JPH05190941A - レーザ発振器 - Google Patents
レーザ発振器Info
- Publication number
- JPH05190941A JPH05190941A JP4004770A JP477092A JPH05190941A JP H05190941 A JPH05190941 A JP H05190941A JP 4004770 A JP4004770 A JP 4004770A JP 477092 A JP477092 A JP 477092A JP H05190941 A JPH05190941 A JP H05190941A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- reflecting surface
- laser
- laser beam
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/081—Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors
- H01S3/0818—Unstable resonators
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 筺体内のコリメーションミラーを無くし、小
形でかつ安価なレーザ発振器を得る。 【構成】 レーザ媒質ガスを大気と遮断する筺体１、こ
の筺体１内に設けられ、前記レーザ媒質ガスを介在して
対向する凹面鏡３と凸面鏡４、前記凹面鏡３と凸面鏡４
の対向間隙に配置されると共に、前記凹面鏡３と凸面鏡
４の球心を結ぶ線上に、この線に対して反射面が所定の
角度を有して配置されるミラー１０、前記ミラー１０に
より反射されるレーザ光を前記筺体体外に取り出すウィ
ンドー９を備え、前記ミラー１０をその中央部に穴を有
する穴付ミラーで構成すると共に、反射面を曲率を有す
る反射面で構成する。
形でかつ安価なレーザ発振器を得る。 【構成】 レーザ媒質ガスを大気と遮断する筺体１、こ
の筺体１内に設けられ、前記レーザ媒質ガスを介在して
対向する凹面鏡３と凸面鏡４、前記凹面鏡３と凸面鏡４
の対向間隙に配置されると共に、前記凹面鏡３と凸面鏡
４の球心を結ぶ線上に、この線に対して反射面が所定の
角度を有して配置されるミラー１０、前記ミラー１０に
より反射されるレーザ光を前記筺体体外に取り出すウィ
ンドー９を備え、前記ミラー１０をその中央部に穴を有
する穴付ミラーで構成すると共に、反射面を曲率を有す
る反射面で構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、レーザ発振器に係
り、特にその共振器に関するものである。
り、特にその共振器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】レーザ発振器においては、筺体から大気
側へレーザビームを取り出す場合、取り出す窓に対して
ビーム径を変える必要のあることは周知で、図６はレー
ザビームを取り出す窓がジンクセレン（ＺｎＳｅ材）等
で構成された従来のＣＯ2 ガスレーザ発振器の構成を示
す断面図である。図６において、１は図示しない電極間
で発生させる放電エネルギーで励起されたレーザ媒質ガ
ス２を大気としゃ断する筺体、３は反射面が凹面状に形
成された凹面鏡、４は反射面が凸面状に形成された凸面
鏡、５は凹面鏡３と凸面鏡４の球心を結ぶ線、６は前記
球心を結ぶ線５上に、この線５に対し反射面が４５度の
傾斜角を有して設置され、反射面が平面の穴付ミラー、
７は反射面が凸面のコリメーション凸ミラーで、穴付き
ミラー６からのレーザビームを拡げる作用を成す。又、
８は反射面が平面のベンドミラーで、コリメーション凸
ミラー７で反射されたレーザビームの方向を変える作用
を成すものである。９はレーザ媒質ガス２をしゃ断する
と共に、レーザビームを透過させるウィンドーで、この
ウインドー９はジンクセレン（ＺｎＳｅ材）等で構成さ
れており、ベンドミラー８により方向が変えられたレー
ザビームを大気側へ取り出すものである。
側へレーザビームを取り出す場合、取り出す窓に対して
ビーム径を変える必要のあることは周知で、図６はレー
ザビームを取り出す窓がジンクセレン（ＺｎＳｅ材）等
で構成された従来のＣＯ2 ガスレーザ発振器の構成を示
す断面図である。図６において、１は図示しない電極間
で発生させる放電エネルギーで励起されたレーザ媒質ガ
ス２を大気としゃ断する筺体、３は反射面が凹面状に形
成された凹面鏡、４は反射面が凸面状に形成された凸面
鏡、５は凹面鏡３と凸面鏡４の球心を結ぶ線、６は前記
球心を結ぶ線５上に、この線５に対し反射面が４５度の
傾斜角を有して設置され、反射面が平面の穴付ミラー、
７は反射面が凸面のコリメーション凸ミラーで、穴付き
ミラー６からのレーザビームを拡げる作用を成す。又、
８は反射面が平面のベンドミラーで、コリメーション凸
ミラー７で反射されたレーザビームの方向を変える作用
を成すものである。９はレーザ媒質ガス２をしゃ断する
と共に、レーザビームを透過させるウィンドーで、この
ウインドー９はジンクセレン（ＺｎＳｅ材）等で構成さ
れており、ベンドミラー８により方向が変えられたレー
ザビームを大気側へ取り出すものである。
【０００３】図６に示すレーザ発振器は上記のようにに
構成されており、次にその動作について説明する。ＣＯ
2 ガスレーザの場合、通常筺体１内にはＣＯ2、Ｈｅ、
Ｎ2の混合ガスが、数十Ｔｏｒｒ〜数百Ｔｏｒｒの負圧
状態で封入されている。放電エネルギーにより励起され
たレーザ媒質ガス２の両端には、凹面鏡３と凸面鏡４及
び穴付ミラー６で構成される光共振器が設けられてお
り、凹面鏡３と凸面鏡４間では穴付ミラー６の穴を通し
てレーザビームが反射増幅される。その結果、穴付ミラ
ー６の穴外へはみ出したレーザビームが穴付ミラー６の
反射面で反射されコリメーション凸ミラー７に反射す
る。コリメーション凸ミラー７の反射面は凸状面となっ
ており、このコリメーション凸ミラー７で、反射された
レーザビームは拡げられた状態でベンドミラー８を介し
てジンクセレン（ＺｎＳｅ材）等で構成されるウィンド
ー９に導かれる。ウィンドー９はＣＯ2 レーザビームを
９９％以上透過させ、かつ、レーザ媒質ガスと大気とを
しゃ断する働きを行なうため、レーザビームのみが大気
側へ取り出される。
構成されており、次にその動作について説明する。ＣＯ
2 ガスレーザの場合、通常筺体１内にはＣＯ2、Ｈｅ、
Ｎ2の混合ガスが、数十Ｔｏｒｒ〜数百Ｔｏｒｒの負圧
状態で封入されている。放電エネルギーにより励起され
たレーザ媒質ガス２の両端には、凹面鏡３と凸面鏡４及
び穴付ミラー６で構成される光共振器が設けられてお
り、凹面鏡３と凸面鏡４間では穴付ミラー６の穴を通し
てレーザビームが反射増幅される。その結果、穴付ミラ
ー６の穴外へはみ出したレーザビームが穴付ミラー６の
反射面で反射されコリメーション凸ミラー７に反射す
る。コリメーション凸ミラー７の反射面は凸状面となっ
ており、このコリメーション凸ミラー７で、反射された
レーザビームは拡げられた状態でベンドミラー８を介し
てジンクセレン（ＺｎＳｅ材）等で構成されるウィンド
ー９に導かれる。ウィンドー９はＣＯ2 レーザビームを
９９％以上透過させ、かつ、レーザ媒質ガスと大気とを
しゃ断する働きを行なうため、レーザビームのみが大気
側へ取り出される。
【０００４】又、図７は他の従来例を示すもので、レー
ザビームを取り出す窓がエアロダイナミックウィンドー
で構成されたＣＯ2 ガスレーザ発振器の構成を示す断面
図である。図７において図６と同一符号は同一又は相当
部分を示し、７０は反射面が凹面状に形成されたコリメ
ーション凹ミラーーで、穴付ミラー６からのレーザビー
ムを集光させるものである。８０はコリメーション凹ミ
ラー７０で反射されたレーザビームの方向を変えるベン
ドミラー、９０はエアロダイナミックウィンドーで、ベ
ンドミラー８０で反射されたレーザビームを大気側へ取
り出すものであり、このエアロダイナミックウィンドー
９０は次のようにに構成されている。即ち、エアロダイ
ナミックウィンドー９０の中央部にはレーザビームが通
過する***９１が形成されており、空気９２の噴出力に
より大気が***９１を通して筺体内に侵入するのを防ぐ
ように作用するものである。換言すれば、空気９２の噴
出力により、***９１から大気が筺体内に侵入するのを
防ぐエアーカーテンが形成されのである。
ザビームを取り出す窓がエアロダイナミックウィンドー
で構成されたＣＯ2 ガスレーザ発振器の構成を示す断面
図である。図７において図６と同一符号は同一又は相当
部分を示し、７０は反射面が凹面状に形成されたコリメ
ーション凹ミラーーで、穴付ミラー６からのレーザビー
ムを集光させるものである。８０はコリメーション凹ミ
ラー７０で反射されたレーザビームの方向を変えるベン
ドミラー、９０はエアロダイナミックウィンドーで、ベ
ンドミラー８０で反射されたレーザビームを大気側へ取
り出すものであり、このエアロダイナミックウィンドー
９０は次のようにに構成されている。即ち、エアロダイ
ナミックウィンドー９０の中央部にはレーザビームが通
過する***９１が形成されており、空気９２の噴出力に
より大気が***９１を通して筺体内に侵入するのを防ぐ
ように作用するものである。換言すれば、空気９２の噴
出力により、***９１から大気が筺体内に侵入するのを
防ぐエアーカーテンが形成されのである。
【０００５】次にこの図７で示す従来装置の動作につい
て説明する。穴付ミラー６の反射面で反射されたレーザ
ビームは、コリメーション凹ミラー７０に入射する。コ
リメーション凹ミラー７０の反射面は凹面状になってお
り、このコリメーション凹ミラー７０で反射されたレー
ザビームは集光された状態でベンドミラー８０を介して
エアロダイナミックウィンドー９０の***９１を通って
大気側へ取り出される。なお、その他の動作については
図６で説明したものと同様であり、説明を省略する。
て説明する。穴付ミラー６の反射面で反射されたレーザ
ビームは、コリメーション凹ミラー７０に入射する。コ
リメーション凹ミラー７０の反射面は凹面状になってお
り、このコリメーション凹ミラー７０で反射されたレー
ザビームは集光された状態でベンドミラー８０を介して
エアロダイナミックウィンドー９０の***９１を通って
大気側へ取り出される。なお、その他の動作については
図６で説明したものと同様であり、説明を省略する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来のレーザ発振器は
以上のように構成されているので、ジンクセレン（Ｚｎ
Ｓｅ材）等のレーザビームを透過させる窓を使用した場
合、窓に対するレーザビームのエネルギー密度を低く押
さえる為に、コリメーション凸ミラー、ベンドミラーの
光学系が必要となり、又、エアロダイナミックウィンド
ーの場合、コリメーション凹ミラー、ベンドミラーの光
学系によりエアロダイナミックウィンドーに形成される
***をレーザビームが透過できるように集光させる必要
があって、筺体内の光学系が複雑になるなどの問題点が
あった。
以上のように構成されているので、ジンクセレン（Ｚｎ
Ｓｅ材）等のレーザビームを透過させる窓を使用した場
合、窓に対するレーザビームのエネルギー密度を低く押
さえる為に、コリメーション凸ミラー、ベンドミラーの
光学系が必要となり、又、エアロダイナミックウィンド
ーの場合、コリメーション凹ミラー、ベンドミラーの光
学系によりエアロダイナミックウィンドーに形成される
***をレーザビームが透過できるように集光させる必要
があって、筺体内の光学系が複雑になるなどの問題点が
あった。
【０００７】この発明は上記のようにな問題点を解決す
るためになされたもので、筺体内の光学系が簡素化でき
るとともに、筺体のコンパクト化、信頼性向上を図るこ
とのできるレーザ発振器を得ることを目的とする。
るためになされたもので、筺体内の光学系が簡素化でき
るとともに、筺体のコンパクト化、信頼性向上を図るこ
とのできるレーザ発振器を得ることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】第１の発明に係るレーザ
発振器は、レーザ媒質ガスを大気と遮断する筺体、この
筺体内に設けられ、前記レーザ媒質ガスを介在して対向
する凹面鏡と凸面鏡、前記凹面鏡と凸面鏡の対向間隙に
配置されると共に、前記凹面鏡と凸面鏡の球心を結ぶ線
上に、この線に対して反射面が所定の角度を有して配置
さられるミラー、前記ミラーにより反射されるレーザ光
を前記筺体外に取り出すウィンドーを備え、前記ミラー
をその中央部に穴を有する穴付ミラーで構成すると共
に、その反射面を曲率を有する反射面で構成したもので
ある。
発振器は、レーザ媒質ガスを大気と遮断する筺体、この
筺体内に設けられ、前記レーザ媒質ガスを介在して対向
する凹面鏡と凸面鏡、前記凹面鏡と凸面鏡の対向間隙に
配置されると共に、前記凹面鏡と凸面鏡の球心を結ぶ線
上に、この線に対して反射面が所定の角度を有して配置
さられるミラー、前記ミラーにより反射されるレーザ光
を前記筺体外に取り出すウィンドーを備え、前記ミラー
をその中央部に穴を有する穴付ミラーで構成すると共
に、その反射面を曲率を有する反射面で構成したもので
ある。
【０００９】また、第２の発明に係るレーザ発振器は、
レーザ媒質ガスを大気と遮断する筺体、この筺体内に設
けられ、前記レーザ媒質ガスを介在して対向する凹面鏡
と凸面鏡、前記凹面鏡と凸面鏡の対向間隙に配置される
と共に、前記凹面鏡と凸面鏡の球心を結ぶ線上に、この
線に対して反射面が所定の角度を有して配置さ設られる
ミラー、前記ミラーにより反射されるレーザ光を前記筺
体外に取り出すウィンドーを備え、前記ミラーをその中
央部に穴を有する穴付ミラーで構成すると共に、その反
射面を放物面で構成したものである。
レーザ媒質ガスを大気と遮断する筺体、この筺体内に設
けられ、前記レーザ媒質ガスを介在して対向する凹面鏡
と凸面鏡、前記凹面鏡と凸面鏡の対向間隙に配置される
と共に、前記凹面鏡と凸面鏡の球心を結ぶ線上に、この
線に対して反射面が所定の角度を有して配置さ設られる
ミラー、前記ミラーにより反射されるレーザ光を前記筺
体外に取り出すウィンドーを備え、前記ミラーをその中
央部に穴を有する穴付ミラーで構成すると共に、その反
射面を放物面で構成したものである。
【００１０】
【作用】第１の発明における反射面に曲率を有する穴付
きミラーは、反射するレーザビーム径を変化させる。
きミラーは、反射するレーザビーム径を変化させる。
【００１１】また、第２の発明における反射面が放物面
の穴付きミラーは、これにより反射される反射光の球面
収差を無くした上でレーザビーム径を変化させる。
の穴付きミラーは、これにより反射される反射光の球面
収差を無くした上でレーザビーム径を変化させる。
【００１２】
【実施例】実施例１．以下、この発明の一実施例を図１
について説明する。図１において、１０は穴付きミラー
で、このミラー１０の反射面は凸面に形成されており、
凹面鏡３と凸面鏡４の球心を結ぶ線５上に、この線５に
対して反射面が４５度の傾斜角を有して設置されてい
る。なお、その他の構成については、従来例として説明
した図６と同様であり、同一符号で示すことによりその
説明を省略する。
について説明する。図１において、１０は穴付きミラー
で、このミラー１０の反射面は凸面に形成されており、
凹面鏡３と凸面鏡４の球心を結ぶ線５上に、この線５に
対して反射面が４５度の傾斜角を有して設置されてい
る。なお、その他の構成については、従来例として説明
した図６と同様であり、同一符号で示すことによりその
説明を省略する。
【００１３】次にこの図１に示す実施例の動作について
説明する。反射面が凸面に形成された穴付きミラー１０
で反射されたレーザビームは、拡げられてジンクセレン
（ＺｎＳｅ材）からなるウィンドー９を介して大気側へ
レーザビームとして取り出される。この場合、ウィンド
ー９の位置でのレーザビームは拡げられているため、ウ
ィンドー９に対するレーザビームのエネルギー密度が低
く押えられ、安定してレーザビームを得ることができ
る。
説明する。反射面が凸面に形成された穴付きミラー１０
で反射されたレーザビームは、拡げられてジンクセレン
（ＺｎＳｅ材）からなるウィンドー９を介して大気側へ
レーザビームとして取り出される。この場合、ウィンド
ー９の位置でのレーザビームは拡げられているため、ウ
ィンドー９に対するレーザビームのエネルギー密度が低
く押えられ、安定してレーザビームを得ることができ
る。
【００１４】実施例２．図２はこの発明の第２の実施例
を示すもので、２０は穴付きミラーを示し、このミラー
２０の反射面は凹面に形成されており、凹面鏡３と凸面
鏡４の球心を結ぶ線上５に、この線５に対して反射面が
４５度の傾斜角を有して設置されている。なお、その他
の構成については、従来例として説明した図７と同様で
あり、同一符号で示すことによりその説明を省略する。
を示すもので、２０は穴付きミラーを示し、このミラー
２０の反射面は凹面に形成されており、凹面鏡３と凸面
鏡４の球心を結ぶ線上５に、この線５に対して反射面が
４５度の傾斜角を有して設置されている。なお、その他
の構成については、従来例として説明した図７と同様で
あり、同一符号で示すことによりその説明を省略する。
【００１５】次にこの図２に示す実施例の動作について
説明する。反射面が凹面に形成された穴付きミラー２０
で反射されたレーザビームは、集光されるがその集光さ
れたレーザビームの位置には、エアロダイナミックウィ
ンドー９０が設けられており、その***９１を通してレ
ーザビームを大気側へ取り出すことができる。前記図
１、図２に示す実施例によるレーザ発振器は、反射面が
凸面または凹面に形成された穴付きミラー１０または２
０が、凹面鏡３と凸面鏡４との球心を結ぶ線５上に、こ
の線５に対して反射面が４５度の傾斜角を有して設けら
れているため、得られるレーザビームは球面収差を持っ
た楕円形状となり。集光性能が悪いレーザビームにな
る。この欠点を除去したのが図３〜図５に示す実施例に
よるレーザ発振器である。
説明する。反射面が凹面に形成された穴付きミラー２０
で反射されたレーザビームは、集光されるがその集光さ
れたレーザビームの位置には、エアロダイナミックウィ
ンドー９０が設けられており、その***９１を通してレ
ーザビームを大気側へ取り出すことができる。前記図
１、図２に示す実施例によるレーザ発振器は、反射面が
凸面または凹面に形成された穴付きミラー１０または２
０が、凹面鏡３と凸面鏡４との球心を結ぶ線５上に、こ
の線５に対して反射面が４５度の傾斜角を有して設けら
れているため、得られるレーザビームは球面収差を持っ
た楕円形状となり。集光性能が悪いレーザビームにな
る。この欠点を除去したのが図３〜図５に示す実施例に
よるレーザ発振器である。
【００１６】実施例３．図３はこの発明の第３の実施例
を示すもので、３０は反射面が凸面を有する穴付きミラ
ーである。この穴付きミラー３０は、凹面鏡３と凸面鏡
４の球心を結ぶ線５上に、この線５に対して反射面が４
５度未満、好適には反射面が１０度以下の傾斜角となる
ように設置された例を示すものである。このように反射
面の傾斜角を前記線５に対して１０度以下にすることに
より、球面収差を減少させた上でビーム径を変えること
ができる。前記傾斜角を零度、すなわち垂直入射に近づ
くほど、球面収差が減少することは当然である。なお、
レーザ媒質ガス５を励起させるために、図示しない電極
間に電圧を印加し、放電を発生させる必要があるが、こ
の電極は、図３のレーザ媒質ガス５の上下方向に配置さ
れているが、凹面鏡３とウィンドー９の位置関係を紙面
手前側と向こう側に配置することにより、レーザビーム
が電極に干渉しない構成としている。なお又、この図３
に示す実施例の動作は、夫々図１、図２に示す実施例の
ものと同様であるためその説明を省略する。
を示すもので、３０は反射面が凸面を有する穴付きミラ
ーである。この穴付きミラー３０は、凹面鏡３と凸面鏡
４の球心を結ぶ線５上に、この線５に対して反射面が４
５度未満、好適には反射面が１０度以下の傾斜角となる
ように設置された例を示すものである。このように反射
面の傾斜角を前記線５に対して１０度以下にすることに
より、球面収差を減少させた上でビーム径を変えること
ができる。前記傾斜角を零度、すなわち垂直入射に近づ
くほど、球面収差が減少することは当然である。なお、
レーザ媒質ガス５を励起させるために、図示しない電極
間に電圧を印加し、放電を発生させる必要があるが、こ
の電極は、図３のレーザ媒質ガス５の上下方向に配置さ
れているが、凹面鏡３とウィンドー９の位置関係を紙面
手前側と向こう側に配置することにより、レーザビーム
が電極に干渉しない構成としている。なお又、この図３
に示す実施例の動作は、夫々図１、図２に示す実施例の
ものと同様であるためその説明を省略する。
【００１７】実施例４．図４はこの発明の第４の実施例
を示すもので、４０は反射面が凹面を有する穴付きミラ
ーである。なお、その他の構成並びに動作については図
３に示す第３の実施例と同様であり、その説明を省略す
る。
を示すもので、４０は反射面が凹面を有する穴付きミラ
ーである。なお、その他の構成並びに動作については図
３に示す第３の実施例と同様であり、その説明を省略す
る。
【００１８】実施例５．図５はこの発明の第５の実施例
を示すもので、５０は反射面が凹面状の放物面形状を有
する穴付きミラーである。この穴付きミラー５０は、凹
面鏡３と凸面鏡４の球心を結ぶ線５上に、レーザビーム
の入射角が４５度となるように設置されたものである
が、反射面が放物面形状を有しているため、エアロダイ
ナミックウィンドー９０の***９１から大気側に取り出
されるレーザビームは球面収差が少ないほぼ円形のレー
ザビームとなるものである。なお、その他の構成並びに
動作は図２または図４に示す実施例のもと同様であり、
その説明は省略する。
を示すもので、５０は反射面が凹面状の放物面形状を有
する穴付きミラーである。この穴付きミラー５０は、凹
面鏡３と凸面鏡４の球心を結ぶ線５上に、レーザビーム
の入射角が４５度となるように設置されたものである
が、反射面が放物面形状を有しているため、エアロダイ
ナミックウィンドー９０の***９１から大気側に取り出
されるレーザビームは球面収差が少ないほぼ円形のレー
ザビームとなるものである。なお、その他の構成並びに
動作は図２または図４に示す実施例のもと同様であり、
その説明は省略する。
【００１９】実施例６．前記図５の実施例においては、
反射面が凹面状の放物面形状を有する穴付きミラー５０
と、エアロダイナミックウィンドー９０の組合わせにつ
いて説明したが、反射面が凸面状の放物面形状を有する
穴付きミラーと、ジンクセレン（ＺｎＳｅ材）等のレー
ザビームを透過させるウィンドーとの組合せであっても
同様の効果を奏することは容易に推考し得るものであ
る。
反射面が凹面状の放物面形状を有する穴付きミラー５０
と、エアロダイナミックウィンドー９０の組合わせにつ
いて説明したが、反射面が凸面状の放物面形状を有する
穴付きミラーと、ジンクセレン（ＺｎＳｅ材）等のレー
ザビームを透過させるウィンドーとの組合せであっても
同様の効果を奏することは容易に推考し得るものであ
る。
【００２０】実施例７．更に、図５の実施例において
は、反射面が凹面状の放物面形状を有する穴付きミラー
５０へレーザビームが４５度の入射角を有して入射する
場合について図示説明したが、４５度未満の入射角、す
なわち、図３、図４で示す実施例のように構成すること
により、球面収差を少なくし、集光性能のより優れたレ
ーザビームを得ることができる。
は、反射面が凹面状の放物面形状を有する穴付きミラー
５０へレーザビームが４５度の入射角を有して入射する
場合について図示説明したが、４５度未満の入射角、す
なわち、図３、図４で示す実施例のように構成すること
により、球面収差を少なくし、集光性能のより優れたレ
ーザビームを得ることができる。
【００２１】実施例８．前記第１〜第７の実施例におい
ては、いずれもＣＯ2 ガスレーザ発振器を例に挙げて説
明したが、この発明はこれに限定されるものでなく、他
のガスレーザ発振器への適用も可能であり、この発明の
主旨を逸脱しない範囲で諸種の設計的変更をも含むもの
である。
ては、いずれもＣＯ2 ガスレーザ発振器を例に挙げて説
明したが、この発明はこれに限定されるものでなく、他
のガスレーザ発振器への適用も可能であり、この発明の
主旨を逸脱しない範囲で諸種の設計的変更をも含むもの
である。
【００２２】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、穴付き
ミラーの反射面を凸面または凹面化し、レーザビームを
拡大又は集光させる機能を付加した構成にしたので装置
構成が簡素化でき、安価でコンパクトレーザな発振器を
得ることができる。また、従来のレーザ発振器に比べミ
ラー枚数を最小限にすることができ、レーザビームのミ
ラーでの損失を低減する効果をも得ることができる。
ミラーの反射面を凸面または凹面化し、レーザビームを
拡大又は集光させる機能を付加した構成にしたので装置
構成が簡素化でき、安価でコンパクトレーザな発振器を
得ることができる。また、従来のレーザ発振器に比べミ
ラー枚数を最小限にすることができ、レーザビームのミ
ラーでの損失を低減する効果をも得ることができる。
【図１】この発明の一実施例によるレーザ発振器の構成
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図２】この発明の他の実施例によるレーザ発振器の構
成を示す断面図である。
成を示す断面図である。
【図３】この発明の異なる他の実施例によるレーザ発振
器の構成を示す断面図である。
器の構成を示す断面図である。
【図４】この発明の更に異なる他の実施例によるレーザ
発振器の構成を示す断面図である。
発振器の構成を示す断面図である。
【図５】この発明の異なる他の実施例よるレーザ発振器
の構成を示す断面図である。
の構成を示す断面図である。
【図６】従来のレーザ発振器の構成を示す断面図であ
る。
る。
【図７】従来の異なるレーザ発振器の構成を示す断面図
である。
である。
１ 筺体 ２ レーザ媒質ガス ３ 凹面鏡 ４ 凸面鏡 ９ ウィンドー １０ 穴付きミラー ２０ 穴付きミラー ３０ 穴付きミラー ４０ 穴付きミラー ５０ 穴付きミラー ９０ エアロダイナミックウィンドー
Claims (2)
- 【請求項１】 レーザ媒質ガスを大気と遮断する筺体、
この筺体内に設けられ、前記レーザ媒質ガスを介在して
対向する凹面鏡と凸面鏡、前記凹面鏡と凸面鏡の対向間
隙に配置されると共に、前記凹面鏡と凸面鏡の球心を結
ぶ線上に、この線に対して反射面が所定の角度を有して
配置されるミラー、前記ミラーにより反射されるレーザ
光を前記筺体体外に取り出すウィンドーを備え、前記ミ
ラーをその中央部に穴を有する穴付ミラーで構成すると
共に、反射面を曲率を有する反射面で構成することを特
徴とするレーザ発振器。 - 【請求項２】 穴付きミラーの反射面を放物面にするこ
とを特徴とする請求項１記載のレーザ発振器。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4004770A JPH05190941A (ja) | 1992-01-14 | 1992-01-14 | レーザ発振器 |
| US08/003,725 US5317589A (en) | 1992-01-14 | 1993-01-13 | Laser oscillator having a curved mirror with a through-hole |
| DE4300812A DE4300812A1 (ja) | 1992-01-14 | 1993-01-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4004770A JPH05190941A (ja) | 1992-01-14 | 1992-01-14 | レーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05190941A true JPH05190941A (ja) | 1993-07-30 |
Family
ID=11593091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4004770A Pending JPH05190941A (ja) | 1992-01-14 | 1992-01-14 | レーザ発振器 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5317589A (ja) |
| JP (1) | JPH05190941A (ja) |
| DE (1) | DE4300812A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4401131C2 (de) * | 1994-01-17 | 2003-07-03 | Lambda Physik Ag | Laser zur Erzeugung schmalbandiger und abstimmbarer Emission |
| US5420882A (en) * | 1994-06-08 | 1995-05-30 | Reliant Technologies, Inc. | Infrared CO2 laser with a blue-green aiming beam |
| US6618421B2 (en) * | 1998-07-18 | 2003-09-09 | Cymer, Inc. | High repetition rate gas discharge laser with precise pulse timing control |
| KR102096048B1 (ko) * | 2012-10-10 | 2020-04-02 | 삼성디스플레이 주식회사 | 레이저 가공장치 |
| WO2016002036A1 (ja) * | 2014-07-03 | 2016-01-07 | 新日鐵住金株式会社 | レーザ加工装置 |
| EP3183091B8 (en) * | 2014-08-19 | 2018-09-05 | Lumileds Holding B.V. | Sapphire collector for reducing mechanical damage during die level laser lift-off |
| JP6807334B2 (ja) * | 2015-05-13 | 2021-01-06 | ルミレッズ ホールディング ベーフェー | ダイレベルのリフトオフの最中におけるメカニカルダメージを低減するためのサファイアコレクタ |
| GB2539252B (en) * | 2015-06-12 | 2017-08-23 | Thales Holdings Uk Plc | Optical apparatus |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS503920B2 (ja) * | 1971-12-17 | 1975-02-12 | ||
| US3969685A (en) * | 1974-12-06 | 1976-07-13 | United Technologies Corporation | Enhanced radiation coupling from unstable laser resonators |
| US4239341A (en) * | 1978-10-30 | 1980-12-16 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Unstable optical resonators with tilted spherical mirrors |
| US4429400A (en) * | 1980-11-12 | 1984-01-31 | United Kingdom Atomic Energy Authority | Lasers |
| FR2531282A2 (fr) * | 1982-07-30 | 1984-02-03 | Comp Generale Electricite | Oscillateur laser a flux gazeux |
| JPS59220984A (ja) * | 1983-05-31 | 1984-12-12 | Toshiba Corp | レ−ザ発振装置 |
| US4580270A (en) * | 1983-07-08 | 1986-04-01 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | High-energy laser system having gyroscopically stabilized optical elements |
| DE3821836A1 (de) * | 1988-06-29 | 1990-01-04 | Fraunhofer Ges Forschung | Aerodynamisches fenster fuer einen gaslaser |
| US5157684A (en) * | 1991-10-23 | 1992-10-20 | United Technologies Corporation | Optically pulsed laser |
| US5173916A (en) * | 1991-10-23 | 1992-12-22 | United Technologies Corporation | Optically pulsed laser having coupled adjoint beams |
-
1992
- 1992-01-14 JP JP4004770A patent/JPH05190941A/ja active Pending
-
1993
- 1993-01-13 US US08/003,725 patent/US5317589A/en not_active Expired - Fee Related
- 1993-01-14 DE DE4300812A patent/DE4300812A1/de not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5317589A (en) | 1994-05-31 |
| DE4300812A1 (ja) | 1993-07-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2786796B2 (ja) | プロジェクター | |
| JPH05190941A (ja) | レーザ発振器 | |
| US20050225763A1 (en) | System and method for the laser beam deflection for optical measuring systems | |
| JPS5843420A (ja) | レ−ザ用外部光学装置 | |
| JPS62186219A (ja) | 半導体レ−ザ−装置 | |
| JP2526946B2 (ja) | レ―ザ装置 | |
| JP2001118281A (ja) | 光ヘッドおよび光情報記録装置 | |
| JPH1126840A (ja) | レーザ装置 | |
| JP2531700B2 (ja) | 色素レ―ザ発振器 | |
| US4577324A (en) | High power output laser apparatus | |
| US4915475A (en) | Optical resonator especially for stabilizing a laser source | |
| JPH11177165A (ja) | 固体レーザーの光励起方式 | |
| JP3494092B2 (ja) | 光学装置およびこれを備えてなる液晶プロジェクター | |
| JPS62159484A (ja) | ガスレ−ザ管 | |
| RU2054217C1 (ru) | Лазер | |
| JPH05110174A (ja) | ダイオード励起固体レーザ | |
| JPS59210684A (ja) | 半導体レ−ザ | |
| US3942133A (en) | Gas laser tube with stray light restriction | |
| JP2000174365A (ja) | レーザ発振器 | |
| JPS5855663Y2 (ja) | レ−ザ−発振装置 | |
| JPH0249483A (ja) | レーザ増幅器 | |
| JPS6021583A (ja) | ガスレ−ザ発振装置 | |
| JPH0563260A (ja) | レーザー装置 | |
| JPH0350426B2 (ja) | ||
| JPH06291393A (ja) | レーザ共振器 |