JPH05254132A - インクジェットプリンタヘッドの製作方法 - Google Patents
インクジェットプリンタヘッドの製作方法Info
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- JPH05254132A JPH05254132A JP4052133A JP5213392A JPH05254132A JP H05254132 A JPH05254132 A JP H05254132A JP 4052133 A JP4052133 A JP 4052133A JP 5213392 A JP5213392 A JP 5213392A JP H05254132 A JPH05254132 A JP H05254132A
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- Japan
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- piezoelectric member
- pressure chamber
- electrodes
- printer head
- ink jet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/10—Finger type piezoelectric elements
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 グールド方式のインクジェットプリンタヘッ
ドにおいて、圧電部材の駆動効率や生産性が向上する製
作方法を実現する。 【構成】 圧電性セラミックの型成形で多数の空隙がア
レイ状に連続する圧電部材１４を形成し、この圧電部材
１４の外面に共通電極１７を設けると共に空隙８，１０
の内面に個別電極１５と共通電極１６とを交互に設ける
ことで、圧力室９となる空隙８の略全周方向に共通電極
１６，１７を位置させる。
ドにおいて、圧電部材の駆動効率や生産性が向上する製
作方法を実現する。 【構成】 圧電性セラミックの型成形で多数の空隙がア
レイ状に連続する圧電部材１４を形成し、この圧電部材
１４の外面に共通電極１７を設けると共に空隙８，１０
の内面に個別電極１５と共通電極１６とを交互に設ける
ことで、圧力室９となる空隙８の略全周方向に共通電極
１６，１７を位置させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、グールド方式などと呼
称されるインクジェットプリンタヘッドの製作方法に関
するものである。
称されるインクジェットプリンタヘッドの製作方法に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】現在、静粛で高密度印刷が可能なプリン
タとして、オリフィスからインク滴を吐出させて印刷用
紙に定着させるインクジェットプリンタなどが実用化さ
れている。
タとして、オリフィスからインク滴を吐出させて印刷用
紙に定着させるインクジェットプリンタなどが実用化さ
れている。
【０００３】例えば、グールド方式などと呼称されるイ
ンクジェットプリンタヘッドは、管状に形成されて径方
向に分極された圧電部材の外面に共通電極を形成すると
共に内面に個別電極を設け、圧電部材の個別電極内に位
置する空間でオリフィスとインク供給路とが連通した圧
力室を形成した構造などとなっており、電極間の通電に
よる圧電部材の径方向の収縮で圧力室内のインクを加圧
してオリフィスからインク滴を吐出させるようになって
いる。
ンクジェットプリンタヘッドは、管状に形成されて径方
向に分極された圧電部材の外面に共通電極を形成すると
共に内面に個別電極を設け、圧電部材の個別電極内に位
置する空間でオリフィスとインク供給路とが連通した圧
力室を形成した構造などとなっており、電極間の通電に
よる圧電部材の径方向の収縮で圧力室内のインクを加圧
してオリフィスからインク滴を吐出させるようになって
いる。
【０００４】しかし、実際には上述のような管状の圧電
部材を個々に製作してアレイ状に連続配置すると高密度
化が困難で生産性も低下するので、特開昭62-73951号公
報に開示されたインクジェットプリンタヘッドの圧電部
材１は、図５に例示するように、細長い圧電部材２の内
部に多数の貫通孔３をアレイ状に連設すると共に、これ
らの貫通孔３間の位置で外面に凹溝４を形成し、この凹
溝４内まで連続する外面に共通電極(図示せず)を設ける
と共に貫通孔３内に個別電極(図示せず)を設けた構造と
なっている。
部材を個々に製作してアレイ状に連続配置すると高密度
化が困難で生産性も低下するので、特開昭62-73951号公
報に開示されたインクジェットプリンタヘッドの圧電部
材１は、図５に例示するように、細長い圧電部材２の内
部に多数の貫通孔３をアレイ状に連設すると共に、これ
らの貫通孔３間の位置で外面に凹溝４を形成し、この凹
溝４内まで連続する外面に共通電極(図示せず)を設ける
と共に貫通孔３内に個別電極(図示せず)を設けた構造と
なっている。
【０００５】このようにすることで、このインクジェッ
トプリンタヘッドの本体プレート１では、各々圧力室と
して機能する多数の貫通孔３が一個の圧電部材２に連設
されているので、その生産性が良好で圧力室の高密度化
も可能である。
トプリンタヘッドの本体プレート１では、各々圧力室と
して機能する多数の貫通孔３が一個の圧電部材２に連設
されているので、その生産性が良好で圧力室の高密度化
も可能である。
【０００６】また、上記公報には本体プレート１の圧電
部材２の材料や成形方法の具体例が開示されていない
が、例えば、現在では上述のような本体プレート１の材
料として、耐蝕性や強度が良好な圧電性セラミックを使
用することが提案されている。
部材２の材料や成形方法の具体例が開示されていない
が、例えば、現在では上述のような本体プレート１の材
料として、耐蝕性や強度が良好な圧電性セラミックを使
用することが提案されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記公報に開示された
インクジェットプリンタヘッドでは、一個の圧電部材２
に圧力室となる貫通孔３を連設することで、本体プレー
ト１の生産性が良好で圧力室の高密度化も可能である。
インクジェットプリンタヘッドでは、一個の圧電部材２
に圧力室となる貫通孔３を連設することで、本体プレー
ト１の生産性が良好で圧力室の高密度化も可能である。
【０００８】しかし、このインクジェットプリンタヘッ
ドの本体プレート１では、圧電部材２の外面に凹溝４を
形成することで共通電極が貫通孔３の個別電極を包囲す
るように工夫しているが、実際には共通電極は貫通孔３
の略両側にしか位置していないので、この圧電部材２は
図中で左右方向に収縮することになる。つまり、このイ
ンクジェットプリンタヘッドの本体プレート１では、圧
力室を形成する圧電部材２の貫通孔３を全周方向に収縮
させることができないので、その駆動効率が低下して消
費電力が増加しがちである。
ドの本体プレート１では、圧電部材２の外面に凹溝４を
形成することで共通電極が貫通孔３の個別電極を包囲す
るように工夫しているが、実際には共通電極は貫通孔３
の略両側にしか位置していないので、この圧電部材２は
図中で左右方向に収縮することになる。つまり、このイ
ンクジェットプリンタヘッドの本体プレート１では、圧
力室を形成する圧電部材２の貫通孔３を全周方向に収縮
させることができないので、その駆動効率が低下して消
費電力が増加しがちである。
【０００９】また、上述したように上記公報には圧電部
材２の材料や成形方法の具体例が開示されていないが、
これを前述した圧電性セラミックの平板基材のダイシン
グ加工等で製作した場合、その加工速度を高速化するこ
とが困難であるので生産性が低下することになる。
材２の材料や成形方法の具体例が開示されていないが、
これを前述した圧電性セラミックの平板基材のダイシン
グ加工等で製作した場合、その加工速度を高速化するこ
とが困難であるので生産性が低下することになる。
【００１０】本発明は、駆動効率と生産性とが良好なイ
ンクジェットプリンタヘッドの製作方法を得るものであ
る。
ンクジェットプリンタヘッドの製作方法を得るものであ
る。
【００１１】
【課題を解決するための手段】管状に形成されて径方向
に分極された圧電部材の外面に共通電極を形成すると共
に内面に個別電極を設け、前記圧電部材の個別電極内に
位置する空間でオリフィスとインク供給路とが連通した
圧力室を形成し、前記電極間の通電による前記圧電部材
の径方向の収縮で前記圧力室内のインクを加圧して前記
オリフィスからインク滴を吐出させるようにしたインク
ジェットプリンタヘッドにおいて、圧電性セラミックの
型成形で多数の空隙がアレイ状に連続する圧電部材を形
成し、この圧電部材の外面に共通電極を設けると共に空
隙の内面に個別電極と共通電極とを交互に設けるように
した。
に分極された圧電部材の外面に共通電極を形成すると共
に内面に個別電極を設け、前記圧電部材の個別電極内に
位置する空間でオリフィスとインク供給路とが連通した
圧力室を形成し、前記電極間の通電による前記圧電部材
の径方向の収縮で前記圧力室内のインクを加圧して前記
オリフィスからインク滴を吐出させるようにしたインク
ジェットプリンタヘッドにおいて、圧電性セラミックの
型成形で多数の空隙がアレイ状に連続する圧電部材を形
成し、この圧電部材の外面に共通電極を設けると共に空
隙の内面に個別電極と共通電極とを交互に設けるように
した。
【００１２】
【作用】型成形した一個の圧電部材内に多数の圧力室を
連設することができるので、この圧電部材は生産性が良
好で圧力室の高密度化も容易であり、内面に個別電極が
形成された圧力室の略全周方向に共通電極を位置させる
ことができるので、圧電部材の駆動効率を向上させるこ
とができ、インクジェットプリンタヘッドの生産性向上
や省電力化に寄与することができる。
連設することができるので、この圧電部材は生産性が良
好で圧力室の高密度化も容易であり、内面に個別電極が
形成された圧力室の略全周方向に共通電極を位置させる
ことができるので、圧電部材の駆動効率を向上させるこ
とができ、インクジェットプリンタヘッドの生産性向上
や省電力化に寄与することができる。
【００１３】
【実施例】本発明の第一の実施例を図１及び図２に基づ
いて説明する。まず、本実施例のインクジェットプリン
タヘッド５は、図２に例示するように、オリフィス６が
アレイ状に連設されたオリフィスプレート７と、正方形
の空隙である貫通孔８からなる圧力室９と長方形の空隙
である貫通孔１０とが交互に形成された本体プレート１
１と、途中で一つに合流するインク供給路１２がアレイ
状に連設された供給路プレート１３とを順次接合した構
造となっており、前記オリフィス６と前記圧力室９と前
記インク供給路１２とが各々連通している。そして、前
記本体プレート１１を形成する圧電部材１４は、圧電性
セラミックの型成形の一つである射出成形で形成されて
前記圧力室９を各々中心とする径方向に分極されてお
り、これらの圧力室９を形成する前記貫通孔８の内面に
個別電極１５が形成されると共に他の前記貫通孔１０と
外面とに互いに導通する共通電極１６，１７が形成され
ている。
いて説明する。まず、本実施例のインクジェットプリン
タヘッド５は、図２に例示するように、オリフィス６が
アレイ状に連設されたオリフィスプレート７と、正方形
の空隙である貫通孔８からなる圧力室９と長方形の空隙
である貫通孔１０とが交互に形成された本体プレート１
１と、途中で一つに合流するインク供給路１２がアレイ
状に連設された供給路プレート１３とを順次接合した構
造となっており、前記オリフィス６と前記圧力室９と前
記インク供給路１２とが各々連通している。そして、前
記本体プレート１１を形成する圧電部材１４は、圧電性
セラミックの型成形の一つである射出成形で形成されて
前記圧力室９を各々中心とする径方向に分極されてお
り、これらの圧力室９を形成する前記貫通孔８の内面に
個別電極１５が形成されると共に他の前記貫通孔１０と
外面とに互いに導通する共通電極１６，１７が形成され
ている。
【００１４】このような構成において、このインクジェ
ットプリンタヘッド５では、駆動電力を電極１５〜１７
に通電すると本体プレート１１の圧電部材１４は前記圧
力室９を中心に伸縮するので、この圧力室９内のインク
(図示せず)が加圧されてオリフィス６から吐出される。
ットプリンタヘッド５では、駆動電力を電極１５〜１７
に通電すると本体プレート１１の圧電部材１４は前記圧
力室９を中心に伸縮するので、この圧力室９内のインク
(図示せず)が加圧されてオリフィス６から吐出される。
【００１５】ここで、上述のようなインクジェットプリ
ンタヘッド５の本体プレート１１の製作方法の一例を以
下に詳述する。まず、前記圧電部材１４の圧電性セラミ
ックをＰＺＴ(Ｌead Ｚirco Ｔitanate)で形成する場
合、ＴiＯ2とＰbＯとＺrＯ2及び特性改善剤からなるセ
ラミック原料を混合して乾燥させ、これを仮焼してから
有機バインダと混練する。そして、これを粉砕して形成
した成形材料である粉体を、射出成形機で所定形状の金
型内に注入して成形品(グリーン成形体)を形成する。そ
こで、この成形品内の有機成分を脱脂炉で揮発させてか
ら焼成(本焼結)することで、図１(ａ)に例示するよう
に、正方形と長方形の貫通孔８，１０が交互に形成され
た直方体状の圧電部材１４を形成する。
ンタヘッド５の本体プレート１１の製作方法の一例を以
下に詳述する。まず、前記圧電部材１４の圧電性セラミ
ックをＰＺＴ(Ｌead Ｚirco Ｔitanate)で形成する場
合、ＴiＯ2とＰbＯとＺrＯ2及び特性改善剤からなるセ
ラミック原料を混合して乾燥させ、これを仮焼してから
有機バインダと混練する。そして、これを粉砕して形成
した成形材料である粉体を、射出成形機で所定形状の金
型内に注入して成形品(グリーン成形体)を形成する。そ
こで、この成形品内の有機成分を脱脂炉で揮発させてか
ら焼成(本焼結)することで、図１(ａ)に例示するよう
に、正方形と長方形の貫通孔８，１０が交互に形成され
た直方体状の圧電部材１４を形成する。
【００１６】そして、このようにして型成形の一つであ
る射出成形で形成された圧電部材１４は、所望により研
磨等の仕上加工が施され、同図(ｂ)に例示するように、
この圧電部材１４の各部に電極１５〜１７を既存の薄膜
技術で形成してから80〜１２０（℃）のシリコンオイル
内に配置する。そこで、この状態で個別電極１５と共通
電極１６，１７との間に２〜５(kＶ／mm)の電界を印加
することで、この圧電部材１４は圧力室９を中心とする
径方向に分極される。なお、上述のような圧電部材１４
は、ＰＺＴの二成分系に複合ペロブスカイト酸化物を加
えた三成分系でも実施可能である。
る射出成形で形成された圧電部材１４は、所望により研
磨等の仕上加工が施され、同図(ｂ)に例示するように、
この圧電部材１４の各部に電極１５〜１７を既存の薄膜
技術で形成してから80〜１２０（℃）のシリコンオイル
内に配置する。そこで、この状態で個別電極１５と共通
電極１６，１７との間に２〜５(kＶ／mm)の電界を印加
することで、この圧電部材１４は圧力室９を中心とする
径方向に分極される。なお、上述のような圧電部材１４
は、ＰＺＴの二成分系に複合ペロブスカイト酸化物を加
えた三成分系でも実施可能である。
【００１７】このようにすることで、このインクジェッ
トプリンタヘッド５では、射出成形した圧電性セラミッ
クからなる一個の圧電部材１４内に圧力室９が連設され
るので、この圧電部材１４は生産性が良好で圧力室９の
高密度化も容易であり、さらに、内面に個別電極１５が
形成された圧力室９の略全周方向に共通電極１６，１７
が位置するので、この圧電部材１４は駆動効率が良好で
インクジェットプリンタヘッド５の省電力化等に寄与す
ることができる。
トプリンタヘッド５では、射出成形した圧電性セラミッ
クからなる一個の圧電部材１４内に圧力室９が連設され
るので、この圧電部材１４は生産性が良好で圧力室９の
高密度化も容易であり、さらに、内面に個別電極１５が
形成された圧力室９の略全周方向に共通電極１６，１７
が位置するので、この圧電部材１４は駆動効率が良好で
インクジェットプリンタヘッド５の省電力化等に寄与す
ることができる。
【００１８】また、このようなインクジェットプリンタ
ヘッド５において、オリフィス６やインク供給路１２を
形成するプレート７，１３等もセラミックの射出成形で
形成することで、その生産性や形状精度及び耐久性を向
上させることも実施可能である。なお、このインクジェ
ットプリンタヘッド５では、圧電部材１４は断面形状が
均一なので、これは射出成形の他に押出成形でも製作可
能である。
ヘッド５において、オリフィス６やインク供給路１２を
形成するプレート７，１３等もセラミックの射出成形で
形成することで、その生産性や形状精度及び耐久性を向
上させることも実施可能である。なお、このインクジェ
ットプリンタヘッド５では、圧電部材１４は断面形状が
均一なので、これは射出成形の他に押出成形でも製作可
能である。
【００１９】つぎに、本発明の第二の実施例を図３及び
図４に基づいて説明する。本実施例のインクジェットプ
リンタヘッド１８は、図４に例示するように、オリフィ
ス６がアレイ状に連設されたオリフィスプレート７と、
圧力室１９毎に分断された圧電部材２０を絶縁基板２１
上に装着した本体プレート２２と、途中で一つに合流す
るインク供給路１２がアレイ状に連設された供給路プレ
ート１３とを順次接合した構造となっており、前記オリ
フィス６と前記本体プレート２２内の圧力室１９と前記
インク供給路１２とが各々連通している。そして、前記
本体プレート２２の圧電性セラミック製の圧電部材２０
は、前記圧力室１９に分断された角管状に成形されて各
々径方向に分極されており、これらの圧力室１９を形成
する空隙である貫通孔２３の内面に個別電極２４が形成
されると共に、前記圧力室１９間に位置する空隙２５内
まで連続する外面に共通電極２６が形成されている。
図４に基づいて説明する。本実施例のインクジェットプ
リンタヘッド１８は、図４に例示するように、オリフィ
ス６がアレイ状に連設されたオリフィスプレート７と、
圧力室１９毎に分断された圧電部材２０を絶縁基板２１
上に装着した本体プレート２２と、途中で一つに合流す
るインク供給路１２がアレイ状に連設された供給路プレ
ート１３とを順次接合した構造となっており、前記オリ
フィス６と前記本体プレート２２内の圧力室１９と前記
インク供給路１２とが各々連通している。そして、前記
本体プレート２２の圧電性セラミック製の圧電部材２０
は、前記圧力室１９に分断された角管状に成形されて各
々径方向に分極されており、これらの圧力室１９を形成
する空隙である貫通孔２３の内面に個別電極２４が形成
されると共に、前記圧力室１９間に位置する空隙２５内
まで連続する外面に共通電極２６が形成されている。
【００２０】このような構成において、このインクジェ
ットプリンタヘッド１８では、駆動電力を電極２４，２
６間に通電すると本体プレート２２の圧電部材２０は前
記圧力室１９を中心に伸縮するので、この圧力室１９内
のインク(図示せず)が加圧されてオリフィス６から吐出
される。
ットプリンタヘッド１８では、駆動電力を電極２４，２
６間に通電すると本体プレート２２の圧電部材２０は前
記圧力室１９を中心に伸縮するので、この圧力室１９内
のインク(図示せず)が加圧されてオリフィス６から吐出
される。
【００２１】ここで、上述のようなインクジェットプリ
ンタヘッド１８の本体プレート２２の製作方法の一例を
以下に詳述する。まず、第一の従来例として例示した圧
電部材１４と同様に型成形の一つである射出成形で、図
３(ａ)に例示するように、正方形の貫通孔２３と長方形
の空隙である凹溝２７とが交互に形成された直方体状の
圧電部材２８を形成する。ここで、この圧電部材２８は
圧電部材２０の基材であるため、この時点では形状が異
なっている。そこで、同図(ｂ)に例示するように、予め
共通電極２６が形成された絶縁基板２１の表面に圧電部
材２８を凹溝２７が開口した下面で接合し、同図(ｃ)に
例示するように、この圧電部材２８の上部を研磨加工や
ダイシング加工等で凹溝２７の位置まで切除する。する
と、貫通孔２３毎に空隙２５を介して分断された圧電部
材２０が形成されるので、同図(ｄ)に例示するように、
この圧電部材２０の貫通孔２３の内面に個別電極２４を
形成すると共に外面に共通電極２６を形成することで、
この共通電極２６は空隙２５を介するなどして絶縁基板
２１上の絶縁基板２１と一体化される。そこで、このよ
うにして形成した圧電部材２０を80〜120(℃)のシリコ
ンオイル内に配置して個別電極２４と共通電極２６との
間に２〜５(kＶ／mm)の電界を印加することで、この圧
電部材２０は圧力室１９を中心とする径方向に分極され
る。
ンタヘッド１８の本体プレート２２の製作方法の一例を
以下に詳述する。まず、第一の従来例として例示した圧
電部材１４と同様に型成形の一つである射出成形で、図
３(ａ)に例示するように、正方形の貫通孔２３と長方形
の空隙である凹溝２７とが交互に形成された直方体状の
圧電部材２８を形成する。ここで、この圧電部材２８は
圧電部材２０の基材であるため、この時点では形状が異
なっている。そこで、同図(ｂ)に例示するように、予め
共通電極２６が形成された絶縁基板２１の表面に圧電部
材２８を凹溝２７が開口した下面で接合し、同図(ｃ)に
例示するように、この圧電部材２８の上部を研磨加工や
ダイシング加工等で凹溝２７の位置まで切除する。する
と、貫通孔２３毎に空隙２５を介して分断された圧電部
材２０が形成されるので、同図(ｄ)に例示するように、
この圧電部材２０の貫通孔２３の内面に個別電極２４を
形成すると共に外面に共通電極２６を形成することで、
この共通電極２６は空隙２５を介するなどして絶縁基板
２１上の絶縁基板２１と一体化される。そこで、このよ
うにして形成した圧電部材２０を80〜120(℃)のシリコ
ンオイル内に配置して個別電極２４と共通電極２６との
間に２〜５(kＶ／mm)の電界を印加することで、この圧
電部材２０は圧力室１９を中心とする径方向に分極され
る。
【００２２】このようにすることで、このインクジェッ
トプリンタヘッド１８では、射出成形した圧電性セラミ
ックからなる一個の圧電部材２０内に圧力室１９が連設
されるので、この圧電部材２０は生産性が良好で圧力室
１９の高密度化も容易であり、さらに、内面に個別電極
２４が形成された圧力室１９の全周方向に共通電極２６
が位置するので、この圧電部材２０は駆動効率が良好で
インクジェットプリンタヘッド１８の省電力化等に寄与
することができる。また、このインクジェットプリンタ
ヘッド１８では、圧電部材２０が各圧力室１９毎に分断
されているので、これらの圧力室１９は隣接する圧力室
１９の動作に影響されることがなく、その動作特性が極
めて良好でクロストークも防止されている。
トプリンタヘッド１８では、射出成形した圧電性セラミ
ックからなる一個の圧電部材２０内に圧力室１９が連設
されるので、この圧電部材２０は生産性が良好で圧力室
１９の高密度化も容易であり、さらに、内面に個別電極
２４が形成された圧力室１９の全周方向に共通電極２６
が位置するので、この圧電部材２０は駆動効率が良好で
インクジェットプリンタヘッド１８の省電力化等に寄与
することができる。また、このインクジェットプリンタ
ヘッド１８では、圧電部材２０が各圧力室１９毎に分断
されているので、これらの圧力室１９は隣接する圧力室
１９の動作に影響されることがなく、その動作特性が極
めて良好でクロストークも防止されている。
【００２３】なお、本発明で云う型成形とは、射出成形
と押出成形との何れか一方を意味しており、プレス加工
などを内包するものではない。
と押出成形との何れか一方を意味しており、プレス加工
などを内包するものではない。
【００２４】
【発明の効果】本発明は上述のように、管状に形成され
て径方向に分極された圧電部材の外面に共通電極を形成
すると共に内面に個別電極を設け、前記圧電部材の個別
電極内に位置する空間でオリフィスとインク供給路とが
連通した圧力室を形成し、前記電極間の通電による前記
圧電部材の径方向の収縮で前記圧力室内のインクを加圧
して前記オリフィスからインク滴を吐出させるようにし
たインクジェットプリンタヘッドにおいて、圧電性セラ
ミックの型成形で多数の空隙がアレイ状に連続する圧電
部材を形成し、この圧電部材の外面に共通電極を設ける
と共に空隙の内面に個別電極と共通電極とを交互に設け
るようにしたことにより、型成形した一個の圧電部材内
に多数の圧力室を連設することができるので、圧電部材
の生産性が良好で圧力室の高密度化も容易であり、内面
に個別電極が形成された圧力室の略全周方向に共通電極
を位置させることができるので、圧電部材の駆動効率を
向上させることができ、インクジェットプリンタヘッド
の生産性向上や省電力化に寄与することができる等の効
果を有するものである。
て径方向に分極された圧電部材の外面に共通電極を形成
すると共に内面に個別電極を設け、前記圧電部材の個別
電極内に位置する空間でオリフィスとインク供給路とが
連通した圧力室を形成し、前記電極間の通電による前記
圧電部材の径方向の収縮で前記圧力室内のインクを加圧
して前記オリフィスからインク滴を吐出させるようにし
たインクジェットプリンタヘッドにおいて、圧電性セラ
ミックの型成形で多数の空隙がアレイ状に連続する圧電
部材を形成し、この圧電部材の外面に共通電極を設ける
と共に空隙の内面に個別電極と共通電極とを交互に設け
るようにしたことにより、型成形した一個の圧電部材内
に多数の圧力室を連設することができるので、圧電部材
の生産性が良好で圧力室の高密度化も容易であり、内面
に個別電極が形成された圧力室の略全周方向に共通電極
を位置させることができるので、圧電部材の駆動効率を
向上させることができ、インクジェットプリンタヘッド
の生産性向上や省電力化に寄与することができる等の効
果を有するものである。
【図１】本発明の第一の実施例を示す製作工程図であ
る。
る。
【図２】分解斜視図である。
【図３】第二の実施例を示す製作工程図である。
【図４】分解斜視図である。
【図５】従来例を示す斜視図である。
５，１８ インクジェットプリン
タヘッド ６ オリフィス ８，１０，２３，２５，２７ 空隙 ９，１９ 圧力室 １２ インク供給路 １４，２０，２８ 圧電部材 １５，２４ 個別電極 １６，１７，２６ 共通電極
タヘッド ６ オリフィス ８，１０，２３，２５，２７ 空隙 ９，１９ 圧力室 １２ インク供給路 １４，２０，２８ 圧電部材 １５，２４ 個別電極 １６，１７，２６ 共通電極
Claims (1)
- 【請求項１】 管状に形成されて径方向に分極された圧
電部材の外面に共通電極を形成すると共に内面に個別電
極を設け、前記圧電部材の個別電極内に位置する空間で
オリフィスとインク供給路とが連通した圧力室を形成
し、前記電極間の通電による前記圧電部材の径方向の収
縮で前記圧力室内のインクを加圧して前記オリフィスか
らインク滴を吐出させるインクジェットプリンタヘッド
において、圧電性セラミックの型成形で多数の空隙がア
レイ状に連続する圧電部材を形成し、この圧電部材の外
面に共通電極を設けると共に空隙の内面に個別電極と共
通電極とを交互に設けることを特徴とするインクジェッ
トプリンタヘッドの製作方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4052133A JPH05254132A (ja) | 1992-03-11 | 1992-03-11 | インクジェットプリンタヘッドの製作方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4052133A JPH05254132A (ja) | 1992-03-11 | 1992-03-11 | インクジェットプリンタヘッドの製作方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05254132A true JPH05254132A (ja) | 1993-10-05 |
Family
ID=12906375
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4052133A Pending JPH05254132A (ja) | 1992-03-11 | 1992-03-11 | インクジェットプリンタヘッドの製作方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05254132A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012086143A1 (en) * | 2010-12-24 | 2012-06-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid ejection head and method of manufacturing liquid ejection head |
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-
1992
- 1992-03-11 JP JP4052133A patent/JPH05254132A/ja active Pending
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| JP2014004717A (ja) * | 2012-06-22 | 2014-01-16 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド及びその製造方法 |
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