真空チャックの場合
などに、吸着ミスを起こすという問題点があった。

【０００８】この発明は、上記の問題点を解決するため
になされたものであり、搬送、移載時に、半導体ウエハ
面内の温度差が小さくなるように制御することによっ
て、生産性を向上させ得るウエハ搬送装置を提供するこ
とを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この発明に基づくウエハ
搬送装置は、１つの局面では、半導体ウエハを保持し搬
送するためのウエハ搬送アームと、ウエハ搬送アームに
設けられ半導体ウエハを昇温させるための加熱手段と、
ウエハ搬送アームを所定位置にまで移動させるための搬
送アーム移動機構とを備えている。そして、上記のウエ
ハ搬送アームは、好ましくは、ベースプレートと、ベー
スプレートから浮かせた状態で半導体ウエハを支持する
ためのウエハ支持部とを含んでいる。また、上記の加熱
手段は、好ましくは、ベースプレートに設けられたヒー
タを含むものである。

【００１０】この発明に基づくウエハ搬送装置は、他の
局面では、半導体ウエハを保持し搬送するウエハ搬送ア
ームを有することを前提とする。そして、このウエハ搬
送装置におけるウエハ搬送アームには、半導体ウエハの
各部の温度を検出するための温度センサが設けられてい
る。また、このウエハ搬送装置は、上記の温度センサに
よって検出されたウエハ温度に応じて、半導体ウエハを
所定位置にまで搬送する速度を制御するための搬送速度
制御手段を備えている。

【００１１】この発明に基づくウエハ搬送装置は、さら
に他の局面では、半導体ウエハを保持し搬送するための
ウエハ搬送アームと、このウエハ搬送アームに設けられ
半導体ウエハを昇温させるための加熱手段と、ウエハ搬
送アームに設けられ半導体ウエハの各部の温度を検出す
るための温度センサと、この温度センサによって検出さ
れたウエハ温度に応じて半導体ウエハを所定位置にまで
搬送する速度を制御するための搬送速度制御手段と、ウ
エハ搬送アームを所定位置にまで移動させるための搬送
アーム移動機構とを備えている。

【００１２】

【作用】この発明に基づくウエハ搬送装置によれば、１
つの局面では、ウエハ搬送アームに半導体ウエハを昇温
させるための加熱手段が設けられている。それにより、
半導体ウエハをウエハ搬送アームに保持した状態で搬送
する際に、半導体ウエハを予備的に加熱昇温させること
が可能となる。それにより、高温に保持されているウエ
ハステージに、半導体ウエハを近づけることによる半導
体ウエハ面内に生ずる温度差を低減することが可能とな
る。

【００１３】また、半導体ウエハは、ウエハ搬送アーム
におけるベースプレートから浮かせた状態で支持されて
おり、この状態で加熱手段によって加熱されることにな
る。すなわち、加熱手段と半導体ウエハとの間には、た
とえば空気などが介在することとなる。それにより、加
熱手段と半導体ウエハ間の間隔を適切に調整することに
よって、半導体ウエハを徐々にかつ均一に加熱すること
が可能となる。それにより、半導体ウエハ面内に生じ得
る温度差を低減させることが可能となる。

【００１４】この発明に基づくウエハ搬送装置は、他の
局面では、半導体ウエハの各部の温度を検出するための
温度センサが設けられており、この温度センサによって
検出されたウエハ温度に応じて、半導体ウエハの搬送速
度を制御することとしている。それにより、たとえば、
反応室内に半導体ウエハを搬送し、その後高温に保持さ
れているウエハステージへ近づける際に、半導体ウエハ
面内の各部の温度差が大きくならないように、高温に保
持されているウエハステージへ近づける速度を制御する
ことが可能となる。すなわち、半導体ウエハが受ける熱
輻射量が許容範囲内となるように調整することが可能と
なる。それにより、半導体ウエハ面内に生ずる面内温度
差を小さく保ちつつ半導体ウエハを搬送することが可能
となる。それにより、半導体ウエハ面内に生ずる熱応力
を低減させることが可能となる。

【００１５】この発明に基づくウエハ搬送装置は、さら
に他の局面では、上記の加熱手段と、温度センサと、搬
送速度制御手段とを備えている。それにより、半導体ウ
エハを搬送中に予備的に加熱することによって所定温度
にまで昇温させ、さらにこの昇温中における温度管理を
もすることが可能となる。また、このように温度管理が
された状態で反応室内に半導体ウエハを搬送し、その
後、温度管理した状態でウエハステージへ近づける速度
を制御することが可能となる。それにより、より確実に
半導体ウエハ面内に生ずる面内温度差を低減させた状態
でウエハステージに移載することが可能となる。それに
より、半導体ウエハ面内に生じる熱応力を著しく低減す
ることが可能となる。

【００１６】

【実施例】以下、この発明に基づく実施例について、図
１〜図５を用いて説明する。図１は、この発明に基づく
ウエハ搬送装置の概略構成および、このウエハ搬送装置
を用いて薄膜形成装置内に半導体ウエハを搬送している
様子を示す図である。

【００１７】このウエハ搬送装置の構造に関しては、従
来例で示したウエハ搬送装置とほぼ同様であり、ウエハ
搬送装置は、ウエハ搬送アーム１と、搬送アーム移動機
構３と、制御部４とを備えている。ウエハ搬送アーム１
は、半導体ウエハ２を保持した状態で搬送し得る構造と
なっている。また、搬送アーム移動機構３は、ウエハ搬
送アーム１を、並行・上下・円周運動させることによっ
て、所望の位置に半導体ウエハ２を移載する機能を有す
るものである。制御部４は、搬送アーム移動機構３の動
作を制御するために設けられている。

【００１８】図１においては、このような構造を有する
ウエハ搬送装置によって、半導体ウエハ２を薄膜形成装
置１２に搬送している様子を示しているが、薄膜形成装
置１２には、薄膜を形成するための反応室５が設けられ
ている。この反応室５内の所定位置には、半導体ウエハ
２を保持・固定した状態で薄膜形成を行なうためのウエ
ハステージ７が設けられている。このウエハステージ７
には、半導体ウエハ２をウエハステージ７に保持するた
めのウエハ保持手段６が設けられている。ウエハ保持手
段６は、この場合であれば真空チャック等が用いられる
ことになる。また、ウエハステージ７には、このウエハ
ステージ７を加熱して所定温度にまで昇温させるための
ヒータ８が設けられている。

【００１９】上記のような構成を有することにより、ウ
エハ搬送装置におけるウエハ搬送アーム１に半導体ウエ
ハ２を保持した状態で、薄膜形成装置内におけるウエハ
ステージ７に半導体ウエハ２が移載されることになる。
そして、上記のウエハ保持手段６によって半導体ウエハ
２がウエハステージ７に保持された状態で薄膜形成処理
が施されることになる。

【００２０】次に、上記の構成を有するウエハ搬送装置
におけるウエハ搬送アーム１の構造についてより詳しく
説明していく。図２は、この発明に基づいて形成された
ウエハ搬送アーム１の一例を示す斜視図である。図２を
参照して、ウエハ搬送アーム１は、ベースプレート１ａ
と半導体ウエハ２を支持する支持部１０とを有してい
る。ベースプレート１ａにおける半導体ウエハ２の載置
部下に位置する部分には、加熱手段９としてのヒータが
設けられている。この場合であれば、この加熱手段９
は、ベースプレート１ａに金属などからなる配線をプリ
ントすることによって形成されており、この配線に通電
することによって半導体ウエハ２を加熱するようにして
いる。このとき、ベースプレート１ａは、たとえばセラ
ミックからなっており、このセラミックからなるベース
プレート１ａ上の所定位置に上記の金属配線がプリント
され、さらにこの金属配線の上にセラミックをコーティ
ングするようにしている。

【００２１】支持部１０は、この場合であれば、ベース
プレート１ａの周側部の一部を用いてベースプレート１
ａと一体成形されているが、この支持部１０をベースプ
レート１ａと別体としてもよい。この支持部１０は、上
記の加熱手段９から半導体ウエハ２を所定間隔だけ離間
させるために設けられており、このように半導体ウエハ
２と加熱手段９とを離間させることによって、半導体ウ
エハ２を加熱する際にこの半導体ウエハ２を均一に加熱
することが可能となる。

【００２２】ウエハ搬送アーム１が、上記のような構造
を有することにより、半導体ウエハ２を搬送中に加熱す
ることによって所定温度にまで昇温させることが可能と
なる。それにより、薄膜形成装置に搬入した際に、半導
体ウエハ２内に生じる面内温度差を著しく低減させるこ
とが可能となる。それにより、半導体ウエハ２内に生じ
る熱応力を低減させることができ、半導体ウエハ２が反
るといった現象を効果的に回避することが可能となる。

【００２３】次に、図３を用いて、ウエハ搬送アームの
他の実施例について説明する。図３は、ウエハ搬送アー
ムの他の実施例を示す斜視図である。図３を参照して、
ウエハ搬送アーム１１は、ベースプレート１１ａと支持
部２０とを有している。そして、このベースプレート１
１ａにおける半導体ウエハ２載置部下に位置する部分
に、加熱手段１９が設けられている。この場合、図３に
示されるように、加熱手段１９は、加熱源となる金属配
線パターンがそれぞれ略同心円状に複数設けられてい
る。そして、それぞれの金属配線に個々に電圧を印加し
得るように、それぞれの金属配線が個々に電源部（図示
せず）に接続されている。それにより、半導体ウエハ２
における所望の部分を選択して加熱することが可能とな
る。すなわち、半導体ウエハ２内における温度の低い部
分に選択的に加熱することが可能となる。それにより、
より効果的に半導体ウエハ２の面内温度差を低減させる
ことが可能となる。

【００２４】次に、図４を用いて、この発明に基づくウ
エハ搬送アームのさらに他の実施例について説明する。
図４は、この発明に基づくさらに他の実施例におけるウ
エハ搬送アームを示す斜視図である。図４を参照して、
この実施例におけるウエハ搬送アーム２１は、ベースプ
レート２１ａと支持部３０とを有している。そして、半
導体ウエハ２の載置部下におけるベースプレート２１ａ
には、加熱手段２９が設けられている。また、この加熱
手段２９が設けられているベースプレート２１の面内に
おける所定位置には、温度センサ３１が、この場合であ
れば２つ設けられている。

【００２５】温度センサ３１としては、たとえば熱電対
や光ファイバなどが用いられる。温度センサ３１が設け
られる位置に関しては、半導体ウエハ２の面内温度分布
が効果的に検出され得るように設けられるべきである。
たとえば、本実施例のように、２つの温度センサ３１を
用いる場合には、たとえば載置される半導体ウエハ２の
中央部に対応する位置と周辺部近傍に対応する位置に設
けることが考えられる。それにより、半導体ウエハ２に
おける面内温度分布を検出することが可能となる。そし
て、このように検出された温度分布に基づいて、搬送速
度制御手段（後述）によって、半導体ウエハ２の搬送速
度を制御することが可能となる。

【００２６】なお、上記温度センサ３１は、所定位置に
１つ設けられ、その端子が半導体ウエハ２面内の各部に
当接するように設けられることによって、半導体ウエハ
２の各部の温度を検出するようにしてもよい。また、こ
の温度センサ３１は、３つ以上設けられてもよい。

【００２７】次に、上記の構造を有するウエハ搬送アー
ム２１の予備加熱方法および搬送速度制御方法につい
て、図５を参照して説明する。図５は、予備加熱および
搬送速度制御を行なうためのウエハ搬送装置の構成を示
すブロック図である。図５を参照して、温度センサ３１
は、搬送速度制御手段３２に接続されている。それによ
り、温度センサ３１によって検出された半導体ウエハ２
の各部の温度が、搬送速度制御手段３２に入力され得る
ことになる。この搬送速度制御手段３２は、搬送アーム
移動機構３に接続されており、この搬送アーム移動機構
３の動作を制御する。この搬送アーム移動機構３によっ
て、搬送アーム１が動作を行なうことになる。すなわ
ち、温度センサ３１によって検出された温度に基づい
て、搬送アーム１の搬送速度を適切に調整することが可
能となる。したがって、半導体ウエハ２の面内温度差が
大きくならないように調整しながら半導体ウエハ２を移
載することが可能となる。

【００２８】それにより、高温に保持されているウエハ
ステージ７に半導体ウエハ２を近づけることによる半導
体ウエハ２の面内温度差を著しく低減することが可能と
なる。それとともに、急激に昇温されることによる半導
体ウエハ２における欠陥の発生可能性を著しく低減させ
ることも可能となる。上記の温度センサ３１は、加熱制
御手段３３にも接続されていてもよい。そして、この加
熱制御手段３３は、加熱手段９に接続されており、この
加熱手段９の動作を制御する。それにより、選択的に半
導体ウエハ２の所望の部分を加熱することが可能とな
る。すなわち、温度センサ３１によって検知された半導
体ウエハ２の面内温度差に基づいて、半導体ウエハ２内
の温度の低い部分のみを選択的に加熱することが可能と
なる。それにより、より確実かつ効果的に半導体ウエハ
２の面内温度差を低減させることが可能となる。

【００２９】ここで、上記のように半導体ウエハ２の搬
送速度を制御することの有効性をより詳しく説明する。
ウエハステージ７へ半導体ウエハ２が移載される際に生
じる半導体ウエハ２の面内温度差の主な原因は、半導体
ウエハ２面内の各領域が受ける熱輻射強度の差異による
ものであると言える。そして、これはウエハステージ７
と半導体ウエハ２との形態係数に帰着されると言える。
この形態係数は、半導体ウエハ２とウエハステージ７と
が離れた場合には小さくなり、半導体ウエハ２とウエハ
ステージ７とが近づいた場合には大きくなる。すなわ
ち、半導体ウエハ２の面内温度の絶対値および温度差
は、半導体ウエハ２とウエハステージ７との間の距離に
依存するとも言える。

【００３０】具体的には、半導体ウエハ２とウエハステ
ージ７とが離れている場合には、半導体ウエハ２におけ
る中央部近傍と周側部近傍との受ける熱輻射量の差が大
きくなり、半導体ウエハ２の面内温度差が大きくなり得
る。そして、半導体ウエハ２がウエハステージ７に近づ
くに従い、半導体ウエハ２における中央部近傍と周側部
近傍との受ける熱輻射量の差はなくなるが、輻射強度は
増大する。すなわち、半導体ウエハ２の面内の温度差は
減少する傾向にあるが、面内温度の絶対値は大きくなる
と言える。

【００３１】そのため、半導体ウエハ２の面内の温度差
を低減させようとして急激にウエハステージ７に近づけ
た場合には、半導体ウエハ２の温度が急峻に上昇し、半
導体ウエハ２に欠陥が生じることになる。したがって、
この半導体ウエハ２の温度と面内温度差を温度センサ３
１で検出し、この情報に応じて搬送速度の制御を行なう
ことによって、半導体ウエハ２の面内温度差を許容範囲
内に保持した状態で半導体ウエハ２をウエハステージ７
へ装着することが可能となる。それにより、半導体ウエ
ハ２の熱応力による反りを回避することができ、生産性
を向上させることが可能となる。また、このように半導
体ウエハ２の温度管理を行なうことによって、ウエハス
テージ７や半導体ウエハ２の熱的条件変化、たとえば表
面の汚れ（コンタミ）による輻射率の変化や輻射率の個
体差などが存する場合にも対応できることになる。

【００３２】なお、上述の実施例においては、ウエハ搬
送アーム１に設けられた加熱手段は、半導体ウエハ２の
載置部下に設けられていたが、より効果的に半導体ウエ
ハ２を加熱するために、半導体ウエハ２の上下からある
いはその周囲から半導体ウエハ２を加熱するようにして
もよい。また、加熱手段に関しては、金属配線等をウエ
ハ搬送アームにおけるベースプレートに埋設する場合に
ついて説明したが、この加熱手段はベースプレート１ａ
上に露出するものであってもよい。さらに、上記の金属
配線等の配線パターンは、上記の実施例で示したパター
ンに限らず、半導体ウエハ２をより効果的にかつ均一に
加熱し得るものであればよい。さらに、半導体ウエハ２
を均一かつ効果的に加熱するために、上記の加熱手段と
半導体ウエハ２との間に熱伝導の優れた部材等を介在さ
せるようにしてもよい。

【００３３】

【発明の効果】上述したように、この発明に基づくウエ
ハ搬送アームには、半導体ウエハを加熱するための加熱
手段が設けられているため、半導体ウエハを搬送中に所
定温度にまで均一に半導体ウエハを昇温させることが可
能となる。それにより、ウエハステージなど高温に保持
された部分に移載する際にも半導体ウエハ内に生じる温
度差を大幅に低減することが可能となる。それにより、
半導体ウエハ内に生じる熱応力を軽減させることがで
き、半導体ウエハの反りなどの変形を効果的に阻止する
ことが可能となる。その結果、真空チャックなどで吸着
することによって半導体ウエハをウエハステージに保持
する際の吸着ミスが大幅に低減でき、生産性を向上させ
ることが可能となる。また、ウエハ搬送アームに温度セ
ンサを設けることによって、半導体ウエハの温度管理を
行ない、かつその検出された温度に応じて半導体ウエハ
の搬送速度を制御することによっても、より確実に半導
体ウエハ面内の温度差を低減させることが可能となる。
それにより、生産性を向上させることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に基づくウエハ搬送装置の概略構成を
示す図である。

【図２】この発明に基づく一実施例におけるウエハ搬送
アームを示す斜視図である。

【図３】この発明に基づく他の実施例におけるウエハ搬
送アームを示す斜視図である。

【図４】この発明に基づくさらに他の実施例におけるウ
エハ搬送アームを示す斜視図である。

【図５】この発明に基づくウエハ搬送装置の概略構成を
示すブロック図である。

【図６】従来のウエハ搬送装置の概略構成を示す図であ
る。

【図７】従来のウエハ搬送アームを示す斜視図である。

【符号の説明】

１，１１，２１，４１ ウエハ搬送アーム ３，４３ 搬送アーム移動機構 ４，４４ 制御部 １２，４９ 薄膜形成装置 １ａ，１１ａ，２１ａ，４１ａ ベースプレート ９，１９，２９ 加熱手段 １０，２０，３０ 支持部 ３１ 温度センサ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体ウエハを保持し搬送するためのウ
   エハ搬送アームと、 前記ウエハ搬送アームに設けられ、前記半導体ウエハを
   昇温させるための加熱手段と、 前記ウエハ搬送アームを所定位置にまで移動させるため
   の搬送アーム移動機構と、を備えたウエハ搬送装置。
2. 【請求項２】 前記ウエハ搬送アームは、ベースプレー
   トと、前記ベースプレートから浮かせた状態で前記半導
   体ウエハを支持するためのウエハ支持部とを含み、 前記加熱手段は、前記ベースプレートに設けられたヒー
   タを含む請求項１に記載のウエハ搬送装置。
3. 【請求項３】 半導体ウエハを保持し搬送するウエハ搬
   送アームを有するウエハ搬送装置であって、 前記ウエハ搬送アームに設けられ、前記半導体ウエハの
   各部の温度を検出するための温度センサと、 前記温度センサによって検出されたウエハ温度に応じ
   て、前記半導体ウエハを所定位置にまで搬送する速度を
   制御するための搬送速度制御手段と、を備えたウエハ搬
   送装置。
4. 【請求項４】 半導体ウエハを保持し搬送するためのウ
   エハ搬送アームと、 前記ウエハ搬送アームに設けられ、前記半導体ウエハを
   昇温させるための加熱手段と、 前記ウエハ搬送アームに設けられ、前記半導体ウエハの
   各部の温度を検出するための温度センサと、 前記温度センサによって検出されたウエハ温度に応じ
   て、前記半導体ウエハを所定位置にまで搬送する速度を
   制御するための搬送速度制御手段と、 前記ウエハ搬送アームを所定位置にまで移動させるため
   の搬送アーム移動機構と、を備えたウエハ搬送装置。