JPH05237787A - ２次元位置決めステージ - Google Patents

２次元位置決めステージ

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JPH05237787A
JPH05237787A JP2633892A JP2633892A JPH05237787A JP H05237787 A JPH05237787 A JP H05237787A JP 2633892 A JP2633892 A JP 2633892A JP 2633892 A JP2633892 A JP 2633892A JP H05237787 A JPH05237787 A JP H05237787A
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JP
Japan
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moving table
base
dimensional
plane
dimensional positioning
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JP2633892A
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JP2833321B2 (ja
Inventor
Noriyuki Kubota
紀行 久保田
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
Family has litigation
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Abstract

(57)【要約】 【目的】ガイドレス平面ステージを３つのアクチュエー
タで駆動することにより、２軸ステージを軽量高剛性化
し、高速化を図る。 【構成】ベース１と、ベース１上にベース１面と平行な
平面内で任意の位置及び姿勢がとれるように２次元空気
軸受け２にて指示された移動テーブル３と、前記移動テ
ーブル３にその合力がベース面と平行な平面内で移動テ
ーブル３重心を通過する直行２方向及び重心回りの回転
方向に働く任意の力の組み合せを発生できるように配置
した３個のボイスコイルモータ４・５・６と、前記移動
テーブル３の位置及び姿勢を測定する二つの２次元位置
検出素子７・８と、二次元位置検出素子７・８からの情
報を基に三つのボイスコイルモータ４・５・６を駆動す
る制御部９を含んで構成される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は２次元位置決めステー
ジ、特に、高速性を重視した２次元位置決めステージに
関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来の一例を示す斜視図である。
図２に示す２次元位置決めステージは、ベース１と、ベ
ース１上に一次元ベアリング１０を介して指示された下
軸テーブル１１と、下軸テーブル１１を駆動するホイス
コイルモータ１２と、下軸テーブル１１の位置を測定す
るリニアエンコーダ１３と、下軸テーブル１１上に一次
元ベアリング１４を介して指示された上軸テーブル１５
と、上軸テーブル１５を駆動するホイスコイルモータ１
６と、上軸テーブル１５の位置を測定するリニアエンコ
ーダ１７と各リニアエンコーダ１３・１７からの情報を
基に各ボイスコイルモータ１２・１６を駆動する制御部
９を含んで構成される。
【０００３】従来の２次元位置決めテーブルは、与えら
れたステージの２次元移動目標座標（下軸方向、上軸方
向）に対し、下軸方向には下軸ボイスコイルモータ１２
を、上軸方向には上軸ボイスコイルモータ１６を各リニ
アエンコーダ１３・１７の情報に基づいて制御部９（詳
細省略）により独立にフィードバック制御することによ
り、動作を行う。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の２次元位置決め
ステージでは、１次元位置決めステージを２段積みにし
た構成となっているため、軽量化が困難で高速化に限界
があるという問題点があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の２次元位置決め
テーブルは、ベースと、ベース上にベース面と平行な平
面内で任意の位置及び姿勢がとれるように指示された移
動テーブルと、前記移動テーブルに作用しその合力がベ
ース面と平行な平面内で移動テーブル重心を通過する直
行２方向及び重心回りの回転方向に働く任意の力の組み
合わせを発生できるように配置したＮ個（Ｎ≧３）のア
クチュエータと、前記移動テーブルの位置及び姿勢を測
定する計測手段と、前記計測手段からの情報を基にＮ個
のアクチュエータを駆動する制御部とを含んで構成され
る。
【０００６】
【実施例】次に本発明に付いて図面を参照して説明す
る。図１は本発明の一実施例の２次元位置決めステージ
の斜視図である。
【０００７】図１に示す二次元位置決めステージは、ベ
ース１と、ベース１上にベース１面と平行な平面内で任
意の位置及び姿勢がとれるように２次元空気軸受け２に
て指示された移動テーブル３と、前記移動テーブル３に
その合力がベース面と平行な平面内で移動テーブル３重
心を通過する直行２方向及び重心回りの回転方向に働く
任意の力の組み合せを発生できるように配置した３個の
ボイスコイルモータ４・５・６と、前記移動テーブル３
の位置及び姿勢を測定する二つの２次元位置検出素子７
・８と、二次元位置検出素子７・８からの情報を基に三
つのボイスコイルモータ４・５・６を駆動する制御部９
を含んで構成される。
【０００８】本発明の２次元位置決めテーブルは、与え
られたステージの２次元移動目標座標に対し、各２次元
位置検出素子７・８の情報に基づいて制御部９（詳細省
略）によりボイスコイルモータ４・５・６を同時にフィ
ードバック制御することにより、動作を行う。
【０００９】
【発明の効果】以上説明したように本発明の２次元位置
決めステージは、１次元位置決めステージの段積み構成
とする代わりに、２次元ベアリング，２次元位置姿勢セ
ンサを採用して、平面構成とし、３つのアクチュエータ
で駆動することにより、軽量化・高剛性化による高速化
が容易という効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の斜視図である。
【図２】従来例の一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１ ベース ２ ２次元ベアリング ３ 移動テーブル ４〜６ ボイスコイルモータ ７，８ ２次元位置検出素子 ９ 制御部

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ベースと、ベース上にベース面と平行な
    平面内で任意の位置及び姿勢がとれるように指示された
    移動テーブルと、前記移動テーブルに作用しその合力が
    ベース面と平行な平面内で移動テーブル重心を通過する
    直行２方向及び重心回りの回転方向に働く任意の力の組
    み合わせを発生できるように配置したＮ個（Ｎ≧３）の
    アクチュエータと、前記移動テーブルの位置及び姿勢を
    測定する計測手段と、前記計測手段からの情報を基にＮ
    個のアクチュエータを駆動する制御部とを含むことを特
    徴とする２次元位置決めテーブル。
JP4026338A 1992-02-13 1992-02-13 ２次元位置決めステージ Expired - Lifetime JP2833321B2 (ja)

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JPH05237787A true JPH05237787A (ja) 1993-09-17
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