JPH05293451A

JPH05293451A - 連続超音波洗浄装置

Info

Publication number: JPH05293451A
Application number: JP12961992A
Authority: JP
Inventors: Akihiro Ogata; 昭浩緒方; Yoshihiro Hirakawa; 善博平川; Masakatsu Soichi; 正勝祖一; Fumiyasu Kitano; 文康北野
Original assignee: IMAIZUMI TEKKOSHO KK; KYUSHU SUMITOKU DENSHI KK; Sumitomo Special Metals Co Ltd
Current assignee: IMAIZUMI TEKKOSHO KK; KYUSHU SUMITOKU DENSHI KK; Hitachi Metals Ltd
Priority date: 1992-04-21
Filing date: 1992-04-21
Publication date: 1993-11-09
Anticipated expiration: 2015-04-10
Also published as: JP3030314B2

Abstract

(57)【要約】【目的】２槽式の連続超音波洗浄装置において、被洗
浄物の洗浄性並びに保持搬送性にすぐれ、コンベア速度
の上昇や強制乾燥を可能にした構成、洗浄液として水や
純水を使用した場合でも洗浄後の水滴痕等を発生させな
い構成。【構成】超音波振動子４を配置する洗浄槽３の下方に
洗浄槽への洗浄液補給機能を有する洗浄液受蓄槽９を設
けてネットコンベア１ｂを直線的に通過させる連続超音
波洗浄装置において、被洗浄物２を搬送するネットコン
ベア１ｂに同期させた押さえネットコンベア１ａを用
い、洗浄槽３の下流に高流速のエアーブロワー１３を配
置、洗浄液を加熱したり、受蓄槽を略密封して不活性ガ
スパージする。【効果】超音波洗浄効果が高く、洗浄液５ｂに無酸素
水を用いることにより、被洗浄物が非常に錆びやすいも
のでも発錆せず、高速ブロワーにより洗浄液を瞬時に飛
散させてシミや水滴痕を皆無にできる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、研削加工後の磁石、
各種金属加工物などの極めて錆びやすいもの、一端を閉
そくした管状のものや小物などの洗浄が困難な加工物な
ど、種々の被洗浄物を連続的に洗浄する超音波洗浄装置
に係り、超音波振動子を配置する洗浄槽の下方に洗浄液
受蓄槽を設けてネットコンベアあるいは被洗浄物の固定
用押さえネットを用いたネットコンベアまたは電気的に
同調駆動する上下一対のネットコンベアを直線的に対向
移動させ、洗浄槽の小型化並びに洗浄ラインの短縮化を
達成し、さらに被洗浄物の移動及び飛散を防止して、流
速の速いブロワーを用いた強制乾燥により水滴痕を発生
させない連続超音波洗浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】工業的規模において、研削加工後のフェ
ライト磁石等を連続的に洗浄するには通常、図３に示す
如き超音波洗浄装置が採用されてきた。すなわち、エン
ドレスネットコンベア１上に載置された被洗浄物２を、
水等からなる洗浄液５を溜めた洗浄槽３内に配設された
一対の超音波振動子４，４間を通過させ、その際被洗浄
物２に作用する超音波によってヨゴレ等を除去する構成
からなっている。

【０００３】しかし、従来の構成は、エンドレスコンベ
ア１上に載置された被洗浄物２の転動等による破損を考
慮すると、洗浄槽３への搬入角度及び洗浄後の搬出角度
はゆるやかになり、必然的にネットコンベア１の傾斜部
１ｃ，１ｄが長くなっている。このため洗浄槽３の長さ
も長くなり装置全体の小型化が不可能であった。また、
コンベア１に傾斜部１ｃ，１ｄが存在する以上、被洗浄
物２の形状によってはその転動を完全に防止することも
できず、さらに被洗浄物２がネット部に食い込みやす
く、欠け、割れ等を発生する問題があった。

【０００４】そこで先に出願人は、超音波振動子を配置
する洗浄槽の下方に洗浄槽への洗浄液補給機能を有する
洗浄液受蓄槽を設けてネットコンベアを直線的に通過さ
せ、洗浄槽の小型化並びに洗浄ラインの短縮化を達成し
た連続超音波洗浄装置を提案（特願平２−３０４７２２
号）した。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】工業的規模において
は、かかる超音波洗浄も洗浄能力を低下させることなく
効率よく速く完了することが要求されるが、能率を上げ
るためのコンベア速度の上昇や強制乾燥により、コンベ
ア上での被洗浄物の移動あるいは傷やカケの発生などの
問題があった。被洗浄物が電子部品等の小物や軽重量で
ある場合には、さらに、超音波洗浄時の振動により移動
して順序が代わるなどの問題があった。また、被洗浄物
を洗浄する際の洗浄液としては、被洗浄物の材質等を考
慮して、水や純水、フロン、メタノール等の溶剤を選択
使用していた。

【０００６】特に、セラミックス等の精密電子部品等を
洗浄する際には、洗浄後の品質、信頼性等を考慮して、
洗浄後のシミやウォーターマークと呼ばれる水滴痕を発
生させないために、メタノールやフロン等の溶剤を用い
ることが多かった。しかし近年、地球環境汚染等の問題
からフロンの使用が暫時規制され、これに伴い所謂代替
フロンが開発されつつあるが、気化速度が速く表面張力
が小さなフロンに匹敵するものが少なく、また大量にか
つ安価には提供されていない。従って、上記の電子部品
等の洗浄に水や純水を使用できれば、極めて至便であ
る。

【０００７】この発明は、洗浄槽の長さを短くして装置
全体の小型化を可能とするとともに被洗浄物の搬送用ネ
ットコンベアに傾斜部を設けることなく被洗浄物の破損
防止を可能とする超音波洗浄装置において、さらに被洗
浄物の洗浄性の向上並びに保持搬送性にすぐれ、コンベ
ア速度の上昇や強制乾燥を可能にした構成、また洗浄液
として水や純水を使用した場合でも洗浄後の水滴痕等を
発生させない構成、さらに、極めて錆びやすいものを水
で洗浄できる構成からなる連続超音波洗浄装置の提供を
目的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この発明は、連続超音波
洗浄装置の被洗浄物の洗浄性並びに保持搬送性を向上さ
せる構成を種々検討した結果、被洗浄物を搬送するネッ
トコンベアに個別に押さえネットを載せるか、あるいは
これに同期させた押さえネットコンベアを用いることに
より、小物の被洗浄物でも搬送時、洗浄前の予備洗浄シ
ャワー、超音波洗浄時などのいずれの場合にも被洗浄物
の移動がなく安定した保持が可能で、特に流速の速いブ
ロワーを用いた強制乾燥が可能になり、洗浄水を用いた
洗浄後にも水滴痕を発生させないこと、また洗浄液を加
熱すると洗浄性が向上しかつ水切れが良くなることを知
見した。さらに、この発明は、極めて錆びやすいものを
水等で洗浄可能にする構成を目的に種々検討した結果、
洗浄槽を密閉して不活性ガスで爆気したり、無酸素水を
補給したり、また洗浄槽やブロー装置及び乾燥装置を配
置した洗浄液受蓄槽を密閉して、槽内雰囲気及びブロー
ガスを不活性ガスとなしてこれを流下させ、洗浄液に無
酸素水や純水を使用することにより、発錆させることな
く洗浄できることを知見し、この発明を完成した。

【０００９】すなわち、この発明は、槽腹部に入出口孔
を設けて被洗浄物を固定用の押さえネットとともに搬送
するネットコンベアをその槽腹部を貫通移動可能、ある
いは、槽腹部に入出口孔を設けて被洗浄物を搬送する下
ネットコンベア及び該下ネットコンベアと対向しかつ同
調駆動する上ネットコンベアをその槽腹部を貫通移動可
能にし、かつ槽内のネットコンベアに対向させた超音波
振動子を配設する洗浄槽と、洗浄槽の下方に位置して洗
浄槽のネットコンベア入出口孔からの流出洗浄液を受蓄
する洗浄液受蓄槽と、洗浄液受蓄槽内の洗浄液を洗浄槽
に補給する洗浄液循環手段とから構成され、洗浄液の加
熱装置を配置したこと、及び／または洗浄液受蓄槽を略
密閉構造となし、洗浄液受蓄槽内を不活性ガスパージ可
能にしたを特徴とする連続超音波洗浄装置である。

【００１０】この発明は、上記の構成において、超音波
洗浄発振子および／またはブロワーノズルの被洗浄物に
対する距離調整機構を備えたこと、洗浄槽および／また
は洗浄液受蓄槽内の洗浄液中に不活性ガスを吹き込む装
置を備えたこと、洗浄液が無酸素水または純水であるこ
とを、それぞれ特徴とする連続超音波洗浄装置である。

【００１１】この発明において、対象とする被洗浄物
は、後述する一実施例にて示す研削加工後のフェライト
磁石の他、各種磁石、各種セラミックス、石材、ガラ
ス、精密電子部品、金属加工品、プラスチックス等、あ
らゆる個片を対象とする。

【００１２】洗浄液には被洗浄物の材質等を考慮して、
水、溶剤等を適宜選定して採用することできるが、水、
無酸素水、純水や代替フロン等、フロンなどの有機溶剤
以外の洗浄液が望ましく、後述する如くこの発明の連続
超音波洗浄装置は水を使用してもウォーターマーク等を
発生させることがない。また、必要に応じて、洗浄液受
蓄槽外に配置するプリシャワーで溶剤等にて脱脂する工
程を設けることもできる。

【００１３】この発明において、固定用の押さえネット
は、その自重にて被洗浄物を下ネットコンベアに保持さ
せることができれば、いずれの構成でもよく、また押さ
えネットをネットコンベアに掛け止めしたり、開閉式に
装着することもできる。押さえ並びにコンベア用の各ネ
ットの材質としては特に限定しないが、被洗浄物の材
質、形状寸法、重量など、さらに超音波洗浄条件、ブロ
ワー装置の作動条件等に応じて、ネットの構成や開口形
状寸法の選定が必要であり、特に洗浄液切れのよい構成
が望ましい。

【００１４】また、この発明において、対向させる上ネ
ットコンベアと下ネットコンベアは同速度で連続進行す
ることが不可欠であり、そのために上下ネットコンベア
の近接区間で両コンベアが同速度となるように双方のモ
ーターを電気的に制御したり、あるいはギヤ等で機械的
に同調させる手段が採用できる。また、前記上下ネット
コンベア間は、洗浄する被洗浄物が挟持される間隔があ
ればよく、被洗浄物の寸法により適宜設定変更すればよ
い。例えば、上ネットコンベアをその自重により被洗浄
物を押さえることができるように、上下のネットコンベ
アの近接距離を設定すればよい。ネットの材質は押さえ
ネットと同様条件で適宜選定される。

【００１５】この発明において、短時間での乾燥やシミ
やウォーターマークの発生を防止するためには、洗浄槽
を出て洗浄を完了した被洗浄物に高速ブローを吹きつけ
ることができるように、エアーや不活性ガスのブロワー
装置を配置することが望ましい。また、エアーブロワー
に代えて例えばエアーコンプレッサーによる圧空でもよ
い。ブロワー装置の流速は、シミやウォーターマークの
発生防止には高速であることが望ましく、特に１００〜
２００ｍ／秒程度が好ましい。すなわち、ガス流速が遅
すぎると洗浄液に水を用いた場合にシミやウォーターマ
ークが発生し易く、また流速が速すぎると被洗浄物が移
動する可能性がある。ブロワー装置の吹き出しノズルの
形状や構成やその配置や数等は、流速や被洗浄物の形状
寸法などに応じて適宜選定されるが、被洗浄物に付着す
る洗浄液を瞬時に乾燥させ、シミやウォーターマークの
発生を防止するために、例えば、線状に吹き出すノズル
をコンベアを横断して対向配置し、上下ネットコンベア
の上下からエアー等を吹きつけたり、噴射角度を種々代
えてエアー等を吹きつける構成としたり、対向させた上
下一対のブロワー装置を、ネットコンベアの進行方向に
複数個を等間隔配置する構成等を採用することができ
る。さらに、ノズルのネットコンベアに対する距離を可
変にした構成を採用することができる。

【００１６】ブロワー装置で特に重要になるのはエアー
などのガス自体の清浄度であり、ウォーターマークの発
生に大きく影響するため、公知の各種フィルターや空気
清浄装置などを要求される清浄度に応じて適宜選定配置
するとよい。また、ブロワー装置は密閉あるいは洗浄液
受蓄槽側の一部を開放したチャンバー等を使用するが、
チャンバー内を飛散する洗浄液を少なくするために、積
極的に排気することもできる。さらに、洗浄液受蓄槽全
体を略密閉して装置内を不活性ガス雰囲気となして、パ
ーティクルの進入を防止するよう、コンベアの出入口か
ら不活性ガスが噴出する構成も採用できる。

【００１７】この発明の洗浄装置において、洗浄槽と洗
浄液受蓄槽からなる二槽式の洗浄槽の他、後述する一実
施例に示す如き、洗浄槽の前に水あるいは溶剤によるシ
ャワー等の予備洗浄装置や、洗浄槽から流出する洗浄液
を洗浄装置外部へ漏れるのを防ぐ回転ブラシ、フラッ
プ、また洗浄槽の後にシャワー等の他の洗浄装置、ヒー
ター等の乾燥装置、洗浄水やエアー等の加熱温度制御装
置を配置して、洗浄効果の促進や短時間での乾燥を実現
することが可能となる。この発明において洗浄液受蓄槽
を用いた洗浄液循環手段は、後述する実施例の循環ポン
プで受蓄槽内の洗浄液を循環補給する構成のほか、さら
に、蓋を用いてネットコンベアの入出口孔のみを開口部
とした洗浄槽内を僅かに減圧しながら洗浄槽の入出口孔
部の内外に洗浄液噴出部を設けて、洗浄液の流出量を減
少させて洗浄液面レベルを安定化する、あるいは逆に洗
浄槽の底部等にも開口部を設け、流出量並びに循環補給
量を増やして洗浄槽内の洗浄液を積極的に清浄化するな
ど、種々の構成を採用することができる。また、用途や
装置の設置箇所等に応じて、揚水方法、すなわち循環ポ
ンプの種類や設置位置、さらに洗浄槽での洗浄液の供給
口位置を適宜選定するとよい。

【００１８】この発明は、洗浄液を加熱して洗浄性の向
上と洗浄後の水切れを良くすることを特徴とし、加熱装
置には洗浄液に応じて公知の何れの手段を用いてもよ
く、また実施例の如く、受蓄槽内の洗浄液を加熱するほ
か、洗浄槽内の洗浄液を合わせて加熱することもでき
る。

【００１９】また、この発明は、錆びやすい製品の水に
よる洗浄を行なうために、略密閉した受蓄槽内を不活性
ガス雰囲気にすることを特徴とし、この場合洗浄水には
無酸素水が好ましい。略密閉した受蓄槽内を不活性ガス
パージするには、コンベアの出入口から不活性ガスが適
量噴出して、外気を進入させないように適宜不活性ガス
が補給される必要があるが、不活性ガスの供給口を新た
に配置するほか、ブロワー装置に不活性ガス供給源を接
続したり、後述の洗浄液の爆気ノズルを不活性ガスの供
給口とすることができる。ブロワー装置に不活性ガス供
給源を接続しない場合は、ブロワー装置は受蓄槽内の不
活性ガスを循環利用することになり、循環利用に際して
不活性ガスを十分乾燥させておくことが望ましい。ま
た、被洗浄品の発錆を防止するため、蓋を用いてネット
コンベアの入出口孔のみを開口部とした受蓄槽で、受蓄
槽内の洗浄液に不活性ガスを爆気して溶存酸素量低減
し、洗浄槽内の溶存酸素量を１％以下にするとよい。さ
らに、洗浄槽でも槽内の洗浄液に不活性ガスを爆気して
さらに無酸素水を補給する手段が採用できる。

【００２０】図面による開示第１図はこの発明の一実施例を示す洗浄装置の概要説明
図である。洗浄槽３は、被洗浄物２を下ネットコンベア
１ｂに載置して上ネットコンベア１ａにて押さえて搬送
できるように、上下重ねになったネットコンベア１ａ，
１ｂが該槽腹部の図で左右方向に貫通移動可能にするた
め、槽腹部中央に入口孔６ａと出口孔６ｂを設けてあ
り、入口孔６ａから洗浄槽３内に進入してきた上ネット
コンベア１ａと下ネットコンベア１ｂ間の被洗浄物２
は、ネットコンベア１ａ１ｂの上下面に対向させて配設
した一対の超音波振動子４，４間を通過し、さらに出口
孔６ｂから搬出される構成からなっている。上ネットコ
ンベア１ａは洗浄槽３の上方で、下ネットコンベア１ｂ
は洗浄槽３のの周囲でループを形成し、図示はしない
が、前記上ネットコンベア１ａと下ネットコンベア１ｂ
は個別のモーターにて駆動され、各モーターは電気的に
同調駆動するように制御してある。なお、ここでは上下
のネットコンベアにステンレス鋼線からなるネットを使
用している。さらに、一対の超音波振動子４，４は、そ
の振動子間距離、すなわち被洗浄物２に対する距離など
を自由に設定できる構成からなる。

【００２１】洗浄槽３内には洗浄液５ａが満たされてい
るが、前記洗浄槽３の入出口孔６ａ，６ｂから必然的に
洗浄液５ａが流出して、そのままの状態では洗浄液５ａ
の適正量、適正水位を維持することができない。そこ
で、洗浄槽３の洗浄液５ａを適正量に維持するために、
該洗浄槽３の下方に洗浄液受蓄槽（以下受蓄槽という）
９を配置し、受蓄槽９内に洗浄液５ｂを洗浄液循環ポン
プ（以下循環ポンプという）１０を用いて洗浄槽３に循
環補給する洗浄液循環手段を採用する。

【００２２】さらに詳述すると、受蓄槽９内の洗浄液５
ｂは循環ポンプ１０にて洗浄槽３の上部に位置する洗浄
液補給樋（以下補給樋という）７に運ばれ、上下ネット
コンベア１ａ，１ｂの入出口孔６ａ，６ｂ近傍の噴出口
８ａ，８ｂから上下ネットコンベア１ａ，１ｂに向けて
洗浄槽３内に噴出される。この噴出口８ａ，８ｂ位置は
洗浄槽３内であればいずれの位置でもよいが、実施例の
如く、入出口孔６ａ，６ｂ近傍に配置した下向きの噴出
口が望ましい。この際、下向きの噴出口８ａ，８ｂから
の洗浄液５ｂはいわゆるカーテン状に噴出されるため、
上記入出口孔６ａ，６ｂから流出する洗浄液５ｃの量を
少なくさせ、洗浄槽３内の洗浄液５ａ適正量を維持する
ことが可能となる。特に上下ネットコンベア１ａ，１ｂ
の入出口孔６ａ，６ｂの大きさ、すなわち洗浄液５ａの
流出量に応じて、循環ポンプ１０による洗浄液５ｂ補給
量、補給圧力等を選定することが望ましい。また、受蓄
槽９外周部には洗浄液５ｂを必要に応じて例えば５０℃
に加熱保持するヒーター１８が設置してあり、加熱され
た洗浄液５ｂは循環ポンプ１０にて洗浄槽３の補給樋７
に運ばれて洗浄槽３内に噴出されるため、洗浄能力が向
上する。さらに、上記ヒーター１８にて予備洗浄液シャ
ワーの洗浄液も加熱されるため洗浄能力が向上する。

【００２３】ここでは循環ポンプ１０本体が受蓄槽９
内、すなわち洗浄液５ｂ内に配置されるいわゆる水中ポ
ンプ型を用いた実施例について図示したが、この発明に
おいては必ずしも循環ポンプ１０本体が受蓄槽９内に配
置される構成だけでなく、受蓄槽９外に配置される構成
でも良く、周辺スペース、受蓄槽９の形状寸法、循環ポ
ンプ１０の形状寸法等により選定することが望ましい。
また、洗浄槽３及び受蓄槽９の洗浄液は、循環させる際
に図示しない濾過装置やポンプのフィルターなどで濾過
されるが、さらに新鮮洗浄液の補給を適宜行うとよく、
例えば図示の如く、受蓄槽９底部のドレインから所要量
を排水し、後述の新鮮な洗浄液シャワー１２ｂから一部
バイパス補給するとよい。上述のこの発明の洗浄槽３と
受蓄槽９の二槽構成のほか、洗浄槽３搬入側（図中右
側）に洗浄液の飛散を防止するフラップ１１、予備洗浄
液シャワー１２ａを配置したり、同搬出側図中左側に追
加洗浄あるいはリンスのための洗浄シャワー１２ｂ、乾
燥を行うためのエアーブロワー１３、図示しないブロワ
ーを併設する遠赤外線ヒーター１４等を設けることによ
って、洗浄効果の促進や効果的な乾燥を実現できる。

【００２４】エアーブロワー１３は、ここではネットコ
ンベアの幅方向に線状にエアーを吹き出すノズルを、等
間隔に３連配置して被洗浄物２に対する噴射距離や角度
が自由に設定できる例を示しており、大量かつ高速噴射
を実現している。また、チャンバーの底部を開放して、
洗浄液が受蓄槽９に落下するよう構成している。さら
に、ネットコンベア１ａ，１ｂの速度を洗浄対象物の寸
法、形状、量等に応じて制御するため、例えば遠赤外線
ヒーター１４に配置した温度計にてセンシングするなど
の制御手段を上述した同調駆動の制御と合わせて用いる
のもよい。また、洗浄槽３内に位置するネットコンベア
１ａ，１ｂを必要以上にたるみなく直線的に配置するた
め、ネットコンベア１ａ，１ｂの回転用駆動系内にトル
クリミッター等を設けることが望ましい。

【００２５】以上に示すこの発明の洗浄装置において、
下ネットコンベア１ａに載置されて上ネットコンベア１
ａの自重にて押さえられて固定され搬送され、先に仮洗
浄が行われた被洗浄物２は、洗浄槽３の入口孔６ａから
槽内に搬入され、一対の超音波振動子４，４間を通過す
る際に超音波の作用、さらに下向きの噴出口８ａ，８ｂ
からの加熱された洗浄液５ｂの撹拌による相乗効果によ
って洗浄され、さらに出口孔６ｂから搬出された後、追
加洗浄あるいはリンス、乾燥工程を経て、所望される洗
浄効果を得ることができる。

【００２６】図２に示すこの発明による連続超音波洗浄
装置は、実施例１と基本的に同様構成であるが、予備洗
浄液シャワー１６を受蓄槽９の槽外に配置し、受蓄槽９
に蓋を設けてネットコンベア１ａ，１ｂの出入口のみを
開口とし、図示しないＮ₂ガスの供給装置を備えてお
り、ネットコンベア１ａ，１ｂの出入口からＮ₂ガスが
適量噴出して外気の進入を防止し、受蓄槽９内をＮ₂ガ
ス雰囲気にしてある。ブロワー装置１９の高速Ｎ₂ガス
は受蓄槽９内のＮ₂ガスを循環利用するが、循環利用の
際、洗浄液蒸気などと分離するための冷却器を備えかつ
清浄化して用いるよう構成してある。また、洗浄液５
ａ，５ｂは無酸素水であり、図示しない無酸素水製造装
置から適宜補給される。受蓄槽９外周部にはヒーター１
８が設置してあり、必要に応じて例えば洗浄液５ｂを５
０℃に加熱保持することができる。

【００２７】被洗浄物２は、まず予備洗浄液シャワー１
２ａで無酸素水あるいは必要に応じて用いる溶剤系洗浄
液にて予備洗浄あるいは脱脂され、ついで高速ブロワー
装置１７で洗浄液を吹き飛ばしてから受蓄槽９内に入
り、洗浄槽３で無酸素水内での超音波洗浄される。な
お、予備洗浄液シャワー１６で溶剤系洗浄液を用いた場
合、必要に応じて、実施例１と同様に受蓄槽９内で洗浄
槽３に隣接させた他の予備洗浄液シャワー１２ａで無酸
素水による洗浄を行なうとよい。洗浄槽３での超音波洗
浄後、洗浄シャワー１２ｂにてリンスされ、ブロワー装
置１６にて高速Ｎ₂ガスで乾燥され、さらに遠赤外線ヒ
ーター１４で乾燥される工程は、ガスが高速Ｎ₂ガスで
ある以外は実施例１と同様の作用効果を奏する。

【００２８】

【作用】図１に示すこの発明による連続超音波洗浄装置
は、特に、被洗浄物は上下ネットコンベアにより保持さ
れているため、洗浄槽内に搬入された際の超音波の振動
によっても移動することがなく、また、後工程の乾燥工
程において、高速ブローにより洗浄液を瞬時に飛散、乾
燥させる際にも、移動することがない。従って、洗浄液
に水や純水を用いても、超音波洗浄効果が高く、かつ清
浄空気を高流速で吹きつけるエアーブロワーを使用する
ことにより、洗浄液を瞬時に飛散させ、シミや水滴痕を
全く発生させることがない。また、洗浄槽内の洗浄液
は、ネットコンベアの入出口孔から流出するが、この流
出洗浄液の量に応じて受蓄槽から洗浄液が循環補給され
るため、常に適正量を維持することが可能となる。図２
に示すこの発明による連続超音波洗浄装置は、洗浄液に
無酸素水を用いて、受蓄槽内雰囲気をＮ₂ガスとするこ
とから、被洗浄物が非常に錆びやすいＦｅ−Ｂ−Ｒ系磁
石や各種金属加工品であっても、これらを発錆させるこ
となく、かつＮ₂ガスの高速ブローによりウォーターマ
ークのない極めて良好な洗浄を実施することができる。

【００２９】

【実施例】上述した図１に示すこの発明の洗浄装置を、
研摩加工を施した後のフェライト磁石の洗浄に用いたと
ころ、図３に示す従来の洗浄装置では洗浄槽の長さが３
ｍ以上必要であったが、本発明装置では従来装置と同等
の洗浄効果を得るのに、洗浄槽の長さが０．７ｍ、受蓄
槽の長さが１．５ｍであり、従来装置の１／２以下の長
さであった。さらに、洗浄槽の前にシャワー等の予備洗
浄装置、また洗浄槽の後にシャワー等の洗浄装置、エア
ーブロワー装置、ヒーター等の乾燥装置を配置した本発
明装置では、上記の付帯設備をほぼ受蓄槽長さ内に立体
的に収めることができ、その全長が従来洗浄装置に比較
して１／４以下と著しく小型化できた。なお、従来装
置、本発明装置とも洗浄液として水を用い、またネット
コンベアの搬送速度は２．０ｍ／ｍｉｎ、超音波振動子
の寸法はＷ１６０ｍｍ×Ｌ４６０ｍｍ×Ｈ９５ｍｍであ
った。特に本発明装置に用いた循環ポンプは４００ｌ／
ｍｉｎの循環補給量の能力を有していた。

【００３０】図１に示すこの発明の洗浄装置を用いて、
被洗浄物に電子部品を、洗浄液に５０℃の水を用いて、
洗浄後エアー流量２００ｍ／秒のエアーブロワー装置に
て乾燥させたところ、上下ネットコンベアに挟持固定さ
れた被洗浄物は、洗浄前との配置と同様の配置、すなわ
ち洗浄、乾燥工程においても全く移動せず、また、従来
の洗浄液としてフロンを用いた洗浄、乾燥に比べても、
従来装置以上にシミやウォーターマークのない良好な製
品が得られた。また、従来、内部の洗浄が困難な一端が
閉そくされた管状の部材も良好な洗浄が可能であった。

【００３１】

【発明の効果】この発明による連続超音波洗浄装置は、
実施例に明らかな如く、洗浄液循環手段を有するため相
対的な補給水量が増大し、かつ加熱された洗浄液の撹拌
効果を有するため洗浄効率が高く、洗浄時間の短縮を図
ることができ、また、従来の洗浄槽に比べてその全長を
１／２以下とすることができ、著しい小型化の達成とと
もに被洗浄物を搬送するネットコンベアが直線的に配置
でき、被洗浄物の転動による破損を発生することがな
く、小型で設置が容易で汎用性が高く工業的に優れた効
果を有するものである。

【００３２】また、この発明の連続超音波洗浄装置は、
被洗浄物を上下ネットコンベアによって保持搬送するこ
とにより、洗浄、乾燥工程においても被洗浄物が移動や
飛散することがなく、また、ブロワーによる乾燥を行っ
ても移動や飛散することがなく、特に高速ブロワーによ
りシミやウォーターマークの発生を洗浄液種を問わずに
皆無にすることができる。

【００３３】さらに、装置全体を不活性ガスの流下状態
におき、無酸素水を洗浄液に用いて洗浄し、不活性ガス
でブロワー乾燥させることにより、極めて錆びやすい製
品の洗浄が可能になる。従って、あらゆる工業製品を洗
浄液に水を用いてフロンによる洗浄と同等以上の洗浄を
行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の洗浄装置の一実施例の構成を示す概
略説明図である。

【図２】従来の洗浄装置の構成を示す概略説明図であ
る。

【符号の説明】

１ａ上ネットコンベア１ｂ上ネットコンベア１ｃ，１ｄネットコンベア２被洗浄物３洗浄槽４超音波振動子５，５ａ，５ｂ洗浄液５ｃ流出洗浄液６ａ入口孔６ｂ出口孔７補給樋８ａ，８ｂ噴出口９受蓄槽１０循環ポンプ１１フラップ１２ａ，１６予備洗浄シャワー１２ｂ洗浄シャワー１３エアーブロワー１４遠赤外線ヒーター１５乾燥室１７高速ブロワー装置１８ヒーター１９ブロワー装置

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成５年２月２５日

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】図面の簡単な説明

【補正方法】変更

【補正内容】

【図面の簡単な説明】

【図２】従来の洗浄装置の構成を示す概略説明図であ
る。

【図３】従来の洗浄装置の一実施例の構成を示す概略説
明図である。

【符号の説明】１ａ上ネットコンベア１ｂ上ネットコンベア１ｃ，１ｄネットコンベア２被洗浄物３洗浄槽４超音波振動子５，５ａ，５ｂ洗浄液５ｃ流出洗浄液６ａ入口孔６ｂ出口孔７補給樋８ａ，８ｂ噴出口９受蓄槽１０循環ポンプ１１フラップ１２ａ，１６予備洗浄シャワー１２ｂ洗浄シャワー１３エアーブロアー１４遠赤外線ヒーター１５乾燥室１７高速ブロワー装置１８ヒーター１９ブロワー装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者平川善博佐賀県西松浦郡有田町中部丙1054番地株式会社今泉鐡工所内 (72)発明者祖一正勝佐賀県杵島郡大町町大字福母282番地九州住特電子株式会社内 (72)発明者北野文康兵庫県養父郡養父町大藪1062 近畿住特電子株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】槽腹部に入出口孔を設けて被洗浄物を固
定用の押さえネットとともに搬送するネットコンベアを
その槽腹部を貫通移動可能にし、かつ槽内のネットコン
ベアに対向させた超音波振動子を配設する洗浄槽と、洗
浄槽の下方に位置して洗浄槽のネットコンベア入出口孔
からの流出洗浄液を受蓄する洗浄液受蓄槽と、洗浄液受
蓄槽内の洗浄液を洗浄槽に補給する洗浄液循環手段とか
ら構成され、洗浄液の加熱装置を配置したことを特徴と
する連続超音波洗浄装置。
【請求項２】槽腹部に入出口孔を設けて被洗浄物を固
定用の押さえネットとともに搬送するネットコンベアを
その槽腹部を貫通移動可能にし、かつ槽内のネットコン
ベアに対向させた超音波振動子を配設する洗浄槽と、洗
浄槽の下方に位置して洗浄槽のネットコンベア入出口孔
からの流出洗浄液を受蓄する洗浄液受蓄槽と、洗浄液受
蓄槽内の洗浄液を洗浄槽に補給する洗浄液循環手段とか
ら構成され、洗浄液受蓄槽を略密閉構造となし、洗浄液
受蓄槽内を不活性ガスパージ可能にしたことを特徴とす
る連続超音波洗浄装置。
【請求項３】洗浄液の加熱装置を配置したことを特徴
とする請求項２記載の連続超音波洗浄装置。
【請求項４】固定用の押さえネットとともに搬送する
ネットコンベアに換えて、槽腹部に入出口孔を設けて被
洗浄物を搬送する下ネットコンベア及び該下ネットコン
ベアと対向しかつ同調駆動する上ネットコンベアをその
槽腹部を貫通移動可能にしたことを特徴とする請求項
１、請求項２または請求項３記載の連続超音波洗浄装
置。
【請求項５】超音波洗浄発振子および／またはブロワ
ーノズルの被洗浄物に対する距離調整機構を備えたこと
を特徴とする請求項１、請求項２、請求項３または請求
項４記載の連続超音波洗浄装置。
【請求項６】洗浄槽および／または洗浄液受蓄槽内の
洗浄液中に不活性ガスを吹き込む装置を備えたことを特
徴とする請求項１、請求項２、請求項３、請求項４また
は請求項５記載の連続超音波洗浄装置。
【請求項７】洗浄液が無酸素水または純水であること
を特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、請求項
４、請求項５または請求項６記載の連続超音波洗浄装
置。