DE4300812A1

DE4300812A1 -

Info

Publication number: DE4300812A1
Application number: DE4300812A
Authority: DE
Inventors: Shuji Ogawa; Shigenori Yagi
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1992-01-14
Filing date: 1993-01-14
Publication date: 1993-07-15
Also published as: US5317589A; JPH05190941A

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich im allgemeinen auf einen Laseroszillator und insbesondere auf einen Resonator, welcher in einem Laseroszillator benutzt wird.

In einem Laseroszillator muß bekannterweise der Strahldurchmesser geändert werden relativ zum Typ von Auslaßfenster, wenn ein Laserstrahl reflektiert wird von innerhalb eines Gehäuses in die Atmosphäre. Fig. 6 ist eine Querschnittsansicht zum Illustrieren der Struktur eines herkömmlichen CO₂-Gas-Laseroszillators mit einem Laserstrahl-Auslaßfenster 9 aus Zinkselenid(ZnSe)-Material usw.

In Fig. 6 isoliert ein Gehäuse (z. B. eine Vakuumkammer) 1 ein Lasermediumgas 2, welches durch Entladungsenergie mit Energie versorgt wird, von der Atmosphäre. Ein Spiegel 3 mit einer reflektierenden Oberfläche mit einer konkaven Gestalt und ein Spiegel 4 mit einer reflektierenden Oberfläche mit einer konvexen Gestalt sind ausgerichtet entlang einer Linie 5 (z. B. einer optischen Achse), welche sich durch ihre sphärischen Mittelpunkte erstreckt. Ein Teilaperturspiegel 6 hat eine flach reflektierende Oberfläche angebracht unter einem Winkel von 45° relativ zur Linie 5 und ein kollimierender konvexer Spiegel 7 hat eine konvex reflektierende Oberfläche zum Aufweiten eines Laserstrahls, der empfangen wird von dem Spiegel 6. Ein Ablenkspiegel 8 hat eine flach reflektierende Oberfläche zum Ändern der Richtung des Laserstrahls, der durch den konvexen Spiegel 7 reflektiert wird, und ein Fenster 9 isoliert das Lasermediumgas von der Atmosphäre, aber erlaubt, daß der Laserstrahl, welcher durch den Ablenkspiegel 8 reflektiert wird, das Gehäuse dadurch verläßt.

Der Betrieb des in Fig. 6 gezeigten Laseroszillators wird im weiteren beschrieben. Bei einem CO₂-Gaslaser ist eine gasförmige Mischung von CO₂, He und N₂ im allgemeinen eingeschlossen in dem Gehäuse 1 bei einem negativen Druck von einigen 10 Torr bis einigen 100 Torr. Ein optischer Resonator mit dem konkaven Spiegel 3, dem konvexen Spiegel 4 und dem Aperturspiegel 6 ist vorgesehen, welcher das Lasermediumgas 2, das durch die Entladungsenergie mit Energie versorgt wird, umschließt, und der Laserstrahl wird reflektiert und verstärkt zwischen dem konkaven Spiegel 3 und dem konvexen Spiegel 4, wobei er durch den Teilaperturspiegel 6 durchtritt. Der Laserstrahl von dem konkaven Spiegel, der über den Bereich der Apertur tritt, fällt auf eine Spiegeloberfläche außerhalb der Apertur des Spiegels 6 und wird durch diese reflektierende Oberfläche auf den kollimierenden Konvexspiegel 7 reflektiert.

Der kollimierende Konvexspiegel 7 reflektiert den Laserstrahl und darauf wird der Laserstrahl aufgeweitet und eingebracht in das Fenster 9 über den Ablenkspiegel 8. Das Fenster 9 verursacht, daß zumindest 99% des CO₂-Laserstrahls dadurch durchtreten (z. B. austreten) und isoliert das Lasermediumgas von der Atmosphäre und gibt dadurch nur den Laserstrahl in die Atmosphäre aus.

Fig. 7 ist eine Querschnittsansicht zum Illustrieren der Struktur eines weiteren herkömmlichen Systems, z. B. eines CO₂-Gaslaseroszillators, wobei ein Laserstrahl-Auslaßfenster ein aerodynamisches oder Luftdammfenster 90 ist. In Fig. 7 bezeichnen identische Zeichen wie die in Fig. 6 identische oder entsprechende Elemente. Hier verdichtet ein kollimierender Konkavspiegel 70 mit einer konkaven, reflektierenden Oberfläche den Laserstrahl der von dem Aperturspiegel 6 ausgeht. Ein Ablenkspiegel 80 ändert die Richtung des durch den Spiegel 70 reflektierten Laserstrahls und das aerodynamische Fenster 90 läßt den durch den Ablenkspiegel 80 reflektierten Laserstrahl in die Atmosphäre durchtreten. Das Fenster 90 hat ein schmales Loch 91, gebildet im Mittelpunkt davon zum Durchtretenlassen des Laserstrahls. Atmosphärische Luft wird daran gehindert, in das Gehäuse 1 durch das schmale Loch 91 einzutreten mittels eines Gasflusses 92, welcher vorgesehen ist durch das Fenster in einer Richtung senkrecht zur Richtung, in der der Laserstrahl aus dem Fenster austritt. Deshalb wird ein Luftvorhang gebildet durch den Luftfluß 92, um zu verhindern, daß atmosphärische Luft durch das kleine Loch 91 in das Gehäuse 1 eintritt.

Der Betrieb der herkömmlichen Vorrichtung, welche in Fig. 7 gezeigt ist, wird im weiteren beschrieben. Der durch die reflektierende Oberfläche des Spiegels 6 reflektierte Laserstrahl fällt auf den kollimierenden konkaven Spiegel 70. Der durch den konkaven Spiegel 70 reflektierte Laserstrahl wird ausgegeben in einem verdichteten, z. B. verengten, Zustand an die Atmosphäre durch das kleine Loch 91 in dem aerodynamischen Fenster 90 durch den Ablenkspiegel 80. Der folgende Betrieb ist ähnlich dem der Vorrichtung, welche in Fig. 6 beschrieben worden ist, und wird nicht weiter beschrieben werden.

Der bekannte Laseroszillator, der wie oben beschrieben konfiguriert ist, erfordert ein optisches System mit einem kollimierenden konvexen Spiegel und einem Ablenkspiegel bei Benutzung eines Fensters hergestellt aus Zinkselenid(ZnSe)-Material usw. zum Austreten oder Durchtreten des Laserstrahls dadurch, um die Energiedichte des Laserstrahls niedrig bezüglich des Fensters zu halten. Wenn weiterhin ein aerodynamisches Fenster benutzt wird, muß der Laserstrahl durch das optische System mit einem kollimierenden konkaven Spiegel und einem Ablenkspiegel so verdichtet werden, daß der Laserstrahl durch das kleine Loch, gebildet in dem aerodynamischen Fenster, durchtreten kann, wobei die Komplexität des optischen Systems und seiner Ausrichtung gesteigert wird.

Dementsprechend ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, die Nachteile der herkömmlichen Systeme zu überkommen durch Schaffen eines Laseroszillators, welcher erlaubt, das optische System in dem Gehäuse zu vereinfachen, das Gehäuse kompakter zu machen und die Zuverlässigkeit zu steigern.

Die Figuren zeigen im einzelnen:

Fig. 1 eine Querschnittsansicht zum Illustrieren der Struktur eines Laseroszillators nach einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

Fig. 2 eine Querschnittsansicht zum Illustrieren der Struktur eines Laseroszillators nach einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

Fig. 3 eine Querschnittsansicht zum Illustrieren der Struktur eines Laseroszillators nach der dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

Fig. 4 eine Querschnittsansicht zum Illustrieren der Struktur eines Laseroszillators nach einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

Fig. 5 eine Querschnittsansicht zum Illustrieren der Struktur eines Laseroszillators nach einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

Fig. 6 eine Querschnittsansicht zum Illustrieren der Struktur eines herkömmlichen Laseroszillators;

Fig. 7 eine Querschnittsansicht zum Illustrieren der Struktur eines weiteren herkömmliche Laseroszillators, und

Fig. 8 eine Querschnittsansicht einer sechsten Ausführungsform der Erfindung.

Eine erste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird im weiteren beschrieben werden mit Bezug auf die begleitende Zeichnung. Mit anfänglichem Bezug auf Fig. 1 ist ein Aperturspiegel 10 mit einer konvexen, reflektierenden Oberfläche vorgesehen unter einem Winkel von 45° relativ zu einer Linie (z. B. einer optischen Achse) 5, welche die sphärischen Mittelpunkte eines konkaven Spiegels 3 und eines konvexen Spiegels 4 verbindet. Die anderen Elemente des Systems werden nicht beschrieben werden, da sie durch identische Bezugszeichen, wie in Fig. 6, wie oben beschrieben, bezeichnet sind.

Der Betrieb der ersten in Fig. 1 gezeigten Ausführungsform wird im weiteren beschrieben werden. Ein durch den Aperturspiegel 10 mit einer konvexen, reflektierenden Oberfläche reflektierter Laserstrahl wird aufgeweitet und ausgegeben als Laserstrahl in die Atmosphäre über das Fenster 9 aus Zinkselenid(ZnSe)-Material. Da der Laserstrahl aufgeweitet ist an der Position des Fensters 9, ist die Energiedichte des Laserstrahls bezüglich des Fensters 9 niedrig gehalten, wodurch der Laserstrahl stabilisiert wird.

Fig. 2 illustriert eine zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, wobei ein Aperturspiegel 20 eine konkave, reflektierende Oberfläche, gebildet unter einem Winkel von 45° relativ zu einer optischen Achse 5, welche die sphärischen Mittelpunkte des konkaven Spiegels 3 und des konvexen Spiegels 4 verbindet, hat. Die Beschreibung der anderen Komponenten, die in Fig. 2 gezeigt sind, wird ausgelassen, da sie identisch denen, die in Fig. 7 zum Illustrieren des zweiten herkömmlichen Systems gezeigt sind, sind.

Der Betrieb der in Fig. 2 gezeigten Ausführungsform wird im weiteren beschrieben. Ein durch den Aperturspiegel 20 konkaver Krümmung reflektierter Laserstrahl wird verdichtet an der Position des aerodynamischen Fensters 90 mit einem kleinen Loch 91, durch das der Laserstrahl an die Atmosphäre ausgegeben wird.

Da der Laseroszillator in der ersten (oder zweiten) Ausführungsform, gezeigt in Fig. 1 (oder Fig. 2), einen Aperturspiegel 10 (oder 20) mit einer konvexen (oder konkaven) reflektierenden Oberfläche, angeordnet auf der Linie 5, welche die sphärischen Mittelpunkte des konkaven Spiegels 3 und des konvexen Spiegels 4 unter einem Winkel von 45° relativ zur Linie 5 verbindet, umfaßt, hat der Laserstrahl eine elliptische Gestalt mit sphärischer Aberration, was in einem Laserstrahl mit einer armseligen Verdichtungsqualität resultiert. Dieser Nachteil wurde eliminiert von Laseroszillatoren, welche nach den Ausführungen der Erfindung, wie illustriert in Fig. 3 bis 5, gebaut wurden und im weiteren beschrieben werden.

Fig. 3 illustriert eine dritte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, wobei ein Aperturspiegel 30 eine konvexe, reflektierende Oberfläche auf einer Linie 5, welche die sphärischen Mittelpunkte des konkaven Spiegels 3 und des konvexen Spiegels 4 unter einem Winkel von weniger als 45° und vorzugsweise nicht mehr als 10° relativ zur Linie 5 verbindet, hat. Durch Setzen des Winkels der reflektierenden Oberfläche relativ zur Linie 5 auf 10° oder weniger kann die sphärische Aberration reduziert werden und der Strahldurchmesser geändert werden. Natürlich nimmt die sphärische Aberration ab, wenn der Winkel sich 0°, d. h. vertikaler Einfall, nähert. Der Betrieb der in Fig. 3 gezeigten Ausführungsform ist ähnlich denen, wie gezeigt in Fig. 1 und 2, und wird nicht beschrieben werden.

Fig. 4 illustriert eine vierte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, wobei ein Aperturspiegel 50 eine konkave, reflektierende Oberfläche zum Verdichten eines Strahls durch die Apertur eines Luftdamms hat. Die Struktur und der Betrieb der vierten Ausführungsform werden nicht weiter beschrieben werden, da sie identisch denen der dritten Ausführungsform, wie gezeigt in Fig. 3, sind.

Fig. 5 zeigt eine fünfte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, wobei ein Aperturspiegel 50 eine konkave, reflektierende Oberfläche auf einer Linie 5, welche die sphärischen Mittelpunkte des konkaven Spiegels 3 und des konvexen Spiegels 4 so verbindet, daß ein Einfallswinkel des Laserstrahls 45° ist, hat. Da jedoch die reflektierende Oberfläche paraboloidal ist, ist der Laserstrahl, der ausgegeben wird durch das kleine Loch 91 des aerodynamischen Fensters 90 in die Atmosphäre, ein annäherungsweise kreisförmiger Laserstrahl mit reduzierter sphärischer Aberration. Die anderen Elemente und der Betrieb der fünften Ausführungsform sind ähnlich denen der Ausführungsform, wie gezeigt in Fig. 2 und 4, und werden nicht weiter beschrieben werden. Bei der fünften Ausführungsform, wie gezeigt in Fig. 5, wird ein Spiegel 50 mit einer konkaven, paraboloidalen, reflektierenden Oberfläche mit dem aerodynamischen Fenster 90 zusammen benutzt. Ein identischer Effekt wird erzeugt werden durch die Kombination eines Aperturspiegelfensters mit einer konvexen, paraboloidalen reflektierenden Oberfläche und einem Fenster aus Zinkselenid(ZnSe)-Material usw., welches dem Laserstrahl den Austritt ermöglicht.

Weiterhin tritt bei der Ausführungsform von Fig. 5 der Laserstrahl unter einem Einfallswinkel von 45° in den Durchgangsspiegel 50 mit einer konkaven, paraboloidalen, reflektierenden Oberfläche ein. Diese Ausführungsform kann konfiguriert sein mit einem Einfallswinkel von weniger als 45°, d. h. wie in den Ausführungsformen von Fig. 3 und 4, wodurch die sphärische Aberration reduziert wird und ein Laserstrahl erzeugt wird, der überlegen in der Verdichtungsqualität ist.

Fig. 8 zeigt eine weitere Ausführungsform der Erfindung, wo die gleichen Funktionen und Effekte, wie in den vorherigen Ausführungsformen beschrieben, erhalten werden können durch die Benutzung eines leicht verschiedenen, optischen Systems. In Fig. 8 ist der Spiegel 4 vorgesehen in konkaver Form, so daß der Weg der Lichtstrahlen darin, wie illustriert, ist. Diese Konfiguration wird als "negatives Zweig"-Design bezeichnet. Obwohl der Spiegel 60 in Fig. 8 flach illustriert ist, kann er die Gestalt irgendeines der Spiegel, wie illustriert in Fig. 1 bis 5, annehmen zum Erzielen eines gleichen Effekts. Er kann ebenso von der Achse verkippt sein, wie bei den Ausführungsformen von Fig. 3 und 4. Der Betrieb dieses Designs folgt unmittelbar aus der vorhergehenden Diskussion und braucht nicht weiter detailliert erörtert zu werden.

Die vorliegende Erfindung ist nicht beschränkt auf CO₂-Gasoszillatoren, welche beispielshalber in der ersten bis sechsten Ausführungsform der Erfindung illustriert wurden, sondern ist ebenfalls anwendbar auf andere Gaslaseroszillatoren. Die Erfindung kann in anderen speziellen Formen ausgeführt werden, ohne von dem Geist oder der essentiellen Charakteristik davon abzuweichen.

Somit werden, obwohl gewisse bevorzugte Ausführungsformen gezeigt und beschrieben worden sind, viele Änderungen und Modifikationen innerhalb des Gedankens der Erfindung klar erscheinen für dies die Fachleute auf diesem technischen Gebiet sind. Daher sollte der Schutzbereich der Erfindung nur als beschränkt durch die nachstehenden Patentansprüche angesehen werden.

Es wird klar erscheinen, daß, wie oben beschrieben, die Erfindung einen einfach herstellbaren, kompakten Laseroszillator mit einer einfachen Konfiguration schafft wegen der konvexen oder konkaven, reflektierenden Oberfläche des Durchgangsspiegels, welche jeweils den Laserstrahl aufweiten oder verdichten kann. Weiterhin minimieren die Laseroszillatoren nach der vorliegenden Erfindung die Anzahl von Spiegeln im Vergleich mit herkömmlichen Laseroszillatoren und reduzieren damit den Laserstrahlverlust an diesen Spiegeln.

Claims

1. Laseroszillator mit
einem Gehäuse (1) einschließlich eines enthaltenen Lasermediumgases, so daß das Lasermediumgas von der Atmosphäre isoliert ist;
ersten Spiegeln (3, 4), angeordnet in dem Gehäuse (1) mit dem Lasermediumgas dazwischen;
einem Aperturspiegel (10, 20, 30, 40, 50, 60) zwischen den ersten Spiegeln (3, 4) positioniert auf einer Linie (5), welche die sphärischen Mittelpunkte der ersten Spiegel (3, 4) verbindet, unter einem vorbestimmten Winkel relativ zu der Linie (5), wobei der Aperturspiegel (10, 20, 30, 40, 50, 60) eine reflektierende Oberfläche hat, und
einem Fenster (9, 90) in dem Gehäuse (1), durch das ein durch den Aperturspiegel (10, 20, 30, 40, 50, 60) reflektierter Laserstrahl ausgegeben wird aus dem Gehäuse (1), wobei die reflektierende Oberfläche des Aperturspiegels (10, 30, 40, 50, 60) eine Krümmung aufweist.

2. Laseroszillator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die reflektierende Oberfläche des Aperturspiegels (10, 20, 30, 60) konvex ist.

3. Laseroszillator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die reflektierende Oberfläche des Aperturspiegels (20, 40, 50) konkav ist.

4. Laseroszillator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die reflektierende Oberfläche des Aperturspiegels (50) paraboloidal ist.

5. Laseroszillator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Fenster (90) ein aerodynamisches Fenster (90) umfaßt.

6. Laseroszillator nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Fenster (90) ein aerodynamisches Fenster (90) umfaßt.

7. Laseroszillator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Aperturspiegel (10, 20, 30, 40, 50, 60), der vorgesehen ist auf der Linie, die die sphärischen Mittelpunkte des konkaven Spiegels (3) und des konvexen Spiegels (4) verbindet, vorgesehen ist unter einem Winkel von weniger als 45° relativ zu der Linie (5).

8. Laseroszillator nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Fenster (9, 90) Zinkselenid (ZnSe) umfaßt.

9. Laseroszillator nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Aperturspiegel (10, 20, 30, 40, 50, 60), der vorgesehen ist auf der Linie (5), welche die sphärischen Mittelpunkte des konkaven Spiegels (3) und des konvexen Spiegels (4) verbindet, vorgesehen ist unter einem Winkel von weniger als 45° relativ zu der Linie (5).

10. Laseroszillator nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Aperturspiegel (10, 20, 30, 40, 50, 60), der vorgesehen ist auf der Linie (5), welche die sphärischen Mittelpunkte des konkaven Spiegels (3) und des konvexen Spiegels (4) verbindet, vorgesehen ist unter einem Winkel von 45° relativ zu der Linie (5).

11. Laseroszillator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Aperturspiegel (10, 20, 30, 40, 50, 60), welcher vorgesehen ist auf der Linie (5), welche die sphärischen Mittelpunkte des konkaven Spiegels (3) und des konvexen Spiegels (4) verbindet, vorgesehen ist unter einem Winkel von nicht mehr als 10° relativ zu der Linie (5).

12. Laseroszillator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die reflektierende Oberfläche des Aperturspiegels (20, 40) eine konkave, sphärische Gestalt hat.

13. Laseroszillator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die reflektierende Oberfläche des Aperturspiegels (50) eine konkave, paraboloidale Gestalt hat.

14. Laseroszillator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Lasermediumgas CO₂-Gas umfaßt.

15. Verfahren zum Erzeugen und Ausrichten eines Laserstrahls mit den Schritten:
Vorsehen eines Gehäuses (1) mit einem Lasermediumgas, so daß das Lasermediumgas von der Atmosphäre isoliert ist;
Positionieren eines konkaven Spiegels (3) und eines konvexen Spiegels (4) in dem Gehäuse (1), so daß das Lasermediumgas dazwischen positioniert ist;
Positionieren eines Aperturspiegels (10, 20, 30, 40, 50, 60) zwischen dem konkaven Spiegel (3) und dem konvexen Spiegel (4) auf einer Linie (5), welche die sphärischen Mittelpunkte des konkaven Spiegels (3) und des konvexen Spiegels (4) unter einem vorbestimmten Winkel relativ zu der Linie (5) verbindet;
Erzeugen eines Laserstrahls innerhalb des Gehäuses (1);
Reflektieren eines Laserstrahls mit dem Aperturspiegel (10, 20, 30, 40, 50, 60) und
Vorsehen eines Fensters (9, 90) in dem Gehäuse (1), durch das der Laserstrahl, der durch den Aperturspiegel (10, 20, 30, 40, 50, 60) reflektiert wird, aus dem Gehäuse (1) ausgegeben wird, wobei die reflektierende Oberfläche des Aperturspiegels (10, 20, 30, 40, 50, 60) eine Krümmung aufweist.

16. Verfahren nach Anspruch 15, gekennzeichnet durch den Schritt des Versehens des Aperturspiegels (10, 30, 60) mit einer konvexen reflektierenden Oberfläche.

17. Verfahren nach Anspruch 15, gekennzeichnet durch den Schritt des Versehens des Aperturspiegels (20, 40, 50) mit einer konkaven reflektierenden Oberfläche.

18. Verfahren nach Anspruch 15, gekennzeichnet durch den Schritt des Versehens des Aperturspiegels (50) mit einer paraboloidalen reflektierenden Oberfläche.

19. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß der Schritt des Positionierens des Aperturspiegels (10, 20, 30, 40, 50, 60) auf der Linie (5), welche die sphärischen Mittelpunkte des konkaven Spiegels (3) und des konvexen Spiegels (4) verbindet, ein Neigen des Aperturspiegels (10, 20, 30, 40, 50, 60) unter einem Winkel von weniger als 45° relativ zu der Linie (5) beinhaltet.

20. Verfahren nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß der Schritt des Positionierens des Aperturspiegels (10, 20, 30, 40, 50, 60) auf der Linie (5), welche die sphärischen Mittelpunkte des konkaven Spiegels (3) und des konvexen Spiegels (4) verbindet, ein Neigen des Aperturspiegels (10, 20, 30, 40, 50, 60) unter einem Winkel von nicht mehr als 10° relativ zu der Linie (5) beinhaltet.

21. Laseroszillator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten Spiegel (3, 4) jeweils konkav sind.

22. Laseroszillator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß einer der ersten Spiegel (3, 4) konvex und ein weiterer der ersten Spiegel konkav ist.

23. Laseroszillator nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß die reflektierende Oberfläche des Aperturspiegels (10, 30, 60) konvex ist.

24. Laseroszillator nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß die reflektierende Oberfläche des Aperturspiegels (20, 40, 50) konkav ist.

25. Laseroszillator nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß die reflektierende Oberfläche des Aperturspiegels (50) paraboloidal ist.