DE4300812A1 - - Google Patents
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Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich im allgemeinen auf
einen Laseroszillator und insbesondere auf einen
Resonator, welcher in einem Laseroszillator benutzt wird.
In einem Laseroszillator muß bekannterweise der
Strahldurchmesser geändert werden relativ zum Typ von
Auslaßfenster, wenn ein Laserstrahl reflektiert wird von
innerhalb eines Gehäuses in die Atmosphäre. Fig. 6 ist
eine Querschnittsansicht zum Illustrieren der Struktur
eines herkömmlichen CO2-Gas-Laseroszillators mit einem
Laserstrahl-Auslaßfenster 9 aus Zinkselenid(ZnSe)-Material
usw.
In Fig. 6 isoliert ein Gehäuse (z. B. eine Vakuumkammer) 1
ein Lasermediumgas 2, welches durch Entladungsenergie mit
Energie versorgt wird, von der Atmosphäre. Ein Spiegel 3
mit einer reflektierenden Oberfläche mit einer konkaven
Gestalt und ein Spiegel 4 mit einer reflektierenden
Oberfläche mit einer konvexen Gestalt sind ausgerichtet
entlang einer Linie 5 (z. B. einer optischen Achse), welche
sich durch ihre sphärischen Mittelpunkte erstreckt. Ein
Teilaperturspiegel 6 hat eine flach reflektierende
Oberfläche angebracht unter einem Winkel von 45° relativ
zur Linie 5 und ein kollimierender konvexer Spiegel 7 hat
eine konvex reflektierende Oberfläche zum Aufweiten eines
Laserstrahls, der empfangen wird von dem Spiegel 6. Ein
Ablenkspiegel 8 hat eine flach reflektierende Oberfläche
zum Ändern der Richtung des Laserstrahls, der durch den
konvexen Spiegel 7 reflektiert wird, und ein Fenster 9
isoliert das Lasermediumgas von der Atmosphäre, aber
erlaubt, daß der Laserstrahl, welcher durch den
Ablenkspiegel 8 reflektiert wird, das Gehäuse dadurch
verläßt.
Der Betrieb des in Fig. 6 gezeigten Laseroszillators wird
im weiteren beschrieben. Bei einem CO2-Gaslaser ist eine
gasförmige Mischung von CO2, He und N2 im allgemeinen
eingeschlossen in dem Gehäuse 1 bei einem negativen Druck
von einigen 10 Torr bis einigen 100 Torr. Ein optischer
Resonator mit dem konkaven Spiegel 3, dem konvexen Spiegel
4 und dem Aperturspiegel 6 ist vorgesehen, welcher das
Lasermediumgas 2, das durch die Entladungsenergie mit
Energie versorgt wird, umschließt, und der Laserstrahl
wird reflektiert und verstärkt zwischen dem konkaven
Spiegel 3 und dem konvexen Spiegel 4, wobei er durch den
Teilaperturspiegel 6 durchtritt. Der Laserstrahl von dem
konkaven Spiegel, der über den Bereich der Apertur tritt,
fällt auf eine Spiegeloberfläche außerhalb der Apertur des
Spiegels 6 und wird durch diese reflektierende Oberfläche
auf den kollimierenden Konvexspiegel 7 reflektiert.
Der kollimierende Konvexspiegel 7 reflektiert den
Laserstrahl und darauf wird der Laserstrahl aufgeweitet
und eingebracht in das Fenster 9 über den Ablenkspiegel 8.
Das Fenster 9 verursacht, daß zumindest 99% des
CO2-Laserstrahls dadurch durchtreten (z. B. austreten)
und isoliert das Lasermediumgas von der Atmosphäre und
gibt dadurch nur den Laserstrahl in die Atmosphäre aus.
Fig. 7 ist eine Querschnittsansicht zum Illustrieren der
Struktur eines weiteren herkömmlichen Systems, z. B. eines
CO2-Gaslaseroszillators, wobei ein
Laserstrahl-Auslaßfenster ein aerodynamisches oder
Luftdammfenster 90 ist. In Fig. 7 bezeichnen identische
Zeichen wie die in Fig. 6 identische oder entsprechende
Elemente. Hier verdichtet ein kollimierender Konkavspiegel
70 mit einer konkaven, reflektierenden Oberfläche den
Laserstrahl der von dem Aperturspiegel 6 ausgeht. Ein
Ablenkspiegel 80 ändert die Richtung des durch den Spiegel
70 reflektierten Laserstrahls und das aerodynamische
Fenster 90 läßt den durch den Ablenkspiegel 80
reflektierten Laserstrahl in die Atmosphäre durchtreten.
Das Fenster 90 hat ein schmales Loch 91, gebildet im
Mittelpunkt davon zum Durchtretenlassen des Laserstrahls.
Atmosphärische Luft wird daran gehindert, in das Gehäuse 1
durch das schmale Loch 91 einzutreten mittels eines
Gasflusses 92, welcher vorgesehen ist durch das Fenster in
einer Richtung senkrecht zur Richtung, in der der
Laserstrahl aus dem Fenster austritt. Deshalb wird ein
Luftvorhang gebildet durch den Luftfluß 92, um zu
verhindern, daß atmosphärische Luft durch das kleine Loch
91 in das Gehäuse 1 eintritt.
Der Betrieb der herkömmlichen Vorrichtung, welche in
Fig. 7 gezeigt ist, wird im weiteren beschrieben. Der
durch die reflektierende Oberfläche des Spiegels 6
reflektierte Laserstrahl fällt auf den kollimierenden
konkaven Spiegel 70. Der durch den konkaven Spiegel 70
reflektierte Laserstrahl wird ausgegeben in einem
verdichteten, z. B. verengten, Zustand an die Atmosphäre
durch das kleine Loch 91 in dem aerodynamischen Fenster 90
durch den Ablenkspiegel 80. Der folgende Betrieb ist
ähnlich dem der Vorrichtung, welche in Fig. 6 beschrieben
worden ist, und wird nicht weiter beschrieben werden.
Der bekannte Laseroszillator, der wie oben beschrieben
konfiguriert ist, erfordert ein optisches System mit einem
kollimierenden konvexen Spiegel und einem Ablenkspiegel
bei Benutzung eines Fensters hergestellt aus
Zinkselenid(ZnSe)-Material usw. zum Austreten oder
Durchtreten des Laserstrahls dadurch, um die Energiedichte
des Laserstrahls niedrig bezüglich des Fensters zu halten.
Wenn weiterhin ein aerodynamisches Fenster benutzt wird,
muß der Laserstrahl durch das optische System mit einem
kollimierenden konkaven Spiegel und einem Ablenkspiegel so
verdichtet werden, daß der Laserstrahl durch das kleine
Loch, gebildet in dem aerodynamischen Fenster, durchtreten
kann, wobei die Komplexität des optischen Systems und
seiner Ausrichtung gesteigert wird.
Dementsprechend ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung,
die Nachteile der herkömmlichen Systeme zu überkommen
durch Schaffen eines Laseroszillators, welcher erlaubt,
das optische System in dem Gehäuse zu vereinfachen, das
Gehäuse kompakter zu machen und die Zuverlässigkeit zu
steigern.
Die Figuren zeigen im einzelnen:
Fig. 1 eine Querschnittsansicht zum Illustrieren der
Struktur eines Laseroszillators nach einer
Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
Fig. 2 eine Querschnittsansicht zum Illustrieren der
Struktur eines Laseroszillators nach einer
zweiten Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung;
Fig. 3 eine Querschnittsansicht zum Illustrieren der
Struktur eines Laseroszillators nach der dritten
Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
Fig. 4 eine Querschnittsansicht zum Illustrieren der
Struktur eines Laseroszillators nach einer
vierten Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung;
Fig. 5 eine Querschnittsansicht zum Illustrieren der
Struktur eines Laseroszillators nach einer
fünften Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung;
Fig. 6 eine Querschnittsansicht zum Illustrieren der
Struktur eines herkömmlichen Laseroszillators;
Fig. 7 eine Querschnittsansicht zum Illustrieren der
Struktur eines weiteren herkömmliche
Laseroszillators, und
Fig. 8 eine Querschnittsansicht einer sechsten
Ausführungsform der Erfindung.
Eine erste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird
im weiteren beschrieben werden mit Bezug auf die
begleitende Zeichnung. Mit anfänglichem Bezug auf Fig. 1
ist ein Aperturspiegel 10 mit einer konvexen,
reflektierenden Oberfläche vorgesehen unter einem Winkel
von 45° relativ zu einer Linie (z. B. einer optischen
Achse) 5, welche die sphärischen Mittelpunkte eines
konkaven Spiegels 3 und eines konvexen Spiegels 4
verbindet. Die anderen Elemente des Systems werden nicht
beschrieben werden, da sie durch identische Bezugszeichen,
wie in Fig. 6, wie oben beschrieben, bezeichnet sind.
Der Betrieb der ersten in Fig. 1 gezeigten Ausführungsform
wird im weiteren beschrieben werden. Ein durch den
Aperturspiegel 10 mit einer konvexen, reflektierenden
Oberfläche reflektierter Laserstrahl wird aufgeweitet und
ausgegeben als Laserstrahl in die Atmosphäre über das
Fenster 9 aus Zinkselenid(ZnSe)-Material. Da der
Laserstrahl aufgeweitet ist an der Position des Fensters
9, ist die Energiedichte des Laserstrahls bezüglich des
Fensters 9 niedrig gehalten, wodurch der Laserstrahl
stabilisiert wird.
Fig. 2 illustriert eine zweite Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung, wobei ein Aperturspiegel 20 eine
konkave, reflektierende Oberfläche, gebildet unter einem
Winkel von 45° relativ zu einer optischen Achse 5, welche
die sphärischen Mittelpunkte des konkaven Spiegels 3 und
des konvexen Spiegels 4 verbindet, hat. Die Beschreibung
der anderen Komponenten, die in Fig. 2 gezeigt sind, wird
ausgelassen, da sie identisch denen, die in Fig. 7 zum
Illustrieren des zweiten herkömmlichen Systems gezeigt
sind, sind.
Der Betrieb der in Fig. 2 gezeigten Ausführungsform wird
im weiteren beschrieben. Ein durch den Aperturspiegel 20
konkaver Krümmung reflektierter Laserstrahl wird
verdichtet an der Position des aerodynamischen Fensters 90
mit einem kleinen Loch 91, durch das der Laserstrahl an
die Atmosphäre ausgegeben wird.
Da der Laseroszillator in der ersten (oder zweiten)
Ausführungsform, gezeigt in Fig. 1 (oder Fig. 2), einen
Aperturspiegel 10 (oder 20) mit einer konvexen (oder
konkaven) reflektierenden Oberfläche, angeordnet auf der
Linie 5, welche die sphärischen Mittelpunkte des konkaven
Spiegels 3 und des konvexen Spiegels 4 unter einem Winkel
von 45° relativ zur Linie 5 verbindet, umfaßt, hat der
Laserstrahl eine elliptische Gestalt mit sphärischer
Aberration, was in einem Laserstrahl mit einer armseligen
Verdichtungsqualität resultiert. Dieser Nachteil wurde
eliminiert von Laseroszillatoren, welche nach den
Ausführungen der Erfindung, wie illustriert in Fig. 3 bis
5, gebaut wurden und im weiteren beschrieben werden.
Fig. 3 illustriert eine dritte Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung, wobei ein Aperturspiegel 30 eine
konvexe, reflektierende Oberfläche auf einer Linie 5,
welche die sphärischen Mittelpunkte des konkaven Spiegels
3 und des konvexen Spiegels 4 unter einem Winkel von
weniger als 45° und vorzugsweise nicht mehr als 10°
relativ zur Linie 5 verbindet, hat. Durch Setzen des
Winkels der reflektierenden Oberfläche relativ zur Linie 5
auf 10° oder weniger kann die sphärische Aberration
reduziert werden und der Strahldurchmesser geändert
werden. Natürlich nimmt die sphärische Aberration ab, wenn
der Winkel sich 0°, d. h. vertikaler Einfall, nähert. Der
Betrieb der in Fig. 3 gezeigten Ausführungsform ist
ähnlich denen, wie gezeigt in Fig. 1 und 2, und wird nicht
beschrieben werden.
Fig. 4 illustriert eine vierte Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung, wobei ein Aperturspiegel 50 eine
konkave, reflektierende Oberfläche zum Verdichten eines
Strahls durch die Apertur eines Luftdamms hat. Die
Struktur und der Betrieb der vierten Ausführungsform
werden nicht weiter beschrieben werden, da sie identisch
denen der dritten Ausführungsform, wie gezeigt in Fig. 3,
sind.
Fig. 5 zeigt eine fünfte Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung, wobei ein Aperturspiegel 50 eine konkave,
reflektierende Oberfläche auf einer Linie 5, welche die
sphärischen Mittelpunkte des konkaven Spiegels 3 und des
konvexen Spiegels 4 so verbindet, daß ein Einfallswinkel
des Laserstrahls 45° ist, hat. Da jedoch die
reflektierende Oberfläche paraboloidal ist, ist der
Laserstrahl, der ausgegeben wird durch das kleine Loch 91
des aerodynamischen Fensters 90 in die Atmosphäre, ein
annäherungsweise kreisförmiger Laserstrahl mit reduzierter
sphärischer Aberration. Die anderen Elemente und der
Betrieb der fünften Ausführungsform sind ähnlich denen der
Ausführungsform, wie gezeigt in Fig. 2 und 4, und werden
nicht weiter beschrieben werden. Bei der fünften
Ausführungsform, wie gezeigt in Fig. 5, wird ein Spiegel
50 mit einer konkaven, paraboloidalen, reflektierenden
Oberfläche mit dem aerodynamischen Fenster 90 zusammen
benutzt. Ein identischer Effekt wird erzeugt werden durch
die Kombination eines Aperturspiegelfensters mit einer
konvexen, paraboloidalen reflektierenden Oberfläche und
einem Fenster aus Zinkselenid(ZnSe)-Material usw., welches
dem Laserstrahl den Austritt ermöglicht.
Weiterhin tritt bei der Ausführungsform von Fig. 5 der
Laserstrahl unter einem Einfallswinkel von 45° in den
Durchgangsspiegel 50 mit einer konkaven, paraboloidalen,
reflektierenden Oberfläche ein. Diese Ausführungsform kann
konfiguriert sein mit einem Einfallswinkel von weniger als
45°, d. h. wie in den Ausführungsformen von Fig. 3 und 4,
wodurch die sphärische Aberration reduziert wird und ein
Laserstrahl erzeugt wird, der überlegen in der
Verdichtungsqualität ist.
Fig. 8 zeigt eine weitere Ausführungsform der Erfindung,
wo die gleichen Funktionen und Effekte, wie in den
vorherigen Ausführungsformen beschrieben, erhalten werden
können durch die Benutzung eines leicht verschiedenen,
optischen Systems. In Fig. 8 ist der Spiegel 4 vorgesehen
in konkaver Form, so daß der Weg der Lichtstrahlen darin,
wie illustriert, ist. Diese Konfiguration wird als
"negatives Zweig"-Design bezeichnet. Obwohl der Spiegel 60
in Fig. 8 flach illustriert ist, kann er die Gestalt
irgendeines der Spiegel, wie illustriert in Fig. 1 bis 5,
annehmen zum Erzielen eines gleichen Effekts. Er kann
ebenso von der Achse verkippt sein, wie bei den
Ausführungsformen von Fig. 3 und 4. Der Betrieb dieses
Designs folgt unmittelbar aus der vorhergehenden
Diskussion und braucht nicht weiter detailliert erörtert
zu werden.
Die vorliegende Erfindung ist nicht beschränkt auf
CO2-Gasoszillatoren, welche beispielshalber in der
ersten bis sechsten Ausführungsform der Erfindung
illustriert wurden, sondern ist ebenfalls anwendbar auf
andere Gaslaseroszillatoren. Die Erfindung kann in anderen
speziellen Formen ausgeführt werden, ohne von dem Geist
oder der essentiellen Charakteristik davon abzuweichen.
Somit werden, obwohl gewisse bevorzugte Ausführungsformen
gezeigt und beschrieben worden sind, viele Änderungen und
Modifikationen innerhalb des Gedankens der Erfindung klar
erscheinen für dies die Fachleute auf diesem technischen
Gebiet sind. Daher sollte der Schutzbereich der Erfindung
nur als beschränkt durch die nachstehenden Patentansprüche
angesehen werden.
Es wird klar erscheinen, daß, wie oben beschrieben, die
Erfindung einen einfach herstellbaren, kompakten
Laseroszillator mit einer einfachen Konfiguration schafft
wegen der konvexen oder konkaven, reflektierenden
Oberfläche des Durchgangsspiegels, welche jeweils den
Laserstrahl aufweiten oder verdichten kann. Weiterhin
minimieren die Laseroszillatoren nach der vorliegenden
Erfindung die Anzahl von Spiegeln im Vergleich mit
herkömmlichen Laseroszillatoren und reduzieren damit den
Laserstrahlverlust an diesen Spiegeln.
Claims (25)
1. Laseroszillator mit
einem Gehäuse (1) einschließlich eines enthaltenen Lasermediumgases, so daß das Lasermediumgas von der Atmosphäre isoliert ist;
ersten Spiegeln (3, 4), angeordnet in dem Gehäuse (1) mit dem Lasermediumgas dazwischen;
einem Aperturspiegel (10, 20, 30, 40, 50, 60) zwischen den ersten Spiegeln (3, 4) positioniert auf einer Linie (5), welche die sphärischen Mittelpunkte der ersten Spiegel (3, 4) verbindet, unter einem vorbestimmten Winkel relativ zu der Linie (5), wobei der Aperturspiegel (10, 20, 30, 40, 50, 60) eine reflektierende Oberfläche hat, und
einem Fenster (9, 90) in dem Gehäuse (1), durch das ein durch den Aperturspiegel (10, 20, 30, 40, 50, 60) reflektierter Laserstrahl ausgegeben wird aus dem Gehäuse (1), wobei die reflektierende Oberfläche des Aperturspiegels (10, 30, 40, 50, 60) eine Krümmung aufweist.
einem Gehäuse (1) einschließlich eines enthaltenen Lasermediumgases, so daß das Lasermediumgas von der Atmosphäre isoliert ist;
ersten Spiegeln (3, 4), angeordnet in dem Gehäuse (1) mit dem Lasermediumgas dazwischen;
einem Aperturspiegel (10, 20, 30, 40, 50, 60) zwischen den ersten Spiegeln (3, 4) positioniert auf einer Linie (5), welche die sphärischen Mittelpunkte der ersten Spiegel (3, 4) verbindet, unter einem vorbestimmten Winkel relativ zu der Linie (5), wobei der Aperturspiegel (10, 20, 30, 40, 50, 60) eine reflektierende Oberfläche hat, und
einem Fenster (9, 90) in dem Gehäuse (1), durch das ein durch den Aperturspiegel (10, 20, 30, 40, 50, 60) reflektierter Laserstrahl ausgegeben wird aus dem Gehäuse (1), wobei die reflektierende Oberfläche des Aperturspiegels (10, 30, 40, 50, 60) eine Krümmung aufweist.
2. Laseroszillator nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die reflektierende Oberfläche des
Aperturspiegels (10, 20, 30, 60) konvex ist.
3. Laseroszillator nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die reflektierende Oberfläche des
Aperturspiegels (20, 40, 50) konkav ist.
4. Laseroszillator nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die reflektierende Oberfläche des
Aperturspiegels (50) paraboloidal ist.
5. Laseroszillator nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß das Fenster (90) ein
aerodynamisches Fenster (90) umfaßt.
6. Laseroszillator nach Anspruch 3, dadurch
gekennzeichnet, daß das Fenster (90) ein
aerodynamisches Fenster (90) umfaßt.
7. Laseroszillator nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß der Aperturspiegel (10, 20, 30,
40, 50, 60), der vorgesehen ist auf der Linie, die die
sphärischen Mittelpunkte des konkaven Spiegels (3) und
des konvexen Spiegels (4) verbindet, vorgesehen ist
unter einem Winkel von weniger als 45° relativ zu der
Linie (5).
8. Laseroszillator nach Anspruch 2, dadurch
gekennzeichnet, daß das Fenster (9, 90) Zinkselenid
(ZnSe) umfaßt.
9. Laseroszillator nach Anspruch 2, dadurch
gekennzeichnet, daß der Aperturspiegel (10, 20, 30,
40, 50, 60), der vorgesehen ist auf der Linie (5),
welche die sphärischen Mittelpunkte des konkaven
Spiegels (3) und des konvexen Spiegels (4) verbindet,
vorgesehen ist unter einem Winkel von weniger als 45°
relativ zu der Linie (5).
10. Laseroszillator nach Anspruch 3, dadurch
gekennzeichnet, daß der Aperturspiegel (10, 20, 30,
40, 50, 60), der vorgesehen ist auf der Linie (5),
welche die sphärischen Mittelpunkte des konkaven
Spiegels (3) und des konvexen Spiegels (4) verbindet,
vorgesehen ist unter einem Winkel von 45° relativ zu
der Linie (5).
11. Laseroszillator nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß der Aperturspiegel (10, 20, 30,
40, 50, 60), welcher vorgesehen ist auf der Linie (5),
welche die sphärischen Mittelpunkte des konkaven
Spiegels (3) und des konvexen Spiegels (4) verbindet,
vorgesehen ist unter einem Winkel von nicht mehr als
10° relativ zu der Linie (5).
12. Laseroszillator nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die reflektierende Oberfläche des
Aperturspiegels (20, 40) eine konkave, sphärische
Gestalt hat.
13. Laseroszillator nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die reflektierende Oberfläche des
Aperturspiegels (50) eine konkave, paraboloidale
Gestalt hat.
14. Laseroszillator nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß das Lasermediumgas CO2-Gas
umfaßt.
15. Verfahren zum Erzeugen und Ausrichten eines
Laserstrahls mit den Schritten:
Vorsehen eines Gehäuses (1) mit einem Lasermediumgas, so daß das Lasermediumgas von der Atmosphäre isoliert ist;
Positionieren eines konkaven Spiegels (3) und eines konvexen Spiegels (4) in dem Gehäuse (1), so daß das Lasermediumgas dazwischen positioniert ist;
Positionieren eines Aperturspiegels (10, 20, 30, 40, 50, 60) zwischen dem konkaven Spiegel (3) und dem konvexen Spiegel (4) auf einer Linie (5), welche die sphärischen Mittelpunkte des konkaven Spiegels (3) und des konvexen Spiegels (4) unter einem vorbestimmten Winkel relativ zu der Linie (5) verbindet;
Erzeugen eines Laserstrahls innerhalb des Gehäuses (1);
Reflektieren eines Laserstrahls mit dem Aperturspiegel (10, 20, 30, 40, 50, 60) und
Vorsehen eines Fensters (9, 90) in dem Gehäuse (1), durch das der Laserstrahl, der durch den Aperturspiegel (10, 20, 30, 40, 50, 60) reflektiert wird, aus dem Gehäuse (1) ausgegeben wird, wobei die reflektierende Oberfläche des Aperturspiegels (10, 20, 30, 40, 50, 60) eine Krümmung aufweist.
Vorsehen eines Gehäuses (1) mit einem Lasermediumgas, so daß das Lasermediumgas von der Atmosphäre isoliert ist;
Positionieren eines konkaven Spiegels (3) und eines konvexen Spiegels (4) in dem Gehäuse (1), so daß das Lasermediumgas dazwischen positioniert ist;
Positionieren eines Aperturspiegels (10, 20, 30, 40, 50, 60) zwischen dem konkaven Spiegel (3) und dem konvexen Spiegel (4) auf einer Linie (5), welche die sphärischen Mittelpunkte des konkaven Spiegels (3) und des konvexen Spiegels (4) unter einem vorbestimmten Winkel relativ zu der Linie (5) verbindet;
Erzeugen eines Laserstrahls innerhalb des Gehäuses (1);
Reflektieren eines Laserstrahls mit dem Aperturspiegel (10, 20, 30, 40, 50, 60) und
Vorsehen eines Fensters (9, 90) in dem Gehäuse (1), durch das der Laserstrahl, der durch den Aperturspiegel (10, 20, 30, 40, 50, 60) reflektiert wird, aus dem Gehäuse (1) ausgegeben wird, wobei die reflektierende Oberfläche des Aperturspiegels (10, 20, 30, 40, 50, 60) eine Krümmung aufweist.
16. Verfahren nach Anspruch 15, gekennzeichnet durch den
Schritt des Versehens des Aperturspiegels (10, 30, 60)
mit einer konvexen reflektierenden Oberfläche.
17. Verfahren nach Anspruch 15, gekennzeichnet durch den
Schritt des Versehens des Aperturspiegels (20, 40,
50) mit einer konkaven reflektierenden Oberfläche.
18. Verfahren nach Anspruch 15, gekennzeichnet durch den
Schritt des Versehens des Aperturspiegels (50) mit
einer paraboloidalen reflektierenden Oberfläche.
19. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet,
daß der Schritt des Positionierens des Aperturspiegels
(10, 20, 30, 40, 50, 60) auf der Linie (5), welche die
sphärischen Mittelpunkte des konkaven Spiegels (3) und
des konvexen Spiegels (4) verbindet, ein Neigen des
Aperturspiegels (10, 20, 30, 40, 50, 60) unter einem
Winkel von weniger als 45° relativ zu der Linie (5)
beinhaltet.
20. Verfahren nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet,
daß der Schritt des Positionierens des Aperturspiegels
(10, 20, 30, 40, 50, 60) auf der Linie (5), welche die
sphärischen Mittelpunkte des konkaven Spiegels (3) und
des konvexen Spiegels (4) verbindet, ein Neigen des
Aperturspiegels (10, 20, 30, 40, 50, 60) unter einem
Winkel von nicht mehr als 10° relativ zu der Linie (5)
beinhaltet.
21. Laseroszillator nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die ersten Spiegel (3, 4) jeweils
konkav sind.
22. Laseroszillator nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß einer der ersten Spiegel (3, 4)
konvex und ein weiterer der ersten Spiegel konkav ist.
23. Laseroszillator nach Anspruch 21, dadurch
gekennzeichnet, daß die reflektierende Oberfläche des
Aperturspiegels (10, 30, 60) konvex ist.
24. Laseroszillator nach Anspruch 21, dadurch
gekennzeichnet, daß die reflektierende Oberfläche des
Aperturspiegels (20, 40, 50) konkav ist.
25. Laseroszillator nach Anspruch 21, dadurch
gekennzeichnet, daß die reflektierende Oberfläche des
Aperturspiegels (50) paraboloidal ist.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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JP (1) | JPH05190941A (de) |
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