JPH05209784A - Reflected light measuring device - Google Patents
Reflected light measuring deviceInfo
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- JPH05209784A JPH05209784A JP1555992A JP1555992A JPH05209784A JP H05209784 A JPH05209784 A JP H05209784A JP 1555992 A JP1555992 A JP 1555992A JP 1555992 A JP1555992 A JP 1555992A JP H05209784 A JPH05209784 A JP H05209784A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、反射光測定装置に係
り、詳しくは、例えば、プリント配線板のパターン検査
等の分野に用いて好適な、反射光を効率良く検出する反
射光測定装置に関する。近年、測定対象物としてのプリ
ント配線板等に光を照射し、照射した光の反射光を検出
・測定することで、プリント配線板の表面状態を測定す
る反射光測定装置が数多く開発されている。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a reflected light measuring device, and more particularly to a reflected light measuring device suitable for use in the field of pattern inspection of a printed wiring board, etc., for efficiently detecting reflected light. .. In recent years, a lot of reflected light measuring devices have been developed which measure the surface condition of a printed wiring board by irradiating the printed wiring board or the like as a measurement object with light and detecting and measuring the reflected light of the radiated light. ..
【０００２】しかし、近時においては、例えば、高密度
配線を目的とした多層薄膜パターン等の開発により、各
種電子機器内部のプリント配線板における配線密度がま
すます高密度化され、これに伴い、プリント配線板の表
面の細かな凹凸でさえも測定には無視できないものとな
ってきている。そこで、配線パターンの高精度な計測の
ために、測定対象物であるプリント配線板からの反射光
を効率良く検出することが必要となる。However, in recent years, for example, due to the development of a multilayer thin film pattern for the purpose of high-density wiring, the wiring density in printed wiring boards inside various electronic devices has become higher and higher. Even the fine irregularities on the surface of printed wiring boards have become non-negligible for measurement. Therefore, in order to measure the wiring pattern with high accuracy, it is necessary to efficiently detect the reflected light from the printed wiring board which is the measurement object.
【０００３】[0003]
【従来の技術】従来のこの種の反射光測定装置として
は、例えば、図９，１０に示すようなものがある。図９
に従来の反射光測定装置の概略構成をブロック図として
示す。この反射光測定装置は、大別して、光照射手段
１、反射光検出手段２、測定対象物載置手段３から構成
されている。2. Description of the Related Art As a conventional reflected light measuring device of this type, there is, for example, one shown in FIGS. Figure 9
Fig. 1 shows a schematic configuration of a conventional reflected light measuring device as a block diagram. This reflected light measuring device is roughly composed of a light irradiation means 1, a reflected light detecting means 2 and a measuring object placing means 3.
【０００４】図１０に図９の要部構成を斜視図として示
す。光照射手段１は、レーザ光を照射する光源４と、光
源４から照射されたレーザ光を所望の点で結像させる光
結像手段５とからなり、光結像手段５は、ビームエキス
パンダ５ａ、集光レンズ５ｂから構成されている。反射
光検出手段２は、例えば、フォトセンサ等からなる光セ
ンサ６と、光センサ６から出力される信号を処理する信
号処理部（図示せず）とから構成されている。FIG. 10 is a perspective view showing the structure of the main part of FIG. The light irradiating means 1 comprises a light source 4 for irradiating laser light and a light image forming means 5 for forming an image of the laser light emitted from the light source 4 at a desired point. The light image forming means 5 is a beam expander. 5a and a condenser lens 5b. The reflected light detection means 2 is composed of, for example, an optical sensor 6 including a photo sensor and the like, and a signal processing unit (not shown) that processes a signal output from the optical sensor 6.
【０００５】測定対象物載置手段３は、移動ステージ
７、ステージコントローラ８からなり、移動ステージ７
上に載置された測定対象物であるプリント配線板９を載
置した状態でプリント配線板９の任意位置にレーザ光が
照射されるように移動するものである。以上の構成にお
いて、まず、光源４から照射されたレーザ光はビームエ
キスパンダ５ａによって所定の径に拡大された後、集光
レンズ５ｂによってプリント配線板９上で結像される。The measuring object placing means 3 comprises a moving stage 7 and a stage controller 8, and the moving stage 7
The printed wiring board 9 which is an object to be measured placed on the printed wiring board 9 is moved so as to be irradiated with laser light at an arbitrary position on the printed wiring board 9. In the above configuration, first, the laser light emitted from the light source 4 is expanded to a predetermined diameter by the beam expander 5a and then focused on the printed wiring board 9 by the condenser lens 5b.
【０００６】すると、プリント配線板９に照射されたレ
ーザ光の一部がプリント配線板９に吸収され、残りの光
が正反射及び拡散反射される。すなわち、この反射光が
光センサ６に検出されることにより測定対象物であるプ
リント配線板９が測定される。Then, a part of the laser light applied to the printed wiring board 9 is absorbed by the printed wiring board 9, and the remaining light is specularly reflected and diffusely reflected. That is, when the reflected light is detected by the optical sensor 6, the printed wiring board 9 as the measurement object is measured.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の反射光測定装置にあっては、光センサとし
て、１個、あるいは数個のフォトセンサを用いて反射光
を検出するという構成となっていたため、ある特定方向
の反射光しか検出することができないという問題点があ
った。However, such a conventional reflected light measuring apparatus has a structure in which one or several photosensors are used as the optical sensor to detect the reflected light. Therefore, there is a problem that only reflected light in a certain specific direction can be detected.
【０００８】すなわち、全ての方向の反射光を検出する
ためには、光センサとして無数のフォトセンサを配置す
るか、あるいは、フォトセンサの向きをその都度変えて
やる必要があり、これは、計測にかかる手間と労力とを
考えると実用的ではない。したがって、従来、高精度な
計測を行うことが難しかった。 ［目的］そこで本発明は、高精度な計測が容易な反射光
測定装置を提供することを目的としている。That is, in order to detect the reflected light in all directions, it is necessary to arrange an infinite number of photosensors as photosensors or change the direction of the photosensors each time. It is not practical considering the time and effort required for Therefore, conventionally, it has been difficult to perform highly accurate measurement. [Purpose] Therefore, an object of the present invention is to provide a reflected light measuring device that facilitates highly accurate measurement.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明による反射光測定
装置は上記目的達成のため、測定対象物に対して光を照
射する光照射手段と、該光照射手段によって該測定対象
物に照射された光の反射光を検出する反射光検出手段と
を備え、前記反射光検出手段により検出した光の明度に
基づいて前記測定対象物を測定する反射光測定装置であ
って、前記反射光検出手段は、所定の軸線を中心として
該軸線に対して所定の角度をもって回動自在に設ける線
状の光センサにより前記反射光の空間分布を検出する光
検出部と、該光検出部により検出する反射光の明度を該
線状の光センサにおける光検出位置に基づいて補正する
明度補正部とを有するように構成している。In order to achieve the above object, a reflected light measuring device according to the present invention has a light irradiating means for irradiating a measuring object with light, and the measuring object is irradiated with the light irradiating means. Reflected light detecting means for detecting reflected light of the reflected light, and a reflected light measuring device for measuring the measuring object based on the brightness of the light detected by the reflected light detecting means, wherein the reflected light detecting means Is a photodetector for detecting the spatial distribution of the reflected light by a linear photosensor provided so as to be rotatable around a predetermined axis at a predetermined angle with respect to the axis, and a reflection detected by the photodetector. A lightness correction unit that corrects the lightness of light based on the light detection position in the linear light sensor is configured.
【００１０】なお、前記光検出部としては、回転軸の端
部から略弧状に設けたラインセンサが考えられ、この場
合、前記明度補正部により前記測定対象物における計測
点と該ラインセンサのセンサ表面との距離に基づいて該
ラインセンサの各部位におけるセンサ感度を調整するこ
とが有効である。また、前記光検出部として回転軸の端
部に設けたラインセンサを考え、前記明度補正部として
該ラインセンサのセンサ表面から延伸して設けた光ファ
イバ束の端部を前記測定対象物における計測点からの距
離を一定とする位置に揃えて略円弧状に形成したものも
有効である。The light detecting section may be a line sensor provided in a substantially arcuate shape from the end of the rotary shaft. In this case, the lightness correcting section measures the measurement point on the object to be measured and the sensor of the line sensor. It is effective to adjust the sensor sensitivity in each part of the line sensor based on the distance from the surface. Also, consider a line sensor provided at the end of the rotation axis as the light detection unit, and measure the end of the optical fiber bundle extended from the sensor surface of the line sensor as the brightness correction unit at the measurement target. It is also effective to form a substantially arcuate shape so that the distance from the point is constant.
【００１１】[0011]
【作用】本発明では、回動自在に設けられる線状の光セ
ンサにより測定対象物からの反射光の空間分布が検出さ
れ、この線状の光センサにおける光検出位置に基づいて
光センサで検出された反射光の明度が明度補正部によっ
て補正される。すなわち、一回の測定で測定対象物から
の反射光の空間分布が正確に検出されるため、容易に高
精度な計測がなされる。In the present invention, the linear distribution of the linearly arranged optical sensor detects the spatial distribution of the reflected light from the object to be measured, and the linearly detected optical sensor detects the spatial distribution of the light. The brightness of the reflected light thus obtained is corrected by the brightness correction unit. That is, since the spatial distribution of the reflected light from the measurement object is accurately detected in one measurement, highly accurate measurement can be easily performed.
【００１２】[0012]
【実施例】以下、本発明を図面に基づいて説明する。図
１〜４は本発明に係る反射光測定装置の実施例１を示す
図であり、図１は本発明の反射光測定装置の概略構成を
示すブロック図、図２は図１の要部構成を示す斜視図で
ある。 まず、構成を説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the drawings. 1 to 4 are views showing a first embodiment of a reflected light measuring device according to the present invention, FIG. 1 is a block diagram showing a schematic structure of the reflected light measuring device of the present invention, and FIG. 2 is a main part structure of FIG. It is a perspective view showing. First, the configuration will be described.
【００１３】なお、図１において、図９，１０に示した
従来例に付された番号と同一番号は同一部分を示す。本
実施例の反射光検出手段２は、光検出部である光センサ
１１、明度補正部である明るさ補正論理回路１２から構
成されている。図３は実施例１の光センサの拡大断面図
である。In FIG. 1, the same numbers as the numbers given to the conventional example shown in FIGS. 9 and 10 indicate the same parts. The reflected light detecting means 2 of this embodiment is composed of an optical sensor 11 which is a light detecting section and a brightness correction logic circuit 12 which is a lightness correcting section. FIG. 3 is an enlarged sectional view of the optical sensor of the first embodiment.
【００１４】光センサ１１は、プリント配線板９の表面
に垂直方向に設けられた回転軸１１ａ、回転軸１１ａの
端部にこの回転軸１１ａの鉛直方向に対して所定の角度
をもって取り付けられた棒状部材１１ｂ、棒状部材１１
ｂの回転軸１１ａの回転半径内方側に形成した１個のラ
インセンサ１１ｃから構成され、回転軸１１ａを中心と
して３６０°回転することにより、仮想的に円錐状の受
光面を有する光センサとみなすことができるようになっ
ている。The optical sensor 11 has a rotating shaft 11a vertically provided on the surface of the printed wiring board 9, and a rod-like member attached to the end of the rotating shaft 11a at a predetermined angle with respect to the vertical direction of the rotating shaft 11a. Member 11b, rod-shaped member 11
and a line sensor 11c formed on the inner side of the rotation axis 11a of the rotation shaft 11a of FIG. 2b. The optical sensor has a virtual conical light receiving surface by rotating 360 degrees about the rotation shaft 11a. It can be considered.
【００１５】図４は明度補正部である明るさ補正論理回
路の構成例を示すブロック図である。明るさ補正論理回
路１２は、スイッチ１２ａ、Ａ／Ｄコンバータ１２ｂ、
メモリ１２ｃ、論理回路１２ｄからなり、光センサ１１
が完全な円弧状となっていないために生じるセンサの感
度むらを論理的に補正するためのものである。FIG. 4 is a block diagram showing a configuration example of a brightness correction logic circuit which is a brightness correction unit. The brightness correction logic circuit 12 includes a switch 12a, an A / D converter 12b,
The optical sensor 11 includes a memory 12c and a logic circuit 12d.
This is for logically correcting the sensitivity unevenness of the sensor caused by the fact that is not a perfect arc shape.
【００１６】次に作用を説明する。まず、明るさ補正論
理回路１２中のスイッチ１２ａが補正時側にオンされた
状態で光センサ１１に明るさが均等な光が照射され、こ
の光が光センサ１１からＡ／Ｄコンバータ１２ｂを介し
て信号としてメモリ１２ｃに蓄えられる。実際の測定時
には、従来例と同様に、光源４から照射されたレーザ光
がビームエキスパンダ５ａによって所定の径に拡大され
た後、集光レンズ５ｂによってプリント配線板９上で結
像され、プリント配線板９に照射されたレーザ光の一部
がプリント配線板９に吸収された残りの光が正反射及び
拡散反射される。Next, the operation will be described. First, with the switch 12a in the brightness correction logic circuit 12 turned on to the correction side, light having uniform brightness is applied to the optical sensor 11, and this light is transmitted from the optical sensor 11 through the A / D converter 12b. And stored as a signal in the memory 12c. At the time of actual measurement, as in the conventional example, the laser light emitted from the light source 4 is expanded to a predetermined diameter by the beam expander 5a and then focused on the printed wiring board 9 by the condenser lens 5b to print. Part of the laser light applied to the wiring board 9 is absorbed by the printed wiring board 9, and the remaining light is specularly reflected and diffusely reflected.
【００１７】そして、明るさ補正論理回路１２中のスイ
ッチ１２ａが測定時側にオンされた状態で回転軸１１ａ
によりラインセンサ１１ｃが３６０°回転されることに
よって、一回の測定でプリント配線板９からの反射光の
空間分布が検出され（図５参照）、論理回路１２ｄによ
って光センサ１１からの出力信号がメモリ１２ｃ内の値
で除算されることで補正されることにより、プリント配
線板９からの反射光の空間分布が正確に検出される。Then, with the switch 12a in the brightness correction logic circuit 12 turned on at the time of measurement, the rotary shaft 11a is rotated.
By rotating the line sensor 11c by 360 ° by means of, the spatial distribution of the reflected light from the printed wiring board 9 is detected by one measurement (see FIG. 5), and the output signal from the optical sensor 11 is output by the logic circuit 12d. The spatial distribution of the reflected light from the printed wiring board 9 is accurately detected by being corrected by being divided by the value in the memory 12c.
【００１８】図６は本発明に係る反射光測定装置の実施
例２を示す図であり、本実施例における光センサの拡大
断面図である。なお、図６において、図３に示した実施
例１に付された番号と同一番号は同一部分を示す。本実
施例の光センサ１１は、プリント配線板９の表面に垂直
方向に設けられた回転軸１１ａ、回転軸１１ａの端部に
この回転軸１１ａの鉛直方向に対して所定の角度をもっ
て取り付けられた断面略弧状の弧状部材１１ｄ、弧部材
１１ｄの回転軸１１ａの回転半径内方側に形成した３個
の分割ラインセンサ１１ｅから構成され、回転軸１１ａ
を中心として３６０°回転することにより仮想的に半球
状の受光面を有する光センサとみなすことができるよう
になっている。FIG. 6 is a view showing a second embodiment of the reflected light measuring apparatus according to the present invention, and is an enlarged sectional view of the optical sensor in this embodiment. In FIG. 6, the same numbers as the numbers given to the first embodiment shown in FIG. 3 indicate the same parts. The optical sensor 11 of the present embodiment is mounted on the surface of the printed wiring board 9 in a direction perpendicular to the rotary shaft 11a, and is attached to the end of the rotary shaft 11a at a predetermined angle with respect to the vertical direction of the rotary shaft 11a. The rotary shaft 11a includes an arc-shaped member 11d having a substantially arcuate cross section, and three divided line sensors 11e formed on an inner side of a rotation radius of the rotary shaft 11a of the arc member 11d.
It can be regarded as an optical sensor having a virtual hemispherical light-receiving surface by rotating 360 degrees around the center.
【００１９】したがって本実施例では、光センサ１１の
形状を円弧に近づけることにより、プリント配線板９に
おける計測点と分割ラインセンサ１１ｅの各部位との距
離が一定となるため、明るさ補正論理回路１２による明
るさ補正が、実施例１と比較してより容易になる。図７
は本発明に係る反射光測定装置の実施例３を示す図であ
り、本実施例における光センサの拡大断面図である。Therefore, in this embodiment, since the distance between the measurement point on the printed wiring board 9 and each part of the divided line sensor 11e becomes constant by bringing the shape of the optical sensor 11 close to an arc, the brightness correction logic circuit. Brightness correction by 12 is easier than in the first embodiment. Figure 7
FIG. 7 is a diagram showing a third embodiment of the reflected light measuring device according to the present invention, and is an enlarged cross-sectional view of an optical sensor in the present embodiment.
【００２０】なお、図７において、図３に示した実施例
１に付された番号と同一番号は同一部分を示す。本実施
例の光センサ１１は、図３に示す光センサ１１のライン
センサ１１ｃ部分のセンサ表面から光ファイバ束１１ｆ
を延伸して設け、光ファイバ束１１ｆの端部をプリント
配線板９における計測点からの距離が一定となるように
位置を揃えて略円弧上に形成し、回転軸１１ａを中心と
して３６０°回転することにより仮想的に半球状の受光
面を有する光センサとみなすことができるようになって
いる。In FIG. 7, the same numbers as the numbers given to the first embodiment shown in FIG. 3 indicate the same parts. The optical sensor 11 according to the present embodiment includes an optical fiber bundle 11f from the sensor surface of the line sensor 11c portion of the optical sensor 11 shown in FIG.
Is provided by extending the end of the optical fiber bundle 11f so that the distance from the measurement point on the printed wiring board 9 is constant and formed in a substantially arc shape, and is rotated 360 ° about the rotation axis 11a. By doing so, it can be regarded as an optical sensor having a virtually hemispherical light receiving surface.
【００２１】すなわち、端部位置が略円弧状となる光フ
ァイバ束１１ｆによって捉えられた光がラインセンサ１
１ｃに導かれることにより、光ファイバ束１１ｆが明度
補正部１２を兼ね、明るさが光学的に補正される。した
がって本実施例では、光ファイバ束１１ｆにより、実施
例１，２で必要であった明るさ補正論理回路１２を省略
することができ、より簡単な回路構成で本発明を実施で
きる。That is, the light captured by the optical fiber bundle 11f whose end position is substantially arcuate is line sensor 1.
By being guided to 1c, the optical fiber bundle 11f also serves as the brightness correction unit 12, and the brightness is optically corrected. Therefore, in the present embodiment, the optical fiber bundle 11f can omit the brightness correction logic circuit 12 required in the first and second embodiments, and the present invention can be implemented with a simpler circuit configuration.
【００２２】図８は本発明に係る反射光測定装置の実施
例４を示す図であり、本実施例における光センサの拡大
断面図である。なお、図８において、図６に示した実施
例２に付された番号と同一番号は同一部分を示す。本実
施例の光センサ１１は、図６に示す光センサ１１の分割
ラインセンサ１１ｅ部分のセンサ表面から光ファイバ束
１１ｇを延伸して設け、光ファイバ束１１ｇの端部をプ
リント配線板９における計測点からの距離が一定となる
ように位置を揃えて略円弧上に形成し、回転軸１１ａを
中心として３６０°回転することにより仮想的に半球状
の受光面を有する光センサとみなすことができるように
なっている。FIG. 8 is a diagram showing a fourth embodiment of the reflected light measuring apparatus according to the present invention, and is an enlarged sectional view of an optical sensor in the present embodiment. In FIG. 8, the same numbers as the numbers given to the second embodiment shown in FIG. 6 indicate the same parts. The optical sensor 11 of the present embodiment is provided by extending the optical fiber bundle 11g from the sensor surface of the divided line sensor 11e portion of the optical sensor 11 shown in FIG. 6, and measuring the end of the optical fiber bundle 11g on the printed wiring board 9. It can be regarded as an optical sensor having a virtual hemispherical light receiving surface by forming the positions in a substantially circular arc so that the distances from the points are constant, and rotating them by 360 ° about the rotation axis 11a. It is like this.
【００２３】すなわち、端部位置が略円弧状となる光フ
ァイバ束１１ｇによって捉えられた光が分割ラインセン
サ１１ｅに導かれることにより、光ファイバ束１１ｇが
明度補正部１２を兼ね、明るさが光学的に補正される。
したがって本実施例では、光センサ１１の形状を円弧に
近づけることによりプリント配線板９における計測点と
分割ラインセンサ１１ｅの各部位との距離が一定とな
り、光ファイバ束１１ｇを構成する各光ファイバのファ
イバ長が一定となるため、実施例３と比較して、ファイ
バ長の差による補正誤差が抑えられるとともに、光ファ
イバ束１１ｇの形成が容易になる。That is, the light captured by the optical fiber bundle 11g whose end position is substantially arcuate is guided to the split line sensor 11e, so that the optical fiber bundle 11g also serves as the brightness correction unit 12 and the brightness is optical. Will be corrected.
Therefore, in this embodiment, by making the shape of the optical sensor 11 close to a circular arc, the distance between the measurement point on the printed wiring board 9 and each part of the divided line sensor 11e becomes constant, and the optical fibers of the optical fiber bundle 11g are separated. Since the fiber length is constant, the correction error due to the difference in fiber length is suppressed and the formation of the optical fiber bundle 11g is facilitated as compared with the third embodiment.
【００２４】このように本実施例では、従来例と比較し
て短時間で、かつ、全範囲の反射光の空間分布を検出す
ることができ、計測の信頼性及び精度を高めることがで
きる。なお、上記実施例で断面を略弧状とした光センサ
は、３個のラインセンサを用いて構成した例を説明して
いるが、これに限らず、ラインセンサを複数個用いるこ
とにより、さらに円弧に近づける形状としても構わな
い。As described above, in this embodiment, the spatial distribution of the reflected light in the entire range can be detected in a shorter time than in the conventional example, and the reliability and accuracy of measurement can be improved. In addition, although the optical sensor having a substantially arc-shaped cross section in the above-described embodiment has been described as an example in which three line sensors are used, the present invention is not limited to this, and by using a plurality of line sensors, an arc can be further formed. The shape may be close to.
【００２５】[0025]
【発明の効果】本発明では、回動自在に設けられる線状
の光センサによって測定対象物からの反射光の空間分布
を検出でき、この線状の光センサにおける光検出位置に
基づいて光センサで検出した反射光の明度を明度補正部
により補正できる。したがって、一回の測定で測定対象
物からの反射光の空間分布が正確に検出できるため、容
易に高精度な計測を行うことができる。According to the present invention, the spatial distribution of the reflected light from the object to be measured can be detected by the linear optical sensor provided rotatably, and the optical sensor can be detected based on the light detection position of the linear optical sensor. The brightness of the reflected light detected in step 1 can be corrected by the brightness corrector. Therefore, since the spatial distribution of the reflected light from the measurement object can be accurately detected by one measurement, highly accurate measurement can be easily performed.
【図１】本発明の反射光測定装置の概略構成を示すブロ
ック図である。FIG. 1 is a block diagram showing a schematic configuration of a reflected light measuring device of the present invention.
【図２】図１の要部構成を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a configuration of a main part of FIG.
【図３】実施例１の光センサの拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of the optical sensor according to the first embodiment.
【図４】明度補正部の構成例を示すブロック図である。FIG. 4 is a block diagram showing a configuration example of a brightness correction unit.
【図５】本実施例の動作例を説明するための図である。FIG. 5 is a diagram for explaining an operation example of the present embodiment.
【図６】実施例２の光センサの拡大断面図である。FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view of an optical sensor according to a second exemplary embodiment.
【図７】実施例３の光センサの拡大断面図である。FIG. 7 is an enlarged cross-sectional view of an optical sensor according to a third exemplary embodiment.
【図８】実施例４の光センサの拡大断面図である。FIG. 8 is an enlarged cross-sectional view of an optical sensor according to a fourth exemplary embodiment.
【図９】従来の反射光測定装置の概略構成を示すブロッ
ク図である。FIG. 9 is a block diagram showing a schematic configuration of a conventional reflected light measuring device.
【図１０】図９の要部構成を示す斜視図である。FIG. 10 is a perspective view showing a main configuration of FIG.
１ 光照射手段 ２ 反射光検出手段 ３ 測定対象物載置手段 ４ 光源 ５ 光結像手段 ５ａ ビームエキスパンダ ５ｂ 集光レンズ ６ 光センサ６と ７ 移動ステージ ８ ステージコントローラ ９ プリント配線板（測定対象物） １１ 光センサ（光検出部） １１ａ 回転軸 １１ｂ 棒状部材 １１ｃ ラインセンサ １２ 明るさ補正論理回路（明度補正部） １２ａ スイッチ １２ｂ Ａ／Ｄコンバータ １２ｃ メモリ １２ｄ 論理回路 １１ｄ 弧状部材 １１ｅ 分割ラインセンサ １１ｆ 光ファイバ束（明度補正部） １１ｇ 光ファイバ束（明度補正部） DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Light irradiation means 2 Reflected light detection means 3 Measuring object mounting means 4 Light source 5 Optical imaging means 5a Beam expander 5b Condensing lens 6 Optical sensor 6 and 7 Moving stage 8 Stage controller 9 Printed wiring board (measurement object ) 11 optical sensor (light detection unit) 11a rotating shaft 11b rod-shaped member 11c line sensor 12 brightness correction logic circuit (brightness correction unit) 12a switch 12b A / D converter 12c memory 12d logic circuit 11d arc-shaped member 11e split line sensor 11f light Fiber bundle (brightness correction unit) 11g Optical fiber bundle (brightness correction unit)
Claims (3)
段と、該光照射手段によって該測定対象物に照射された
光の反射光を検出する反射光検出手段とを備え、 前記反射光検出手段により検出した光の明度に基づいて
前記測定対象物を測定する反射光測定装置であって、 前記反射光検出手段は、所定の軸線を中心として該軸線
に対して所定の角度をもって回動自在に設ける線状の光
センサにより前記反射光の空間分布を検出する光検出部
と、 該光検出部により検出する反射光の明度を該線状の光セ
ンサにおける光検出位置に基づいて補正する明度補正部
と、 を有することを特徴とする反射光測定装置。1. A light irradiating means for irradiating a measuring object with light, and a reflected light detecting means for detecting a reflected light of the light with which the light irradiating means irradiates the measuring object. A reflected light measuring device for measuring the measurement object based on the brightness of light detected by the light detecting means, wherein the reflected light detecting means rotates at a predetermined angle with respect to a predetermined axis as a center. A photodetector that detects the spatial distribution of the reflected light by a linear photosensor that is movable, and the brightness of the reflected light that is detected by the photodetector is corrected based on the photodetection position in the linear photosensor. A reflected light measuring device, comprising:
に設けたラインセンサであり、前記明度補正部により前
記測定対象物における計測点と該ラインセンサのセンサ
表面との距離に基づいて該ラインセンサの各部位におけ
るセンサ感度を調整することを特徴とする請求項１記載
の反射光測定装置。2. The light detecting section is a line sensor provided in an arc shape from an end of a rotary shaft, and the lightness correcting section determines a distance between a measurement point on the measurement object and a sensor surface of the line sensor. 2. The reflected light measuring device according to claim 1, wherein the sensor sensitivity of each part of the line sensor is adjusted based on the line sensor.
インセンサであり、前記明度補正部は、該ラインセンサ
のセンサ表面から延伸して設けた光ファイバ束の端部を
前記測定対象物における計測点からの距離を一定とする
位置に揃えて略円弧状に形成したものであることを特徴
とする請求項１記載の反射光測定装置。3. The light detecting section is a line sensor provided at an end of a rotary shaft, and the lightness correcting section is provided with an end of an optical fiber bundle extending from a sensor surface of the line sensor. 2. The reflected light measuring device according to claim 1, wherein the reflected light measuring device is formed in a substantially arc shape so as to be aligned with a position where the distance from the measurement point on the measurement object is constant.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1555992A JPH05209784A (en) | 1992-01-30 | 1992-01-30 | Reflected light measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1555992A JPH05209784A (en) | 1992-01-30 | 1992-01-30 | Reflected light measuring device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05209784A true JPH05209784A (en) | 1993-08-20 |
Family
ID=11892118
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1555992A Withdrawn JPH05209784A (en) | 1992-01-30 | 1992-01-30 | Reflected light measuring device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05209784A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008256506A (en) * | 2007-04-04 | 2008-10-23 | Saga Univ | Radiometer |
| CN102854155A (en) * | 2011-06-28 | 2013-01-02 | 罗文宇 | Quantitative analysis method and system for substances |
-
1992
- 1992-01-30 JP JP1555992A patent/JPH05209784A/en not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008256506A (en) * | 2007-04-04 | 2008-10-23 | Saga Univ | Radiometer |
| CN102854155A (en) * | 2011-06-28 | 2013-01-02 | 罗文宇 | Quantitative analysis method and system for substances |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990408 |