JPH05272903A - 工作機械での測定方法およびそれに用いるアーティファクト - Google Patents
工作機械での測定方法およびそれに用いるアーティファクトInfo
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- JPH05272903A JPH05272903A JP4159751A JP15975192A JPH05272903A JP H05272903 A JPH05272903 A JP H05272903A JP 4159751 A JP4159751 A JP 4159751A JP 15975192 A JP15975192 A JP 15975192A JP H05272903 A JPH05272903 A JP H05272903A
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
- B23Q17/20—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring workpiece characteristics, e.g. contour, dimension, hardness
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 工作機械での測定に当り、ワークピースとア
ーティファクトとの間の温度差により生ずる測定誤差を
低減またはなくすことにより優れた測定方法を提供す
る。 【構成】 コア４を軸線２Ａのまわりにて割出し可能に
工作機械に取付けて、工作機械のスピンドル６内に保持
した工具で操作できる位置にカセット１０をもたらすよ
うにする。カセット１０は加工用のワークピース１４，
１４Ａを保持している。加工後にワークピースを工作機
械のスピンドル６内に保持したプローブ２０で測定す
る。次いで別のカセットに保持した較正済みのアーティ
ファクト２６をワークピース１４Ａが以前占めていた同
じ位置に割出して、アーティファクトを比較測定する。
ーティファクトとの間の温度差により生ずる測定誤差を
低減またはなくすことにより優れた測定方法を提供す
る。 【構成】 コア４を軸線２Ａのまわりにて割出し可能に
工作機械に取付けて、工作機械のスピンドル６内に保持
した工具で操作できる位置にカセット１０をもたらすよ
うにする。カセット１０は加工用のワークピース１４，
１４Ａを保持している。加工後にワークピースを工作機
械のスピンドル６内に保持したプローブ２０で測定す
る。次いで別のカセットに保持した較正済みのアーティ
ファクト２６をワークピース１４Ａが以前占めていた同
じ位置に割出して、アーティファクトを比較測定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は工作機械での測定方法に
関するものである。本発明はその種の測定に使用するア
ーティファクト（ａｒｔｅｆａｃｔ）にも関するもので
ある。
関するものである。本発明はその種の測定に使用するア
ーティファクト（ａｒｔｅｆａｃｔ）にも関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】数値制御の工作機械は通常スケールおよ
び読取ヘッドの如き位置変換器を具えている。これらは
任意の時間における工作機械のバイトのＸ，Ｙ，Ｚ座標
位置を示す。工作機械でワークピースを製作する際に、
通常バイトの個所にプローブを用いて工作機械そのもの
でワークピースを測定することは周知の検査技法であ
る。プローブは例えば米国特許第４，１５３，９９８号
に記載されているようなタッチ・トリガ・プローブとす
ることができる。そのような検査技法は工作機械のスケ
ールまたは他の座標位置変換器を利用する。従って、こ
の検査技法は例えばバイトの摩耗のためにワークピース
が公差から外れているか、どうかを検査するのには有効
であるが、工作機械の位置変換器の不正確さによって生
ずるワークピースの不正確さ（誤差）を検出することは
できない。
び読取ヘッドの如き位置変換器を具えている。これらは
任意の時間における工作機械のバイトのＸ，Ｙ，Ｚ座標
位置を示す。工作機械でワークピースを製作する際に、
通常バイトの個所にプローブを用いて工作機械そのもの
でワークピースを測定することは周知の検査技法であ
る。プローブは例えば米国特許第４，１５３，９９８号
に記載されているようなタッチ・トリガ・プローブとす
ることができる。そのような検査技法は工作機械のスケ
ールまたは他の座標位置変換器を利用する。従って、こ
の検査技法は例えばバイトの摩耗のためにワークピース
が公差から外れているか、どうかを検査するのには有効
であるが、工作機械の位置変換器の不正確さによって生
ずるワークピースの不正確さ（誤差）を検出することは
できない。
【０００３】工作機械の位置変換器におけるそのような
不正確さの原因の１つに熱の影響がある。工作機械の通
常の作業中には、例えば機械のモータ駆動部の正常運転
による熱や、加工作業によりねじを伝わってくる熱等の
如き多数のランダムな熱が生ずる。従って、工作機械の
種々の構造部品から発生するある期間にわたる一般的な
ドリフト形態の熱および所定のワークピースに対する所
定の加工サイクルの過程で変化する形態の熱はいずれも
回避できない。後者のタイプの熱変化は機械加工サイク
ル中の様々な時間に冷却剤を浴びせる必要性によっても
影響を受ける。ワークピースそのものの熱膨張および収
縮も重要な影響を及ぼすことになる。
不正確さの原因の１つに熱の影響がある。工作機械の通
常の作業中には、例えば機械のモータ駆動部の正常運転
による熱や、加工作業によりねじを伝わってくる熱等の
如き多数のランダムな熱が生ずる。従って、工作機械の
種々の構造部品から発生するある期間にわたる一般的な
ドリフト形態の熱および所定のワークピースに対する所
定の加工サイクルの過程で変化する形態の熱はいずれも
回避できない。後者のタイプの熱変化は機械加工サイク
ル中の様々な時間に冷却剤を浴びせる必要性によっても
影響を受ける。ワークピースそのものの熱膨張および収
縮も重要な影響を及ぼすことになる。
【０００４】工作機械または座標測定機（これはワーク
ピースを製作すると云うよりも、むしろワークピースを
検査するための機械である）に予め較正したアーティフ
ァクトを設けることは既知である。その種のアーティフ
ァクトは追跡可能な標準規格に従って正確に製造し、か
つ較正した特定のワークピースに関連する公称形状およ
び寸法のレプリカとすることができる。アーティファク
トは追跡可能な標準規格に従って正確にわかっている寸
法（例えばアーティファクトの穴またはアーティファク
トの対向する辺間の長さ寸法）の標準試験特徴部を有し
ている万能アーティファクトとすることができる。その
種のアーティファクトを時々工作機械に載せて、工作機
械によりそのアーティファクトをテスト測定する。この
テスト測定値と既知の追跡可能な寸法との比較結果は、
ある期間にわたる熱ドリフトにより生じた工作機械の測
定能力の不正確性を示すことになり、工作機械により行
われる将来の測定をそれに応じて調整して、この不正確
性による誤差を補正することができる。
ピースを製作すると云うよりも、むしろワークピースを
検査するための機械である）に予め較正したアーティフ
ァクトを設けることは既知である。その種のアーティフ
ァクトは追跡可能な標準規格に従って正確に製造し、か
つ較正した特定のワークピースに関連する公称形状およ
び寸法のレプリカとすることができる。アーティファク
トは追跡可能な標準規格に従って正確にわかっている寸
法（例えばアーティファクトの穴またはアーティファク
トの対向する辺間の長さ寸法）の標準試験特徴部を有し
ている万能アーティファクトとすることができる。その
種のアーティファクトを時々工作機械に載せて、工作機
械によりそのアーティファクトをテスト測定する。この
テスト測定値と既知の追跡可能な寸法との比較結果は、
ある期間にわたる熱ドリフトにより生じた工作機械の測
定能力の不正確性を示すことになり、工作機械により行
われる将来の測定をそれに応じて調整して、この不正確
性による誤差を補正することができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、そのよ
うな従来の方法は、工作機械に生じ得る熱的に誘起され
るあらゆる誤差を適切に補正するものではない。
うな従来の方法は、工作機械に生じ得る熱的に誘起され
るあらゆる誤差を適切に補正するものではない。
【０００６】本発明の目的は上述した従来の方法よりも
遥かに優れている工作機械での測定方法を提供すること
にある。
遥かに優れている工作機械での測定方法を提供すること
にある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の特徴は、
相対的に移動自在の２部分を具えている工作機械で測定
する方法であって：前記２部分の一方の第１部分に既知
の寸法を有するアーティファクトを設ける工程と；前記
２部分の他方に前記アーティファクトの表面を検知する
プローブを設ける工程と；前記プローブを用いて前記ア
ーティファクトの前記既知の寸法を測定して測定値を得
る工程と；前記測定値を前記既知の寸法か、ワークピー
スの測定寸法のいずれかと比較する工程；とを含む工作
機械での測定方法において、測定しない時のアーティフ
ァクトを工作機械の上に位置させて、工作機械でワーク
ピースが体験するのと同じような温度変化をアーティフ
ァクトが体験するようにすることを特徴とする工作機械
での測定方法にある。
相対的に移動自在の２部分を具えている工作機械で測定
する方法であって：前記２部分の一方の第１部分に既知
の寸法を有するアーティファクトを設ける工程と；前記
２部分の他方に前記アーティファクトの表面を検知する
プローブを設ける工程と；前記プローブを用いて前記ア
ーティファクトの前記既知の寸法を測定して測定値を得
る工程と；前記測定値を前記既知の寸法か、ワークピー
スの測定寸法のいずれかと比較する工程；とを含む工作
機械での測定方法において、測定しない時のアーティフ
ァクトを工作機械の上に位置させて、工作機械でワーク
ピースが体験するのと同じような温度変化をアーティフ
ァクトが体験するようにすることを特徴とする工作機械
での測定方法にある。
【０００８】このようにすれば、ワークピースとアーテ
ィファクトとの間の温度差により生ずる測定誤差を低減
またはなくすことができる。
ィファクトとの間の温度差により生ずる測定誤差を低減
またはなくすことができる。
【０００９】本発明の第２の特徴は、相対的に移動自在
の２部分と、これら２部分間の変位を測定する手段を具
えている工作機械でのワークピース測定方法が：工作機
械の前記２部分の内の一方の第１部分の上の所定位置に
ワークピースを位置させる工程と；この位置におけるワ
ークピースを工作機械の測定手段と前記２部分の内の他
方の部分に取付けたプローブを用いて測定してワークピ
ースの測定値を得る工程と；前記ワークピースの位置と
ほぼ同じ位置の前記第１部分の上に既知の寸法を有して
いるアーティファクトを位置させる工程と；この位置に
おけるアーティファクトの既知の寸法を工作機械の測定
手段と前記２部分の内の他方の部分に取付けたプローブ
を用いて測定してアーティファクトの測定値を得る工程
と；ワークピースの測定値をアーティファクトの測定値
と比較するか、ワークピースの測定値をアーティファク
トの測定値から導出した値で補償する工程；とを具えて
いることを特徴とする工作機械でのワークピース測定方
法にある。
の２部分と、これら２部分間の変位を測定する手段を具
えている工作機械でのワークピース測定方法が：工作機
械の前記２部分の内の一方の第１部分の上の所定位置に
ワークピースを位置させる工程と；この位置におけるワ
ークピースを工作機械の測定手段と前記２部分の内の他
方の部分に取付けたプローブを用いて測定してワークピ
ースの測定値を得る工程と；前記ワークピースの位置と
ほぼ同じ位置の前記第１部分の上に既知の寸法を有して
いるアーティファクトを位置させる工程と；この位置に
おけるアーティファクトの既知の寸法を工作機械の測定
手段と前記２部分の内の他方の部分に取付けたプローブ
を用いて測定してアーティファクトの測定値を得る工程
と；ワークピースの測定値をアーティファクトの測定値
と比較するか、ワークピースの測定値をアーティファク
トの測定値から導出した値で補償する工程；とを具えて
いることを特徴とする工作機械でのワークピース測定方
法にある。
【００１０】このようにすれば、ワークピースとアーテ
ィファクトとの双方を測定するのに測定手段の測定範囲
の同じ小部分を用いるだけであるので、工作機械の構造
部品の熱変化により生じる誤差が低減すると云う利点が
ある。測定手段は、熱の影響があるために、ある任意の
原点と、ワークピースおよびアーティファクトの位置と
の間の距離が不正確となることもあるが、それでもその
位置に近い狭い領域内にて繰返し測定することができ
る。
ィファクトとの双方を測定するのに測定手段の測定範囲
の同じ小部分を用いるだけであるので、工作機械の構造
部品の熱変化により生じる誤差が低減すると云う利点が
ある。測定手段は、熱の影響があるために、ある任意の
原点と、ワークピースおよびアーティファクトの位置と
の間の距離が不正確となることもあるが、それでもその
位置に近い狭い領域内にて繰返し測定することができ
る。
【００１１】なお、前述したアーティファクトを用いる
以前の既知の方法では、一旦テスト測定をしたら、アー
ティファクトを工作機械から取外している。従って、こ
の場合のアーティファクトは、本発明の第１特徴のよう
に、製作しようとするワークピースと同じ環境に置かれ
ていない。従って、従来の方法では、アーティファクト
での測定を工作機械の測定手段の測定範囲内のほぼ同じ
位置でワークピースと同じように測定することはできな
い。従って、スケールの様々な個所に種々の誤差がある
場合、このような誤差を本発明の第２の特徴によるよう
に徹底的に補償することはできない。
以前の既知の方法では、一旦テスト測定をしたら、アー
ティファクトを工作機械から取外している。従って、こ
の場合のアーティファクトは、本発明の第１特徴のよう
に、製作しようとするワークピースと同じ環境に置かれ
ていない。従って、従来の方法では、アーティファクト
での測定を工作機械の測定手段の測定範囲内のほぼ同じ
位置でワークピースと同じように測定することはできな
い。従って、スケールの様々な個所に種々の誤差がある
場合、このような誤差を本発明の第２の特徴によるよう
に徹底的に補償することはできない。
【００１２】本発明の第３の特徴は、工作機械での測定
用アーティファクトが：測定すべき１個以上の特徴部を
有している測定部分と；工作機械に取付けるべく適合さ
せた取付部と；前記測定部を前記取付部のひずみから少
なくとも部分的に分離させるための、測定部と取付部と
の間の隔離手段；とを具えていることを特徴とするアー
ティファクトにある。
用アーティファクトが：測定すべき１個以上の特徴部を
有している測定部分と；工作機械に取付けるべく適合さ
せた取付部と；前記測定部を前記取付部のひずみから少
なくとも部分的に分離させるための、測定部と取付部と
の間の隔離手段；とを具えていることを特徴とするアー
ティファクトにある。
【００１３】本発明の第４の特徴は、工作機械での測定
用アーティファクトが：工作機械に取付けるべく適合さ
せた取付部と；この取付部に互いに離間させて設けた複
数のアーティファクトユニット；とを具え、これらの各
アーティファクトユニットが測定すべき１個以上の特徴
部を有する測定部分を具えていることを特徴とするアー
ティファクトにある。
用アーティファクトが：工作機械に取付けるべく適合さ
せた取付部と；この取付部に互いに離間させて設けた複
数のアーティファクトユニット；とを具え、これらの各
アーティファクトユニットが測定すべき１個以上の特徴
部を有する測定部分を具えていることを特徴とするアー
ティファクトにある。
【００１４】上述した本発明のどの特徴のものも、アー
ティファクトは加工すべきワークピースの公称寸法およ
び形状と同一か、または同様なものとするか、あるいは
寸法が既知の標準の特徴部を有する万能アーティファク
トとすることができる。
ティファクトは加工すべきワークピースの公称寸法およ
び形状と同一か、または同様なものとするか、あるいは
寸法が既知の標準の特徴部を有する万能アーティファク
トとすることができる。
【００１５】本発明のその他の特徴は次に説明する実施
例から明らかになり、実施例の種々の特徴はそれぞれ新
規なものであり、これらは前述した本発明の特徴とは無
関係に用いることができる。
例から明らかになり、実施例の種々の特徴はそれぞれ新
規なものであり、これらは前述した本発明の特徴とは無
関係に用いることができる。
【００１６】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。
に説明する。
【００１７】図１は、ベッド２と、３にて概略的に示し
てある工作機械の構成部品により三次元方向Ｘ，Ｙ，Ｚ
に移動可能なスピンドル６とを有している工作機械にお
ける本発明に関連する部分を示している。瞬時のＸ，
Ｙ，Ｚ座標位置はスケール５と読取ヘッド７（このうち
の１つは図示せず）との形態の位置変換器によって読取
られる。スピンドル６は通常バイト、例えばフライス工
具を垂直に保持するように設計され、このスピンドルは
垂直軸線のまわりを回転可能である。コア４を工作機械
のベッド２上のチャック８と心押し台９との間に取付け
る。チャック８は、コア４を軸線２Ａのまわりにて様々
な角度方位に割出すために駆動モータ（図示せず）によ
り回転可能である。工作機械に隣接して設ける回転コン
ベア１５は、ワークピースや、バイトや、後に説明する
アーティファクトを保持するカセット１０を載せるコン
ベアベルト１７を具えている。移送機構１２はカセット
１０を個々に回転コンベア１５からコア４上の破線１０
Ａで示す位置に移して、カセットが保持しているものを
スピンドル６内に保持した工具で操作できるようにす
る。これまで述べたシステムについては、本願人の同時
係属出願に係る英国特許出願第９１１３１１５．１号
（本出願が優先権を主張している）にもっと詳細に説明
されている。
てある工作機械の構成部品により三次元方向Ｘ，Ｙ，Ｚ
に移動可能なスピンドル６とを有している工作機械にお
ける本発明に関連する部分を示している。瞬時のＸ，
Ｙ，Ｚ座標位置はスケール５と読取ヘッド７（このうち
の１つは図示せず）との形態の位置変換器によって読取
られる。スピンドル６は通常バイト、例えばフライス工
具を垂直に保持するように設計され、このスピンドルは
垂直軸線のまわりを回転可能である。コア４を工作機械
のベッド２上のチャック８と心押し台９との間に取付け
る。チャック８は、コア４を軸線２Ａのまわりにて様々
な角度方位に割出すために駆動モータ（図示せず）によ
り回転可能である。工作機械に隣接して設ける回転コン
ベア１５は、ワークピースや、バイトや、後に説明する
アーティファクトを保持するカセット１０を載せるコン
ベアベルト１７を具えている。移送機構１２はカセット
１０を個々に回転コンベア１５からコア４上の破線１０
Ａで示す位置に移して、カセットが保持しているものを
スピンドル６内に保持した工具で操作できるようにす
る。これまで述べたシステムについては、本願人の同時
係属出願に係る英国特許出願第９１１３１１５．１号
（本出願が優先権を主張している）にもっと詳細に説明
されている。
【００１８】図２は、３つのカセット１０を互いに１２
０°の角度方位で支承しているコア４の断面を示してい
る。コア４は、これらのカセット１０のいずれかに保持
されているワークピース１４を最上位の垂直位置にもた
らして、その位置にてスピンドル６内に保持した工具に
よってそのワークピースを操作できるように軸線２Ａの
まわりに割出すことができる。図２に示した例における
最上位のワークピース１４Ａは、スピンドル６内に保持
したフライス工具により加工済みであり、このワークピ
ースはスピンドル６内に保持したプローブ２０、例えば
タッチ・トリガ・プローブにより目下検査される状態に
ある。プローブ２０のスタイラス２２は調べようとする
ワークピース１４Ａのあらゆる特徴部分に接触し、この
各接触位置でベッド２に対するスピンドル６の瞬時Ｘ，
Ｙ，Ｚ座標を示す読取値がスケール５および読取ヘッド
７から得られる。例えば、破線２４で示すように、スタ
イラス２２をワークピース１４Ａの穴の対向側に接触さ
せ、これにて得られた各座標値を差引くことにより穴の
直径を測定することができる。
０°の角度方位で支承しているコア４の断面を示してい
る。コア４は、これらのカセット１０のいずれかに保持
されているワークピース１４を最上位の垂直位置にもた
らして、その位置にてスピンドル６内に保持した工具に
よってそのワークピースを操作できるように軸線２Ａの
まわりに割出すことができる。図２に示した例における
最上位のワークピース１４Ａは、スピンドル６内に保持
したフライス工具により加工済みであり、このワークピ
ースはスピンドル６内に保持したプローブ２０、例えば
タッチ・トリガ・プローブにより目下検査される状態に
ある。プローブ２０のスタイラス２２は調べようとする
ワークピース１４Ａのあらゆる特徴部分に接触し、この
各接触位置でベッド２に対するスピンドル６の瞬時Ｘ，
Ｙ，Ｚ座標を示す読取値がスケール５および読取ヘッド
７から得られる。例えば、破線２４で示すように、スタ
イラス２２をワークピース１４Ａの穴の対向側に接触さ
せ、これにて得られた各座標値を差引くことにより穴の
直径を測定することができる。
【００１９】本発明によれば、新規に加工したワークピ
ース１４Ａをプローブ２０で検査した直後にコア４をそ
の軸２Ａのまわりにて回転させて割出して、アーティフ
ァクト２６をワークピース１４Ａが以前に占めていた位
置にもたらす。このアーティファクト２６は以前に製造
済みのものであり、しかも追跡可能な標準規格（例えば
国定の標準規格局の適当な標準規格）に対して較正済み
であるため、その寸法は正確にわかっている。ワークピ
ース１４Ａの個所にアーティファクト２６をもたらし
て、プローブ２０を用いて同じ測定サイクルを繰返す。
この例のアーティファクト２６はワークピース１４Ａの
公称寸法および形状に係わる正確なレプリカである。ア
ーティファクト２６でワークピース１４Ａに対して行っ
たと同じ測定を全て行って、それにて得られた結果を、
例えば工作機械のコンピュータ数値制御系で互いに直接
比較することにより差を求めて、ワークピース１４Ａが
公差内か、公差から外れているかを決定することができ
る。公差から外れている場合には、そのワークピースを
除去するか、または制御系によってさらに加工するよう
な修正手段を講じることができる。名目上、同一の一連
のワークピースを機械加工する場合には、不正確性（誤
差）がワークピースを廃棄しなければならない程に大き
くなる前に、制御系によってこれらの誤差を検出できる
ようにし、この情報を用いて順次ワークピースの加工を
修正することもできる。
ース１４Ａをプローブ２０で検査した直後にコア４をそ
の軸２Ａのまわりにて回転させて割出して、アーティフ
ァクト２６をワークピース１４Ａが以前に占めていた位
置にもたらす。このアーティファクト２６は以前に製造
済みのものであり、しかも追跡可能な標準規格（例えば
国定の標準規格局の適当な標準規格）に対して較正済み
であるため、その寸法は正確にわかっている。ワークピ
ース１４Ａの個所にアーティファクト２６をもたらし
て、プローブ２０を用いて同じ測定サイクルを繰返す。
この例のアーティファクト２６はワークピース１４Ａの
公称寸法および形状に係わる正確なレプリカである。ア
ーティファクト２６でワークピース１４Ａに対して行っ
たと同じ測定を全て行って、それにて得られた結果を、
例えば工作機械のコンピュータ数値制御系で互いに直接
比較することにより差を求めて、ワークピース１４Ａが
公差内か、公差から外れているかを決定することができ
る。公差から外れている場合には、そのワークピースを
除去するか、または制御系によってさらに加工するよう
な修正手段を講じることができる。名目上、同一の一連
のワークピースを機械加工する場合には、不正確性（誤
差）がワークピースを廃棄しなければならない程に大き
くなる前に、制御系によってこれらの誤差を検出できる
ようにし、この情報を用いて順次ワークピースの加工を
修正することもできる。
【００２０】なお、次の２つの重要なことに留意すべき
である。先ず、アーティファクト２６はワークピース１
４Ａを加工する時の加工サイクルを通してコア４上のカ
セット１０に取付けたままとする。このために、アーテ
ィファクトはできるだけワークピース１４Ａと同じ温度
環境に置くようにする。実際上（通常行われるように）
ワークピース１４Ａに加工サイクル中冷却剤を浴びせる
場合で、このような冷却剤の浴びせが同時にアーティフ
ァクト２６に悪影響を及ぼさない場合には、アーティフ
ァクト２６を真直ぐな位置に割出した後に、このアーテ
ィファクト２６を測定するサイクルに特殊な冷却剤を浴
びせる工程を含めることができる。アーティファクトは
ワークピースと同じ環境に置かれるため、これらはほぼ
同じ温度となり、同じように熱膨張する。このためにワ
ークピース１４Ａはそのような手段を講じない場合より
もアーティファクトとより一層正確に比較することがで
きる。
である。先ず、アーティファクト２６はワークピース１
４Ａを加工する時の加工サイクルを通してコア４上のカ
セット１０に取付けたままとする。このために、アーテ
ィファクトはできるだけワークピース１４Ａと同じ温度
環境に置くようにする。実際上（通常行われるように）
ワークピース１４Ａに加工サイクル中冷却剤を浴びせる
場合で、このような冷却剤の浴びせが同時にアーティフ
ァクト２６に悪影響を及ぼさない場合には、アーティフ
ァクト２６を真直ぐな位置に割出した後に、このアーテ
ィファクト２６を測定するサイクルに特殊な冷却剤を浴
びせる工程を含めることができる。アーティファクトは
ワークピースと同じ環境に置かれるため、これらはほぼ
同じ温度となり、同じように熱膨張する。このためにワ
ークピース１４Ａはそのような手段を講じない場合より
もアーティファクトとより一層正確に比較することがで
きる。
【００２１】第２として、アーティファクト２６での全
ての測定は、ワークピース１４Ａでの対応する測定と同
じ場所の点にできるだけ近い所で行う。従って、各点は
スケール５の測定範囲内のほぼ同じ位置にて測定され、
アーティファクト２６の正確な寸法と製作したワークピ
ース１４Ａとを比べると、ワークピースの寸法差だけと
なる。このことは、スケールの精度が工作機械の部品の
熱ひずみによって極めて損われがちではあるも、それで
もワークピース１４Ａ上のある点とアーティファクト２
６上の対応する点とを比較する際の部品の熱ひずみの反
復性をかなり良好にすることができることに関連してい
る。換言するに、スケールから得られる読取値は厳密に
云えば不正確ではあるが、熱ひずみの反復性によってワ
ークピース１４Ａをアーティファクト２６に対してかな
り正確に比較することができる。ワークピースを特定す
る場合の点の位置と、アーティファクトを測定する場合
の点の位置との間のごく僅かな距離にわたるスケールの
不正確さだけが気になるが、実際上、ワークピースがア
ーティファクトに正確に対応すれば、この距離はゼロと
なり、比較結果に誤差が生じなくなる。
ての測定は、ワークピース１４Ａでの対応する測定と同
じ場所の点にできるだけ近い所で行う。従って、各点は
スケール５の測定範囲内のほぼ同じ位置にて測定され、
アーティファクト２６の正確な寸法と製作したワークピ
ース１４Ａとを比べると、ワークピースの寸法差だけと
なる。このことは、スケールの精度が工作機械の部品の
熱ひずみによって極めて損われがちではあるも、それで
もワークピース１４Ａ上のある点とアーティファクト２
６上の対応する点とを比較する際の部品の熱ひずみの反
復性をかなり良好にすることができることに関連してい
る。換言するに、スケールから得られる読取値は厳密に
云えば不正確ではあるが、熱ひずみの反復性によってワ
ークピース１４Ａをアーティファクト２６に対してかな
り正確に比較することができる。ワークピースを特定す
る場合の点の位置と、アーティファクトを測定する場合
の点の位置との間のごく僅かな距離にわたるスケールの
不正確さだけが気になるが、実際上、ワークピースがア
ーティファクトに正確に対応すれば、この距離はゼロと
なり、比較結果に誤差が生じなくなる。
【００２２】通常は、多数のワークピース１４を図１に
示すようにカセット１０上に載せて、各ワークピースを
順次加工できるようにする。この場合、ワークピースに
対応する数のアーティファクト２６を別のカセットに載
せて、アーティファクトを測定位置に割出した場合に、
これらのアーティファクトの１つが、各ワークピースが
以前に占めた場所にできるだけ近い同じ位置を占めるよ
うにするのが好適である。次いで、所定のワークピース
での測定値を同じ場所での対応するアーティファクトで
の測定値と比較する。
示すようにカセット１０上に載せて、各ワークピースを
順次加工できるようにする。この場合、ワークピースに
対応する数のアーティファクト２６を別のカセットに載
せて、アーティファクトを測定位置に割出した場合に、
これらのアーティファクトの１つが、各ワークピースが
以前に占めた場所にできるだけ近い同じ位置を占めるよ
うにするのが好適である。次いで、所定のワークピース
での測定値を同じ場所での対応するアーティファクトで
の測定値と比較する。
【００２３】本発明は前述した同時係属出願のコア４お
よびカセット１０を使用するものに限定されるものでは
ない。アーティファクト２６を工作機械の熱環境内に装
着して、それをワークピースが通常占める位置に変位さ
せる他の任意の方法を用いることができる。例えば、他
の任意の割出し可能な多数ワークピースホルダを用いる
ことができる。水平のスピンドルを有する工作機械では
コア４の代りにツームストーン（ｔｏｍｂｓｔｏｎｅ）
のようなものを用い、これを垂直軸線のまわりに回転さ
せて割出せるように取付けることができる。これは（例
えば）４つの面を有するものとし、その各面が１個以上
のワークピースまたはアーティファクトを保持でき、し
かも各面をスピンドルに対向する位置に割出せるように
する。加工および比較測定は上述した方法と同じように
して行う。
よびカセット１０を使用するものに限定されるものでは
ない。アーティファクト２６を工作機械の熱環境内に装
着して、それをワークピースが通常占める位置に変位さ
せる他の任意の方法を用いることができる。例えば、他
の任意の割出し可能な多数ワークピースホルダを用いる
ことができる。水平のスピンドルを有する工作機械では
コア４の代りにツームストーン（ｔｏｍｂｓｔｏｎｅ）
のようなものを用い、これを垂直軸線のまわりに回転さ
せて割出せるように取付けることができる。これは（例
えば）４つの面を有するものとし、その各面が１個以上
のワークピースまたはアーティファクトを保持でき、し
かも各面をスピンドルに対向する位置に割出せるように
する。加工および比較測定は上述した方法と同じように
して行う。
【００２４】割出し可能なコアまたはツームストーンが
ない場合には、アーティファクト２６を工作機械のベッ
ド２上のどこかに置き、ワークピース１４を加工し、か
つ検査することもできる。この場合には、工作機械のス
ピンドル６に取付けたマニピュレータ（図示せず）によ
り新規の加工済みのワークピースをピックアップして、
それを別の所へ移し、ベッド２上の上記位置からアーテ
ィファクトをピックアップして、それをワークピースを
丁度取外した位置に置く。次いで、アーティファクトで
の測定サイクルを上述した方法と同じ方法で始める。ア
ーティファクトは工作機械のベッド２上の枢動アームに
位置付けることもできる。この枢動アームは（ワークピ
ースを取外した）測定位置にアーティファクトを揺動に
てもたらすことができ、またワークピースそのものの加
工および測定サイクル中は別の所に揺動されることがで
きる。それでもアームはアーティファクトをワークピー
スと同じ熱環境内に保つようにする。
ない場合には、アーティファクト２６を工作機械のベッ
ド２上のどこかに置き、ワークピース１４を加工し、か
つ検査することもできる。この場合には、工作機械のス
ピンドル６に取付けたマニピュレータ（図示せず）によ
り新規の加工済みのワークピースをピックアップして、
それを別の所へ移し、ベッド２上の上記位置からアーテ
ィファクトをピックアップして、それをワークピースを
丁度取外した位置に置く。次いで、アーティファクトで
の測定サイクルを上述した方法と同じ方法で始める。ア
ーティファクトは工作機械のベッド２上の枢動アームに
位置付けることもできる。この枢動アームは（ワークピ
ースを取外した）測定位置にアーティファクトを揺動に
てもたらすことができ、またワークピースそのものの加
工および測定サイクル中は別の所に揺動されることがで
きる。それでもアームはアーティファクトをワークピー
スと同じ熱環境内に保つようにする。
【００２５】ワークピースの検査とアーティファクトの
検査との間の時間遅れは最小とするのが望ましい。この
ようにすれば、２つの測定値に目立った熱変化が起らな
くなる。同様な理由からして、アーティファクトは検査
する各ワークピース毎に測定し直すのが望ましく、これ
はアーティファクトを１度だけ、またはたまにしか測定
しないようなアーティファクト比較方法とは対照的であ
る。通常、アーティファクトはワークピースを検査する
前に検査することができるが、アーティファクトはワー
クピースを検査した後に検査する。
検査との間の時間遅れは最小とするのが望ましい。この
ようにすれば、２つの測定値に目立った熱変化が起らな
くなる。同様な理由からして、アーティファクトは検査
する各ワークピース毎に測定し直すのが望ましく、これ
はアーティファクトを１度だけ、またはたまにしか測定
しないようなアーティファクト比較方法とは対照的であ
る。通常、アーティファクトはワークピースを検査する
前に検査することができるが、アーティファクトはワー
クピースを検査した後に検査する。
【００２６】図３は変形アーティファクト２８の一部分
を示す断面図であり、このアーティファクトの特徴部を
実線にて示してある。この図に重ねて破線３０にて示す
位置は検査すべきワークピース１４の表面位置である。
図面で線が重なっている所は、プローブ２０でアドレス
指定することのできる工作機械の作動位置にワークピー
スおよびアーティファクトを割出した場合に、これらが
互いに一致する個所を示している。図から明らかなよう
に、加工誤差があるため、破線３０はアーティファクト
の輪郭と正確には一致しない。そこで、例えばワークピ
ースが公差から外れていると思える程に加工誤差が大き
いか、どうかをその大きさを求める必要がある。
を示す断面図であり、このアーティファクトの特徴部を
実線にて示してある。この図に重ねて破線３０にて示す
位置は検査すべきワークピース１４の表面位置である。
図面で線が重なっている所は、プローブ２０でアドレス
指定することのできる工作機械の作動位置にワークピー
スおよびアーティファクトを割出した場合に、これらが
互いに一致する個所を示している。図から明らかなよう
に、加工誤差があるため、破線３０はアーティファクト
の輪郭と正確には一致しない。そこで、例えばワークピ
ースが公差から外れていると思える程に加工誤差が大き
いか、どうかをその大きさを求める必要がある。
【００２７】アーティファクト２８が有している領域３
２はワークピースに必要な公称寸法に機械加工されてお
り、しかも追跡可能な標準規格に較正してある。さら
に、アーティファクトは領域３２と比べた場合に高くな
っている領域３４と低い領域３６も有している。従っ
て、これらの領域はアーティファクトの表面に段部を形
成している。これら段部の高さは実際には低い、図３で
は説明の便宜上拡大してある。段部の高さも正確にわか
っており、また予め較正してある。段部は公称寸法と正
および負方向にて比べる場合に、ワークピースに対する
許容公差の限界値にほぼ対応する。
２はワークピースに必要な公称寸法に機械加工されてお
り、しかも追跡可能な標準規格に較正してある。さら
に、アーティファクトは領域３２と比べた場合に高くな
っている領域３４と低い領域３６も有している。従っ
て、これらの領域はアーティファクトの表面に段部を形
成している。これら段部の高さは実際には低い、図３で
は説明の便宜上拡大してある。段部の高さも正確にわか
っており、また予め較正してある。段部は公称寸法と正
および負方向にて比べる場合に、ワークピースに対する
許容公差の限界値にほぼ対応する。
【００２８】図３のアーティファクトは次のように用い
る。測定すべきワークピース２８上の各点に対して、プ
ローブ２０を用い、かつアーティファクトを名目上ワー
クピースと同じ位置に据えて、アーティファクトにおけ
る対応する３つの領域３２，３４，３６を測定する。領
域３２に対して得られた読取値を以前ワークピースに対
して得られた読取値と比較する。しかし、加工誤差があ
るために、ワークピースでの座標読取値がアーティファ
クトでのそれと同じとなることがあまりないことは勿論
である。前述したように、工作機械の構成部品の熱ひず
みによって生ずる工作機械のスケールの誤差もそのよう
な測定状況に多少影響を及ぼす。これをなくすために、
高段部領域３４と低段部領域３６で測定される読取値を
用いる。これら２つの段部領域間の段部の高さは、アー
ティファクトを予め較正してあるため正確にわかってい
る。工作機械のスケールを用いて測定される段部の高さ
は、これら２つの領域で測定した座標読取値から計算さ
れる。その結果が完全に正確であることはまれである
が、正確な値と不正確な値を用いて、これら両者間のス
ケーリングファクタを計算すべく工作機械のコンピュー
タ数値制御をプログラムしておく。このようにすれば、
工作機械のスケールによって示されるような領域３２の
座標読取値を補正することができる。個々のスケーリン
グファクタは、実際上関連する測定に用いられる工作機
械のスケールの極めて狭い範囲で求められるため、この
方法によればスケールにその測定範囲の種々の部分での
様々な熱誤差があっても、スケールの熱による誤差を正
確に補償することができる。これと同じ処置を測定すべ
きワークピースの他の各点で繰返し、このように補償し
たワークピースについての測定値を各点に対するアーテ
ィファクトの測定値と比較する。
る。測定すべきワークピース２８上の各点に対して、プ
ローブ２０を用い、かつアーティファクトを名目上ワー
クピースと同じ位置に据えて、アーティファクトにおけ
る対応する３つの領域３２，３４，３６を測定する。領
域３２に対して得られた読取値を以前ワークピースに対
して得られた読取値と比較する。しかし、加工誤差があ
るために、ワークピースでの座標読取値がアーティファ
クトでのそれと同じとなることがあまりないことは勿論
である。前述したように、工作機械の構成部品の熱ひず
みによって生ずる工作機械のスケールの誤差もそのよう
な測定状況に多少影響を及ぼす。これをなくすために、
高段部領域３４と低段部領域３６で測定される読取値を
用いる。これら２つの段部領域間の段部の高さは、アー
ティファクトを予め較正してあるため正確にわかってい
る。工作機械のスケールを用いて測定される段部の高さ
は、これら２つの領域で測定した座標読取値から計算さ
れる。その結果が完全に正確であることはまれである
が、正確な値と不正確な値を用いて、これら両者間のス
ケーリングファクタを計算すべく工作機械のコンピュー
タ数値制御をプログラムしておく。このようにすれば、
工作機械のスケールによって示されるような領域３２の
座標読取値を補正することができる。個々のスケーリン
グファクタは、実際上関連する測定に用いられる工作機
械のスケールの極めて狭い範囲で求められるため、この
方法によればスケールにその測定範囲の種々の部分での
様々な熱誤差があっても、スケールの熱による誤差を正
確に補償することができる。これと同じ処置を測定すべ
きワークピースの他の各点で繰返し、このように補償し
たワークピースについての測定値を各点に対するアーテ
ィファクトの測定値と比較する。
【００２９】通常アーティファクトは同じように熱膨張
するワークピースと同じ材料で造る。材質が柔らかい場
合には、アーティファクトに硬化被膜を被着し、例えば
アルミニウムワークピースの場合には、陽極酸化処理を
施して、それにもっと耐久性をもたせることができる。
アーティファクトをワークピースと同じ熱膨張係数を有
する別の材料で造ることもできる。あるいはまた、アー
ティファクトを熱膨張係数が異なる材料で造ることもで
きるが、この場合にはアーティファクトとワークピース
の双方の材料の膨張係数を知り、測定時に適当な温度プ
ローブにより温度を計る必要がある。このデータをコン
ピュータ数値制御に供給して、アーティファクトとワー
クピースの測定寸法に適切な補正係数をかけることがで
きる。
するワークピースと同じ材料で造る。材質が柔らかい場
合には、アーティファクトに硬化被膜を被着し、例えば
アルミニウムワークピースの場合には、陽極酸化処理を
施して、それにもっと耐久性をもたせることができる。
アーティファクトをワークピースと同じ熱膨張係数を有
する別の材料で造ることもできる。あるいはまた、アー
ティファクトを熱膨張係数が異なる材料で造ることもで
きるが、この場合にはアーティファクトとワークピース
の双方の材料の膨張係数を知り、測定時に適当な温度プ
ローブにより温度を計る必要がある。このデータをコン
ピュータ数値制御に供給して、アーティファクトとワー
クピースの測定寸法に適切な補正係数をかけることがで
きる。
【００３０】検査すべきワークピースと同じ公称寸法お
よび形状を有するアーティファクトを用いる代りに、多
数の異なるワークピースに使用できる万能アーティファ
クトを用いることができる。その一例を図４に３８で示
す。これは辺が傾斜してなく、段になっている円錐状を
している。各段の水平および垂直方向共に追跡可能な標
準規格に従って予め正確に較正してある。アーティファ
クト３８の容積は検査すべきワークピースの包絡面３０
をほぼ包含する。前述した例と同様に、アーティファク
トはワークピースを加工し、かつ検査する際のワークピ
ースと同じ熱環境内に保持し、かつワークピースを測定
する際にそのワークピースが占めていた同じ位置にアー
ティファクトを割出すか、または移送する。アーティフ
ァクトはどの点もワークピースと正確に一致していない
が、工作機械のスケールに熱で誘起される誤差は、図３
につき前述したのと同じ方法で補償することができる。
例えば、ワークピースの包絡面３０における点４２の水
平方向の座標を測定する場合には、アーティファクト３
８における点４４および４５を測定して、点４２の個所
における（水平方向の）ステップ高４０を求めるように
する。工作機械のスケールを用いて測定されるこのステ
ップ高４０を予め較正してある既知の値と比較すれば、
ワークピース上の点４２の個所にてスケールに誘起され
る局所的な熱誤差に対するスケーリングファクタが求ま
り、ワークピースにおける上記点の測定値は工作機械の
コンピュータ制御によりそれ相当に補償することができ
る。同様な補償は測定すべきワークピース上の他の全て
の点について行われる。
よび形状を有するアーティファクトを用いる代りに、多
数の異なるワークピースに使用できる万能アーティファ
クトを用いることができる。その一例を図４に３８で示
す。これは辺が傾斜してなく、段になっている円錐状を
している。各段の水平および垂直方向共に追跡可能な標
準規格に従って予め正確に較正してある。アーティファ
クト３８の容積は検査すべきワークピースの包絡面３０
をほぼ包含する。前述した例と同様に、アーティファク
トはワークピースを加工し、かつ検査する際のワークピ
ースと同じ熱環境内に保持し、かつワークピースを測定
する際にそのワークピースが占めていた同じ位置にアー
ティファクトを割出すか、または移送する。アーティフ
ァクトはどの点もワークピースと正確に一致していない
が、工作機械のスケールに熱で誘起される誤差は、図３
につき前述したのと同じ方法で補償することができる。
例えば、ワークピースの包絡面３０における点４２の水
平方向の座標を測定する場合には、アーティファクト３
８における点４４および４５を測定して、点４２の個所
における（水平方向の）ステップ高４０を求めるように
する。工作機械のスケールを用いて測定されるこのステ
ップ高４０を予め較正してある既知の値と比較すれば、
ワークピース上の点４２の個所にてスケールに誘起され
る局所的な熱誤差に対するスケーリングファクタが求ま
り、ワークピースにおける上記点の測定値は工作機械の
コンピュータ制御によりそれ相当に補償することができ
る。同様な補償は測定すべきワークピース上の他の全て
の点について行われる。
【００３１】あるいはまた、点４４，４５を用いる代り
に、ワークピースの包絡面３０の例えば点４２と４６と
の間の直径を測定したい場合には次のような処置をする
ことができる。先ず、ワークピース上の点４２と４６を
通常通りにプローブし、これにて測定した点４６の座標
値から点４２の座標値を差引いてワークピースの直径を
計算する。次いで、アーティファクトの測定サイクル中
に点４２，４６とほぼ同じ付近の点４４，４７をプロー
ブし、アーティファクト３８の点４４と４７との間の直
径を同じように計算して測定する。この測定値をアーテ
ィファクトのこの直径についてわかっている較正済みの
値と比較して補償係数を得る。最後にこの補償係数を以
前に測定したワークピースの点４２と４６との間の直径
の値に加味して、より一層正確な値を得る。点４２と４
６との間の測定に用いられるのと同じような工作機械の
スケールの位置決め範囲をカバーするアーティファクト
上の点４４，４７を選択することにより、熱による不正
確さがスケールの一部から他方にまで変化しても、上記
範囲内におけるスケールの熱による誤差を正確に補償す
ることができる。
に、ワークピースの包絡面３０の例えば点４２と４６と
の間の直径を測定したい場合には次のような処置をする
ことができる。先ず、ワークピース上の点４２と４６を
通常通りにプローブし、これにて測定した点４６の座標
値から点４２の座標値を差引いてワークピースの直径を
計算する。次いで、アーティファクトの測定サイクル中
に点４２，４６とほぼ同じ付近の点４４，４７をプロー
ブし、アーティファクト３８の点４４と４７との間の直
径を同じように計算して測定する。この測定値をアーテ
ィファクトのこの直径についてわかっている較正済みの
値と比較して補償係数を得る。最後にこの補償係数を以
前に測定したワークピースの点４２と４６との間の直径
の値に加味して、より一層正確な値を得る。点４２と４
６との間の測定に用いられるのと同じような工作機械の
スケールの位置決め範囲をカバーするアーティファクト
上の点４４，４７を選択することにより、熱による不正
確さがスケールの一部から他方にまで変化しても、上記
範囲内におけるスケールの熱による誤差を正確に補償す
ることができる。
【００３２】図５および図６は他の設計によるアーティ
ファクト４８を示し、これも較正済みのものであり、ア
ーティファクト３８と極めて似た方法で用いられる。平
面図で見たアーティファクト４８はアーム４９を有して
いる十字状のものである。各アームは図４のアーティフ
ァクト３８の段部と同じように（水平または垂直方向
に）用いられる段部５０を具えている。
ファクト４８を示し、これも較正済みのものであり、ア
ーティファクト３８と極めて似た方法で用いられる。平
面図で見たアーティファクト４８はアーム４９を有して
いる十字状のものである。各アームは図４のアーティフ
ァクト３８の段部と同じように（水平または垂直方向
に）用いられる段部５０を具えている。
【００３３】これまで述べた方法はワークピースそのも
のの熱膨張および工作機械の較正部品の熱膨張によって
生ずる工作機械のスケールの線形誤差を補正するもので
あった。しかし、工作機械の構成部品の熱ひずみによっ
て他の誤差も生じ、これには機械のＸ，Ｙ，Ｚ軸が実際
上互いに垂直にならなくなるように構成部品が熱成長す
る直角度誤差が含まれる。このような誤差を検出するの
には、図５および図６に示すアーティファクトを用い、
スケールおよびプローブ２０を用いて種々の点でアーム
４９の辺を測定し、かつアームが垂直になっていること
をその測定値が示すかどうかを計算することにより検出
することができる。アームの垂直性を予め正確に較正す
れば、この測定値での較正済みの垂直性から外れたら、
機械の整合に誤差があるものとすることができ、これに
従ってワークピースの測定を補正することができる。
のの熱膨張および工作機械の較正部品の熱膨張によって
生ずる工作機械のスケールの線形誤差を補正するもので
あった。しかし、工作機械の構成部品の熱ひずみによっ
て他の誤差も生じ、これには機械のＸ，Ｙ，Ｚ軸が実際
上互いに垂直にならなくなるように構成部品が熱成長す
る直角度誤差が含まれる。このような誤差を検出するの
には、図５および図６に示すアーティファクトを用い、
スケールおよびプローブ２０を用いて種々の点でアーム
４９の辺を測定し、かつアームが垂直になっていること
をその測定値が示すかどうかを計算することにより検出
することができる。アームの垂直性を予め正確に較正す
れば、この測定値での較正済みの垂直性から外れたら、
機械の整合に誤差があるものとすることができ、これに
従ってワークピースの測定を補正することができる。
【００３４】本発明は、バイトを所望通路に辿らせる命
令をして所望な輪郭に加工したワークピースにおける補
間および他の誤差を、バイト通路上の所定の点間の補間
法を用いて検出するのにも用いることができる。ワーク
ピースは同じ公称輪郭を有し、かつ正確に較正してある
アーティファクトと比較される。必要に応じアーティフ
ァクトはワークピースと同じ工作機械で同じように製作
しておくことができ、従ってアーティファクトは機械と
は無関係に較正するとしたら、これはワークピースと同
じような補間、直角度、線形および他の誤差を受けるこ
とになる。ワークピースを工作機械の加工容積内の同じ
位置で製作すれば、その較正はその位置での機械の補間
精度および他の誤差についての情報を与える。この情報
を工作機械の制御部にアーティファクト表面上の注目す
る各点の工程値表の形態で記憶しておく。次いで、ワー
クピースとアーティファクトの双方を工作機械上の同じ
位置でプローブすることにより両者を比較すれば、注目
する各点に対する値が得られ、これはワークピース上の
点とアーティファクト上の点との差を表わす。この差値
に上記表からの対応する較正値を（正負）符号を考慮し
て加えることによりワークピースの誤差を得る。
令をして所望な輪郭に加工したワークピースにおける補
間および他の誤差を、バイト通路上の所定の点間の補間
法を用いて検出するのにも用いることができる。ワーク
ピースは同じ公称輪郭を有し、かつ正確に較正してある
アーティファクトと比較される。必要に応じアーティフ
ァクトはワークピースと同じ工作機械で同じように製作
しておくことができ、従ってアーティファクトは機械と
は無関係に較正するとしたら、これはワークピースと同
じような補間、直角度、線形および他の誤差を受けるこ
とになる。ワークピースを工作機械の加工容積内の同じ
位置で製作すれば、その較正はその位置での機械の補間
精度および他の誤差についての情報を与える。この情報
を工作機械の制御部にアーティファクト表面上の注目す
る各点の工程値表の形態で記憶しておく。次いで、ワー
クピースとアーティファクトの双方を工作機械上の同じ
位置でプローブすることにより両者を比較すれば、注目
する各点に対する値が得られ、これはワークピース上の
点とアーティファクト上の点との差を表わす。この差値
に上記表からの対応する較正値を（正負）符号を考慮し
て加えることによりワークピースの誤差を得る。
【００３５】必要に応じ、アーティファクトでの測定値
からあらゆる誤差（線形、直角度、補間）の誤差マップ
を造ることができる。この誤差マップは工作機械の制御
部または外部コンピュータに補正値表の形態で記憶さ
せ、これをワークピースについて行った読取値を補償す
るのに用いる。誤差マップはワークピースを載せる工作
機械の加工容積の特定箇所に特有のものである。それは
アーティファクトもそれと同じ箇所に置いたからであ
る。アーティファクトもワークピースと同じ熱環境に置
いたため、ワークピースの測定値は様々な熱の影響に対
して極めて正確に補償することができる。
からあらゆる誤差（線形、直角度、補間）の誤差マップ
を造ることができる。この誤差マップは工作機械の制御
部または外部コンピュータに補正値表の形態で記憶さ
せ、これをワークピースについて行った読取値を補償す
るのに用いる。誤差マップはワークピースを載せる工作
機械の加工容積の特定箇所に特有のものである。それは
アーティファクトもそれと同じ箇所に置いたからであ
る。アーティファクトもワークピースと同じ熱環境に置
いたため、ワークピースの測定値は様々な熱の影響に対
して極めて正確に補償することができる。
【００３６】図７および図８は他の形態の万能アーティ
ファクト５２を示す。このアーティファクトは真中があ
いている４つの辺部材５４からなる正方形のオープンフ
レーム状をしている。正方形の各隅部から垂直に４つの
柱５６を設ける。これらの各柱は中央に穴５８を有して
いる。これらの穴５８の中心は予め較正して、正しい正
方形の４つの隅部に位置させる。このアーティファクト
５２を同じ熱環境に保持し、かつ前述した例と同じよう
にしてワークピース（この包絡面を破線３０Ａで示して
ある）が占めていた個所から移したり、その個所に割出
したりすることができる。プローブ２０のスタイラス２
２を各穴５８の中に挿入することができ、３回または４
回のプロービング動作で穴の中心の座標を求めることが
できる。アーティファクトを測定して得られたこれらの
座標値と正確にわかっている正方形の寸法とを比較する
ことによりアーティファクトの個所（従ってワークピー
スの個所）における線形誤差とその個所における直角度
誤差との双方に対する補償係数が容易に計算される。
ファクト５２を示す。このアーティファクトは真中があ
いている４つの辺部材５４からなる正方形のオープンフ
レーム状をしている。正方形の各隅部から垂直に４つの
柱５６を設ける。これらの各柱は中央に穴５８を有して
いる。これらの穴５８の中心は予め較正して、正しい正
方形の４つの隅部に位置させる。このアーティファクト
５２を同じ熱環境に保持し、かつ前述した例と同じよう
にしてワークピース（この包絡面を破線３０Ａで示して
ある）が占めていた個所から移したり、その個所に割出
したりすることができる。プローブ２０のスタイラス２
２を各穴５８の中に挿入することができ、３回または４
回のプロービング動作で穴の中心の座標を求めることが
できる。アーティファクトを測定して得られたこれらの
座標値と正確にわかっている正方形の寸法とを比較する
ことによりアーティファクトの個所（従ってワークピー
スの個所）における線形誤差とその個所における直角度
誤差との双方に対する補償係数が容易に計算される。
【００３７】ワークピースの包絡面の全体が３０Ｂで示
すように辺部材５４により形成した正方形のオープンフ
レーム内に位置する場合およびワークピースにアクセス
する加工作業がアーティファクトによって妨げられない
ような場合には、アーティファクトをワークピースのま
わりの位置に永久的に固定させることができる。このよ
うにすれば、ワークピースを取外した後の位置にアーテ
ィファクトを移す必要がないため、時間が節約される。
ワークピースおよびアーティファクトの双方を同じ測定
サイクルの一部として測定することもできる。
すように辺部材５４により形成した正方形のオープンフ
レーム内に位置する場合およびワークピースにアクセス
する加工作業がアーティファクトによって妨げられない
ような場合には、アーティファクトをワークピースのま
わりの位置に永久的に固定させることができる。このよ
うにすれば、ワークピースを取外した後の位置にアーテ
ィファクトを移す必要がないため、時間が節約される。
ワークピースおよびアーティファクトの双方を同じ測定
サイクルの一部として測定することもできる。
【００３８】必要に応じアーティファクト５２の辺部材
５４または柱５６に段部を設け、これらの段部を図３〜
図６の例における段部と同じように用いることができ
る。場合によっては穴５８を省いて単に柱５６の外側断
面だけで測定することもできる。
５４または柱５６に段部を設け、これらの段部を図３〜
図６の例における段部と同じように用いることができ
る。場合によっては穴５８を省いて単に柱５６の外側断
面だけで測定することもできる。
【００３９】図９は他の例を示す。穴５８を有している
アーティファクト５２の代りに工作機械のベッド２に例
えば穴あけおよびリーマ仕上によって穴６０をあけるこ
とができる。穴６０はワークピースを位置させそうな個
所全体に規則的な間隔であける。穴６０の間隔およびこ
れらの穴の位置の直角度を追跡可能な標準規格に従って
予め正確に較正する。適当に選択した穴６０を穴５８と
同じようにして正確に利用することができる。例えば、
包絡面３０Ｃを占めているワークピースの場合には、そ
の隅部に隣接する４つの穴６０Ａを選択することができ
る。これらの穴６０Ａをワークピースの検査と同じ測定
サイクルでプローブして、前述したと同じように補償係
数を求める。
アーティファクト５２の代りに工作機械のベッド２に例
えば穴あけおよびリーマ仕上によって穴６０をあけるこ
とができる。穴６０はワークピースを位置させそうな個
所全体に規則的な間隔であける。穴６０の間隔およびこ
れらの穴の位置の直角度を追跡可能な標準規格に従って
予め正確に較正する。適当に選択した穴６０を穴５８と
同じようにして正確に利用することができる。例えば、
包絡面３０Ｃを占めているワークピースの場合には、そ
の隅部に隣接する４つの穴６０Ａを選択することができ
る。これらの穴６０Ａをワークピースの検査と同じ測定
サイクルでプローブして、前述したと同じように補償係
数を求める。
【００４０】工作機械のベッド２に正確にあけた穴６０
の代りに、多くの工作機械のベッドに既に形成してある
ワークピース、取付具等の装着用のスロットを用いるこ
とができる。これらスロットの特徴部を加工する精度は
勿論当てにすることはできない。それでもスロットは工
作機械のスケール以外の何等かの測定装置を用いて追跡
可能な標準規格に従って正確に測定し、かつ較正するこ
とができる。各スロットを正確に測定した寸法を示すマ
ップはコンピュータ数値制御に記憶させておく。次のワ
ークピースの検査時の測定サイクルにおける一連の工程
にこれらスロットの内でワークピースに最も近い特徴部
を測定することを含める。こうしたスロットの特徴部を
測定して得た値を、予め較正してわかっている正確な値
と比較して、上述したと同じ方法で補償係数を求める。
の代りに、多くの工作機械のベッドに既に形成してある
ワークピース、取付具等の装着用のスロットを用いるこ
とができる。これらスロットの特徴部を加工する精度は
勿論当てにすることはできない。それでもスロットは工
作機械のスケール以外の何等かの測定装置を用いて追跡
可能な標準規格に従って正確に測定し、かつ較正するこ
とができる。各スロットを正確に測定した寸法を示すマ
ップはコンピュータ数値制御に記憶させておく。次のワ
ークピースの検査時の測定サイクルにおける一連の工程
にこれらスロットの内でワークピースに最も近い特徴部
を測定することを含める。こうしたスロットの特徴部を
測定して得た値を、予め較正してわかっている正確な値
と比較して、上述したと同じ方法で補償係数を求める。
【００４１】工作機械のベッド２に穴６０を中ぐりする
代りに、ベッドに固着させるプレート状のアーティファ
クトに穴６０をあけることもでき、この場合にはワーク
ピースをこのプレート状のアーティファクトに固着す
る。このアーティファクトはワークピースと同じ材料で
造るのが望ましい。材料が異なるものを用いる場合に
は、アーティファクトおよび／またはワークピースの温
度を測定し、かつ異なる膨張率を用いて補償係数を計算
する前述した方法を用いなければならない。
代りに、ベッドに固着させるプレート状のアーティファ
クトに穴６０をあけることもでき、この場合にはワーク
ピースをこのプレート状のアーティファクトに固着す
る。このアーティファクトはワークピースと同じ材料で
造るのが望ましい。材料が異なるものを用いる場合に
は、アーティファクトおよび／またはワークピースの温
度を測定し、かつ異なる膨張率を用いて補償係数を計算
する前述した方法を用いなければならない。
【００４２】アーティファクトに、ワークピースの包絡
面３０内に位置するか、または少なくとも数個所が包絡
面３０内に横たわる部分を持たせるのが有利である。こ
うすれば、ワークピースの内部の特徴部を測定する場合
に用いられる機械のスケールのこうした個所を補償する
ことができる。
面３０内に位置するか、または少なくとも数個所が包絡
面３０内に横たわる部分を持たせるのが有利である。こ
うすれば、ワークピースの内部の特徴部を測定する場合
に用いられる機械のスケールのこうした個所を補償する
ことができる。
【００４３】図１０は複合アーティファクト６８を示
し、これは１つのカセット１０の代りに用いられる。こ
のために、このアーティファクトは長手方向に延在する
断面が鳩尾形をしている取付部７０を有し、この取付部
によりアーティファクトはコア４および回転コンベア１
５に取付けられる。アーティファクトの上側部分には複
数個のアーティファクトユニット７２（本例では５個）
を形成してある。これらの各ユニット７２には様々な測
定用特徴部を設ける。これらの特徴部はユニットの頂部
表面におけるボス７４を含み、ボスには途中までの同心
穴７６をあける。各ユニットの片側には環状の凹所７８
があり、この凹所内に同心のボス８０がある。ボス８０
内には同心の穴８２があり、これはユニット７２の反対
側にまで貫通しており、このユニットの反対側にも同じ
ような環状凹所７８およびボス８０を形成してある。
し、これは１つのカセット１０の代りに用いられる。こ
のために、このアーティファクトは長手方向に延在する
断面が鳩尾形をしている取付部７０を有し、この取付部
によりアーティファクトはコア４および回転コンベア１
５に取付けられる。アーティファクトの上側部分には複
数個のアーティファクトユニット７２（本例では５個）
を形成してある。これらの各ユニット７２には様々な測
定用特徴部を設ける。これらの特徴部はユニットの頂部
表面におけるボス７４を含み、ボスには途中までの同心
穴７６をあける。各ユニットの片側には環状の凹所７８
があり、この凹所内に同心のボス８０がある。ボス８０
内には同心の穴８２があり、これはユニット７２の反対
側にまで貫通しており、このユニットの反対側にも同じ
ような環状凹所７８およびボス８０を形成してある。
【００４４】複合アーティファクト６８の各ユニット７
２の位置はカセット１０におけるワークピース１４の位
置に対応している。従って、コア４を割出すと、ユニッ
ト７２の１つは工作機械の作業空間内で、ワークピース
の１つが占めていた位置と同じ位置にもたらされ、上述
したような比較測定をすることができる。ユニット７２
の３つの別々の各面（これらの面は対応するワークピー
スを加工する場合に最もアクセスし易い３つの面に対応
している）に測定特徴部７４〜８２が設けられているこ
とは明らかである。従ってこれらの特徴部は比較測定が
必要とされそうなワークピースの特徴部に対応する位置
にある。ユニット７２ではユニットそのものの長さ、横
幅および高さと、様々なボスおよびの穴の直径を測定す
ることができる。
２の位置はカセット１０におけるワークピース１４の位
置に対応している。従って、コア４を割出すと、ユニッ
ト７２の１つは工作機械の作業空間内で、ワークピース
の１つが占めていた位置と同じ位置にもたらされ、上述
したような比較測定をすることができる。ユニット７２
の３つの別々の各面（これらの面は対応するワークピー
スを加工する場合に最もアクセスし易い３つの面に対応
している）に測定特徴部７４〜８２が設けられているこ
とは明らかである。従ってこれらの特徴部は比較測定が
必要とされそうなワークピースの特徴部に対応する位置
にある。ユニット７２ではユニットそのものの長さ、横
幅および高さと、様々なボスおよびの穴の直径を測定す
ることができる。
【００４５】鳩尾形の取付部７０とアーティファクト７
２との間にＬ字状のスロット８４を形成する。このスロ
ットは複合アーティファクト６８の材料の厚さを完全に
貫通すべく機械加工して、取付部７０とアーティファク
トの残りの部分とがスロットの各端部の材料のウェブ８
６，８８だけで接続されるようにする。このスロットの
目的は、アーティファクトの取付部７０と残りの部分と
の間を隔離させることにある。取付部７０が締付圧力に
よるひずみを受けても、こうしたひずみはアーティファ
クトの残りの部分には伝達されず、その代りにＬ字状ス
ロットの一端部における垂直ウェブ９０が屈曲すること
により調整される。逆に言えば、温度が変化してもユニ
ット７２を含むアーティファクトの大部分は取付部７０
における締付圧力にじゃまされずに（ワークピースと同
じように）熱膨張したりまたは収縮したりすることがで
きる。
２との間にＬ字状のスロット８４を形成する。このスロ
ットは複合アーティファクト６８の材料の厚さを完全に
貫通すべく機械加工して、取付部７０とアーティファク
トの残りの部分とがスロットの各端部の材料のウェブ８
６，８８だけで接続されるようにする。このスロットの
目的は、アーティファクトの取付部７０と残りの部分と
の間を隔離させることにある。取付部７０が締付圧力に
よるひずみを受けても、こうしたひずみはアーティファ
クトの残りの部分には伝達されず、その代りにＬ字状ス
ロットの一端部における垂直ウェブ９０が屈曲すること
により調整される。逆に言えば、温度が変化してもユニ
ット７２を含むアーティファクトの大部分は取付部７０
における締付圧力にじゃまされずに（ワークピースと同
じように）熱膨張したりまたは収縮したりすることがで
きる。
【００４６】複合アーティファクト６８は必要に応じ
て、後に測定目的に使用するのと同じ工作機械で作製す
ることができるが、必ずしもそのようにする必要はな
い。アーティファクトをアルミニウムまたはアルミニウ
ム合金製とする場合には、機械加工した後に化学的に研
磨し、陽極酸化処理して表面に耐久性を付与するのが望
ましい。後に比較目的のために使用するユニット７２の
あらゆる様々な特徴部を較正して、上述したように使用
する追跡可能な標準規格に対するこれらの正確な寸法を
求める。
て、後に測定目的に使用するのと同じ工作機械で作製す
ることができるが、必ずしもそのようにする必要はな
い。アーティファクトをアルミニウムまたはアルミニウ
ム合金製とする場合には、機械加工した後に化学的に研
磨し、陽極酸化処理して表面に耐久性を付与するのが望
ましい。後に比較目的のために使用するユニット７２の
あらゆる様々な特徴部を較正して、上述したように使用
する追跡可能な標準規格に対するこれらの正確な寸法を
求める。
【００４７】上述した多数の個々のアーティファクト
は、加工時と同じようにカセット１０の１つに取付ける
ことができる。このような個々のアーティファクトは前
述したような万能アーティファクトとするか、または専
用アーティファクト（検査すべきワークピースの公称寸
法および形状をしているレプリカ）とすることができ
る。図１０に示したアーティファクトに似ているが、そ
こに一体に形成する個々のアーティファクトユニットが
万能アーティファクトユニット７２でなく、検査すべき
ワークピースのレプリカとする複合アーティファクトを
造ることができる。このような専用アーティファクトユ
ニットはワークピースを製造するのに使用するのと同じ
工作機械で造ることができる。これは後にカセット１０
の１つにおけるワークピースを作製するのに用いられる
同じ数値制御の加工工程を用いるブランクの複合アーテ
ィファクト６８を加工することにより行うことができ
る。図１０のアーティファクトと同じように、複数の専
用アーティファクトユニットを有しているそのようなア
ーティファクトを工作機械から取外し、研磨し、必要な
らば陽極酸化処理してから、これらの専用アーティファ
クトユニットの種々の特徴部を測定し、かつ追跡可能な
標準規格に従って較正する。
は、加工時と同じようにカセット１０の１つに取付ける
ことができる。このような個々のアーティファクトは前
述したような万能アーティファクトとするか、または専
用アーティファクト（検査すべきワークピースの公称寸
法および形状をしているレプリカ）とすることができ
る。図１０に示したアーティファクトに似ているが、そ
こに一体に形成する個々のアーティファクトユニットが
万能アーティファクトユニット７２でなく、検査すべき
ワークピースのレプリカとする複合アーティファクトを
造ることができる。このような専用アーティファクトユ
ニットはワークピースを製造するのに使用するのと同じ
工作機械で造ることができる。これは後にカセット１０
の１つにおけるワークピースを作製するのに用いられる
同じ数値制御の加工工程を用いるブランクの複合アーテ
ィファクト６８を加工することにより行うことができ
る。図１０のアーティファクトと同じように、複数の専
用アーティファクトユニットを有しているそのようなア
ーティファクトを工作機械から取外し、研磨し、必要な
らば陽極酸化処理してから、これらの専用アーティファ
クトユニットの種々の特徴部を測定し、かつ追跡可能な
標準規格に従って較正する。
【００４８】図１１は、複数個のアーティファクトユニ
ット７２を有している他の複合アーティファクト９８を
示し、これらのユニット７２の上にて比較測定すること
ができる。図１０のアーティファクトと同様に、ユニッ
ト７２は（図示のような）万能アーティファクトユニッ
トとするか、または検査すべきワークピースのレプリ
カ、すなわち専用アーティファクトユニットとすること
ができる。前述したように、ユニット７２の位置はカセ
ット１０内のワークピースの位置に対応させて、ユニッ
ト７２がワークピースと同じ空間位置に割出されるよう
にする。
ット７２を有している他の複合アーティファクト９８を
示し、これらのユニット７２の上にて比較測定すること
ができる。図１０のアーティファクトと同様に、ユニッ
ト７２は（図示のような）万能アーティファクトユニッ
トとするか、または検査すべきワークピースのレプリ
カ、すなわち専用アーティファクトユニットとすること
ができる。前述したように、ユニット７２の位置はカセ
ット１０内のワークピースの位置に対応させて、ユニッ
ト７２がワークピースと同じ空間位置に割出されるよう
にする。
【００４９】図１１のアーティファクトは、コア４およ
び回転コンベア１５にアーティファクトを取付けるため
の図１０の鳩尾形取付部７０に相当する細長形で、しか
も断面が台形をしている別個の取付部１００を有してい
る。隔離スロット８４の代りに、アーティファクト９８
は取付部１００に運動学的（Ｋｉｎｅｍａｔｉｃａｌｌ
ｙ）に取付ける。この取付けはアーティファクト９８の
下側面の例えば適当な凹所（図示せず）に接着された３
個のボール１０２によって行う。ボール１０２はアーテ
ィファクト９８と取付部１００との間の引張ばね１０６
により引張られて取付部１００の上側面における対応す
るＶ字条溝の凹所１０４内に位置する。Ｖ字条溝凹所１
０４は、ボール１０２がこれらの凹所１０４と接触して
保持されると、取付部１００に対するアーティファクト
９８の動きの全自由度が束縛されるように構成する。し
かし、アーティファクト９８は取付部１００の締付圧力
にじゃまされずに対応する凹所１０４に沿って１つ以上
のボール１０２が摺動することにより簡単に熱膨張およ
び収縮する。同様に、取付部１００の締付圧力はアーテ
ィファクトユニット９８には伝わらない。実際上、アー
ティファクト９８と取付部１００とを図１１のように隔
離させる方が図１０のスロット８４によるよりも好適で
ある。その理由はアーティファクト９８および取付部１
００の横方向および長手方向の双方に対する相対的な膨
張および収縮の自由度が大きいからである。
び回転コンベア１５にアーティファクトを取付けるため
の図１０の鳩尾形取付部７０に相当する細長形で、しか
も断面が台形をしている別個の取付部１００を有してい
る。隔離スロット８４の代りに、アーティファクト９８
は取付部１００に運動学的（Ｋｉｎｅｍａｔｉｃａｌｌ
ｙ）に取付ける。この取付けはアーティファクト９８の
下側面の例えば適当な凹所（図示せず）に接着された３
個のボール１０２によって行う。ボール１０２はアーテ
ィファクト９８と取付部１００との間の引張ばね１０６
により引張られて取付部１００の上側面における対応す
るＶ字条溝の凹所１０４内に位置する。Ｖ字条溝凹所１
０４は、ボール１０２がこれらの凹所１０４と接触して
保持されると、取付部１００に対するアーティファクト
９８の動きの全自由度が束縛されるように構成する。し
かし、アーティファクト９８は取付部１００の締付圧力
にじゃまされずに対応する凹所１０４に沿って１つ以上
のボール１０２が摺動することにより簡単に熱膨張およ
び収縮する。同様に、取付部１００の締付圧力はアーテ
ィファクトユニット９８には伝わらない。実際上、アー
ティファクト９８と取付部１００とを図１１のように隔
離させる方が図１０のスロット８４によるよりも好適で
ある。その理由はアーティファクト９８および取付部１
００の横方向および長手方向の双方に対する相対的な膨
張および収縮の自由度が大きいからである。
【００５０】所要に応じ、ボール１０２の代りにアーテ
ィファクトの下側面にそれと一体に加工される半球状の
突起部を設け、これらを全く同じように凹所１０４内に
係合させることもできる。あるいはまた、凹部１０４を
アーティファクト９８の下側面に形成し、ボール１０２
または半球状の突起部を取付部１００の上側面に形成す
ることもできる。３つのボール１０２がそれぞれ平坦
面、Ｖ字状凹所および対応するボールと３点で接触する
三面凹所と係合するような他の形態の運動学的マウント
（Ｋｉｎｅｍａｔｉｃ ｍｏｕｎｔ）を形成することも
できる。三面凹所は円錐凹所とすることもできるが、こ
れは前者のものに比べて多少劣る。
ィファクトの下側面にそれと一体に加工される半球状の
突起部を設け、これらを全く同じように凹所１０４内に
係合させることもできる。あるいはまた、凹部１０４を
アーティファクト９８の下側面に形成し、ボール１０２
または半球状の突起部を取付部１００の上側面に形成す
ることもできる。３つのボール１０２がそれぞれ平坦
面、Ｖ字状凹所および対応するボールと３点で接触する
三面凹所と係合するような他の形態の運動学的マウント
（Ｋｉｎｅｍａｔｉｃ ｍｏｕｎｔ）を形成することも
できる。三面凹所は円錐凹所とすることもできるが、こ
れは前者のものに比べて多少劣る。
【００５１】図１２および図１３は、複合アーティファ
クト１１０と別個の取付台１１２との間を運動学的マウ
ントにより隔離させる他の方法を示す。複合アーティフ
ァクト１１０および取付台１１２は図１１のものにほぼ
似ており、アーティファクトは万能または専用のアーテ
ィファクトユニット７２を前述した所と同様に具えてい
る。複合アーティファクト１１０と取付台１１２との間
の取付けは、アーティファクトの突耳１２０と取付部の
突耳１２２との間にそれぞれ延在させる６本のワイヤま
たは細い棒１１４−１１９によって行う。各ワイヤまた
は棒１１４−１１９は張力および圧縮力に対しては曲が
らなくて堅いが、これらは各端部に近い所に細めのネッ
ク部分１２４を有しており、このネック部分は各ワイヤ
または棒を横方向に曲げることができる。３本のワイヤ
または棒１１４，１１５，１１６は垂直に配置し、その
内の２本はアーティファクトの一端に、残りの１本はア
ーティファクトの他端に配置する。２本のワイヤまたは
棒１１７，１１８はアーティファクトに対して水平に
し、各端部に１個ずつ横方向に配置する。６番目のワイ
ヤまたは棒１１９はアーティファクトに対し水平に、し
かも長手方向に配置する。各ワイヤまたは棒は張力およ
び圧縮力に対しては堅くて曲がらないため、このような
ワイヤまたは棒の配置によって複合アーティファクト１
１０と取付台１１２との間に６通りの自由度が制約され
る。しかし同時に、アーティファクト１１０はクランプ
嵌めする取付台１１２にじゃまされることなく伝達の方
向に膨張および収縮でき、これはネック部分１２４での
曲げにより調整される。同様に、このような曲げは取付
台１１２の締付ひずみも調整するため、これらのひずみ
は複合アーティファクト１１０には伝わらない。
クト１１０と別個の取付台１１２との間を運動学的マウ
ントにより隔離させる他の方法を示す。複合アーティフ
ァクト１１０および取付台１１２は図１１のものにほぼ
似ており、アーティファクトは万能または専用のアーテ
ィファクトユニット７２を前述した所と同様に具えてい
る。複合アーティファクト１１０と取付台１１２との間
の取付けは、アーティファクトの突耳１２０と取付部の
突耳１２２との間にそれぞれ延在させる６本のワイヤま
たは細い棒１１４−１１９によって行う。各ワイヤまた
は棒１１４−１１９は張力および圧縮力に対しては曲が
らなくて堅いが、これらは各端部に近い所に細めのネッ
ク部分１２４を有しており、このネック部分は各ワイヤ
または棒を横方向に曲げることができる。３本のワイヤ
または棒１１４，１１５，１１６は垂直に配置し、その
内の２本はアーティファクトの一端に、残りの１本はア
ーティファクトの他端に配置する。２本のワイヤまたは
棒１１７，１１８はアーティファクトに対して水平に
し、各端部に１個ずつ横方向に配置する。６番目のワイ
ヤまたは棒１１９はアーティファクトに対し水平に、し
かも長手方向に配置する。各ワイヤまたは棒は張力およ
び圧縮力に対しては堅くて曲がらないため、このような
ワイヤまたは棒の配置によって複合アーティファクト１
１０と取付台１１２との間に６通りの自由度が制約され
る。しかし同時に、アーティファクト１１０はクランプ
嵌めする取付台１１２にじゃまされることなく伝達の方
向に膨張および収縮でき、これはネック部分１２４での
曲げにより調整される。同様に、このような曲げは取付
台１１２の締付ひずみも調整するため、これらのひずみ
は複合アーティファクト１１０には伝わらない。
【００５２】上述したアーティファクトはいずれも熱慣
性が低い材料で造るのが良い。こうすればワークピース
に加工サイクル中冷却剤を浴びせて、それを冷却剤の温
度またはそれに近い温度にする場合に有効である。アー
ティファクトを測定する直前には、それにも冷却剤を浴
びせる。熱慣性が低い材料を使用すると云うことは、ア
ーティファクトが迅速に冷却剤と同じ温度になるため、
この冷却剤を浴びせる工程にかかる時間が短縮されると
云うことを意味する。
性が低い材料で造るのが良い。こうすればワークピース
に加工サイクル中冷却剤を浴びせて、それを冷却剤の温
度またはそれに近い温度にする場合に有効である。アー
ティファクトを測定する直前には、それにも冷却剤を浴
びせる。熱慣性が低い材料を使用すると云うことは、ア
ーティファクトが迅速に冷却剤と同じ温度になるため、
この冷却剤を浴びせる工程にかかる時間が短縮されると
云うことを意味する。
【００５３】上述したようなアーティファクトを較正す
ることまで言及したが、これは好ましくは追跡可能な標
準規格に対して要求される精度とし得る任意の好都合な
検査技法で行うことができる。最も好都合な方法は三次
元の座標測定機でアーティファクトを測定するやり方で
ある。
ることまで言及したが、これは好ましくは追跡可能な標
準規格に対して要求される精度とし得る任意の好都合な
検査技法で行うことができる。最も好都合な方法は三次
元の座標測定機でアーティファクトを測定するやり方で
ある。
【図１】本発明方法に適用する工作機械の側面図であ
る。
る。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線上での断面図である。
【図３】第１アーティファクトの一部分を示す断面図で
ある。
ある。
【図４】第２アーティファクトの側面図である。
【図５】第３アーティファクトの平面図である。
【図６】第３アーティファクトの側面図である。
【図７】第４アーティファクトの側面図である。
【図８】第４アーティファクトの平面図である。
【図９】変形工作機械のベッドを示す平面図である。
【図１０】第５アーティファクトの斜視図である。
【図１１】第６アーティファクトの斜視図である。
【図１２】第７アーティファクトの斜視図である。
【図１３】図１２のＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ線上での断面図
である。
である。
２ 工作機械のベッド ３ 工作機械の測定部 ４ コア ５ スケール ６ スピンドル ７ 読取ヘッド ８ チャック ９ 心押し台 １０ カセット １２ 移送機構 １４，１４Ａ ワークピース １５ 回転コンベア １７ コンベアベルト ２０ プローブ ２２ スタイラス ２６，２８，３８，４８ アーティファクト ３０ ワークピースの包絡面 ５２ 万能アーティファクト ５４ 辺部材 ５６ 柱 ５８，６０ 穴 ６８ 複合アーティファクト ７０ 取付部 ７２ アーティファクトユニット ７４ ボス ７６ 穴 ７８ 凹所 ８０ ボス ８２ 穴 （７４〜８２） 測定用特徴部 ８４ スロット ８６，８８，９０ ウェブ ９８ アーティファクト １００ 取付部 １０２ ボール １０４ Ｖ字条溝凹所 １１０ 複合アーティファクト １１２ 取付台 １１４〜１１９ ワイヤまたは棒 １２０，１２２ 突耳 １２４ ネック部分
Claims (11)
- 【請求項１】 相対的に移動自在の２部分を具えている
工作機械で測定する方法であって：前記２部分の一方の
第１部分に既知の寸法を有するアーティファクトを設け
る工程と；前記２部分の他方に前記アーティファクトの
表面を検知するプローブを設ける工程と；前記プローブ
を用いて前記アーティファクトの前記既知の寸法を測定
して測定値を得る工程と；前記測定値を前記既知の寸法
か、ワークピースの測定寸法のいずれかと比較する工
程；とを含む工作機械での測定方法において、 測定しない時のアーティファクトを工作機械の上に位置
させて、工作機械でワークピースが体験するのと同じよ
うな温度変化をアーティファクトが体験するようにする
ことを特徴とする工作機械での測定方法。 - 【請求項２】 前記工作機械が前記２部分間の変位を測
定する手段を有し、前記方法がさらに：工作機械の前記
一方の第１部分上の所定位置にワークピースを位置させ
る工程と；この位置におけるワークピースを工作機械の
測定手段と前記プローブを用いて測定してワークピース
の測定値を得る工程と；前記ワークピースの位置とほぼ
同じ位置の前記第１部分の上に前記アーティファクトを
位置させる工程と；この位置におけるアーティファクト
の既知の寸法を工作機械の測定手段と前記プローブとを
用いて測定してアーティファクトの測定値を得る工程
と；ワークピースの測定値をアーティファクトの測定値
と比較するか、ワークピースの測定値をアーティファク
トの測定値から導出した値で補償する工程；とを含むこ
とを特徴とする請求項１に記載の方法。 - 【請求項３】 相対的に移動自在の２部分と、これら２
部分間の変位を測定する手段を具えている工作機械での
ワークピース測定方法が：工作機械の前記２部分の内の
一方の第１部分の上の所定位置にワークピースを位置さ
せる工程と；この位置におけるワークピースを工作機械
の測定手段と前記２部分の内の他方の部分に取付けたプ
ローブを用いて測定してワークピースの測定値を得る工
程と；前記ワークピースの位置とほぼ同じ位置の前記第
１部分の上に既知の寸法を有しているアーティファクト
を位置させる工程と；この位置におけるアーティファク
トの既知の寸法を工作機械の測定手段と前記２部分の内
の他方の部分に取付けたプローブを用いて測定してアー
ティファクトの測定値を得る工程と；ワークピースの測
定値をアーティファクトの測定値と比較するか、ワーク
ピースの測定値をアーティファクトの測定値から導出し
た値で補償する工程；とを具えていることを特徴とする
工作機械でのワークピース測定方法。 - 【請求項４】 前記アーティファクトを、寸法が既知の
複数の特徴部を有している万能アーティファクトとする
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれかの項に記載の
方法。 - 【請求項５】 前記アーティファクトを前記ワークピー
スのレプリカとすることを特徴とする請求項１〜３のい
ずれかの項に記載の方法。 - 【請求項６】 前記アーティファクトが、測定すべき１
個以上の特徴部を有している測定部と；工作機械に取付
けるようにした取付部と；前記測定部を前記取付部のひ
ずみから少なくとも部分的に分離させるための、測定部
と取付部との間の隔離手段とを具えていることを特徴と
する請求項１〜５のいずれかの項に記載の方法。 - 【請求項７】 前記アーティファクトが、工作機械に取
付けるようにした取付部と；この取付部に互いに離間さ
せて設けた複数のアーティファクトユニットとを具え、
これらの各アーティファクトユニットが測定すべき１個
以上の特徴部を有する測定部分を具えていることを特徴
とする請求項１〜６のいずれかの項に記載の方法。 - 【請求項８】 工作機械での測定用アーティファクト
が：測定すべき１個以上の特徴部を有している測定部分
と；工作機械に取付けるべく適合させた取付部と；前記
測定部を前記取付部のひずみから少なくとも部分的に分
離させるための、測定部と取付部との間の隔離手段；と
を具えていることを特徴とするアーティファクト。 - 【請求項９】 前記隔離手段を前記取付部と前記測定部
との間のスロットとすることを特徴とする請求項８に記
載のアーティファクト。 - 【請求項１０】 前記隔離手段を前記取付部と前記測定
部との間の運動学的マウントとすることを特徴とする請
求項８に記載のアーティファクト。 - 【請求項１１】 工作機械での測定用アーティファクト
が：工作機械に取付けるべく適合させた取付部と；この
取付部に互いに離間させて設けた複数のアーティファク
トユニット；とを具え、これらの各アーティファクトユ
ニットが測定すべき１個以上の特徴部を有する測定部分
を具えていることを特徴とするアーティファクト。
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Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004276234A (ja) * | 2003-03-18 | 2004-10-07 | Reform-Bautz Gmbh | 垂直作業センター |
| JP2013521488A (ja) * | 2010-03-01 | 2013-06-10 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 座標位置決め装置を用いて得られる測定値の誤差の補正 |
| JP2014126531A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-07 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 計測システム、及びその計測方法 |
| JP2014527170A (ja) * | 2011-08-09 | 2014-10-09 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | ワークピースを検査するための方法および装置 |
| JP2015514205A (ja) * | 2012-03-21 | 2015-05-18 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニーＲｅｎｉｓｈａｗ Ｐｕｂｌｉｃ Ｌｉｍｉｔｅｄ Ｃｏｍｐａｎｙ | 工作物を検査するための方法および装置 |
| JP2017037068A (ja) * | 2015-08-10 | 2017-02-16 | 地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター | 温度補正方法、温度補正プログラム、温度補正装置、及び座標測定機 |
| WO2021016296A1 (en) * | 2019-07-22 | 2021-01-28 | Brunson Instrument Company | Articulating arm calibration artifact system and method of use |
Families Citing this family (35)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0548301B1 (en) * | 1991-06-18 | 1996-08-14 | Renishaw Metrology Limited | Automated artefact handling system for machine tools |
| US5426861A (en) * | 1993-04-19 | 1995-06-27 | Advanced Metrological Development | Method and apparatus for inspecting parts for dimensional accuracy outside a laboratory environment |
| IT1261383B (it) * | 1993-12-21 | 1996-05-20 | Antonio Critelli | Metodo di misura dimensionale e campione di riferimento per l'attuazione di tale metodo. |
| GB9401692D0 (en) | 1994-01-28 | 1994-03-23 | Renishaw Plc | Performing measurement or calibration on positioning machines |
| DE4434014A1 (de) * | 1994-09-23 | 1996-03-28 | Zeiss Carl Fa | Verfahren zur Kalibrierung eines Koordinatenmeßgerätes mit zwei rotatorischen Achsen |
| FR2736852B1 (fr) * | 1995-07-18 | 1997-08-22 | Commissariat Energie Atomique | Procede d'evaluation de differents defauts d'une machine d'usinage |
| DE19604354A1 (de) * | 1996-02-07 | 1997-08-14 | Zeiss Carl Fa | Verfahren zur koordinatenmäßigen Vermessung von Werkstücken auf Bearbeitungsmaschinen |
| KR100271854B1 (ko) * | 1996-11-29 | 2000-11-15 | 선우중호 | 다축기계의 3차원입체오차측정방법 |
| WO2000014474A1 (en) * | 1998-09-08 | 2000-03-16 | Brown & Sharpe Manufacturing Company | Coordinate measuring machine having a machine tool frame |
| US6772529B1 (en) * | 1999-11-10 | 2004-08-10 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Contact comparator and method of operation |
| US6819974B1 (en) | 2000-03-29 | 2004-11-16 | The Boeing Company | Process for qualifying accuracy of a numerically controlled machining system |
| US6571148B1 (en) * | 2000-05-03 | 2003-05-27 | The Boeing Company | System for automatically certifying the accuracy of a manufacturing machine and associated methods |
| DE10023604A1 (de) * | 2000-05-15 | 2001-11-29 | Schott Glas | Eindimensionales Kalibriernormal |
| US6612043B2 (en) * | 2001-06-08 | 2003-09-02 | Industrial Technology Research Institute | Method and apparatus for vertically calibrating wire of wire cutting electric discharge machine |
| DE10157174A1 (de) † | 2001-11-22 | 2003-06-05 | Wolfgang Madlener | Verfahren und Vorrichtung zum räumlichen Vermessen von Werkstücken an einer Werkzeugmaschine |
| GB0205332D0 (en) * | 2002-03-06 | 2002-04-17 | Renishaw Plc | Dynamic artefact comparison |
| US20040263840A1 (en) * | 2003-06-25 | 2004-12-30 | Segall Stephen B. | Calibration of reconfigurable inspection machine |
| US6970766B2 (en) * | 2004-04-23 | 2005-11-29 | Eastman Kodak Company | Method for machine tool and profilometer coordinate registration |
| US7191535B2 (en) * | 2005-02-28 | 2007-03-20 | United Technologies Corporation | On-machine automatic inspection of workpiece features using a lathe rotary table |
| DE102005017708A1 (de) * | 2005-04-15 | 2006-10-19 | Wolfgang Madlener | Verfahren und Vorrichtung zum Vermessen von Werkstücken mit einem Messtaster an einer Werkzeugmaschine |
| US7191540B1 (en) * | 2005-10-31 | 2007-03-20 | Mitutoyo Corporation | Work piece holder for surface measuring apparatus |
| US7912572B2 (en) * | 2007-09-20 | 2011-03-22 | General Electric Company | Calibration assembly for an inspection system |
| EP2975475B1 (en) * | 2007-11-02 | 2019-05-08 | Makino Milling Machine Co. Ltd. | Method for preparing error map and numerically controlled machine tool having error map preparation function |
| SE535361C2 (sv) | 2010-11-10 | 2012-07-10 | Biomain Ab | Dentalbryggor och superstrukturer, samt metoder för att tillverka dessa |
| US20130116817A1 (en) * | 2011-11-04 | 2013-05-09 | United Technologies Corporation | System and method for machining and inspecting a workpiece |
| US8621761B2 (en) * | 2011-12-30 | 2014-01-07 | United Technologies Corporation | Self identifying template gage probing system |
| US20170363403A1 (en) * | 2012-03-21 | 2017-12-21 | Renishaw Plc | Method and apparatus for inspecting workpieces |
| EP3511818B1 (en) | 2012-05-10 | 2021-02-17 | Renishaw PLC | Method of manufacturing an article |
| CN104470463B (zh) | 2012-05-10 | 2019-02-05 | 瑞尼斯豪公司 | 用于制造制品的方法 |
| GB201308467D0 (en) | 2013-05-10 | 2013-06-19 | Renishaw Plc | Method and Apparatus for Inspecting Workpieces |
| CN106796095B (zh) | 2014-09-02 | 2021-05-28 | 瑞尼斯豪公司 | 操作坐标测量设备的方法、坐标测量设备和计算机程序 |
| TWI649648B (zh) * | 2017-12-05 | 2019-02-01 | 財團法人工業技術研究院 | 加工機熱補償控制系統及其方法 |
| GB201813372D0 (en) | 2018-08-16 | 2018-10-03 | Rolls Royce Plc | Machining error compensation |
| US11230393B1 (en) | 2020-07-23 | 2022-01-25 | Pratt & Whitney Canada Corp. | Methods for measuring part size and runout |
| US11821758B2 (en) | 2021-03-25 | 2023-11-21 | Pratt & Whitney Canada Corp. | Validation of a measurement machine |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1263912A (en) * | 1968-03-13 | 1972-02-16 | David Theodore Nelson Williams | Machine tool installations |
| US3795054A (en) * | 1970-08-13 | 1974-03-05 | American Welding Mfg Co | Method and apparatus for calibrating the position of a tool and for gauging the dimension of a workpiece |
| US4153998A (en) * | 1972-09-21 | 1979-05-15 | Rolls-Royce (1971) Limited | Probes |
| US4185376A (en) * | 1977-12-22 | 1980-01-29 | Kearney & Trecker Corporation | Unmanned machining center with tool checking |
| DE3013378C2 (de) * | 1980-04-05 | 1984-12-20 | FAG Kugelfischer Georg Schäfer KGaA, 8720 Schweinfurt | Einrichtung zur adaptiven Regelung von Bearbeitungsprozessen an Schleifmaschinen, insbesondere an Rundschleifmaschinen |
| DE3024560A1 (de) * | 1980-06-28 | 1982-01-21 | Daimler-Benz Ag, 7000 Stuttgart | Pruefnormal zur summarischen genauigkeitspruefung von mehrkoordinaten-messgeraeten |
| GB8430398D0 (en) * | 1984-12-01 | 1985-01-09 | Sigma Ltd | Component measuring apparatus |
| DE3620118C2 (de) * | 1986-06-14 | 1998-11-05 | Zeiss Carl Fa | Verfahren zur Bestimmung bzw. Korrektur des Temperaturfehlers bei Längenmessungen |
| GB8627374D0 (en) * | 1986-11-15 | 1986-12-17 | Renishaw Plc | Checking setting of tool |
| GB8713715D0 (en) * | 1987-06-11 | 1987-07-15 | Renishaw Plc | Workpiece inspection method |
| DE3735075A1 (de) * | 1987-10-16 | 1989-04-27 | Zeiss Carl Fa | Pruefeinrichtung und verfahren zur bestimmung der messunsicherheit von koordinatenmessgeraeten |
| EP0445269B1 (en) * | 1989-09-22 | 1993-11-03 | RENISHAW plc | Modular multi-fixturing system for a machine tool |
-
1992
- 1992-06-08 US US07/895,021 patent/US5257460A/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-06-10 DE DE69223457T patent/DE69223457T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1992-06-10 EP EP92305319A patent/EP0519638B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-06-18 JP JP15975192A patent/JP3341906B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004276234A (ja) * | 2003-03-18 | 2004-10-07 | Reform-Bautz Gmbh | 垂直作業センター |
| JP2013521488A (ja) * | 2010-03-01 | 2013-06-10 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 座標位置決め装置を用いて得られる測定値の誤差の補正 |
| US8931183B2 (en) | 2010-03-01 | 2015-01-13 | Renishaw Plc | Measurement method and apparatus |
| JP2014527170A (ja) * | 2011-08-09 | 2014-10-09 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | ワークピースを検査するための方法および装置 |
| US9739606B2 (en) | 2011-08-09 | 2017-08-22 | Renishaw Plc | Method and apparatus for inspecting workpieces |
| JP2015514205A (ja) * | 2012-03-21 | 2015-05-18 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニーＲｅｎｉｓｈａｗ Ｐｕｂｌｉｃ Ｌｉｍｉｔｅｄ Ｃｏｍｐａｎｙ | 工作物を検査するための方法および装置 |
| JP2014126531A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-07 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 計測システム、及びその計測方法 |
| JP2017037068A (ja) * | 2015-08-10 | 2017-02-16 | 地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター | 温度補正方法、温度補正プログラム、温度補正装置、及び座標測定機 |
| WO2021016296A1 (en) * | 2019-07-22 | 2021-01-28 | Brunson Instrument Company | Articulating arm calibration artifact system and method of use |
| US11231273B2 (en) | 2019-07-22 | 2022-01-25 | Brunson Instrument Company | Articulating arm calibration artifact system and method of use |
Also Published As
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| EP0519638B1 (en) | 1997-12-10 |
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