JPH05209784A - 反射光測定装置 - Google Patents
反射光測定装置Info
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- JPH05209784A JPH05209784A JP1555992A JP1555992A JPH05209784A JP H05209784 A JPH05209784 A JP H05209784A JP 1555992 A JP1555992 A JP 1555992A JP 1555992 A JP1555992 A JP 1555992A JP H05209784 A JPH05209784 A JP H05209784A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は反射光測定装置に関し、高精度な計
測が容易な反射光測定装置を提供することを目的として
いる。 【構成】 測定対象物に対して光を照射する光照射手段
と、該光照射手段によって該測定対象物に照射された光
の反射光を検出する反射光検出手段とを備え、前記反射
光検出手段により検出した光の明度に基づいて前記測定
対象物を測定する反射光測定装置であって、前記反射光
検出手段は、所定の軸線を中心として該軸線に対して所
定の角度をもって回動自在に設ける線状の光センサによ
り前記反射光の空間分布を検出する光検出部と、該光検
出部により検出する反射光の明度を該線状の光センサに
おける光検出位置に基づいて補正する明度補正部とを有
するように構成する。
測が容易な反射光測定装置を提供することを目的として
いる。 【構成】 測定対象物に対して光を照射する光照射手段
と、該光照射手段によって該測定対象物に照射された光
の反射光を検出する反射光検出手段とを備え、前記反射
光検出手段により検出した光の明度に基づいて前記測定
対象物を測定する反射光測定装置であって、前記反射光
検出手段は、所定の軸線を中心として該軸線に対して所
定の角度をもって回動自在に設ける線状の光センサによ
り前記反射光の空間分布を検出する光検出部と、該光検
出部により検出する反射光の明度を該線状の光センサに
おける光検出位置に基づいて補正する明度補正部とを有
するように構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、反射光測定装置に係
り、詳しくは、例えば、プリント配線板のパターン検査
等の分野に用いて好適な、反射光を効率良く検出する反
射光測定装置に関する。近年、測定対象物としてのプリ
ント配線板等に光を照射し、照射した光の反射光を検出
・測定することで、プリント配線板の表面状態を測定す
る反射光測定装置が数多く開発されている。
り、詳しくは、例えば、プリント配線板のパターン検査
等の分野に用いて好適な、反射光を効率良く検出する反
射光測定装置に関する。近年、測定対象物としてのプリ
ント配線板等に光を照射し、照射した光の反射光を検出
・測定することで、プリント配線板の表面状態を測定す
る反射光測定装置が数多く開発されている。
【０００２】しかし、近時においては、例えば、高密度
配線を目的とした多層薄膜パターン等の開発により、各
種電子機器内部のプリント配線板における配線密度がま
すます高密度化され、これに伴い、プリント配線板の表
面の細かな凹凸でさえも測定には無視できないものとな
ってきている。そこで、配線パターンの高精度な計測の
ために、測定対象物であるプリント配線板からの反射光
を効率良く検出することが必要となる。
配線を目的とした多層薄膜パターン等の開発により、各
種電子機器内部のプリント配線板における配線密度がま
すます高密度化され、これに伴い、プリント配線板の表
面の細かな凹凸でさえも測定には無視できないものとな
ってきている。そこで、配線パターンの高精度な計測の
ために、測定対象物であるプリント配線板からの反射光
を効率良く検出することが必要となる。
【０００３】
【従来の技術】従来のこの種の反射光測定装置として
は、例えば、図９，１０に示すようなものがある。図９
に従来の反射光測定装置の概略構成をブロック図として
示す。この反射光測定装置は、大別して、光照射手段
１、反射光検出手段２、測定対象物載置手段３から構成
されている。
は、例えば、図９，１０に示すようなものがある。図９
に従来の反射光測定装置の概略構成をブロック図として
示す。この反射光測定装置は、大別して、光照射手段
１、反射光検出手段２、測定対象物載置手段３から構成
されている。
【０００４】図１０に図９の要部構成を斜視図として示
す。光照射手段１は、レーザ光を照射する光源４と、光
源４から照射されたレーザ光を所望の点で結像させる光
結像手段５とからなり、光結像手段５は、ビームエキス
パンダ５ａ、集光レンズ５ｂから構成されている。反射
光検出手段２は、例えば、フォトセンサ等からなる光セ
ンサ６と、光センサ６から出力される信号を処理する信
号処理部（図示せず）とから構成されている。
す。光照射手段１は、レーザ光を照射する光源４と、光
源４から照射されたレーザ光を所望の点で結像させる光
結像手段５とからなり、光結像手段５は、ビームエキス
パンダ５ａ、集光レンズ５ｂから構成されている。反射
光検出手段２は、例えば、フォトセンサ等からなる光セ
ンサ６と、光センサ６から出力される信号を処理する信
号処理部（図示せず）とから構成されている。
【０００５】測定対象物載置手段３は、移動ステージ
７、ステージコントローラ８からなり、移動ステージ７
上に載置された測定対象物であるプリント配線板９を載
置した状態でプリント配線板９の任意位置にレーザ光が
照射されるように移動するものである。以上の構成にお
いて、まず、光源４から照射されたレーザ光はビームエ
キスパンダ５ａによって所定の径に拡大された後、集光
レンズ５ｂによってプリント配線板９上で結像される。
７、ステージコントローラ８からなり、移動ステージ７
上に載置された測定対象物であるプリント配線板９を載
置した状態でプリント配線板９の任意位置にレーザ光が
照射されるように移動するものである。以上の構成にお
いて、まず、光源４から照射されたレーザ光はビームエ
キスパンダ５ａによって所定の径に拡大された後、集光
レンズ５ｂによってプリント配線板９上で結像される。
【０００６】すると、プリント配線板９に照射されたレ
ーザ光の一部がプリント配線板９に吸収され、残りの光
が正反射及び拡散反射される。すなわち、この反射光が
光センサ６に検出されることにより測定対象物であるプ
リント配線板９が測定される。
ーザ光の一部がプリント配線板９に吸収され、残りの光
が正反射及び拡散反射される。すなわち、この反射光が
光センサ６に検出されることにより測定対象物であるプ
リント配線板９が測定される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の反射光測定装置にあっては、光センサとし
て、１個、あるいは数個のフォトセンサを用いて反射光
を検出するという構成となっていたため、ある特定方向
の反射光しか検出することができないという問題点があ
った。
うな従来の反射光測定装置にあっては、光センサとし
て、１個、あるいは数個のフォトセンサを用いて反射光
を検出するという構成となっていたため、ある特定方向
の反射光しか検出することができないという問題点があ
った。
【０００８】すなわち、全ての方向の反射光を検出する
ためには、光センサとして無数のフォトセンサを配置す
るか、あるいは、フォトセンサの向きをその都度変えて
やる必要があり、これは、計測にかかる手間と労力とを
考えると実用的ではない。したがって、従来、高精度な
計測を行うことが難しかった。 ［目的］そこで本発明は、高精度な計測が容易な反射光
測定装置を提供することを目的としている。
ためには、光センサとして無数のフォトセンサを配置す
るか、あるいは、フォトセンサの向きをその都度変えて
やる必要があり、これは、計測にかかる手間と労力とを
考えると実用的ではない。したがって、従来、高精度な
計測を行うことが難しかった。 ［目的］そこで本発明は、高精度な計測が容易な反射光
測定装置を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明による反射光測定
装置は上記目的達成のため、測定対象物に対して光を照
射する光照射手段と、該光照射手段によって該測定対象
物に照射された光の反射光を検出する反射光検出手段と
を備え、前記反射光検出手段により検出した光の明度に
基づいて前記測定対象物を測定する反射光測定装置であ
って、前記反射光検出手段は、所定の軸線を中心として
該軸線に対して所定の角度をもって回動自在に設ける線
状の光センサにより前記反射光の空間分布を検出する光
検出部と、該光検出部により検出する反射光の明度を該
線状の光センサにおける光検出位置に基づいて補正する
明度補正部とを有するように構成している。
装置は上記目的達成のため、測定対象物に対して光を照
射する光照射手段と、該光照射手段によって該測定対象
物に照射された光の反射光を検出する反射光検出手段と
を備え、前記反射光検出手段により検出した光の明度に
基づいて前記測定対象物を測定する反射光測定装置であ
って、前記反射光検出手段は、所定の軸線を中心として
該軸線に対して所定の角度をもって回動自在に設ける線
状の光センサにより前記反射光の空間分布を検出する光
検出部と、該光検出部により検出する反射光の明度を該
線状の光センサにおける光検出位置に基づいて補正する
明度補正部とを有するように構成している。
【００１０】なお、前記光検出部としては、回転軸の端
部から略弧状に設けたラインセンサが考えられ、この場
合、前記明度補正部により前記測定対象物における計測
点と該ラインセンサのセンサ表面との距離に基づいて該
ラインセンサの各部位におけるセンサ感度を調整するこ
とが有効である。また、前記光検出部として回転軸の端
部に設けたラインセンサを考え、前記明度補正部として
該ラインセンサのセンサ表面から延伸して設けた光ファ
イバ束の端部を前記測定対象物における計測点からの距
離を一定とする位置に揃えて略円弧状に形成したものも
有効である。
部から略弧状に設けたラインセンサが考えられ、この場
合、前記明度補正部により前記測定対象物における計測
点と該ラインセンサのセンサ表面との距離に基づいて該
ラインセンサの各部位におけるセンサ感度を調整するこ
とが有効である。また、前記光検出部として回転軸の端
部に設けたラインセンサを考え、前記明度補正部として
該ラインセンサのセンサ表面から延伸して設けた光ファ
イバ束の端部を前記測定対象物における計測点からの距
離を一定とする位置に揃えて略円弧状に形成したものも
有効である。
【００１１】
【作用】本発明では、回動自在に設けられる線状の光セ
ンサにより測定対象物からの反射光の空間分布が検出さ
れ、この線状の光センサにおける光検出位置に基づいて
光センサで検出された反射光の明度が明度補正部によっ
て補正される。すなわち、一回の測定で測定対象物から
の反射光の空間分布が正確に検出されるため、容易に高
精度な計測がなされる。
ンサにより測定対象物からの反射光の空間分布が検出さ
れ、この線状の光センサにおける光検出位置に基づいて
光センサで検出された反射光の明度が明度補正部によっ
て補正される。すなわち、一回の測定で測定対象物から
の反射光の空間分布が正確に検出されるため、容易に高
精度な計測がなされる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明を図面に基づいて説明する。図
１〜４は本発明に係る反射光測定装置の実施例１を示す
図であり、図１は本発明の反射光測定装置の概略構成を
示すブロック図、図２は図１の要部構成を示す斜視図で
ある。 まず、構成を説明する。
１〜４は本発明に係る反射光測定装置の実施例１を示す
図であり、図１は本発明の反射光測定装置の概略構成を
示すブロック図、図２は図１の要部構成を示す斜視図で
ある。 まず、構成を説明する。
【００１３】なお、図１において、図９，１０に示した
従来例に付された番号と同一番号は同一部分を示す。本
実施例の反射光検出手段２は、光検出部である光センサ
１１、明度補正部である明るさ補正論理回路１２から構
成されている。図３は実施例１の光センサの拡大断面図
である。
従来例に付された番号と同一番号は同一部分を示す。本
実施例の反射光検出手段２は、光検出部である光センサ
１１、明度補正部である明るさ補正論理回路１２から構
成されている。図３は実施例１の光センサの拡大断面図
である。
【００１４】光センサ１１は、プリント配線板９の表面
に垂直方向に設けられた回転軸１１ａ、回転軸１１ａの
端部にこの回転軸１１ａの鉛直方向に対して所定の角度
をもって取り付けられた棒状部材１１ｂ、棒状部材１１
ｂの回転軸１１ａの回転半径内方側に形成した１個のラ
インセンサ１１ｃから構成され、回転軸１１ａを中心と
して３６０°回転することにより、仮想的に円錐状の受
光面を有する光センサとみなすことができるようになっ
ている。
に垂直方向に設けられた回転軸１１ａ、回転軸１１ａの
端部にこの回転軸１１ａの鉛直方向に対して所定の角度
をもって取り付けられた棒状部材１１ｂ、棒状部材１１
ｂの回転軸１１ａの回転半径内方側に形成した１個のラ
インセンサ１１ｃから構成され、回転軸１１ａを中心と
して３６０°回転することにより、仮想的に円錐状の受
光面を有する光センサとみなすことができるようになっ
ている。
【００１５】図４は明度補正部である明るさ補正論理回
路の構成例を示すブロック図である。明るさ補正論理回
路１２は、スイッチ１２ａ、Ａ／Ｄコンバータ１２ｂ、
メモリ１２ｃ、論理回路１２ｄからなり、光センサ１１
が完全な円弧状となっていないために生じるセンサの感
度むらを論理的に補正するためのものである。
路の構成例を示すブロック図である。明るさ補正論理回
路１２は、スイッチ１２ａ、Ａ／Ｄコンバータ１２ｂ、
メモリ１２ｃ、論理回路１２ｄからなり、光センサ１１
が完全な円弧状となっていないために生じるセンサの感
度むらを論理的に補正するためのものである。
【００１６】次に作用を説明する。まず、明るさ補正論
理回路１２中のスイッチ１２ａが補正時側にオンされた
状態で光センサ１１に明るさが均等な光が照射され、こ
の光が光センサ１１からＡ／Ｄコンバータ１２ｂを介し
て信号としてメモリ１２ｃに蓄えられる。実際の測定時
には、従来例と同様に、光源４から照射されたレーザ光
がビームエキスパンダ５ａによって所定の径に拡大され
た後、集光レンズ５ｂによってプリント配線板９上で結
像され、プリント配線板９に照射されたレーザ光の一部
がプリント配線板９に吸収された残りの光が正反射及び
拡散反射される。
理回路１２中のスイッチ１２ａが補正時側にオンされた
状態で光センサ１１に明るさが均等な光が照射され、こ
の光が光センサ１１からＡ／Ｄコンバータ１２ｂを介し
て信号としてメモリ１２ｃに蓄えられる。実際の測定時
には、従来例と同様に、光源４から照射されたレーザ光
がビームエキスパンダ５ａによって所定の径に拡大され
た後、集光レンズ５ｂによってプリント配線板９上で結
像され、プリント配線板９に照射されたレーザ光の一部
がプリント配線板９に吸収された残りの光が正反射及び
拡散反射される。
【００１７】そして、明るさ補正論理回路１２中のスイ
ッチ１２ａが測定時側にオンされた状態で回転軸１１ａ
によりラインセンサ１１ｃが３６０°回転されることに
よって、一回の測定でプリント配線板９からの反射光の
空間分布が検出され（図５参照）、論理回路１２ｄによ
って光センサ１１からの出力信号がメモリ１２ｃ内の値
で除算されることで補正されることにより、プリント配
線板９からの反射光の空間分布が正確に検出される。
ッチ１２ａが測定時側にオンされた状態で回転軸１１ａ
によりラインセンサ１１ｃが３６０°回転されることに
よって、一回の測定でプリント配線板９からの反射光の
空間分布が検出され（図５参照）、論理回路１２ｄによ
って光センサ１１からの出力信号がメモリ１２ｃ内の値
で除算されることで補正されることにより、プリント配
線板９からの反射光の空間分布が正確に検出される。
【００１８】図６は本発明に係る反射光測定装置の実施
例２を示す図であり、本実施例における光センサの拡大
断面図である。なお、図６において、図３に示した実施
例１に付された番号と同一番号は同一部分を示す。本実
施例の光センサ１１は、プリント配線板９の表面に垂直
方向に設けられた回転軸１１ａ、回転軸１１ａの端部に
この回転軸１１ａの鉛直方向に対して所定の角度をもっ
て取り付けられた断面略弧状の弧状部材１１ｄ、弧部材
１１ｄの回転軸１１ａの回転半径内方側に形成した３個
の分割ラインセンサ１１ｅから構成され、回転軸１１ａ
を中心として３６０°回転することにより仮想的に半球
状の受光面を有する光センサとみなすことができるよう
になっている。
例２を示す図であり、本実施例における光センサの拡大
断面図である。なお、図６において、図３に示した実施
例１に付された番号と同一番号は同一部分を示す。本実
施例の光センサ１１は、プリント配線板９の表面に垂直
方向に設けられた回転軸１１ａ、回転軸１１ａの端部に
この回転軸１１ａの鉛直方向に対して所定の角度をもっ
て取り付けられた断面略弧状の弧状部材１１ｄ、弧部材
１１ｄの回転軸１１ａの回転半径内方側に形成した３個
の分割ラインセンサ１１ｅから構成され、回転軸１１ａ
を中心として３６０°回転することにより仮想的に半球
状の受光面を有する光センサとみなすことができるよう
になっている。
【００１９】したがって本実施例では、光センサ１１の
形状を円弧に近づけることにより、プリント配線板９に
おける計測点と分割ラインセンサ１１ｅの各部位との距
離が一定となるため、明るさ補正論理回路１２による明
るさ補正が、実施例１と比較してより容易になる。図７
は本発明に係る反射光測定装置の実施例３を示す図であ
り、本実施例における光センサの拡大断面図である。
形状を円弧に近づけることにより、プリント配線板９に
おける計測点と分割ラインセンサ１１ｅの各部位との距
離が一定となるため、明るさ補正論理回路１２による明
るさ補正が、実施例１と比較してより容易になる。図７
は本発明に係る反射光測定装置の実施例３を示す図であ
り、本実施例における光センサの拡大断面図である。
【００２０】なお、図７において、図３に示した実施例
１に付された番号と同一番号は同一部分を示す。本実施
例の光センサ１１は、図３に示す光センサ１１のライン
センサ１１ｃ部分のセンサ表面から光ファイバ束１１ｆ
を延伸して設け、光ファイバ束１１ｆの端部をプリント
配線板９における計測点からの距離が一定となるように
位置を揃えて略円弧上に形成し、回転軸１１ａを中心と
して３６０°回転することにより仮想的に半球状の受光
面を有する光センサとみなすことができるようになって
いる。
１に付された番号と同一番号は同一部分を示す。本実施
例の光センサ１１は、図３に示す光センサ１１のライン
センサ１１ｃ部分のセンサ表面から光ファイバ束１１ｆ
を延伸して設け、光ファイバ束１１ｆの端部をプリント
配線板９における計測点からの距離が一定となるように
位置を揃えて略円弧上に形成し、回転軸１１ａを中心と
して３６０°回転することにより仮想的に半球状の受光
面を有する光センサとみなすことができるようになって
いる。
【００２１】すなわち、端部位置が略円弧状となる光フ
ァイバ束１１ｆによって捉えられた光がラインセンサ１
１ｃに導かれることにより、光ファイバ束１１ｆが明度
補正部１２を兼ね、明るさが光学的に補正される。した
がって本実施例では、光ファイバ束１１ｆにより、実施
例１，２で必要であった明るさ補正論理回路１２を省略
することができ、より簡単な回路構成で本発明を実施で
きる。
ァイバ束１１ｆによって捉えられた光がラインセンサ１
１ｃに導かれることにより、光ファイバ束１１ｆが明度
補正部１２を兼ね、明るさが光学的に補正される。した
がって本実施例では、光ファイバ束１１ｆにより、実施
例１，２で必要であった明るさ補正論理回路１２を省略
することができ、より簡単な回路構成で本発明を実施で
きる。
【００２２】図８は本発明に係る反射光測定装置の実施
例４を示す図であり、本実施例における光センサの拡大
断面図である。なお、図８において、図６に示した実施
例２に付された番号と同一番号は同一部分を示す。本実
施例の光センサ１１は、図６に示す光センサ１１の分割
ラインセンサ１１ｅ部分のセンサ表面から光ファイバ束
１１ｇを延伸して設け、光ファイバ束１１ｇの端部をプ
リント配線板９における計測点からの距離が一定となる
ように位置を揃えて略円弧上に形成し、回転軸１１ａを
中心として３６０°回転することにより仮想的に半球状
の受光面を有する光センサとみなすことができるように
なっている。
例４を示す図であり、本実施例における光センサの拡大
断面図である。なお、図８において、図６に示した実施
例２に付された番号と同一番号は同一部分を示す。本実
施例の光センサ１１は、図６に示す光センサ１１の分割
ラインセンサ１１ｅ部分のセンサ表面から光ファイバ束
１１ｇを延伸して設け、光ファイバ束１１ｇの端部をプ
リント配線板９における計測点からの距離が一定となる
ように位置を揃えて略円弧上に形成し、回転軸１１ａを
中心として３６０°回転することにより仮想的に半球状
の受光面を有する光センサとみなすことができるように
なっている。
【００２３】すなわち、端部位置が略円弧状となる光フ
ァイバ束１１ｇによって捉えられた光が分割ラインセン
サ１１ｅに導かれることにより、光ファイバ束１１ｇが
明度補正部１２を兼ね、明るさが光学的に補正される。
したがって本実施例では、光センサ１１の形状を円弧に
近づけることによりプリント配線板９における計測点と
分割ラインセンサ１１ｅの各部位との距離が一定とな
り、光ファイバ束１１ｇを構成する各光ファイバのファ
イバ長が一定となるため、実施例３と比較して、ファイ
バ長の差による補正誤差が抑えられるとともに、光ファ
イバ束１１ｇの形成が容易になる。
ァイバ束１１ｇによって捉えられた光が分割ラインセン
サ１１ｅに導かれることにより、光ファイバ束１１ｇが
明度補正部１２を兼ね、明るさが光学的に補正される。
したがって本実施例では、光センサ１１の形状を円弧に
近づけることによりプリント配線板９における計測点と
分割ラインセンサ１１ｅの各部位との距離が一定とな
り、光ファイバ束１１ｇを構成する各光ファイバのファ
イバ長が一定となるため、実施例３と比較して、ファイ
バ長の差による補正誤差が抑えられるとともに、光ファ
イバ束１１ｇの形成が容易になる。
【００２４】このように本実施例では、従来例と比較し
て短時間で、かつ、全範囲の反射光の空間分布を検出す
ることができ、計測の信頼性及び精度を高めることがで
きる。なお、上記実施例で断面を略弧状とした光センサ
は、３個のラインセンサを用いて構成した例を説明して
いるが、これに限らず、ラインセンサを複数個用いるこ
とにより、さらに円弧に近づける形状としても構わな
い。
て短時間で、かつ、全範囲の反射光の空間分布を検出す
ることができ、計測の信頼性及び精度を高めることがで
きる。なお、上記実施例で断面を略弧状とした光センサ
は、３個のラインセンサを用いて構成した例を説明して
いるが、これに限らず、ラインセンサを複数個用いるこ
とにより、さらに円弧に近づける形状としても構わな
い。
【００２５】
【発明の効果】本発明では、回動自在に設けられる線状
の光センサによって測定対象物からの反射光の空間分布
を検出でき、この線状の光センサにおける光検出位置に
基づいて光センサで検出した反射光の明度を明度補正部
により補正できる。したがって、一回の測定で測定対象
物からの反射光の空間分布が正確に検出できるため、容
易に高精度な計測を行うことができる。
の光センサによって測定対象物からの反射光の空間分布
を検出でき、この線状の光センサにおける光検出位置に
基づいて光センサで検出した反射光の明度を明度補正部
により補正できる。したがって、一回の測定で測定対象
物からの反射光の空間分布が正確に検出できるため、容
易に高精度な計測を行うことができる。
【図１】本発明の反射光測定装置の概略構成を示すブロ
ック図である。
ック図である。
【図２】図１の要部構成を示す斜視図である。
【図３】実施例１の光センサの拡大断面図である。
【図４】明度補正部の構成例を示すブロック図である。
【図５】本実施例の動作例を説明するための図である。
【図６】実施例２の光センサの拡大断面図である。
【図７】実施例３の光センサの拡大断面図である。
【図８】実施例４の光センサの拡大断面図である。
【図９】従来の反射光測定装置の概略構成を示すブロッ
ク図である。
ク図である。
【図１０】図９の要部構成を示す斜視図である。
１ 光照射手段 ２ 反射光検出手段 ３ 測定対象物載置手段 ４ 光源 ５ 光結像手段 ５ａ ビームエキスパンダ ５ｂ 集光レンズ ６ 光センサ６と ７ 移動ステージ ８ ステージコントローラ ９ プリント配線板（測定対象物） １１ 光センサ（光検出部） １１ａ 回転軸 １１ｂ 棒状部材 １１ｃ ラインセンサ １２ 明るさ補正論理回路（明度補正部） １２ａ スイッチ １２ｂ Ａ／Ｄコンバータ １２ｃ メモリ １２ｄ 論理回路 １１ｄ 弧状部材 １１ｅ 分割ラインセンサ １１ｆ 光ファイバ束（明度補正部） １１ｇ 光ファイバ束（明度補正部）
Claims (3)
- 【請求項１】測定対象物に対して光を照射する光照射手
段と、該光照射手段によって該測定対象物に照射された
光の反射光を検出する反射光検出手段とを備え、 前記反射光検出手段により検出した光の明度に基づいて
前記測定対象物を測定する反射光測定装置であって、 前記反射光検出手段は、所定の軸線を中心として該軸線
に対して所定の角度をもって回動自在に設ける線状の光
センサにより前記反射光の空間分布を検出する光検出部
と、 該光検出部により検出する反射光の明度を該線状の光セ
ンサにおける光検出位置に基づいて補正する明度補正部
と、 を有することを特徴とする反射光測定装置。 - 【請求項２】前記光検出部は、回転軸の端部から略弧状
に設けたラインセンサであり、前記明度補正部により前
記測定対象物における計測点と該ラインセンサのセンサ
表面との距離に基づいて該ラインセンサの各部位におけ
るセンサ感度を調整することを特徴とする請求項１記載
の反射光測定装置。 - 【請求項３】前記光検出部は、回転軸の端部に設けたラ
インセンサであり、前記明度補正部は、該ラインセンサ
のセンサ表面から延伸して設けた光ファイバ束の端部を
前記測定対象物における計測点からの距離を一定とする
位置に揃えて略円弧状に形成したものであることを特徴
とする請求項１記載の反射光測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1555992A JPH05209784A (ja) | 1992-01-30 | 1992-01-30 | 反射光測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1555992A JPH05209784A (ja) | 1992-01-30 | 1992-01-30 | 反射光測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05209784A true JPH05209784A (ja) | 1993-08-20 |
Family
ID=11892118
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1555992A Withdrawn JPH05209784A (ja) | 1992-01-30 | 1992-01-30 | 反射光測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05209784A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008256506A (ja) * | 2007-04-04 | 2008-10-23 | Saga Univ | 放射計 |
| CN102854155A (zh) * | 2011-06-28 | 2013-01-02 | 罗文宇 | 一种对物质的定量分析方法及*** |
-
1992
- 1992-01-30 JP JP1555992A patent/JPH05209784A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008256506A (ja) * | 2007-04-04 | 2008-10-23 | Saga Univ | 放射計 |
| CN102854155A (zh) * | 2011-06-28 | 2013-01-02 | 罗文宇 | 一种对物质的定量分析方法及*** |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990408 |