JPH0517604A - ポリイミド樹脂のエツチング溶液 - Google Patents
ポリイミド樹脂のエツチング溶液Info
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- JPH0517604A JPH0517604A JP17271991A JP17271991A JPH0517604A JP H0517604 A JPH0517604 A JP H0517604A JP 17271991 A JP17271991 A JP 17271991A JP 17271991 A JP17271991 A JP 17271991A JP H0517604 A JPH0517604 A JP H0517604A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】硬化したポリイミド樹脂被膜のエッチング溶液
に関するものである。その構成成分は水、及び水と相溶
性を有する非プロトン性有機溶媒（Ｎ−メチルピロリド
ン、１，４−ジオキサン等）、及び水と相溶性を有する
プロトン性有機溶媒（メタノール、エタノール、等）、
更に塩基性化合物（水酸化カリウム、水酸化テトラメチ
ルアンモニウム等）を必須成分として含むものである。 【効果】本発明のエッチング溶液は、安全で取扱いが容
易であり、従来のものに比べて極めて速い速度で、完全
に硬化したポリイミド樹脂をエッチングできる。
に関するものである。その構成成分は水、及び水と相溶
性を有する非プロトン性有機溶媒（Ｎ−メチルピロリド
ン、１，４−ジオキサン等）、及び水と相溶性を有する
プロトン性有機溶媒（メタノール、エタノール、等）、
更に塩基性化合物（水酸化カリウム、水酸化テトラメチ
ルアンモニウム等）を必須成分として含むものである。 【効果】本発明のエッチング溶液は、安全で取扱いが容
易であり、従来のものに比べて極めて速い速度で、完全
に硬化したポリイミド樹脂をエッチングできる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はポリイミド樹脂のエッチ
ング溶液に関するものであり、更に詳しくは水、及び水
と相溶性を有する非プロトン性有機溶媒、及び水と相溶
性を有するプロトン性有機溶媒、更に塩基性化合物から
成る４成分を必須成分として含有するポリイミド樹脂の
エッチング溶液に関するものである。
ング溶液に関するものであり、更に詳しくは水、及び水
と相溶性を有する非プロトン性有機溶媒、及び水と相溶
性を有するプロトン性有機溶媒、更に塩基性化合物から
成る４成分を必須成分として含有するポリイミド樹脂の
エッチング溶液に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ポリイミド樹脂はその優れた耐熱性、電
気特性、耐薬品性等により、絶縁フィルム、絶縁ワニ
ス、塗料、成型物等として多様な用途に使用されている
が、用途が拡大するにつれポリイミド樹脂の一部をエッ
チング除去して使用するような用途が種々でてきた。例
えば、ポリイミド樹脂を絶縁層に用いる場合には、通常
上下の導体層の導通や外部リードとの導通のため、樹脂
絶縁層にエッチングにより孔を設ける必要がある。
気特性、耐薬品性等により、絶縁フィルム、絶縁ワニ
ス、塗料、成型物等として多様な用途に使用されている
が、用途が拡大するにつれポリイミド樹脂の一部をエッ
チング除去して使用するような用途が種々でてきた。例
えば、ポリイミド樹脂を絶縁層に用いる場合には、通常
上下の導体層の導通や外部リードとの導通のため、樹脂
絶縁層にエッチングにより孔を設ける必要がある。
【０００３】従来、ポリイミド樹脂に対するエッチング
溶液としては、ヒドラジンやアルカリなどの溶液が提案
されている。例えば、ヒドラジン水和物の溶液を使用す
る場合、ヒドラジンのポリイミド樹脂に対するエッチン
グ挙動は、一定時間の潜伏期間の後、急激なエッチング
が行われるというものであり、エッチングレジスト膜下
部分にヒドラジンが浸透した後の急激なエッチング作用
でエッチングを必要としない部分まで溶けてしまうとい
う問題を有している。この潜伏期間を短縮する目的で、
例えば特開昭６３−１９３９２７号、特開平１−１７３
６２１、３２１６８２号などにおいて、ヒドラジン水和
物とエチレンジアミンの混合溶液の使用が提案されてい
るが、ヒドラジン水和物及びエチレンジアミンは共に取
扱い上危険性の高い薬品であり、実用上の取扱いが非常
に難しい。
溶液としては、ヒドラジンやアルカリなどの溶液が提案
されている。例えば、ヒドラジン水和物の溶液を使用す
る場合、ヒドラジンのポリイミド樹脂に対するエッチン
グ挙動は、一定時間の潜伏期間の後、急激なエッチング
が行われるというものであり、エッチングレジスト膜下
部分にヒドラジンが浸透した後の急激なエッチング作用
でエッチングを必要としない部分まで溶けてしまうとい
う問題を有している。この潜伏期間を短縮する目的で、
例えば特開昭６３−１９３９２７号、特開平１−１７３
６２１、３２１６８２号などにおいて、ヒドラジン水和
物とエチレンジアミンの混合溶液の使用が提案されてい
るが、ヒドラジン水和物及びエチレンジアミンは共に取
扱い上危険性の高い薬品であり、実用上の取扱いが非常
に難しい。
【０００４】又、アルカリ金属水酸化物の水溶液をエッ
チング溶液として用いる提案がなされており、上記薬品
の危険性は回避できるが、常温付近でのエッチング力が
非常に弱く、ポリイミド樹脂の表面を粗化する程度の用
途にしか用いられていない。又、高濃度でかつ高温にし
てエッチング力を高めても、まだポリイミド樹脂を完全
にエッチング除去するのは困難である。エッチング力を
向上させる目的で、例えば、米国特許第３３６１５８９
号には低級アルコールを加えて使用する提案が、米国特
許第３７７０５２８号にはグリコール類を加えて使用す
る提案がなされている。しかしながら、これらのエッチ
ング溶液もエッチング力が弱く、ポリイミド樹脂を完全
にエッチング除去することができず、ポリイミド樹脂の
表面を粗化する程度である。
チング溶液として用いる提案がなされており、上記薬品
の危険性は回避できるが、常温付近でのエッチング力が
非常に弱く、ポリイミド樹脂の表面を粗化する程度の用
途にしか用いられていない。又、高濃度でかつ高温にし
てエッチング力を高めても、まだポリイミド樹脂を完全
にエッチング除去するのは困難である。エッチング力を
向上させる目的で、例えば、米国特許第３３６１５８９
号には低級アルコールを加えて使用する提案が、米国特
許第３７７０５２８号にはグリコール類を加えて使用す
る提案がなされている。しかしながら、これらのエッチ
ング溶液もエッチング力が弱く、ポリイミド樹脂を完全
にエッチング除去することができず、ポリイミド樹脂の
表面を粗化する程度である。
【０００５】更に、特公昭６１−４８５０号には、塩基
性化合物の水溶液にエタノール、ｎ−プロパノール、イ
ソプロパノール等の特定のアルコールを加えてエッチン
グ力を向上させる提案がなされている。これらのエッチ
ング溶液では、分解したポリイミド樹脂に対する溶解力
が低く、ポリイミド樹脂をエッチング溶液と接触させた
後、吸水・膨潤して樹脂表面に生成したゲル状物質を水
洗により除去するために長時間を要し、又、プロパノー
ルにおいては、液が２層分離してしまい均一な溶液が得
られず、取扱が難しい等の問題を有している。
性化合物の水溶液にエタノール、ｎ−プロパノール、イ
ソプロパノール等の特定のアルコールを加えてエッチン
グ力を向上させる提案がなされている。これらのエッチ
ング溶液では、分解したポリイミド樹脂に対する溶解力
が低く、ポリイミド樹脂をエッチング溶液と接触させた
後、吸水・膨潤して樹脂表面に生成したゲル状物質を水
洗により除去するために長時間を要し、又、プロパノー
ルにおいては、液が２層分離してしまい均一な溶液が得
られず、取扱が難しい等の問題を有している。
【０００６】尚、メタノールにはエッチング力を向上さ
せる効果のないことも示されている。
せる効果のないことも示されている。
【０００７】一方、特開昭５８−１０８２３０号等に
は、四級アンモニウム水酸化物と極性有機溶媒の溶液の
使用が提案されているが、ポリイミド前駆体であるポリ
アミド酸フィルムに対しては有効であるが、完全に硬化
したポリイミド樹脂に対してはエッチング効果の低いこ
とが知られている。従って、完全に硬化したポリイミド
樹脂を高い速度でエッチング除去できるエッチング溶液
を得るためには、更に改良された方法が必要である。
は、四級アンモニウム水酸化物と極性有機溶媒の溶液の
使用が提案されているが、ポリイミド前駆体であるポリ
アミド酸フィルムに対しては有効であるが、完全に硬化
したポリイミド樹脂に対してはエッチング効果の低いこ
とが知られている。従って、完全に硬化したポリイミド
樹脂を高い速度でエッチング除去できるエッチング溶液
を得るためには、更に改良された方法が必要である。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上に述べた
従来技術の欠点の解決、即ち完全に硬化したポリイミド
樹脂に対し取扱い上安全な特定の組成物溶液を使用する
ことにより、極めて高い速度でエッチングできるエッチ
ング溶液を提供しようとするものである。
従来技術の欠点の解決、即ち完全に硬化したポリイミド
樹脂に対し取扱い上安全な特定の組成物溶液を使用する
ことにより、極めて高い速度でエッチングできるエッチ
ング溶液を提供しようとするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明者は、水、及び塩
基性化合物、及び水と相溶性を有する非プロトン性有機
溶媒、更に、水と相溶性を有するプロトン性有機溶媒か
ら成る４成分を必須成分として含有する溶液をエッチン
グ溶液として使用することにより、従来エッチング力向
上効果のないとされていたメタノールを使用しても、従
来のエッチング溶液より高い速度で、完全に硬化したポ
リイミド樹脂をエッチングできるという、従来技術の類
推を越える効果を見出した。
基性化合物、及び水と相溶性を有する非プロトン性有機
溶媒、更に、水と相溶性を有するプロトン性有機溶媒か
ら成る４成分を必須成分として含有する溶液をエッチン
グ溶液として使用することにより、従来エッチング力向
上効果のないとされていたメタノールを使用しても、従
来のエッチング溶液より高い速度で、完全に硬化したポ
リイミド樹脂をエッチングできるという、従来技術の類
推を越える効果を見出した。
【００１０】本発明において使用される水と相溶性を有
する非プロトン性有機溶媒は、ケトン系、エーテル系、
及びアミド系溶媒より選ばれる一種以上の化合物であ
り、好ましくは、アセトン、メチルエチルケトン、テト
ラヒドロフラン、ジオキサン、ジメチルアセトアミド、
Ｎ−メチルピロリドン等が挙げられるが、より好ましく
は、メチルエチルケトン、テトラヒドロフラン、ジオキ
サン、Ｎ−メチルピロリドン等である。
する非プロトン性有機溶媒は、ケトン系、エーテル系、
及びアミド系溶媒より選ばれる一種以上の化合物であ
り、好ましくは、アセトン、メチルエチルケトン、テト
ラヒドロフラン、ジオキサン、ジメチルアセトアミド、
Ｎ−メチルピロリドン等が挙げられるが、より好ましく
は、メチルエチルケトン、テトラヒドロフラン、ジオキ
サン、Ｎ−メチルピロリドン等である。
【００１１】水と相溶性を有する非プロトン性有機溶媒
は該エッチング溶液中に５〜８５重量％、好ましくは、
１５〜７０重量％含まれる。
は該エッチング溶液中に５〜８５重量％、好ましくは、
１５〜７０重量％含まれる。
【００１２】本発明において使用される水と相溶性を有
するプロトン性有機溶媒は、アルコール系、グリコール
系、及びグリコールエーテル系溶媒より選ばれる一種以
上の化合物であり、好ましくは、メタノール、エタノー
ル、１−プロパノール、２−プロパノール、エチレング
リコール、プロピレングリコール、エトキシエタノール
などが挙げられるが、より好ましくは、メタノール、エ
タノールなどである。
するプロトン性有機溶媒は、アルコール系、グリコール
系、及びグリコールエーテル系溶媒より選ばれる一種以
上の化合物であり、好ましくは、メタノール、エタノー
ル、１−プロパノール、２−プロパノール、エチレング
リコール、プロピレングリコール、エトキシエタノール
などが挙げられるが、より好ましくは、メタノール、エ
タノールなどである。
【００１３】水と相溶性を有するプロトン性有機溶媒
は、該エッチング溶液中に５〜８５重量％、好ましく
は、１５〜７０重量％含まれる。
は、該エッチング溶液中に５〜８５重量％、好ましく
は、１５〜７０重量％含まれる。
【００１４】本発明において使用される、塩基性化合物
は、アルカリ金属水酸化物、四級アンモニウム水酸化物
から選ばれるが、好ましくは、アルカリ金属水酸化物、
より好ましくは、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムで
ある。塩基性化合物は、該エッチング溶液中に０．５乃
至３０重量％、好ましくは、３乃至２０重量％使用され
る。
は、アルカリ金属水酸化物、四級アンモニウム水酸化物
から選ばれるが、好ましくは、アルカリ金属水酸化物、
より好ましくは、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムで
ある。塩基性化合物は、該エッチング溶液中に０．５乃
至３０重量％、好ましくは、３乃至２０重量％使用され
る。
【００１５】本発明のエッチング溶液により処理される
ポリイミド樹脂は、一般にはフィルムの形であるが、下
記式〔１〕
ポリイミド樹脂は、一般にはフィルムの形であるが、下
記式〔１〕
【００１６】
【化１】
【００１７】（式中、ｎは重合度を、矢印は異性を表
し、Ｒ1 は少なくとも２個の炭素原子を含有する四価の
有機基であり、各ポリアミド酸単位の２より多くないカ
ルボニル基は該四価基の何れか１つの炭素原子に結合
し、Ｒ2 は少なくとも２個の炭素原子を含有する二価の
有機基であり、隣合うポリアミド酸単位のアミド基は各
々該二価基の離れた炭素原子に結合する）を有するポリ
アミド酸から成るいかなるポリイミド樹脂をも含む。こ
の様なポリイミド樹脂は単独で使用してもよいし、混合
ポリイミド樹脂であってもよい。
し、Ｒ1 は少なくとも２個の炭素原子を含有する四価の
有機基であり、各ポリアミド酸単位の２より多くないカ
ルボニル基は該四価基の何れか１つの炭素原子に結合
し、Ｒ2 は少なくとも２個の炭素原子を含有する二価の
有機基であり、隣合うポリアミド酸単位のアミド基は各
々該二価基の離れた炭素原子に結合する）を有するポリ
アミド酸から成るいかなるポリイミド樹脂をも含む。こ
の様なポリイミド樹脂は単独で使用してもよいし、混合
ポリイミド樹脂であってもよい。
【００１８】又、本発明のエッチング溶液の温度と被処
理材料との接触時間は、望まれるエッチングの速度及び
程度に相互に依存するものであり、さらに、エッチング
溶液の使用態様は、被処理材料をエッチング溶液中に浸
漬してもよいし、被処理材料にエッチング溶液を吹きつ
けてもよく、いかなる方法をも採れるものである。
理材料との接触時間は、望まれるエッチングの速度及び
程度に相互に依存するものであり、さらに、エッチング
溶液の使用態様は、被処理材料をエッチング溶液中に浸
漬してもよいし、被処理材料にエッチング溶液を吹きつ
けてもよく、いかなる方法をも採れるものである。
【００１９】
【発明の効果】本発明によって得られるエッチング溶液
は、安価で、安全で且つ取り扱いが容易であって、完全
に硬化したポリイミド樹脂を高い速度でエッチング除去
できるもので、その工業的価値は極めて高いものであ
る。
は、安価で、安全で且つ取り扱いが容易であって、完全
に硬化したポリイミド樹脂を高い速度でエッチング除去
できるもので、その工業的価値は極めて高いものであ
る。
【００２０】
【実施例】本発明をさらに理解するのを容易にするため
に、以下に実施例によって説明するが、これらに限定さ
れるものではない。 実施例 １ 水酸化カリウム５ｇを蒸留水１９ｇに溶解した後、Ｎ−
メチルピロリドン５７ｇ及びメタノール１９ｇより成る
溶液中に加えてエッチング溶液を調製した。この溶液の
液温を約５０℃に保ち、ここに秤量したポリイミドフィ
ルム「カプトン」２００Ｖ（デュポン社製）の試料を１
２分間浸漬した。試料を取り出し、充分に水洗した後、
重量減少を測定し、時間当たりの重量減少率をエッチン
グ速度とした。結果を表１に示す。
に、以下に実施例によって説明するが、これらに限定さ
れるものではない。 実施例 １ 水酸化カリウム５ｇを蒸留水１９ｇに溶解した後、Ｎ−
メチルピロリドン５７ｇ及びメタノール１９ｇより成る
溶液中に加えてエッチング溶液を調製した。この溶液の
液温を約５０℃に保ち、ここに秤量したポリイミドフィ
ルム「カプトン」２００Ｖ（デュポン社製）の試料を１
２分間浸漬した。試料を取り出し、充分に水洗した後、
重量減少を測定し、時間当たりの重量減少率をエッチン
グ速度とした。結果を表１に示す。
【００２１】実施例 ２
水酸化カリウム５ｇを蒸留水１９ｇに溶解した後、テト
ラヒドロフラン３８ｇおよびメタノール３８ｇより成る
溶液中に加えてエッチング溶液を調製した。この溶液の
液温を約５０℃に保ち、ここに秤量したポリイミドフィ
ルム「カプトン」２００Ｖの試料を２０分間浸漬した。
試料を取り出し、充分に水洗した後、重量減少を測定
し、時間当たりの重量減少率をエッチング速度とした。
結果を表１に示す。
ラヒドロフラン３８ｇおよびメタノール３８ｇより成る
溶液中に加えてエッチング溶液を調製した。この溶液の
液温を約５０℃に保ち、ここに秤量したポリイミドフィ
ルム「カプトン」２００Ｖの試料を２０分間浸漬した。
試料を取り出し、充分に水洗した後、重量減少を測定
し、時間当たりの重量減少率をエッチング速度とした。
結果を表１に示す。
【００２２】実施例 ３
水酸化カリウム５ｇを蒸留水１９ｇに溶解した後、１，
４−ジオキサン５７ｇおよびメタノール１９ｇより成る
溶液中に加えてエッチング溶液を調製した。この溶液の
液温を約５０℃に保ち、ここに秤量したポリイミドフィ
ルム「カプトン」２００Ｖの試料を１２分間浸漬した。
試料を取り出し、充分に水洗した後、重量減少を測定
し、時間当たりの重量減少率をエッチング速度とした。
結果を表１に示す。
４−ジオキサン５７ｇおよびメタノール１９ｇより成る
溶液中に加えてエッチング溶液を調製した。この溶液の
液温を約５０℃に保ち、ここに秤量したポリイミドフィ
ルム「カプトン」２００Ｖの試料を１２分間浸漬した。
試料を取り出し、充分に水洗した後、重量減少を測定
し、時間当たりの重量減少率をエッチング速度とした。
結果を表１に示す。
【００２３】実施例 ４
水酸化カリウム５ｇを蒸留水１９ｇに溶解した後、Ｎ−
メチルピロリドン３８ｇおよびエタノール３８ｇより成
る溶液中に加えてエッチング溶液を調製した。この溶液
の液温を約５０℃に保ち、ここに秤量したポリイミドフ
ィルム「カプトン」２００Ｖの試料を１０分間浸漬し
た。試料を取り出し、充分に水洗した後、重量減少を測
定し、時間当たりの重量減少率をエッチング速度とし
た。結果を表１に示す。
メチルピロリドン３８ｇおよびエタノール３８ｇより成
る溶液中に加えてエッチング溶液を調製した。この溶液
の液温を約５０℃に保ち、ここに秤量したポリイミドフ
ィルム「カプトン」２００Ｖの試料を１０分間浸漬し
た。試料を取り出し、充分に水洗した後、重量減少を測
定し、時間当たりの重量減少率をエッチング速度とし
た。結果を表１に示す。
【００２４】実施例 ５
水酸化カリウム５ｇを蒸留水１９ｇに溶解した後、Ｎ−
メチルピロリドン１９ｇおよびエタノール５７ｇより成
る溶液中に加えてエッチング溶液を調製した。この溶液
の液温を約５０℃に保ち、ここに秤量したポリイミドフ
ィルム「カプトン」２００Ｖの試料を１０分間浸漬し
た。試料を取り出し、充分に水洗した後、重量減少を測
定し、時間当たりの重量減少率をエッチング速度とし
た。結果を表１に示す。
メチルピロリドン１９ｇおよびエタノール５７ｇより成
る溶液中に加えてエッチング溶液を調製した。この溶液
の液温を約５０℃に保ち、ここに秤量したポリイミドフ
ィルム「カプトン」２００Ｖの試料を１０分間浸漬し
た。試料を取り出し、充分に水洗した後、重量減少を測
定し、時間当たりの重量減少率をエッチング速度とし
た。結果を表１に示す。
【００２５】実施例 ６
水酸化カリウム５ｇを蒸留水１９ｇに溶解した後、１，
４−ジオキサン１９ｇおよびエタノール５７ｇより成る
溶液中に加えてエッチング溶液を調製した。この溶液の
液温を約５０℃に保ち、ここに秤量したポリイミドフィ
ルム「カプトン」２００Ｖの試料を１２分間浸漬した。
試料を取り出し、充分に水洗した後、重量減少を測定
し、時間当たりの重量減少率をエッチング速度とした。
結果を表１に示す。
４−ジオキサン１９ｇおよびエタノール５７ｇより成る
溶液中に加えてエッチング溶液を調製した。この溶液の
液温を約５０℃に保ち、ここに秤量したポリイミドフィ
ルム「カプトン」２００Ｖの試料を１２分間浸漬した。
試料を取り出し、充分に水洗した後、重量減少を測定
し、時間当たりの重量減少率をエッチング速度とした。
結果を表１に示す。
【００２６】実施例 ７
２５重量％水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液２０
ｇにＮ−メチルピロリドン６５ｇおよびメタノール１５
ｇを加えエッチング溶液を調製した。この溶液の液温を
５０℃に保ち、ここに秤量したポリイミドフィルム「カ
プトン」２９９Ｖの試料を１０分間浸漬した。試料を取
り出し、充分に水洗した後、重量減少を測定し、時間当
たりの重量減少率をエッチング速度とした。結果を表１
に示す。
ｇにＮ−メチルピロリドン６５ｇおよびメタノール１５
ｇを加えエッチング溶液を調製した。この溶液の液温を
５０℃に保ち、ここに秤量したポリイミドフィルム「カ
プトン」２９９Ｖの試料を１０分間浸漬した。試料を取
り出し、充分に水洗した後、重量減少を測定し、時間当
たりの重量減少率をエッチング速度とした。結果を表１
に示す。
【００２７】比較例 １
水酸化カリウム５ｇを蒸留水９５ｇに溶解して、エッチ
ング溶液とし、液温を約５０℃に保ち、ここに秤量した
ポリイミドフィルム「カプトン」２００Ｖの試料を２０
分間浸漬した。試料を取り出し、充分に水洗した後、重
量減少を測定し、時間当たりの重量減少率をエッチング
速度とした。結果を表１に示す。
ング溶液とし、液温を約５０℃に保ち、ここに秤量した
ポリイミドフィルム「カプトン」２００Ｖの試料を２０
分間浸漬した。試料を取り出し、充分に水洗した後、重
量減少を測定し、時間当たりの重量減少率をエッチング
速度とした。結果を表１に示す。
【００２８】比較例 ２
水酸化カリウム５ｇを蒸留水１９ｇに溶解した後、メタ
ノール７６ｇを加えてエッチング溶液を調製した。この
溶液の液温を約５０℃に保ち、ここに秤量したポリイミ
ドフィルム「カプトン」２００Ｖの試料を２０分間浸漬
した。試料を取り出し、充分に水洗した後、重量減少を
測定し、時間当たりの重量減少率をエッチング速度とし
た。結果を表１に示す。
ノール７６ｇを加えてエッチング溶液を調製した。この
溶液の液温を約５０℃に保ち、ここに秤量したポリイミ
ドフィルム「カプトン」２００Ｖの試料を２０分間浸漬
した。試料を取り出し、充分に水洗した後、重量減少を
測定し、時間当たりの重量減少率をエッチング速度とし
た。結果を表１に示す。
【００２９】比較例 ３
水酸化カリウム５ｇを蒸留水１９ｇに溶解した後、エタ
ノール７６ｇを加えてエッチング溶液を調製した。この
溶液の液温を約５０℃に保ち、ここに秤量したポリイミ
ドフィルム「カプトン」２００Ｖの試料を２０分間浸漬
した。試料を取り出し、充分に水洗し、フィルム表面に
生成したゲル状物質を完全に除去した後、重量減少を測
定し、時間当たりの重量減少率をエッチング速度とし
た。結果を表１に示す。
ノール７６ｇを加えてエッチング溶液を調製した。この
溶液の液温を約５０℃に保ち、ここに秤量したポリイミ
ドフィルム「カプトン」２００Ｖの試料を２０分間浸漬
した。試料を取り出し、充分に水洗し、フィルム表面に
生成したゲル状物質を完全に除去した後、重量減少を測
定し、時間当たりの重量減少率をエッチング速度とし
た。結果を表１に示す。
【００３０】
【表１】
Claims (4)
- 【請求項１】 水、及び水と相溶性を有する非プロトン
性有機溶媒、及び水と相溶性を有するプロトン性有機溶
媒、更に塩基性化合物から成る４成分を必須成分として
含有することを特徴とするポリイミド樹脂のエッチング
溶液。 - 【請求項２】 請求項１において、水と相溶性を有する
非プロトン性有機溶媒がケトン系、エーテル系、及びア
ミド系溶媒より選ばれる一種以上であり、該エッチング
溶液中に５〜８５重量％含まれることを特徴とするポリ
イミド樹脂のエッチング溶液。 - 【請求項３】 請求項１において、水と相溶性をするプ
ロトン性有機溶媒がアルコール系、グリコール系、及び
グリコールエーテル系溶媒より選ばれる一種以上であ
り、該エッチング溶液中に５〜８５重量％含まれること
を特徴とするポリイミド系樹脂のエッチング溶液。 - 【請求項４】 請求項１において、塩基性化合物がアル
カリ金属水酸化物、四級アンモニウム水酸化物より選ば
れ、該エッチング溶液中に０．５〜３０重量％含まれる
ことを特徴とするポリイミド樹脂のエッチング溶液。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17271991A JPH0517604A (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | ポリイミド樹脂のエツチング溶液 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17271991A JPH0517604A (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | ポリイミド樹脂のエツチング溶液 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0517604A true JPH0517604A (ja) | 1993-01-26 |
Family
ID=15947065
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17271991A Pending JPH0517604A (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | ポリイミド樹脂のエツチング溶液 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0517604A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0746189A1 (en) * | 1995-06-01 | 1996-12-04 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Process for producing multilayer printed circuit boards |
| WO2001014463A1 (fr) * | 1999-08-19 | 2001-03-01 | Sony Chemicals Corp. | Composition d'agent de gravure pour resine polyimide et procede de gravure |
| US6376053B1 (en) * | 1996-12-26 | 2002-04-23 | Ajinomoto Co., Inc. | Inter-laminar adhesive film for multi-layer printed wiring board and multi-layer printed wiring board using the same |
| JP2003261699A (ja) * | 2002-03-08 | 2003-09-19 | Toray Eng Co Ltd | 液晶ポリマー用エッチング液及びそれを用いるエッチング方法 |
-
1991
- 1991-07-12 JP JP17271991A patent/JPH0517604A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0746189A1 (en) * | 1995-06-01 | 1996-12-04 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Process for producing multilayer printed circuit boards |
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| US6881293B2 (en) * | 1996-12-26 | 2005-04-19 | Ajinomoto Co., Inc. | Process for producing a multi-layer printer wiring board |
| WO2001014463A1 (fr) * | 1999-08-19 | 2001-03-01 | Sony Chemicals Corp. | Composition d'agent de gravure pour resine polyimide et procede de gravure |
| JP2003261699A (ja) * | 2002-03-08 | 2003-09-19 | Toray Eng Co Ltd | 液晶ポリマー用エッチング液及びそれを用いるエッチング方法 |
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