JPH05240802A

JPH05240802A - 表示素子検査方式

Info

Publication number: JPH05240802A
Application number: JP5010191A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Egawa; 寛江川
Original assignee: MINATO ELECTRON KK; MINATO ELECTRONICS
Current assignee: MINATO ELECTRON KK; MINATO ELECTRONICS
Priority date: 1991-02-25
Filing date: 1991-02-25
Publication date: 1993-09-21
Anticipated expiration: 2010-01-30
Also published as: JPH076925B2

Abstract

(57)【要約】（修正有）【目的】表示画素に対応配置するセンサ画素の数を削
減できる静止形の検査画面の読取り方法の提供。【構成】表示素子の表示画面を検査画面としてその良
否を判定するため検査方式において、表示素子１とセン
サカメラ２の位置関係を基準位置に設定し、センサ画素
のセンスした光度情報に、基準位置で抽出した対応位置
補正係数を乗じることにより表示画素の光度情報を生成
する表示素子検査方式。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は液晶ディスプレイ、プラ
ズマディスプレイなどの表示素子に係わる。さらに詳述
すれば、表示素子の表示する画面を読取り、その良否を
検査する方式に係わる。

【０００２】

【従来の技術】表示素子に表示された画面を読取る方式
としては、ラインセンサを用いる方式（以下第１従来例
という）が周知である。例えば、１ミリメートル当たり
１６画素のラインセンサを用いて、１ミリメートル当た
り３画素程度の表示素子の表示画面を入力している。ま
た、ＣＣＤなどの２次元センサを用いる方法（以下第２
従来例という）が周知である。この第２従来例の方法で
は２次元センサの行と列に配置された画素と表示素子の
行と列に配列された画素（以下特に断らない限り、表示
素子の画素を表示画素と呼称し、センサの画素をセンサ
画素と呼称する）とを対応付けており、一つの表示画素
に複数のセンサ画素を対応配置しているのが一般的であ
る。この基本的な考えは、表示素子のいかなる位置にあ
る表示画素においても、この当該の表示画素に正しく対
応するセンサ画素を存在させる事である。ここで正しく
対応するとは、２次元センサ受光面上に作る表示画素の
像（以下、２次元センサ受光面上に作る表示画素の像を
単に画素像と呼称する）とこの画素像に対応するセンサ
画素の位置関係が全ての画素像について実用上同じ様な
位置関係に在るような対応を言う。例えば、表示画素の
発する光（表示画素自体が発光せず、単なる透過光も含
めて表示画素の発する光と表現する）の強さを表現する
光度の分布のピーク値を検出するには、全ての表示画素
についてその光度分布のピーク位置にセンサ画素が存在
する必要がある。この様な対応関係を実現するには、一
つの表示画素にセンサ画素を多数対応させざるをえず、
センサ画素数は表示画素数よりも充分多くなけらばなら
ない。このため、センサ画素数に対して充分に表示画素
数の少ない比較的低品位の表示素子の検査には２次元セ
ンサを用いて静止形の読取り方法で使用することができ
るが、センサ画素数に対して同程度あるいはそれ以上の
表示画素数を有する表示素子の検査に適用するには、表
示素子の画面を幾つかの領域に区分し、各領域毎に２次
元センサを配置し、一つの２次元センサの分担する表示
画素数を等価的に制限する方法が採られている。この実
現方法の一つは２次元センサを複数個配置しそれぞれ異
なった領域を分担して読取る静止形の方式である。他の
一つは２次元センサと検査対象の表示素子の相対位置を
移動させつつ、制限した領域を読取っていく移動形の方
法であり、移動を伴う点では前記ラインセンサの場合と
同様である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】前記第１従来例のライ
ンセンサを用いる方式では表示素子の一行の表示画素を
読取る毎にセンサと表示素子の相対位置を移動させる必
要があり、機械的な移動機構が必要で複雑となるばかり
でなく、読取りに多大の時間を必要とする欠点がある。
また、前記第２の従来例の２次元センサを移動させる移
動形の方法ではラインセンサを用いる方式と同様に移動
機構が必要となり、複雑で、かつ読取りにも多大の時間
を必要とする欠点がある。２次元センサを複数個配置す
る静止形の方法では設置する２次元センサカメラの数が
膨大となり、画素数の多い高品位の表示素子の検査への
適用性は乏しくなる。例えば６４０×４００画素の表示
素子に対してこれと同程度の画素数のＣＣＤセンサカメ
ラを用いる場合、一つの表示画素に、縦方向と横方向の
それぞれにセンサ画素を少なくとも５個程度を対応配置
するとすれば、２５台のカメラが必要になる。このカメ
ラ台数に応じて画像処理回路の規模も増大する事、また
カメラを表示画面に対面して配置することが困難な事な
どから実現性に乏しくなる。本発明は上記欠点を解決
し、表示画素に対応配置するセンサ画素の数を削減でき
る静止形の検査画面の読取り方法を提供し、より経済
的、効率的な表示素子検査方式を提供する事にある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】表示画素に対応するセン
サ画素の数が少ない状態ではセンサ画素の位置を表示画
素の光度分布上のピーク位置などの特定の位置に固定す
ることができず、本来等しい光度であるにもかかわらず
違った光度情報として検出してしまう課題を解決するた
めに、表示画素とこの表示画素に対応するセンサ画素の
位置関係を固定する事により、予め補正係数を抽出し、
この補正係数をセンサ画素の出力である検出光度情報に
乗じることにより、全ての表示画素について光度分布の
特定の位置にセンサ画素を配置した状態での光度情報に
等価的に変換するように構成し、次のようにしたもので
ある。すなわち、表示素子の表示画面を検査画面として
その良否を判定するための検査方式において、（１）表
示素子とセンサカメラの位置関係を基準位置に設定し、
センサ画素のセンスした光度情報に、基準位置で抽出し
た対応位置補正係数を乗じることにより表示画素の光度
情報を生成する表示素子検査方式の請求項１の発明と
（２）対応位置補正係数の抽出において、検査済みの表
示素子を用いる請求項１よりなる請求項２の発明を構成
したものである。

【０００５】

【作用】本発明を上記のように構成したので、検体であ
る表示素子が変わっても表示素子とセンサカメラの位置
関係が常に一定の基準位置に保てるため、各表示画素と
これに対応する対応センサ画素の位置関係を固定でき、
また予めこの基準位置でセンスした対応センサ画素の光
度とこの対応センサ画素に対応する表示画素の光度との
関係を対応位置補正係数として抽出保存していることか
ら、表示画素と対応センサ画素の相対位置関係が表示画
素の位置により大きく変化しても、対応センサ画素のセ
ンスした光度に対応位置補正係数を乗じることにより、
検体の内部はもちろん検体間を越えて表示画素の光度を
同一基準で抽出できる事になる。このためセンサカメラ
の設置台数を削減するなどして表示画素に対応して配置
させるセンサ画素の数が少なくなり、表示画素と対応セ
ンサ画素の相対位置関係が表示画素の位置により大きく
変化するような状況でも、各表示画素の光度を正しく検
査できる。

【０００６】

【実施例】表示素子に液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）を、
センサにＣＣＤ２次元センサを用いた場合を例に、以下
図面を用いて本発明を詳細に説明する。なお、表示画
素、画素像およびセンサ画素は直交するｘ、ｙの両方向
に２次元的な広がりを持つ。しかし、２次元的な広がり
で説明するといたずらに複雑になり理解を妨げることに
なること、さらにｘ、ｙの両方向の内の１方向にだけ着
目した説明で容易に２次元的な広がりの場合に拡張して
理解できることから、本明細書では１次元の広がりでも
って説明する。なお、本明細書では表示画素の発する光
の強さを光度と言う用語をもって表す。光度は任意単位
とし、表示画素の発する単位面積当たりの光の強さも、
表示画素の全域に渡って積分した光の強さも、またセン
サの受光面にできた画素像の単位面積当たりの光の強さ
も、また画素像の一定領域に渡って積分した光の強さ
も、これら全てを光度で表現する。

【０００７】図１は本発明の基本原理の説明図である。
図において画素像の光度分布２０が画素像領域１０との
位置関係で示されている。さらに、これらとの位置関係
でセンサ画素領域１１が示されている。この例では１つ
の画素像領域に概略２個のセンサ画素が対応配置された
場合を示している。（ａ）はセンサ画素領域の中心が光
度分布のピーク位置にある場合を表す。（ｂ）はセンサ
画素の有効領域Ｌの中心が光度分布のピーク位置から距
離ｘ_A（以下ピーク位置距離ｘ_Aと呼称する）なる位置
にある場合を表す。センサ画素が検出する光度はセンサ
画素の有効領域Ｌに渡って積分した光度であり、図中の
斜線領域で示される量である。表示画素の光度分布は一
般に表示画素中央部でピーク値を呈し、端部に近付くに
したがって漸次低下していく特性を持つ。したがって画
素像もこの例に示されるように同様の傾向を持った特性
となり、ピーク位置距離ｘ_Aが大きい位置関係にある場
合ほどセンサ画素の検出光度は低くなる。

【０００８】液晶ディスプレイの製造プロセスでは寸法
精度の高いホトリゾグラフィ技術を用いているため、検
査対象の表示素子すなわち検体が変わっても、センサカ
メラと検体の位置関係を常に一定に保つことにより、表
示素子の任意の番地ｎにある特定の表示画素に着目して
みるとピーク位置距離ｘ_Anが実用上常に一定と見なせる
センサ画素を存在させることができる。この事は検体の
全ての表示画素で成立するがピーク位置距離ｘ_Anは各々
の表示画素により異なる。すなわち、表示画素の番地位
置により異なる。この事に基づき、予め全ての表示画素
についてその表示画素固有のピーク位置距離ｘ_Anの位置
状態での検出光度Ｂ_Anとピーク位置距離ｘ_Anが０の場
合、すなわちセンサ画素の有効領域Ｌの中心が光度分布
のピーク位置にある状態での検出光度Ｂ_On（以下ピーク
位置検出光度Ｂ_Onと呼称する）を求め、その比Ｂ_An／Ｂ
_Onを対応位置補正係数Ｋ_nとして求めておく。当然の事
ながら対応位置補正係数Ｋ_nは表示画素毎に異なった値
となる。

【０００９】対応位置補正係数の名称の由来は画素像と
センサ画素の対応位置の違いからくる検出光度の違いを
補正し、センサ画素の有効領域Ｌの中心が光度分布のピ
ーク位置を光度評価基準位置とし、この光度評価基準位
置での光度に変換して同一の基準で評価するための補正
係数であることに基づいている。上記説明で補正の基準
となる基準光度にピーク位置検出光度Ｂ_Onを用いて説明
したが、一般にはピーク位置での検出光度に限定する必
要な無く、全ての表示画素で任意のピーク位置距離ｘ_An
に等しく固定した場合の光度で良く、全ての表示画素が
同じ条件で検出されて基準となり得る光度Ｂ_Sn（以下基
準光度Ｂ_Snと呼称する）であれば良い。極端な例では、
センサカメラの光学系によるローカルな歪みやぼやけ、
視野角の差などに起因して場所の違いによる検出光度の
差が無視できるような場合には、いずれの表示画素の基
準光度も等しく見なせることから各表示画素の基準光度
Ｂ_Snを等しく適当な定数を当てはめる事さえ出来る。さ
らに表示画素の光度を評価するに、物理的な絶対値を評
価する必要は無く、表示画素間の相対的な光度を評価す
れば良い。したがって番地ｎの表示画素の対応位置補正
係数Ｋ_nは式で表されるように任意の定数ｋを乗じて
も良い。Ｋ_n＝ｋ・Ｂ_An／Ｂ_Sn ──────

【００１０】以上説明した本発明の原理に基づき検査動
作は概要次のように実行する。まず、基準となる表示素
子（以下基準表示素子と呼称する）を用い、この基準表
示素子とセンサ画素との位置関係を基準位置として固定
し、各表示画素の光度を直接的に読取るセンサ画素（以
下対応センサ画素と呼称する）を特定する。これには当
該画素像領域内に位置し、最も検出光度の高いセンサ画
素を対応センサ画素に充てるなどして特定する。次に、
対応位置補正係数Ｋ_nを求め、これを補正係数格納メモ
リに保持する。以上が初期設定段階である。検査動作段
階では、検体を基準位置に合わせ、対応センサ画素で光
度を検出し、この検出した光度に当該表示画素の対応位
置補正係数Ｋ_nを乗じて、光度評価基準位置での光度に
変換し、この変換後の光度の大小をもって良否を判断す
ることになる。

【００１１】以下実施例をもって本発明を詳細に説明す
る。図２は本発明に係わる基本構成ブロック図である。
表示素子１を移動ステージ３の上に乗せ、表示素子１か
ら一定距離を離して表示画面をセンサするためのセンサ
カメラ２が配置され、センサカメラ２の出力信号は処理
回路部４に導かれ処理される。また表示素子１には位置
合わせ用のマークがあり、このマークを読取って位置合
わせ制御を行うための位置制御用カメラ（図中では省
略）が配置される。ここではセンサカメラ２は１台を例
とするが、複数台を設置する場合も同様である。この複
数台設置の場合は、表示素子の表示画面を分割し、それ
ぞれの分割領域に１台のセンサカメラを割り当てて検査
する事になる。上記構成のもとで、まず検査済みの表示
素子を基準表示素子として移動ステージ３に乗せ、所定
の表示画面領域がセンサカメラのＣＣＤセンサの有効受
光領域に効果的に像を結ぶように表示素子とセンサカメ
ラ２との距離（ｚ軸方向）の移動とともに、移動ステー
ジをｚ軸と直交するｘ方向とｙ方向に、さらにｚ軸を回
転軸とする回転方向に移動する。この状態で表示素子の
位置合わせ用マークを位置制御用カメラで読取り基準位
置として記憶保存し、検査段階での検体の位置合せのた
めの基準位置を確定する。

【００１２】図３は図２に示す処理回路部４の実施例
で、処理回路部４はセンサカメラ２からのアナログ信号
を入力としディジタル信号に変換後、対応位置補正係数
の設定動作などの初期設定動作を初め、検査段階での検
査動作の処理を行う。図中、１００はメモリバスで、Ａ
Ｄ変換回路１０１、ＣＣＤイメージメモリ１０２、対応
関係情報格納メモリ１０３、補正係数格納メモリ１０
４、ＬＣＤイメージメモリ１０５、処理用メモリ１０
６、処理回路１０７が接続されている。図３を用いて対
応位置補正係数の抽出動作を説明する。この動作のため
には表示画素とセンサ画素の対応関係を表す対応関係情
報が予め対応関係情報格納メモリ１０３に格納されてい
る必要がある。この表示画素とセンサ画素の対応関係情
報をもとに、表示素子の個々の表示画素の光度情報を検
出する方法として平成３年２月４日付本出願人の出願に
係わる特許出願の発明（表示画面読取方式）（以下該本
人発明という）があり、まさにこの該本人発明による方
法を用いて対応関係情報の抽出および対応関係情報にも
とずくセンサ画素に対応する表示画素の明定を行う。し
たがって、これら動作の詳細は該本人発明の明細書に詳
細に説明されていることから、ここではその概要を記述
するに止める。対応関係情報の抽出も予め検査済みの表
示素子を基準表示素子に用い、基準位置に設定した状態
で表示画素を点灯させ、センサカメラ２で読取り、ＣＣ
Ｄイメージメモリ１０２に格納する。その後、ＣＣＤイ
メージメモリ１０２の内容を基に検出光度のピークを検
出することにより各表示画素に対応する対応センサ画素
を特定することにより対応関係情報を抽出し、対応関係
情報格納メモリへ格納する。ここで注意すべきは特定し
たセンサ画素は近傍のセンサ画素に比して対応する表示
画素の光度を最も強く検出した意味でのピーク値を検出
をしているのであり、表示画素の光度分布上のピークを
検出しているのでは無い事である。この対応関係情報の
抽出動作では、分解能さえあれば基準表示素子の全ての
表示画素を一括して点灯してもよい。また、表示画素を
一つづつ点灯させながら対応関係情報を抽出して行って
もよい。また行、列の一方あるいは両方の方向に数画素
おきに点灯させる表示パターンを繰り返すことによって
対応関係情報を抽出して行っても良い。これらの動作で
得られた対応関係情報を一般的に表現すると、表示画素
の番地ｎに対応するセンサ画素の番地ｍの対応である。
ここでの実施例では、表示画素の番地ｎを対応関係情報
格納メモリの番地ｎに１対１に対応させ、このメモリの
ｎ番地位置に表示画素の番地ｎに対応するセンサ画素の
番地情報ｍを格納する方法を採る。この方法ではメモリ
の番地ｎを介在して表示画素の番地ｎとセンサ画素の番
地ｍとが対応している事を、すなわち対応関係情報を格
納することになる。この対応関係情報の対応関係情報格
納メモリ１０３への設定動作はここで説明した対応関係
情報の抽出動作をその都度実行する必要は無く、一度抽
出した情報をファイル記憶などに保存しておき、必要に
応じて対応関係情報格納メモリへロードすることでも良
い。上記対応関係情報の抽出動作における情報の転送、
ピーク検出などの処理は処理回路１０７で実施する。処
理回路１０７は汎用のプロセッサで構成しても良く、専
用のハードウエアで構成しても良い。なお、処理用メモ
リ１０６は処理回路１０７で実行するためのプログラム
の格納用およびワーク用として用いるためのメモリであ
る。

【００１３】以上の対応関係情報の抽出動作により抽出
された対応関係情報が対応関係情報格納メモリ１０３に
設定された後、基準位置に設定した基準表示素子の表示
画素を点灯させ、センサカメラ２で読取り、ＣＣＤイメ
ージメモリ１０２に格納する。なお、ＣＣＤイメージメ
モリ１０２の番地はセンサカメラ２のセンサ画素の番地
と１対１に対応するように構成されており、全てのセン
サ画素でセンスした光度情報がＣＣＤイメージメモリ１
０２に転送されたことになる。次に、対応関係情報格納
メモリ１０３のｎ番地から番地ｎの表示画素に対応する
対応センサ画素の番地情報ｍを取り出し、この番地情報
ｍをもとにＣＣＤイメージメモリ１０２の番地ｍをアク
セスし、番地ｍのセンサ画素で検出した光度Ｂ_Anを読出
し、補正係数格納メモリ１０４の番地ｎに格納する。こ
の動作を全部の表示画素に対応する対応関係情報格納メ
モリの全番地について実行する。なお、補正係数格納メ
モリ１０４とＬＣＤイメージメモリ１０５の番地は表示
画素の番地と１対１に対応するよう構成されている。次
に、センサ画素の中心が光度分布のピーク位置にある状
態を各表示画素に共通の基準とする場合を例に基準光度
Ｂ_Snの求め方について説明する。表示画素の光度分布領
域に対して実用上充分小さいピッチで移動ステージを
ｘ、ｙ方向に動かしつつ、すなわち表示素子とセンサカ
メラの相対位置をずらしつつ表示画面を読取り、番地ｍ
のセンサ画素で検出される番地ｎの表示画素の光度の最
大値を求める。この最大値の求め方は次の通り行う。ま
ず、基準位置で検出した番地ｎの表示画素に対応する番
地ｍのセンサ画素の検出光度をＬＣＤイメージメモリ１
０５の番地ｎに格納し、次に移動ステージを移動させる
ごとに番地ｎの表示画素に対応する番地ｍのセンサ画素
の検出光度をＬＣＤイメージメモリ１０５の番地ｎの内
容とを比較し、新たに検出したセンサ画素の光度が大き
い場合はこの新たな光度をＬＣＤイメージメモリ１０５
の番地ｎに格納するが、小さい場合はそのまま前の情報
を保持する方法で光度分布のピーク値を求める。この動
作結果、基準光度Ｂ_SnはＬＣＤイメージメモリ１０５の
番地ｎに格納されたことになる。次に、補正係数格納メ
モリ１０４の番地ｎに格納されている光度Ｂ_AnとＬＣＤ
イメージメモリ１０５の番地ｎに格納された基準光度Ｂ
_Snを読出し式の演算を行って対応位置補正係数を求
め、補正係数格納メモリ１０４の番地ｎに格納する。当
然のことながら表示画素の全てに対応して上記動作が実
行される。また、この対応位置補正係数の抽出動作にお
いてもメモリ操作、情報の処理などは処理回路１０７で
実施する。以上の実施例では、移動ステージを微量づつ
動かしピーク値を求めることで基準光度Ｂ_Snを求める方
法を説明したが、他の方法、例えばセンサカメラの焦点
をずらし、画素像をぼかした状態で対応センサ画素がセ
ンスした光度を基準光度Ｂ_Snとしても良い。この画素像
のぼかしの状態では光度分布特性が平坦化され、どの対
応センサ画素の位置でも光度分布上の等しい位置と実用
上見なせる状態となっている。

【００１４】以上、表示素子の検査を実行する前の初期
設定動作に当たる基準位置の確定、対応関係情報の抽
出、対応位置補正係数の抽出などの検査パラメータの抽
出について説明した。次にこれらパラメータを使っての
検査動作について説明する。検査動作の場合も検体であ
る表示素子をまず基準位置に合わせる。その状態で検査
パターンを表示素子に表示させ、センサカメラ２で表示
画面を読取り、ＡＤ変換回路１０１でディジタル信号に
変換後、ＣＣＤイメージメモリ１０２に格納する。次
に、対応関係情報格納メモリ１０３から対応関係情報、
すなわち表示画素の番地ｎに対応するセンサ画素の番地
情報ｍを取り出し、この対応関係情報すなわち番地情報
ｍをもとにＣＣＤイメージメモリ１０２の番地ｍから番
地ｎの表示画素に対応する光度情報Ｂ_Anを読出すと共に
補正関係格納メモリ１０４の番地ｎから番地ｎの表示画
素に係わる補正係数Ｋ_nを読出し、これら光度Ｂ_AnとＫ
_nの積をとってＬＣＤイメージメモリ１０５の番地ｎに
格納する。当然のことながら表示画素の全てに対応して
上記動作が実行され、その結果ＬＣＤイメージメモリ１
０５に全ての表示画素の光度情報が格納されたことにな
る。この光度情報をもとに各表示画素の良否を判定し、
孤立欠陥や線欠陥などの欠陥モード、欠陥の数などを解
析することにより表示素子としての良否を判定する。以
上の検査動作においてもメモリ操作、情報の処理などは
処理回路１０７で実施する。以上の説明から明らかなよ
うに、対応関係情報の抽出動作および対応位置補正係数
の抽出動作での基準表示素子と検査動作で検体となる表
示素子とは等しく標準位置に設定することになる。勿
論、各動作での標準位置への設定は厳密な意味での基準
位置への設定を意味するものではなく、最終的に評価す
る表示画素の光度の検査精度と関連し、許容される範囲
内での誤差を含んでの標準位置への設定である。

【００１５】以上本発明を表示素子が液晶ディスプレイ
の場合を例に説明したが、寸法精度の高い製造技術を用
いて製造されるディスプレイ、例えばプラズマディスプ
レイなどの表示素子に広く適用できる。またセンサにつ
いても２次元ＣＣＤセンサを用いる例で説明したが、広
く一般の２次元センサを用いる場合でも広く適用でき
る。さらに、１次元センサカメラを用い、検体とカメラ
の位置をずらしつつ１行づつ検査していく場合において
も、各行の検査で基準位置を設定する事で同様の構成が
採れ、同様の効果が得られる。

【００１６】

【発明の効果】本発明を請求項１の通り構成し、表示素
子とセンサカメラの位置関係を基準位置に設定し、セン
サ画素のセンスした光度情報に、基準位置で抽出した対
応位置補正係数を乗じることにより表示画素の光度情報
を生成する表示素子検査方式は、表示素子に対応して配
置させるセンサ画素の数を削減でき、より少ないセンサ
カメラ台数で検査ができ、さらに従来はセンサカメラの
配列が不可能なまでにカメラ台数を必要としたため実現
が不可能であった表示画素数の多い大面積の表示素子、
画素密度の高い高品位表示素子に対する静止形の検査を
実用的なセンサカメラ台数で実現できる効果がある。本
発明を請求項２の通り構成し、対応位置補正係数の抽出
において、検査済みの表示素子を用いるように構成した
請求項１よりなる請求項２の発明は、検査対象の表示素
子と同種の素子を用いるため、検査実態に即した対応位
置補正係数の抽出ができ、さらに特殊な基準表示素子を
必要としないことから経済性に優れる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１ａ】本発明の基本原理の説明図であり、センサ画
素領域の中心が光度分布のピーク位置にある場合の説明
図

【図１ｂ】本発明の基本原理の説明図であり、センサ画
素の有効領域Ｌの中心がピーク位置距離ｘ_Aの位置にあ
る場合の説明図

【図２】本発明に係わる基本構成ブロック図

【図３】図２に示す処理回路部４の実施例の構成図

【符号の説明】

１表示素子２センサカメラ３移動ステージ４処理回路部１０画素像領域１１センサ画素領域２０画素像の光度分布１００メモリバス１０１ＡＤ変換回路１０２ＣＣＤイメージメモリ１０３対応関係情報格納メモリ１０４補正係数格納メモリ１０５ＬＣＤイメージメモリ１０６処理用メモリ１０７処理回路

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】表示素子の表示画面を検査画面としてそ
の良否を判定するための検査方式において、表示素子とセンサカメラの位置関係を基準位置に設定
し、センサ画素のセンスした光度情報に、基準位置で抽
出した対応位置補正係数を乗じることにより表示画素の
光度情報を生成することを特徴とする表示素子検査方式
【請求項２】対応位置補正係数の抽出において、検査
済みの表示素子を用いることを特徴とする請求項１の表
示素子検査方式