JPH0514867U - 光波長計 - Google Patents
光波長計Info
- Publication number
- JPH0514867U JPH0514867U JP1104191U JP1104191U JPH0514867U JP H0514867 U JPH0514867 U JP H0514867U JP 1104191 U JP1104191 U JP 1104191U JP 1104191 U JP1104191 U JP 1104191U JP H0514867 U JPH0514867 U JP H0514867U
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- measured
- frequency
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Abstract
(57)【要約】 (修正有)
【目的】 小型,安価,長寿命で、高精度な波長測定が
可能な装置を実現する。 【構成】 ガスの吸収線を周波数基準として使用しレ−
ザダイオ−ドの発振周波数を注入電流若しくは温度によ
って常に一定となるように制御して基準となる光を出射
する周波数安定化レ−ザ光源3、被測定光を入射させる
測定光入射用光学系4、移動鏡14をその光学系に有す
るマイケルソン干渉計1、前記基準光と被測定光との干
渉信号を検出する光検出器2を備え、前記周波数安定化
レ−ザ光源3からの基準光と前記測定光入射用光学系4
からの被測定光を同時に前記マイケルソン干渉計1に入
射させ、前記移動鏡14を変位する事により生じる干渉
の強度変化を前記光検出器2で測定することにより、前
記被測定光の波長を求めるようにしたことを特徴とす
る。
可能な装置を実現する。 【構成】 ガスの吸収線を周波数基準として使用しレ−
ザダイオ−ドの発振周波数を注入電流若しくは温度によ
って常に一定となるように制御して基準となる光を出射
する周波数安定化レ−ザ光源3、被測定光を入射させる
測定光入射用光学系4、移動鏡14をその光学系に有す
るマイケルソン干渉計1、前記基準光と被測定光との干
渉信号を検出する光検出器2を備え、前記周波数安定化
レ−ザ光源3からの基準光と前記測定光入射用光学系4
からの被測定光を同時に前記マイケルソン干渉計1に入
射させ、前記移動鏡14を変位する事により生じる干渉
の強度変化を前記光検出器2で測定することにより、前
記被測定光の波長を求めるようにしたことを特徴とす
る。
Description
【0001】
本考案は、光の波長を測定する光波長計に関し、特に小型、安価、長寿命であ ると共に、測定精度をより高精度にした光波長計に関するものである。
【0002】
光波長計は、光通信、光応用機器、各種光学測定等に使用する光源の波長を測 定する装置である。現在、光の波長を測定するものとしては、光スペクトラムア ナライザにより、各波長に対応した光パワ−を分光により測定し、そのスペクト ルからピ−ク波長または中心波長を求める分光器によるものや、干渉膜フィルタ の反射と透過の比が波長に応じて変化することを利用した干渉膜フィルタタイプ や水晶等の偏波面が波長に応じて回転することを利用した旋光子タイプなどの光 波長板によるものや、マイケルソン干渉計で移動鏡を変位することにより生ずる 干渉の強度変化を測定して、波長を求めるマイケルソン干渉計によるものなどが ある。この内、10-6オ−ダ以上の高精度測定が可能で、取り扱いが容易などの 点を考慮すると、マイケルソン干渉計によるものが優れている。
【0003】 このマイケルソン干渉計による光波長計は、図2に示すように、基準光と被測 定光をハ−フミラ−11,ミラ−12,13,移動鏡14で構成されるマイケル ソン干渉計1に同時に入射させ、移動鏡14を変位させたときの干渉信号を光検 出器2で光電変換して、図示しない演算部で被測定光の波長を求めるようにした ものである。
【0004】
しかしながら、上記従来技術に示すマイケルソン干渉計による光波長計におい て、その測定分解能(精度)は、例えば光源に使用されているHe−Neレ−ザ の安定度(波長の絶対精度)でほぼ決定されており、〜1×10-6程度であった 。また、He−Neレ−ザはガスレ−ザであるため、小型化が難しく、寿命も短 かった。
【0005】 本考案は上記従来技術の課題を踏まえて成されたものであり、小型、安価、長 寿命にできると共に、より高精度な波長測定が可能な光波長計を提供することを 目的としたものである。
【0006】
上記課題を解決するための本考案の構成は、ガスの吸収線を周波数基準として 使用しレ−ザダイオ−ドの発振周波数を注入電流若しくは温度によって常に一定 となるように制御して基準となる光を出射する周波数安定化レ−ザ光源と、被測 定光を入射させる測定光入射用光学系と、移動鏡をその光学系に有するマイケル ソン干渉計と、前記基準光と被測定光との干渉信号を検出する光検出器とを備え 、前記周波数安定化レ−ザ光源からの基準光と前記測定光入射用光学系からの被 測定光を同時に前記マイケルソン干渉計に入射させ、前記移動鏡を変位すること により生じる干渉の強度変化を前記光検出器で測定することにより、前記被測定 光の波長を求めるようにしたことを特徴とするものである。
【0007】
本考案によれば、光波長計の光源としてガスの吸収セルに発振周波数を固定し た周波数安定化レ−ザ光源を使用している。したがって、光源にHe−Neレ− ザを用いたものに比べ、波長精度を2〜3桁向上できると共に、小型、安価、長 寿命な装置にできる。
【0008】
以下、本考案を図面に基づいて説明する。 図1は本考案の光波長計の一実施例を示す構成図であり、マイケルソン干渉計 を用いたものである。なお、図1において図2と同一要素には同一符号を付して 重複する説明は省略する。図1において、3は基準光を出射するための周波数安 定化レ−ザ光源であり、この周波数安定化レ−ザ光源3は、レ−ザダイオ−ド3 1、出力を取り出すためのハ−フミラ−32、パワ−モニタ用のハ−フミラ−3 3、Rbガスの吸収セル34、光検出器35,36、レ−ザダイオ−ド31の注 入電流を制御する制御回路37で構成される。レ−ザダイオ−ド31を出射した 光は、ハ−フミラ−33で分岐され、一方はRbガスの吸収セル34に入射され て、その透過強度が光検出器35で検出される。他方はパワ−モニタ用として光 検出器36で検出され、両者の信号が制御回路37に出力され、レ−ザダイオ− ド31の発振波長が常に一定となるように制御される。4は被測定光を入射させ る測定光入射用光学系、5は被測定光をマイケルソン干渉計1に導くためのミラ −である。
【0009】 このような構成において、周波数安定化レ−ザ光源3から発振波長を常に一定 となるように制御され、ハ−フミラ−32を介して出射された基準光と、測定光 入射用光学系4から出射され、ミラ−5により導かれた被測定光は、同時にハ− フミラ−11、ミラ−12,13、移動鏡14からなるマイケルソン干渉計1に 入射され、移動鏡14を変位した時の干渉信号は、光検出器2で光電変換され、 図示しない演算部で被測定光の波長が求められる。
【0010】 ここで、周波数安定化レ−ザ光源3から出射される基準光の波長をλr 、測定 光入射用光学系4から出射される被測定光の波長をλm 、空気屈折率をna 、移 動鏡14の変位をLとすると、基準光による干渉信号θr と被測定光による干渉 信号θm は、それぞれ次式で表される。 θr =(2π/λr )・4na L … θm =(2π/λm )・4na L … 上記構成において、基準光と被測定光は同一光路を逆方向に通しており、基準 光と被測定光の空気屈折率na と移動鏡14の変位Lは同一であるため、前記 式と式の比をとれば、 λm =λr ・θr /θm … となり、この式から被測定光の波長を求めることができる。
【0011】 この結果、従来の光波長計の測定精度は、光源に使用されているHe−Neレ −ザの波長精度(〜1×10-6)に決められていたが、本考案のように光源に波 長精度が1×10-8〜10-9の周波数安定化レ−ザ光源を用いることにより、光 波長計の測長精度は2〜3桁の精度の向上が可能となる。また、LD光源はHe −Neレ−ザと比較して、小型、安価、長寿命であり、本考案の光波長計の特徴 となる。
【0012】 なお、上記実施例において、周波数安定化レ−ザ光源3で用いたガスの吸収セ ル34は、Rb に限るものではなく、Cs (セシウム)やNH4 (アセチレン) などでも良い。また、干渉計はマイケルソン形に限るものではなく、フィゾ−形 やマッハツェンダ形でも良い。
【0013】
以上、実施例と共に具体的に説明したように、本考案によれば、小型、安価、 長寿命にできると共に、より高精度な波長測定が可能な光波長計を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案の光波長計の一実施例を示す構成図であ
る。
る。
【図2】マイケルソン干渉計による光波長計の原理を示
す構成図である。
す構成図である。
1 マイケルソン干渉計 2,35,36 光検出器 3 周波数安定化レ−ザ光源 4 測定光入射用光学系 5,12,13 ミラ− 11,32,33 ハ−フミラ− 14 移動鏡 31 レ−ザダイオ−ド 34 Rbガスの吸収セル 37 制御回路
Claims (1)
- 【請求項1】 ガスの吸収線を周波数基準として使用し
レ−ザダイオ−ドの発振周波数を注入電流若しくは温度
によって常に一定となるように制御して基準となる光を
出射する周波数安定化レ−ザ光源と、被測定光を入射さ
せる測定光入射用光学系と、移動鏡をその光学系に有す
るマイケルソン干渉計と、前記基準光と被測定光との干
渉信号を検出する光検出器とを備え、前記周波数安定化
レ−ザ光源からの基準光と前記測定光入射用光学系から
の被測定光を同時に前記マイケルソン干渉計に入射さ
せ、前記移動鏡を変位することにより生じる干渉の強度
変化を前記光検出器で測定することにより、前記被測定
光の波長を求めるようにしたことを特徴とする光波長
計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1104191U JPH0514867U (ja) | 1991-03-04 | 1991-03-04 | 光波長計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1104191U JPH0514867U (ja) | 1991-03-04 | 1991-03-04 | 光波長計 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0514867U true JPH0514867U (ja) | 1993-02-26 |
Family
ID=11766971
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1104191U Pending JPH0514867U (ja) | 1991-03-04 | 1991-03-04 | 光波長計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0514867U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014092475A (ja) * | 2012-11-05 | 2014-05-19 | Yokogawa Electric Corp | 光波長計 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62198724A (ja) * | 1986-02-26 | 1987-09-02 | Yokogawa Electric Corp | 可変波長光源 |
JPH01272175A (ja) * | 1987-12-15 | 1989-10-31 | Lumonics Inc | エクサイマ・レーザ |
-
1991
- 1991-03-04 JP JP1104191U patent/JPH0514867U/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62198724A (ja) * | 1986-02-26 | 1987-09-02 | Yokogawa Electric Corp | 可変波長光源 |
JPH01272175A (ja) * | 1987-12-15 | 1989-10-31 | Lumonics Inc | エクサイマ・レーザ |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014092475A (ja) * | 2012-11-05 | 2014-05-19 | Yokogawa Electric Corp | 光波長計 |
US9146161B2 (en) | 2012-11-05 | 2015-09-29 | Yokogawa Electric Corporation | Optical wavelength meter |
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