JPH051832Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH051832Y2 JPH051832Y2 JP1985170041U JP17004185U JPH051832Y2 JP H051832 Y2 JPH051832 Y2 JP H051832Y2 JP 1985170041 U JP1985170041 U JP 1985170041U JP 17004185 U JP17004185 U JP 17004185U JP H051832 Y2 JPH051832 Y2 JP H051832Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- classification
- tester
- handler
- abnormality
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 18
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims description 16
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この考案は、半導体素子を検査する装置に関す
るものである。
るものである。
従来のこの種の装置としてテスタ・ハンドラ間
の制御信号を用いた半導体素子用検査装置を第5
図〜第7図について説明する。
の制御信号を用いた半導体素子用検査装置を第5
図〜第7図について説明する。
第5図は従来の半導体素子用検査装置の構成を
示すブロツク図であり、第6図はテスタ・ハンド
ラ間の正常時の制御信号のタイミングチヤート、
第7図は同じく異常時の制御信号のタイミングチ
ヤートである。
示すブロツク図であり、第6図はテスタ・ハンド
ラ間の正常時の制御信号のタイミングチヤート、
第7図は同じく異常時の制御信号のタイミングチ
ヤートである。
第5図において、1は半導体素子(図示せず)
を検査するテスタ、2はハンドラで、両者間には
第6図、第7図に示す信号波形の各信号が送受さ
れる。aは分類1信号、bは分類2信号、cはテ
スト要求信号、dはテスト終了信号である。
を検査するテスタ、2はハンドラで、両者間には
第6図、第7図に示す信号波形の各信号が送受さ
れる。aは分類1信号、bは分類2信号、cはテ
スト要求信号、dはテスト終了信号である。
次に動作について説明する(信号は全てアクテ
イブ・ハイで表す。またハイレベルをH、ローレ
ベルをLで表す。)。ハンドラ2の出力信号である
テスト要求信号cによつて、テスタ1が半導体素
子の検査を開始する。検査終了時にテスタ1から
テスト終了信号d、分類1信号aおよび分類2信
号bをハンドラ2へ送る。テスト終了信号dが送
られてきたときに、”H”レベルになつている分
類1信号aまた分類2信号bに従つてハンドラ2
は測定素子を分類する。正常時は第6図に示すよ
うに、最初のテスト終了信号dにおいては分類1
信号aへ、また次のテスト終了信号dは分類2信
号へ分類することになる。
イブ・ハイで表す。またハイレベルをH、ローレ
ベルをLで表す。)。ハンドラ2の出力信号である
テスト要求信号cによつて、テスタ1が半導体素
子の検査を開始する。検査終了時にテスタ1から
テスト終了信号d、分類1信号aおよび分類2信
号bをハンドラ2へ送る。テスト終了信号dが送
られてきたときに、”H”レベルになつている分
類1信号aまた分類2信号bに従つてハンドラ2
は測定素子を分類する。正常時は第6図に示すよ
うに、最初のテスト終了信号dにおいては分類1
信号aへ、また次のテスト終了信号dは分類2信
号へ分類することになる。
従来の半導体素子用検査装置は以上のように構
成されているので、第7図に示すように分類1信
号aおよび分類2信号bの回路が故障して、分類
1信号aが常時、”H”レベル、分類2信号bが
常時”L”レベルとなつた場合に、ハンドラ2は
測定した半導体素子を全て分類1信号aに振り分
けてしまうという誤分類の問題点があつた。
成されているので、第7図に示すように分類1信
号aおよび分類2信号bの回路が故障して、分類
1信号aが常時、”H”レベル、分類2信号bが
常時”L”レベルとなつた場合に、ハンドラ2は
測定した半導体素子を全て分類1信号aに振り分
けてしまうという誤分類の問題点があつた。
この考案は、上記のような問題点を解決するた
めになされたもので、分類信号が正常に出力され
ているかどうか判定できる半導体素子用検査装置
を提供することを目的とする。
めになされたもので、分類信号が正常に出力され
ているかどうか判定できる半導体素子用検査装置
を提供することを目的とする。
この考案に係る半導体素子用検査装置は、半導
体素子の検査後の分類を行う分類信号の回路に異
常があつた場合、これを検出して装置を停止させ
誤分類を防止する分類信号異常検出器を設けたも
のである。
体素子の検査後の分類を行う分類信号の回路に異
常があつた場合、これを検出して装置を停止させ
誤分類を防止する分類信号異常検出器を設けたも
のである。
この考案においては、分類信号の異常状態を検
出した装置を停止させるので、誤分類が防止され
る。
出した装置を停止させるので、誤分類が防止され
る。
この考案の一実施例を第1図〜第4図によつて
説明する。第1図はテスタ・ハンドラ間の制御信
号を示すブロツク図である。この図で、1はテス
タ、2はハンドラ、3は分類信号異常検出器で、
出力信号eを出力する。第2図は正常時の制御信
号のタイミングチヤート、第3図は異常時の制御
信号のタイミングチヤートである。第4図は分類
信号異常検出器3の動作に係る真理値表である。
説明する。第1図はテスタ・ハンドラ間の制御信
号を示すブロツク図である。この図で、1はテス
タ、2はハンドラ、3は分類信号異常検出器で、
出力信号eを出力する。第2図は正常時の制御信
号のタイミングチヤート、第3図は異常時の制御
信号のタイミングチヤートである。第4図は分類
信号異常検出器3の動作に係る真理値表である。
分類信号異常検出器3の出力信号eは、分類1
信号a、分類2信号bおよびテスト要求信号cの
3者の組み合せで、第4図に示す出力信号eを出
す。分類1信号aおよび分類2信号bの異常状態
は、テスト要求信号cが”H”のときに分類1信
号a、分類2信号bの双方とも”L”レベルでな
い場合である。すなわち、第4図における組合せ
で云えば、組合せ4の「L,H,H」組合せ6の
「H,K,H〕,組合せ8の「HHH」の場合が、
分類1信号aと分類2信号bの異常状態である。
この場合、第3図に示すように、分類異常検出器
3の出力信号eは”H”レベルとなる。この出力
信号eを利用して装置を停止させる。したがつ
て、分類1信号aおよび分類2信号bの回路が故
障した場合には、これを分類信号異常検出器3が
検出してその出力信号eが”H”レベルとなり、
装置が停止するため、測定した半導体素子が誤分
類されることを防止できる。
信号a、分類2信号bおよびテスト要求信号cの
3者の組み合せで、第4図に示す出力信号eを出
す。分類1信号aおよび分類2信号bの異常状態
は、テスト要求信号cが”H”のときに分類1信
号a、分類2信号bの双方とも”L”レベルでな
い場合である。すなわち、第4図における組合せ
で云えば、組合せ4の「L,H,H」組合せ6の
「H,K,H〕,組合せ8の「HHH」の場合が、
分類1信号aと分類2信号bの異常状態である。
この場合、第3図に示すように、分類異常検出器
3の出力信号eは”H”レベルとなる。この出力
信号eを利用して装置を停止させる。したがつ
て、分類1信号aおよび分類2信号bの回路が故
障した場合には、これを分類信号異常検出器3が
検出してその出力信号eが”H”レベルとなり、
装置が停止するため、測定した半導体素子が誤分
類されることを防止できる。
なお、上記実施例では、分類信号が2つの場合
について説明したが、分類信号が3つ以上の場合
であつても同様な効果を奏する。
について説明したが、分類信号が3つ以上の場合
であつても同様な効果を奏する。
この考案は以上説明したとおり、テスタ・ハン
ドラ間の制御信号である分類信号の異常を検出で
きるような構成としたので、分類信号の制御回路
に異常が発生しても、装置側に検出機能があるた
め誤分類を防止できる。そして異常の判断は従来
からハンドラとテスタ間で用いられているテスト
要求信号と所要数の分類信号との組合せで行なつ
ているので、特別の信号を用意する必要がなく、
最小限の構成で異常の判断が行なえる実用的効果
の大きいものである。
ドラ間の制御信号である分類信号の異常を検出で
きるような構成としたので、分類信号の制御回路
に異常が発生しても、装置側に検出機能があるた
め誤分類を防止できる。そして異常の判断は従来
からハンドラとテスタ間で用いられているテスト
要求信号と所要数の分類信号との組合せで行なつ
ているので、特別の信号を用意する必要がなく、
最小限の構成で異常の判断が行なえる実用的効果
の大きいものである。
第1図はこの考案の一実施例の半導体素子用検
査装置の構成を示すブロツク図、第2図はこの考
案による正常時の制御信号のタイミングチヤー
ト、第3図はこの考案による異常時の制御信号の
タイミングチヤート、第4図はこの考案による分
類信号異常検出器の動作真理値表図、第5図は従
来の半導体素子用検査装置の構成を示すブロツク
図、第6図は正常時の制御信号のタイミングチヤ
ート、第7図は異常時の制御信号のタイミングチ
ヤートである。 図中、1はテスタ、2はハンドラ、3は分類信
号異常検出器、aは分類1信号、bは分類2信
号、cはテスト要求信号、dはテスト終了信号、
eは出力信号である。なお、各図中の同一符号は
同一または相当部分を示す。
査装置の構成を示すブロツク図、第2図はこの考
案による正常時の制御信号のタイミングチヤー
ト、第3図はこの考案による異常時の制御信号の
タイミングチヤート、第4図はこの考案による分
類信号異常検出器の動作真理値表図、第5図は従
来の半導体素子用検査装置の構成を示すブロツク
図、第6図は正常時の制御信号のタイミングチヤ
ート、第7図は異常時の制御信号のタイミングチ
ヤートである。 図中、1はテスタ、2はハンドラ、3は分類信
号異常検出器、aは分類1信号、bは分類2信
号、cはテスト要求信号、dはテスト終了信号、
eは出力信号である。なお、各図中の同一符号は
同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 半導体素子を検査するテスタと、このテスタに
テスト要求信号を出力しテストを開始させ、この
テスタから出される所要数の分類信号を受けて前
記半導体素子を所要種類に分類するハンドラとを
備えた半導体素子用検査装置において、前記テス
ト要求信号が前記ハンドラから出力されたときに
前記テスタからの所要数の分類信号のどれかが出
力されているときは前記テスタからハンドラに供
給する分類信号に異常が生じたと判断し、前記半
導体素子用検査装置を停止させる出力信号を発生
する分類信号異常検出器を具備したことを特徴と
する半導体素子用検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985170041U JPH051832Y2 (ja) | 1985-11-05 | 1985-11-05 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985170041U JPH051832Y2 (ja) | 1985-11-05 | 1985-11-05 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6279186U JPS6279186U (ja) | 1987-05-20 |
JPH051832Y2 true JPH051832Y2 (ja) | 1993-01-18 |
Family
ID=31104407
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1985170041U Expired - Lifetime JPH051832Y2 (ja) | 1985-11-05 | 1985-11-05 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH051832Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4727641B2 (ja) * | 2007-10-01 | 2011-07-20 | 日本エンジニアリング株式会社 | テスター装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5468172A (en) * | 1977-11-11 | 1979-06-01 | Hitachi Ltd | Diode selector |
JPS5828546A (ja) * | 1981-07-28 | 1983-02-19 | Toyota Motor Corp | 内燃機関の燃料噴射量制御装置 |
JPS6034030A (ja) * | 1983-08-05 | 1985-02-21 | Toshiba Corp | Icオ−トハンドラ装置及びicオ−トハンドラ方法 |
-
1985
- 1985-11-05 JP JP1985170041U patent/JPH051832Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5468172A (en) * | 1977-11-11 | 1979-06-01 | Hitachi Ltd | Diode selector |
JPS5828546A (ja) * | 1981-07-28 | 1983-02-19 | Toyota Motor Corp | 内燃機関の燃料噴射量制御装置 |
JPS6034030A (ja) * | 1983-08-05 | 1985-02-21 | Toshiba Corp | Icオ−トハンドラ装置及びicオ−トハンドラ方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6279186U (ja) | 1987-05-20 |
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