JPH05277346A - 膜濾過装置の分離膜破損検知方法 - Google Patents
膜濾過装置の分離膜破損検知方法Info
- Publication number
- JPH05277346A JPH05277346A JP8013092A JP8013092A JPH05277346A JP H05277346 A JPH05277346 A JP H05277346A JP 8013092 A JP8013092 A JP 8013092A JP 8013092 A JP8013092 A JP 8013092A JP H05277346 A JPH05277346 A JP H05277346A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- membrane
- air
- separation membrane
- pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】分離膜と、その分離膜に対する逆洗用エアー供
給装置とを備えた膜濾過装置１において、分離膜の一方
の面が液に接触している状態で、逆洗用エアー供給装置
Ｃから分離膜に対する濾液回収側の管内にエアーを加圧
供給し、管内を、予め測定してある分離膜に対する逆洗
のための最低限供給圧よりも高い圧力にした状態で、逆
洗用エアー供給装置Ｃからのエアーの供給を止めて管内
を気密に保持し、この時点から設定時間後の管内におけ
る圧力変化を検出して、その検出圧力が逆洗のための最
低限供給圧よりも下がらなかった場合は異常がないもの
と判断し、その検出圧力が逆洗のための最低限供給圧よ
りも下がった場合は異常があるものと判断する。 【効果】個人差なく簡単で確実な膜濾過装置の分離膜破
損検知方法を提供することができた。
給装置とを備えた膜濾過装置１において、分離膜の一方
の面が液に接触している状態で、逆洗用エアー供給装置
Ｃから分離膜に対する濾液回収側の管内にエアーを加圧
供給し、管内を、予め測定してある分離膜に対する逆洗
のための最低限供給圧よりも高い圧力にした状態で、逆
洗用エアー供給装置Ｃからのエアーの供給を止めて管内
を気密に保持し、この時点から設定時間後の管内におけ
る圧力変化を検出して、その検出圧力が逆洗のための最
低限供給圧よりも下がらなかった場合は異常がないもの
と判断し、その検出圧力が逆洗のための最低限供給圧よ
りも下がった場合は異常があるものと判断する。 【効果】個人差なく簡単で確実な膜濾過装置の分離膜破
損検知方法を提供することができた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、分離膜と、その分離膜
に対する逆洗用エアー供給装置とを備えた膜濾過装置に
おいて、前記分離膜の破損を検知する方法に関する。
に対する逆洗用エアー供給装置とを備えた膜濾過装置に
おいて、前記分離膜の破損を検知する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の膜濾過装置の分離膜の破
損を検知するには、濾液の濁度を目視で観察する方法に
頼っていた。
損を検知するには、濾液の濁度を目視で観察する方法に
頼っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、この方法で
は、濁度の判定に個人差があり、そのため分離膜破損の
有無の判断ミスが伴いやすい欠点があった。そこで、本
発明の目的は、個人差なく簡単で確実な膜濾過装置の分
離膜破損検知方法を提供することにある。
は、濁度の判定に個人差があり、そのため分離膜破損の
有無の判断ミスが伴いやすい欠点があった。そこで、本
発明の目的は、個人差なく簡単で確実な膜濾過装置の分
離膜破損検知方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
の本発明による膜濾過装置の分離膜の破損検知方法の特
徴手段は、分離膜の一方の面が液に接触している状態
で、逆洗用エアー供給装置から前記分離膜に対する濾液
回収側の管内にエアーを加圧供給し、前記管内を、予め
測定してある前記分離膜に対する逆洗のための最低限供
給圧よりも高い圧力にした状態で、上記逆洗用エアー供
給装置からのエアーの供給を止めて前記管内を気密に保
持し、この時点から設定時間後の前記管内における圧力
変化を検出して、その検出圧力が前記逆洗のための最低
限供給圧よりも下がらなかった場合は異常がないものと
判断し、その検出圧力が前記逆洗のための最低限供給圧
よりも下がった場合は異常があるものと判断するところ
にある。
の本発明による膜濾過装置の分離膜の破損検知方法の特
徴手段は、分離膜の一方の面が液に接触している状態
で、逆洗用エアー供給装置から前記分離膜に対する濾液
回収側の管内にエアーを加圧供給し、前記管内を、予め
測定してある前記分離膜に対する逆洗のための最低限供
給圧よりも高い圧力にした状態で、上記逆洗用エアー供
給装置からのエアーの供給を止めて前記管内を気密に保
持し、この時点から設定時間後の前記管内における圧力
変化を検出して、その検出圧力が前記逆洗のための最低
限供給圧よりも下がらなかった場合は異常がないものと
判断し、その検出圧力が前記逆洗のための最低限供給圧
よりも下がった場合は異常があるものと判断するところ
にある。
【０００４】
【作用】破損のない新しい分離膜の一方の面を液に接触
させた状態で、分離膜を通して液中に気泡が送り込まれ
るように、前記分離膜に対する濾液回収側からエアーを
加圧供給し、エアーの供給を止めて上述の分離膜に対す
る濾液回収側の管内を気密に保つと、前記気泡の発生が
次第に少なくなり、前記管内の空気圧がある程度下がっ
たところで気泡の発生が止まる。このときの管内圧力、
即ち前記分離膜に対する逆洗のための最低限供給圧を測
定しておく。破損の有無を調べようとする分離膜がもし
も破損のない正常な状態にあるならば、同様の手順を踏
み、エアーの供給を止めて上述の分離膜に対する濾液回
収側の管内を気密に保つと、前記管内の圧力が前記最低
限供給圧よりも下がることはないが、分離膜に破損があ
れば、破損箇所からエアーが漏れるので前記管内が前記
最低限供給圧よりも低い圧力になる。従って、エアーを
止めた時点から設定時間後の前記管内における圧力変化
を検出して、その検出圧力が前記逆洗のための最低限供
給圧よりも下がらなかった場合は異常がないものと判断
し、その検出圧力が前記逆洗のための最低限供給圧より
も下がった場合は異常があるものと判断することができ
る。
させた状態で、分離膜を通して液中に気泡が送り込まれ
るように、前記分離膜に対する濾液回収側からエアーを
加圧供給し、エアーの供給を止めて上述の分離膜に対す
る濾液回収側の管内を気密に保つと、前記気泡の発生が
次第に少なくなり、前記管内の空気圧がある程度下がっ
たところで気泡の発生が止まる。このときの管内圧力、
即ち前記分離膜に対する逆洗のための最低限供給圧を測
定しておく。破損の有無を調べようとする分離膜がもし
も破損のない正常な状態にあるならば、同様の手順を踏
み、エアーの供給を止めて上述の分離膜に対する濾液回
収側の管内を気密に保つと、前記管内の圧力が前記最低
限供給圧よりも下がることはないが、分離膜に破損があ
れば、破損箇所からエアーが漏れるので前記管内が前記
最低限供給圧よりも低い圧力になる。従って、エアーを
止めた時点から設定時間後の前記管内における圧力変化
を検出して、その検出圧力が前記逆洗のための最低限供
給圧よりも下がらなかった場合は異常がないものと判断
し、その検出圧力が前記逆洗のための最低限供給圧より
も下がった場合は異常があるものと判断することができ
る。
【０００５】
【発明の効果】個人差なく簡単で確実な膜濾過装置の分
離膜破損検知方法を提供することができた。尚、前記設
定時間を長くとれば、実操業に差し支えない程度の小さ
な破損でも検知することができるので、破損が大きくな
って支障が生じる前にその予測が付きやすく、例えば、
高価な固形分や、微量でも有害な固形分を分離する等、
特に確実な濾過が要求される場合であっても、これを流
出するような事態が起こる前に、早期に正常な分離膜と
交換し、確実な濾過処理を期することができる。
離膜破損検知方法を提供することができた。尚、前記設
定時間を長くとれば、実操業に差し支えない程度の小さ
な破損でも検知することができるので、破損が大きくな
って支障が生じる前にその予測が付きやすく、例えば、
高価な固形分や、微量でも有害な固形分を分離する等、
特に確実な濾過が要求される場合であっても、これを流
出するような事態が起こる前に、早期に正常な分離膜と
交換し、確実な濾過処理を期することができる。
【０００６】
【実施例】以下、本発明による膜濾過装置の分離膜破損
検知方法の実施例を図に基づいて説明する。図１は、膜
濾過装置１を活性汚泥による汚水処理槽２内の被処理液
に浸漬して、ポンプＰの負圧により槽内の被処理液を吸
引濾過する汚水処理装置の概要を示す説明図である。膜
濾過装置１は多孔質のセラミックパイプからなる前記分
離膜の膜エレメントを複数並列に接続して構成してあ
る。図中Ｃは逆洗用エアー供給装置たるエアーコンプレ
ッサーであり、３、４は開閉バルブである。通常の濾過
を行うときは、バルブ４を閉じ、バルブ３を開いて、ポ
ンプＰの負圧により槽内の被処理液を膜濾過装置１の前
記分離膜を通して吸引濾過し、濾液だけを槽外に排出で
きるようにしてある。又、バルブ３を閉じ、バルブ４を
開いてエアーコンプレッサーＣによりエアーを加圧供給
し、加圧エアーを通常の濾過時とは逆方向に分離膜を通
過させて、主に分離膜の被処理液側に付着した固形分を
剥離させる所謂逆洗（逆圧洗浄）を行うことができる。
Ｓは、エアーコンプレッサーＣから膜濾過装置１に通ず
る配管の膜濾過装置１に近い管内のエアー圧を検出する
ための圧力ゲージである。上記の構成によって、分離膜
の破損の有無を次のようにして検知することができた。
破損のない新しい分離膜を備えた膜濾過装置１を被処理
液中に浸漬し、分離膜を通して液中に気泡が送り込まれ
るように、エアーコンプレッサーＣから膜濾過装置１に
エアーをゲージ圧２ｋｇ／ｃｍ2（以後、圧力は全てゲ
ージ圧で示す）で加圧供給し、エアーの供給を止めて分
離膜に対する濾液回収側の管内を気密に保つと、約３０
秒で前記管内の空気圧が１ｋｇ／ｃｍ2に下がり、更に
そのまま放置すると前記気泡の発生が次第に少なくな
り、約５分後に、前記圧力ゲージＳの示すゲージ圧が
０．９ｋｇ／ｃｍ2まで下がったところで気泡の発生が
止まった。この圧力以下では逆洗を行うことができな
い。つまり、この仕様の分離膜に対する逆洗を行うため
のエアーの最低限供給圧は約０．９ｋｇ／ｃｍ2であ
る。上述の逆洗用エアー供給装置からのエアーの供給を
止めて前記管内を気密に保持した時点からの経過時間ｔ
とこれに対応する前記管内における圧力ｐを、前者を横
軸に、後者を縦軸にとって、定性的にグラフ化すると図
２に示すごとく表すことができる。図中Ｎは新しい分離
膜における場合を示し、Ｌは逆洗を行うための最低限供
給圧を示す。例えば上述の新しい分離膜では、Ｌは約
０．９ｋｇ／ｃｍ 2である。破損の有無を調べようとす
る使用中の分離膜が上述の分離膜と同じ仕様であって、
破損のない正常な状態にあるときには、上述の手順と同
様の手順を踏み、エアーの供給を止めて上述の分離膜に
対する濾液回収側の管内を気密に保つと、前記管内の圧
力が前記最低限供給圧よりも下がることはなく、図２の
曲線Ｇで示されるように、一般的にはＬよりもやや高い
管内圧力で平衡状態が得られる。分離膜に破損があった
り、或いは分離膜の取り付け箇所等に異常があれば、破
損箇所等からエアーが漏れるので前記管内が前記最低限
供給圧よりも低い圧力となり、漏れが大きい場合は、図
２の曲線Ｗで示されるように、例えば、約３０秒で０．
１ｋｇ／ｃｍ2付近まで下がる急激な圧力降下が確認さ
れた。前記エアー漏れの少ない場合は、エアー漏れの大
きい場合に比べると上述の管内における圧力低下が少な
い。しかし、実際の濾過を行うには差し支えのない程度
の小さな破損を生じた分離膜の場合であっても、多少と
も前記エアー漏れがあれば、図２の曲線Ｂで示されるよ
うに、例えば５０〜１８０秒後には前記最低供給圧より
も明らかに低い圧力に至る圧力降下が認められる。従っ
て、エアーを止めた時点から設定時間、例えば３０秒後
の前記管内における圧力変化を前記圧力ゲージＳで検出
し、その検出圧力が前記逆洗のための最低限供給圧より
も下がらなかった場合は異常がないものと判断し、その
検出圧力が前記逆洗のための最低限供給圧よりも下がっ
た場合は異常があるものと判断することができる。分離
膜の異常の有無は前記圧力ゲージＳの目盛りを直接読み
取ることにより判断してもよいが、例えば、逆洗完了後
エアーを止めて前記管内を気密に保ち、一定時間経過後
の前記管内における圧力変化を自動的に検出して、その
検出圧力が前記逆洗のための最低限供給圧よりも下がっ
た場合は警報が発せられるようにする等、異常の有無を
自動的に検知する構成にしてもよい。
検知方法の実施例を図に基づいて説明する。図１は、膜
濾過装置１を活性汚泥による汚水処理槽２内の被処理液
に浸漬して、ポンプＰの負圧により槽内の被処理液を吸
引濾過する汚水処理装置の概要を示す説明図である。膜
濾過装置１は多孔質のセラミックパイプからなる前記分
離膜の膜エレメントを複数並列に接続して構成してあ
る。図中Ｃは逆洗用エアー供給装置たるエアーコンプレ
ッサーであり、３、４は開閉バルブである。通常の濾過
を行うときは、バルブ４を閉じ、バルブ３を開いて、ポ
ンプＰの負圧により槽内の被処理液を膜濾過装置１の前
記分離膜を通して吸引濾過し、濾液だけを槽外に排出で
きるようにしてある。又、バルブ３を閉じ、バルブ４を
開いてエアーコンプレッサーＣによりエアーを加圧供給
し、加圧エアーを通常の濾過時とは逆方向に分離膜を通
過させて、主に分離膜の被処理液側に付着した固形分を
剥離させる所謂逆洗（逆圧洗浄）を行うことができる。
Ｓは、エアーコンプレッサーＣから膜濾過装置１に通ず
る配管の膜濾過装置１に近い管内のエアー圧を検出する
ための圧力ゲージである。上記の構成によって、分離膜
の破損の有無を次のようにして検知することができた。
破損のない新しい分離膜を備えた膜濾過装置１を被処理
液中に浸漬し、分離膜を通して液中に気泡が送り込まれ
るように、エアーコンプレッサーＣから膜濾過装置１に
エアーをゲージ圧２ｋｇ／ｃｍ2（以後、圧力は全てゲ
ージ圧で示す）で加圧供給し、エアーの供給を止めて分
離膜に対する濾液回収側の管内を気密に保つと、約３０
秒で前記管内の空気圧が１ｋｇ／ｃｍ2に下がり、更に
そのまま放置すると前記気泡の発生が次第に少なくな
り、約５分後に、前記圧力ゲージＳの示すゲージ圧が
０．９ｋｇ／ｃｍ2まで下がったところで気泡の発生が
止まった。この圧力以下では逆洗を行うことができな
い。つまり、この仕様の分離膜に対する逆洗を行うため
のエアーの最低限供給圧は約０．９ｋｇ／ｃｍ2であ
る。上述の逆洗用エアー供給装置からのエアーの供給を
止めて前記管内を気密に保持した時点からの経過時間ｔ
とこれに対応する前記管内における圧力ｐを、前者を横
軸に、後者を縦軸にとって、定性的にグラフ化すると図
２に示すごとく表すことができる。図中Ｎは新しい分離
膜における場合を示し、Ｌは逆洗を行うための最低限供
給圧を示す。例えば上述の新しい分離膜では、Ｌは約
０．９ｋｇ／ｃｍ 2である。破損の有無を調べようとす
る使用中の分離膜が上述の分離膜と同じ仕様であって、
破損のない正常な状態にあるときには、上述の手順と同
様の手順を踏み、エアーの供給を止めて上述の分離膜に
対する濾液回収側の管内を気密に保つと、前記管内の圧
力が前記最低限供給圧よりも下がることはなく、図２の
曲線Ｇで示されるように、一般的にはＬよりもやや高い
管内圧力で平衡状態が得られる。分離膜に破損があった
り、或いは分離膜の取り付け箇所等に異常があれば、破
損箇所等からエアーが漏れるので前記管内が前記最低限
供給圧よりも低い圧力となり、漏れが大きい場合は、図
２の曲線Ｗで示されるように、例えば、約３０秒で０．
１ｋｇ／ｃｍ2付近まで下がる急激な圧力降下が確認さ
れた。前記エアー漏れの少ない場合は、エアー漏れの大
きい場合に比べると上述の管内における圧力低下が少な
い。しかし、実際の濾過を行うには差し支えのない程度
の小さな破損を生じた分離膜の場合であっても、多少と
も前記エアー漏れがあれば、図２の曲線Ｂで示されるよ
うに、例えば５０〜１８０秒後には前記最低供給圧より
も明らかに低い圧力に至る圧力降下が認められる。従っ
て、エアーを止めた時点から設定時間、例えば３０秒後
の前記管内における圧力変化を前記圧力ゲージＳで検出
し、その検出圧力が前記逆洗のための最低限供給圧より
も下がらなかった場合は異常がないものと判断し、その
検出圧力が前記逆洗のための最低限供給圧よりも下がっ
た場合は異常があるものと判断することができる。分離
膜の異常の有無は前記圧力ゲージＳの目盛りを直接読み
取ることにより判断してもよいが、例えば、逆洗完了後
エアーを止めて前記管内を気密に保ち、一定時間経過後
の前記管内における圧力変化を自動的に検出して、その
検出圧力が前記逆洗のための最低限供給圧よりも下がっ
た場合は警報が発せられるようにする等、異常の有無を
自動的に検知する構成にしてもよい。
【０００７】尚、特許請求の範囲の項に図面との対照を
便利にするために符号を記すが、該記入により本発明は
添付図面の構成に限定されるものではない。
便利にするために符号を記すが、該記入により本発明は
添付図面の構成に限定されるものではない。
【図１】本発明による膜濾過装置の分離膜破損検知方法
の手順を示すための説明図
の手順を示すための説明図
【図２】分離膜の破損が管内の圧力降下に及ぼす影響を
定性的に示す曲線グラフ
定性的に示す曲線グラフ
１ 膜濾過装置 Ｃ 逆洗用エアー供給装置
Claims (1)
- 【請求項１】 分離膜と、その分離膜に対する逆洗用エ
アー供給装置とを備えた膜濾過装置（１）において、前
記分離膜の破損を検知する方法であって、 前記分離膜の一方の面が液に接触している状態で、前記
逆洗用エアー供給装置（Ｃ）から前記分離膜に対する濾
液回収側の管内にエアーを加圧供給し、前記管内を、予
め測定してある前記分離膜に対する逆洗のための最低限
供給圧よりも高い圧力にした状態で、上記逆洗用エアー
供給装置（Ｃ）からのエアーの供給を止めて前記管内を
気密に保持し、この時点から設定時間後の前記管内にお
ける圧力変化を検出して、その検出圧力が前記逆洗のた
めの最低限供給圧よりも下がらなかった場合は異常がな
いものと判断し、その検出圧力が前記逆洗のための最低
限供給圧よりも下がった場合は異常があるものと判断す
る膜濾過装置の分離膜破損検知方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8013092A JPH05277346A (ja) | 1992-04-02 | 1992-04-02 | 膜濾過装置の分離膜破損検知方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8013092A JPH05277346A (ja) | 1992-04-02 | 1992-04-02 | 膜濾過装置の分離膜破損検知方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05277346A true JPH05277346A (ja) | 1993-10-26 |
Family
ID=13709651
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8013092A Pending JPH05277346A (ja) | 1992-04-02 | 1992-04-02 | 膜濾過装置の分離膜破損検知方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05277346A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2781782A1 (fr) * | 1998-07-28 | 2000-02-04 | Polymem | Procede et dispositif de filtration d'eau par membrane immergee |
| FR2781781A1 (fr) * | 1998-07-28 | 2000-02-04 | Polymem | Procede et dispositif de filtration d'eau par membrane immergee |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6094105A (ja) * | 1983-10-27 | 1985-05-27 | Kurita Water Ind Ltd | 膜分離装置 |
-
1992
- 1992-04-02 JP JP8013092A patent/JPH05277346A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6094105A (ja) * | 1983-10-27 | 1985-05-27 | Kurita Water Ind Ltd | 膜分離装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2781782A1 (fr) * | 1998-07-28 | 2000-02-04 | Polymem | Procede et dispositif de filtration d'eau par membrane immergee |
| FR2781781A1 (fr) * | 1998-07-28 | 2000-02-04 | Polymem | Procede et dispositif de filtration d'eau par membrane immergee |
| WO2000006500A1 (fr) * | 1998-07-28 | 2000-02-10 | S.A. Polymem | Procede et dispositif de filtration d'eau par membrane |
| US6838003B1 (en) | 1998-07-28 | 2005-01-04 | S.A. Polymem | Method and device for membrane filtering of water |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2113706C1 (ru) | Способ контроля целостности фильтрующего элемента и фильтрационный блок | |
| JP2001190938A (ja) | 水処理膜の破損検出方法 | |
| JPH05137977A (ja) | 膜濾過装置の分離膜破損検知方法 | |
| EP1194217B1 (en) | Method and apparatus for testing the integrity of filtering membranes | |
| CA2257151C (en) | Method and installation for in situ testing of filtering membrane integrity | |
| JP3111101B2 (ja) | 膜分離装置の漏洩検査方法 | |
| KR19980703054A (ko) | 여과 감시 및 제어 시스템 | |
| JP2706853B2 (ja) | メンブランフィルタの完全性検査方法及び検査装置 | |
| JPH09164198A (ja) | 体外での血液処理のための装置の透析液系中に設けられる少なくとも１つの濾過器を検査するための方法 | |
| US6370943B1 (en) | Process for monitoring the integrity of hollow fiber filtration modules | |
| JP7452893B2 (ja) | フィルターデバイス完全性試験のための方法及びシステム | |
| JPH08187284A (ja) | 血液浄化装置 | |
| JPH05277346A (ja) | 膜濾過装置の分離膜破損検知方法 | |
| JPS6058530A (ja) | メンブランフイルタの試験方法および装置 | |
| EA005732B1 (ru) | Способ проверки эффективности очистки и устройство для его осуществления | |
| JP3826041B2 (ja) | 膜ろ過装置の膜破損検出装置及び検出方法 | |
| KR101753453B1 (ko) | 중공사막 여과장치 및 그의 여과막 손상 감지방법 | |
| JP4277052B1 (ja) | 膜ろ過装置の運転制御方法 | |
| JP2000342936A (ja) | 中空糸膜ろ過装置の膜損傷検知方法及び膜損傷検知装置 | |
| JP2008253888A (ja) | 膜損傷検知方法 | |
| JP2007266211A (ja) | 半導体製造装置及び半導体製造方法 | |
| JP3778042B2 (ja) | 膜分離装置の膜破損検知方法及び膜分離システム | |
| Johnson | Automatic monitoring of membrane integrity in microfiltration systems | |
| JP2004188252A (ja) | 膜ろ過装置およびその運転方法 | |
| JP3648790B2 (ja) | 膜分離装置 |