JPH05146672A - 非蒸発型バリウムゲツタ合金による残留気体の収着方法 - Google Patents

非蒸発型バリウムゲツタ合金による残留気体の収着方法

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JPH05146672A
JPH05146672A JP4119833A JP11983392A JPH05146672A JP H05146672 A JPH05146672 A JP H05146672A JP 4119833 A JP4119833 A JP 4119833A JP 11983392 A JP11983392 A JP 11983392A JP H05146672 A JPH05146672 A JP H05146672A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 賦活を必要とせず、他の材料と混合する必要
のない、有機プラスチック容器において使用できる、１
５０℃を超える温度を必要としない、容器内の残留気体
の収着方法の開発。 【構成】 真空或いは不活性気体雰囲気で５ｍｍ未満の
粒寸に粉砕或いは細分されたＢａZ ＋（Ｂａ1-X ＡX ）
n Ｂm 合金を容器内に置いて室温で残留気体に曝露す
る。室温において収着は開始される。Ａはバリウム以外
の元素周期表ＩＩａ族の元素（Ｃａ等）、Ｂは元素周期
表Ｉｂ、ＩＩｂ、ＩＩＩａ、ＩＶａ及びＶａ族の元素
（Ｃｕ，Ｚｎ，Ａｌ，Ｐｂ，Ｓｎ，Ａｇ，Ｓｉ等）、ｎ
＝１、２、３、４、ｍ＝１、２、５、０≦ｘ≦０．５、
０≦ｚ≦合計バリウムが合金の９５重量％以下とする値
である。合金例：Ｂａ＋ＢａＣｕ；Ｂａ＋Ｂａ2 Ｚｎ；
Ｂａ2 Ｐｂ；Ｂａ1.125 Ｃａ1.125 ＋（Ｂａ0.5 Ｃａ
0.5 ）4 Ａｌ5 。図２はバリウム−銅合金の収着特性例
を示す。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、非蒸発型バリウムゲッ
タ合金による残留気体の収着方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】バリウムゲッターは斯界では良く知られ
ている。ほぼ純粋な元素の形態において、バリウムは大
気との反応から保護するために金属容器内部に置かれ
る。その後、使用することが必要となるとき、バリウム
ゲッターは真空装置内部に取り付けられ、そこで真空装
置の部分排気及び密閉後バリウムは蒸発せしめられる。
蒸発後、真空装置内部で薄膜の形態で付着したバリウム
は装置寿命全期間を通して残留気体或いは所望されざる
気体を収着し続ける。
【０００３】これらゲッター装置がバリウムを放出する
間、それらはまた、貯蔵及び取扱中に取り込んだ所望さ
れざる気体をも大量に放出することが見出された。これ
はゲッター材料が気体と反応性の元素の形態のバリウム
であることによる。
【０００４】バリウムの反応性を減ずるために、バリウ
ムを１種以上の金属と合金化することが行われた。そう
した合金の代表例は、Ｂａ−Ｍｇ、Ｂａ−Ｓｒ−Ｍｇ、
Ｂａ−Ｍｇ−Ａｌである。例えば、M. Littmann 著「Ge
tterstoff und Ihre Anwedung in the Hochvakuumtechn
ik」（１９３９）を参照されたい。最も成功した合金の
一つは、４０〜６０重量％バリウムを含有するＢａＡｌ
4合金であった。そうした合金は非常に不活性である
が、不活性バリウム合金いずれを使用した場合でも、気
体を吸収する危険性があるならその前に蒸発せしめねば
ならない。ＢａＡｌ4 合金単独に或いは最近では等量の
ニッケルをＢａＡｌ4 合金と混合することが広く実施さ
れるようになっておりその場合には混合物に熱を適用す
ることによりバリウムを解離しそして放出せしめること
ができる。後者の場合、粉末形態にあるこれら２種の材
料は、加熱されるとき発熱反応を起こしてＢａ蒸気とＮ
ｉ−Ａｌ固体残渣を形成する。しかし、これらゲッター
材料は、発熱反応を開始する前に約８００℃まで加熱さ
れねばならず、そして発熱反応に際して急激に熱を放出
して１０００℃或いはそれ以上にも達する。
【０００５】特公昭４２−４１２３号において、バリウ
ム−アルミニウム合金（約５０％Ｂａ）は、好ましくは
１５重量％の粉末状錫と混合されてゲッターを生成す
る。このゲッターは、排気プロセス中約６００℃におい
て１分間高周波により加熱される。加熱により起こりう
る反応の結果として、ＢａＳｎ2 が生成されうるし或い
はバリウムの放出はバリウム−アルミニウム合金からア
ルミニウムと錫との反応の結果として発生する。いずれ
の場合も、常温で安定であるバリウム−アルミニウム合
金と錫との混合ゲッター材料は、賦活されそして常温で
気体を吸収する。にもかかわらず、数百℃の温度を必要
とする加熱プロセスが関与する。更に、制御し得ない化
学反応が起こっている。
【０００６】また別の種類のゲッター装置系は元素ジル
コニウム或いはチタンを基とするものであった。粉末状
の８４％Ｚｒ−１６％Ａｌ、Ｚｒ2 Ｆｅ及びＺｒ2 Ｎｉ
がその代表例である。これらは、気体を収着しうるよう
になるためにその構成元素のいずれもを蒸発せしめるこ
とを必要としないから、非蒸発型ゲッターとして知られ
ている。しかも、これらは自身を気体収着性とするのに
高温への加熱を必要としない。その理由は、これらが酸
化物及び窒化物の表面層で覆われており、該表面層がそ
れらを不動態化しそして不活性化しているからである。
真空中での加熱に際して、不動態化層はゲッター材料本
体中に拡散しそして表面は清浄でそして活性となる。こ
の加熱プロセスは通常、例えば９００℃の高温で約１０
〜３０秒実施される。この温度は低くすることができる
が、例えば５００℃の場合数時間という一層長い加熱時
間を必要とする。
【０００７】もっと最近になって、Ｚｒ−Ｖを基とする
非蒸発型ゲッターが使用されるようになった。Ｚｒ−Ｖ
−Ｆｅ及びＺｒ−Ｖ−Ｎｉのような合金が「低温賦活
性」の非蒸発型ゲッターとして広く受け入れられてい
る。「低温賦活性」という用語は、それらのゲッター作
用の実現のための活性化のかなりの部分が程々の中間温
度で比較的短時間以内に得られるようになることを意味
する。これは、不動態化物質層がバルク材料中に比較的
低温で容易に拡散することによるものと思われる。４０
０〜５００℃の比較的低温でそれらが活性となりうるこ
との理由はどうであれ、この温度水準は多くの状況下で
いまだ所望されざるほどに高い。そこで、これら気体収
着性材料はその賦活温度を下げんとする試みにおいて他
の種材料（両方とも気体収着性の場合もあるし、そうで
ない場合もある）と混合して使用されてきた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】高温下に置かれること
を許容し得ないような容器から残留気体或いは所望され
ない気体を除去することが所望される多くの場合が存在
する。そうした例は、例えば容器が有機プラスチック製
であるか或いは有機プラスチック部分を含んでいる場合
である。高温に加熱されると、有機プラスチックが溶融
する危険があり、また溶融しなくとも有機プラスチック
が分解し始めるか或いは少なくとも大量の気体（炭化水
素或いは他の種有機性の気体）を放出し始めるような温
度に達しうる。もしこれらがゲッター材料により収着さ
れると、ゲッタ材料は有限のゲッター作用力しかもって
いない即ち一定量のガスのみを吸着する能力しか持って
いないからゲッター材料の早期の機能停止をもたらす。
大量の気体の急速な収着はゲッター材料がそれが使用さ
れる装置の寿命中後になっての気体を収着する能力を損
なう。そうでなければ、装置が所期通り作動するには高
すぎる気体圧力が残留することになる。この温度は約１
５０℃という低い水準の場合さえある。これら温度或い
はもっと低い温度においてさえも、酸素及び水蒸気の透
過が問題となりうる。
【０００９】非蒸発型ゲッターを予備賦活状態で、即ち
高温にあらかじめ加熱した状態で装置内に導入すること
が提唱されたが、それらは一定粒子への粉砕、他の材料
と混合、圧縮及びペレットへの成形のような多くの製作
工程を既に受けている。
【００１０】本発明の課題は、従来プロセスの欠点を含
まない、容器内の残留気体を収着するための方法を開発
することである。
【００１１】本発明のまた別の課題は、ゲッター材料を
賦活することを必要としない、容器内の残留気体を収着
するための方法を開発することである。
【００１２】本発明の更にまた別の課題は、ゲッター材
料を他の材料と混合することを必要としない、容器内の
残留気体を収着するための方法を開発することである。
【００１３】本発明のまた別の課題は、有機プラスチッ
ク製の或いは有機プラスチックを含む容器において使用
することのできる、容器内の残留気体を収着するための
方法を開発することである。
【００１４】本発明の別の課題は、１５０℃を超える温
度を必要としない、容器内の残留気体を収着するための
方法を開発することである。
【００１５】本発明のまた別の課題は、有機プラスチッ
ク製の或いは有機プラスチックを含む容器において使用
することのできる、容器内の酸素を収着するための方法
を開発することである。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本発明方法は、非賦活
型、非蒸発型バリウム基ゲッタによる容器内の残留気体
の収着を基本とする。本発明方法は、ＢａZ ＋（Ｂａ
1-X ＡX ）n Ｂm の合金を真空或いは不活性気体雰囲気
で５ｍｍ未満の粒寸に粉砕或いは細分して容器内に置く
だけででよい。細分された合金が容器内で室温において
残留気体に曝露されるに際して、気体は収着される。上
記式において、金属Ａは元素周期表ＩＩａ族の元素から
成る群から選択される金属である（ただし、バリウムを
除く）。金属Ｂは、元素周期表Ｉｂ、ＩＩｂ、ＩＩＩ
ａ、ＩＶａ及びＶａ族の元素から成る群から選択され
る。ｎ＝１、２、３或いは４である。ｍ＝１、２或いは
５である。ｘは０以上且つ０．５以下である。ｚは０か
ら合金中の合計バリウムが合金の９５重量％未満である
ような値までの範囲の値である。
【００１７】
【作用】本発明方法は、真空或いは不活性気体雰囲気で
５ｍｍ未満の粒寸に粉砕或いは細分されたＢａZ ＋（Ｂ
ａ1-X ＡX ）n Ｂm 合金を容器内に置いて、容器内で室
温において残留気体に曝露するだけである。本発明合金
は賦活する必要はない、即ちこれら合金は既に室温で気
体を収着することができる。更に、これらは気体を収着
するに先立って、バリウムのように蒸発せしめて容器壁
に活性材料の皮膜を生成する必要はない。
【００１８】本発明合金は一般式ＢａZ ＋（Ｂａ1-X Ａ
X ）n Ｂm により記述することができ、ここでＡは元素
周期表ＩＩａ族の元素から成る群から選択される金属で
ある（ただし、バリウムを除く）。元素周期表族番号は
アメリカ化学協会により採用されているものに従う。従
って、Ａは、カルシウム、マグネシウム及びストロンチ
ウムとすることができるが、カルシウムが好ましい。そ
れはカルシウムがバリウムよりごくわずかに反応性が少
ないだけだからである。マグネシウムとストロンチウム
はそれらの低い反応性によりカルシウムほどには好まし
くはない。ｘの値は、ＩＩａ族の金属が存在しない場合
（バリウムは除く）のように零となしうる。他方、ｘは
上限として０．５までの値をとることができる。０．５
を超えると、合金は室温で残留気体と十分に高い収着速
度で反応する能力を失う。
【００１９】元素Ｂは、元素周期表Ｉｂ、ＩＩｂ、ＩＩ
Ｉａ、ＩＶａ及びＶａ族の元素から成る群から選択され
る任意の金属である。Ｉｂ族のうちでは、銅が、銀或い
は金より低コストであるから好ましい。経済性が特に重
要視される必要がない場合には、銀を採用しうる。ＩＩ
ｂ族の元素も使用しうるが、但し亜鉛が好ましい。カド
ミウムと水銀は取扱上また環境上の問題から困難さを呈
する。同じく、ＩＩＩａ族の元素も採用しうるが、アル
ミニウムが好ましい。アルミニウムは容易に入手しえそ
して非常に安価であるのに対して、ガリウムは室温近く
で液体でありそしてインジウムは粒状に細分するのが非
常に困難な金属間化合物を形成する。ＩＶａ族のうちで
は、珪素、錫及び鉛が満足しうるものであり、他方ゲル
マニウムは一般に極めて高純度のものが得られるだけで
あり、従って非常に高価である。Ｖａ族の金属も使用し
うるが、砒素は周知の通り毒性であり、そしてアンチモ
ン及びビスマスは収着容量の減少した合金を生成しやす
い。
【００２０】ｎ及びｍの値は、金属間化合物Ｂａn Ｂm
の組成が「The handbook of BinaryPhase Diagrams 」
−Genum Publishing Corporation−並びに「The Constr
uction of BinallyAlloys」及びその関連追補版に呈示
される最大バリウム含有量を有する化合物であるように
選択される。例えば、Ａｌ−Ｂａ系においては、この化
合物はＢａ4 Ａｌ5 であり、ここではｎ＝４そしてｍ＝
５である。Ｂａ−Ｃｕ系においては、化合物はＢａ1 Ｃ
ｕ1 であるから、ｎ＝１そしてｍ＝１である。Ｂａ−Ｚ
ｎ及びＢａ−Ｐｂの場合には、最大バリウム含有量を有
する化合物はそれぞれＢａ2 Ｚｎ及びＢａ2 Ｐｂである
から、共にｎ＝２そしてｍ＝１である。Ａｇ−Ｂａ系に
対しては、Ｂａ3 Ａｇ2 が存在するので、ｎ＝３そして
ｍ＝２である。
【００２１】これら金属間化合物はなんら困難さなく粒
状形態に容易に減寸されうる。例えば、これらは真空或
いは不活性雰囲気の下で既知の技術により５ｍｍ直径未
満に細かく粉砕することができ、そして後除去すること
を所望される残留気体を含む容器内に移される。これ
は、細分した合金を容器内に置きそしてそれを室温で残
留気体に曝露せしめることだけで達成される。
【００２２】細分した合金は速やかに容器に移入される
が、好ましくは中間容器において、そこで必要となるま
で真空或いは不活性雰囲気下で保管される。
【００２３】驚くべきことに、これら合金は大量の所望
されざる気体の収着を即座に開始する。
【００２４】ｚ＝０の場合、本発明に従う合金は（Ｂａ
1-X ＡX ）n Ｂm である。この合金はＢm 成分に対して
（Ｂａ1-X ＡX ）n 成分において化学量論よりわずかに
小さくなしうるので、一層少ないバリウムを有する金属
間化合物もまた存在しうる。これはまた過剰のバリウム
を持つようにもなされうる。これはＢａZ ＋（Ｂａ1- X
ＡX ）n Ｂm の合金に対する式につながり、ここではｚ
は零以上で且つ合金中に存在するバリウムの合計重量が
約９５％を超えないような値以下である。過剰のＢａZ
は金属Ａと部分的に置換されうる。
【００２５】本発明の一層の理解のために本発明を実施
するのに実施例を呈示する。ここでは特に断りがない限
り、部及び％は重量に基づく。
【００２６】
【実施例】
（例１）この例は本発明の方法を実施するのに適当な合
金の気体収着性能を測定するのに適当な装置を示すこと
を目的としたものである。図１は、本発明において有用
なＢａZ ＋（Ｂａ1-X ＡX ）nＢm 合金の収着性能を測
定するための装置１００を概略的に示す。真空ポンプ系
統１０２が第１弁１０４を介して所定の容積の供与容積
室１０６に接続される。供与容積室１０６には、試験気
体溜め１１２からの試験気体の導入のための第２弁１１
０及び圧力測定ゲージ１１４が接続されている。供与容
積室１０６にはまた、試験下のサンプル１２０を収納す
る試験室１１８が第３弁１１６を介して接続されてい
る。
【００２７】操作において、弁１１０及び１１６を閉じ
そして弁１０４を開いて真空ポンプ系統１０２により系
を１０-6ｍｂａｒまで排気した。すべての試験に対し
て、供与容積室１０６の容積は０．６リットルとした。
粉末状合金のサンプル１２０をアルゴンガスの不活性雰
囲気の下で収納する、約０．２リットル容積（サンプル
に依存する）のガラスバルブ製試験室１１８を弁１１６
（閉じた状態）を介して供与容積室１０６に付設した。
弁１１６を開きそして再度系を１０-6ｍｂａｒまで排気
し、同時にゲッタが置かれる可能性のあるプロセスを模
擬してサンプルを約１００℃で２０分間保持した。その
後、弁１０４及び１１６を閉じそして試験気体を短時間
弁１１０を開くことにより気体溜め１１２から供与容積
室に導入した。圧力を圧力測定ゲージ１１４に置いて記
録しそして圧力が約０．１ｍｂａｒとなるよう調整し、
その後弁１１６を開いて一定分与量の気体を試験室に導
入してサンプル１２０に曝露せしめた。
【００２８】（例２）この例は本発明方法に有用な合金
の作成方法を示すことを目的とするものである。鉄製る
つぼ内に１２１．８ｇの市販の工業等級のバリウム（純
度＞９８％）を２８．２ｇの電解銅板と一緒に置いた。
このるつぼを誘導炉に置き、そして混合物が完全に溶融
しそして均質となって融液を形成するまで中間周波数誘
導加熱により５００ｍｂａｒの圧力におけるアルゴン雰
囲気中で加熱した。溶融液をその後冷却された銅製鋳型
に注出しそしてアルゴン保護雰囲気下で静置状態として
室温まで冷却せしめた。溶融後の合金の重量は１４９ｇ
であった。
【００２９】この合金は組成Ｂａ＋ＢａＣｕに相当し、
ここでは金属間化合物Ｂａ1 Ｃｕ1は合金の形態にあり
そして過剰のバリウムはバリウムの合計重量％が８１．
２％（即ち９５％未満）となるようなものであった。
【００３０】（例３）この例は、本発明の方法における
合金の使用例を示すことを目的とするものである。例２
で調製したバリウム−銅合金を１気圧よりわずかに高い
圧力にあるアルゴン保護雰囲気下にあるグローブボック
ス内に置いた。合金を乳鉢及び乳棒を使用して３ｍｍ未
満の粒子寸法に粉砕しそして５ｇのサンプルを０．１３
リットルの容積のガラス製容器内に密閉した。その後、
サンプルを入れたガラス容器を試験室１１８として例１
の試験装置に付設した。例１の手順を繰り返し、第１の
供与量の気体（この場合は酸素）をサンプルに導入し
た。容器内の圧力を時間の関数として測定した。得られ
た曲線を図２における曲線１として示す。追加的な１２
の供与気体を順次導入しそして各場合毎に圧力−時間曲
線を測定した。これら曲線を図２〜５に曲線２〜１３と
して示す。
【００３１】図６は、図２〜５の曲線から微分法により
得られた気体収着速度を収着した気体の量の関数として
示す。
【００３２】（例４）この例は本発明の方法に有用なま
た別の合金の作成方法を示すことを目的とするものであ
る。鉄製るつぼ内に、４８０．４ｇの市販の工業等級の
バリウム（純度＞９８％）を７６．３ｇの市販の電解亜
鉛（純度＞９９．９％）と一緒に置いた。このるつぼを
誘導炉に置き、そして混合物が完全に溶融しそして均質
となって融液を形成するまで中間周波数誘導加熱により
５００ｍｂａｒの圧力におけるアルゴン雰囲気中で加熱
した。融液をその後冷却した鉄製鋳型に注出しそしてア
ルゴン保護雰囲気下で静置状態として室温まで冷却せし
めた。溶融後の合金の重量は５４９．４ｇであった。
【００３３】この合金は組成Ｂａ＋Ｂａ2 Ｚｎに相当
し、ここでは金属間化合物Ｂａ2 Ｚｎは合金の形態にあ
りそして過剰のバリウムはバリウムの合計重量％が８
６．３％（即ち９５％未満）となるようなものであっ
た。
【００３４】（例５）この例は、例４におけるようにし
て調製した合金の本発明の方法における使用例を示すこ
とを目的とするものである。例４で調製したバリウム−
亜鉛合金を１気圧よりわずかに高い圧力にあるアルゴン
保護雰囲気下にあるグローブボックス内に置いた。合金
を乳鉢及び乳棒を使用して３〜４ｍｍ未満の粒子寸法に
粉砕しそして１．８５ｇのサンプルを０．０５リットル
の容積のガラス製容器内に密閉した。その後、例３にお
けるようにして収着性能を測定した。得られた結果を図
７に曲線１〜３として示す。
【００３５】図８は、図７の曲線から得られた気体収着
速度を収着した気体の量の関数として示す。
【００３６】（例６）この例は本発明の方法に有用な更
にまた別の合金の作成方法を示すことを目的とするもの
である。鉄製るつぼ内に、２６０．７ｇの市販の工業等
級のバリウム（純度＞９８％）を１９６．７ｇの市販の
鉛ペレット（純度＞９８．５％）と一緒に置いた。この
るつぼを誘導炉に置き、そして混合物が完全に溶融しそ
して均質となって融液を形成するまで中間周波数誘導加
熱により３００ｍｂａｒの圧力におけるアルゴン雰囲気
中で加熱した。融液をその後冷却した鉄製鋳型に注出し
そしてアルゴン保護雰囲気下で静置状態として室温まで
冷却せしめた。溶融後の合金の重量は測定しなかった
が、溶融中蒸発は認められなかった。この合金は組成Ｂ
ａ2 Ｐｂに相当した。
【００３７】（例７）この例は、例６におけるようにし
て調製した合金の本発明の方法における使用例を示すこ
とを目的とするものである。例６で調製したバリウム−
鉛合金を１気圧よりわずかに高い圧力にあるアルゴン保
護雰囲気下にあるグローブボックス内に置いた。合金を
乳鉢及び乳棒を使用して１ｍｍ未満の粒子寸法に粉砕し
そして１１．４７ｇのサンプルを０．２８リットル容積
のガラス製容器内に密閉した。その後、例３におけるよ
うにして収着性能を測定した。得られた結果を図９に曲
線１〜６として示す。
【００３８】図１０は、図９の曲線から微分法により得
られた気体収着速度を収着した気体の量の関数として示
す。
【００３９】（例８）この例は本発明方法に有用な別の
合金の作成方法を示すことを目的とするものである。鉄
製るつぼ内に、３１１．３５ｇの市販の工業等級のバリ
ウム（純度＞９８％）を９０．８ｇの市販の粒状カルシ
ウム（純度＞９８．５％）と９７．８５ｇの市販のアル
ミニウムビード（純度＞９８．５％）と一緒に置いた。
このるつぼを誘導炉に置き、そして混合物が完全に溶融
しそして均質となって融液を形成するまで中間周波数誘
導加熱により４００ｍｂａｒの圧力におけるアルゴン雰
囲気中で加熱した。融液をその後冷却した鉄製鋳型に注
出しそして室温まで冷却せしめた。溶融後の合金の重量
は４８６ｇであった。この合金は組成Ｂａ1.125Ｃａ
1.125 ＋（Ｂａ0.5 Ｃａ0.5 ）4 Ａｌ5 に相当した。
【００４０】（例９）この例は、例８におけるようにし
て調製した合金の本発明の方法における使用例を示すこ
とを目的とするものである。例８で調製したバリウム−
カルシウム−アルミニウム合金を１気圧よりわずかに高
い圧力にあるアルゴン保護雰囲気下にあるグローブボッ
クス内に置いた。合金を乳鉢及び乳棒を使用して０．３
ｍｍ未満の粒子寸法に粉砕しそして２．９ｇのサンプル
を０．１３リットルの容積のガラス製容器内に密閉し
た。その後、例３に従って収着性能を測定した。得られ
た結果を図１１〜１４に曲線１〜２１として示す。
【００４１】図１５は、図１１〜１４の曲線から微分法
により得られた気体収着速度を収着した気体の量の関数
として示す。
【００４２】
【発明の効果】本発明は、（１）ゲッター材料を賦活す
ることを必要としない、（２）ゲッター材料を他の材料
と混合することを必要としない、（３）有機プラスチッ
ク製の或いは有機プラスチックを含む容器において使用
することのできる、（４）１５０℃を超える温度を必要
としない、容器内の残留気体、特に酸素を収着しうる方
法を開発することに成功した。
【００４３】本発明を好ましい具体例に基づいて説明し
たが、本発明の範囲内で多くの改変を為しうることを銘
記されたい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明方法を実施するのに有用な合金の収着性
能を測定するための装置の概略図である。
【図２】本発明のバリウム−銅合金についてなされた収
着試験の結果を示すグラフである。
【図３】本発明のバリウム−銅合金についてなされた収
着試験の結果を示すグラフである。
【図４】本発明のバリウム−銅合金についてなされた収
着試験の結果を示すグラフである。
【図５】本発明のバリウム−銅合金についてなされた収
着試験の結果を示すグラフである。
【図６】図２〜５の曲線から得られた収着気体の量の関
数としての気体収着速度を表すグラフである。
【図７】本発明のバリウム−亜鉛合金についてなされた
収着試験の結果を示すグラフである。
【図８】図７の曲線から得られた収着気体の量の関数と
しての気体収着速度を表すグラフである。
【図９】本発明のバリウム−鉛合金についてなされた収
着試験の結果を示すグラフである。
【図１０】図９の曲線から得られた収着気体の量の関数
としての気体収着速度を表すグラフである。
【図１１】本発明のバリウム−カルシウム−アルミニウ
ム合金についてなされた収着試験の結果を示すグラフで
ある。
【図１２】本発明のバリウム−カルシウム−アルミニウ
ム合金についてなされた収着試験の結果を示すグラフで
ある。
【図１３】本発明のバリウム−カルシウム−アルミニウ
ム合金についてなされた収着試験の結果を示すグラフで
ある。
【図１４】本発明のバリウム−カルシウム−アルミニウ
ム合金についてなされた収着試験の結果を示すグラフで
ある。
【図１５】図１１〜１４の曲線から得られた収着気体の
量の関数としての気体収着速度を表すグラフである。
【符号の説明】
１０２ 真空ポンプ系統 １０４ 弁 １０６ 供与容積室 １１０ 弁 １１２ 気体溜め １１４ 圧力測定ゲージ １１６ 弁 １１８ 試験室 １２０ サンプル

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 非蒸発型バリウムゲッタにより容器内の
    残留気体の収着のための方法であって、（ａ）ＢａZ ＋
    （Ｂａ1-X ＡX ）n Ｂm の合金を真空或いは不活性気体
    雰囲気で粉砕して粒状合金を生成する段階と、（ｂ）前
    記粒状合金を容器内に置く段階と、（ｃ）前記粒状合金
    に容器内の残留気体を室温で曝露する段階とを包含し、
    この場合Ａは元素周期表ＩＩａ族の元素から成る群から
    選択される金属であり（ただし、バリウムを除く）、Ｂ
    は、元素周期表Ｉｂ、ＩＩｂ、ＩＩＩａ、ＩＶａ及びＶ
    ａ族の元素から成る群から選択され金属であり、ｎ＝整
    数、ｍ＝整数、０≦ｘ≦０．５、そして０≦ｚ≦合計バ
    リウムが合金の９５重量％以下であるような値であるこ
    とを特徴とする非蒸発型バリウムゲッタによる容器内の
    残留気体の収着方法。
  2. 【請求項２】 合金粒寸が５ｍｍ未満であり、ｎ＝１、
    ２、３乃至４そしてｍ＝１、２乃至５である請求項１の
    方法。
  3. 【請求項３】 Ａがマグネシウム、カルシウム及びスト
    ロンチウムからなる群から選択される請求項２の方法。
  4. 【請求項４】 Ｂが銅、亜鉛、アルミニウム、錫及び鉛
    からなる群から選択される請求項２の方法。
  5. 【請求項５】 Ｂが銀、金、カドミウム、水銀、ガリウ
    ム、タリウム、珪素、ゲルマニウム、アンチモン及びビ
    スマスからなる群から選択される請求項２の方法。
  6. 【請求項６】 前記合金がＢａ＋ＢａＣｕである請求項
    ２の方法。
  7. 【請求項７】 前記合金がＢａ＋Ｂａ2 Ｚｎである請求
    項２の方法。
  8. 【請求項８】 前記合金がＢａ2 Ｐｂである請求項２の
    方法。
  9. 【請求項９】 前記合金がＢａ1.125 Ｃａ1.125 ＋（Ｂ
    ａ0.5 Ｃａ0.5 ）4Ａｌ5 である請求項２の方法。
  10. 【請求項１０】 密閉容器内で１５０℃未満の温度で内
    壁にバリウム皮膜を形成することなく残留気体を収着す
    る方法であって、残留気体を５ｍｍ未満の粒寸を有する
    ＢａZ ＋（Ｂａ1-X ＡX ）n Ｂm の粒状合金と接触せし
    めそして該合金粒子表面において残留気体の収着を生ぜ
    しめることからなり、その場合上記式においてＡがマグ
    ネシウム、カルシウム及びストロンチウムからなる群か
    ら選択され、Ｂが銅、亜鉛、アルミニウム、錫及び鉛か
    らなる群から選択され、そしてｎ＝１、２、３乃至４、
    ｍ＝１、２乃至５、０≦ｘ≦０．５そして０≦ｚ≦合計
    バリウムが合金の９５重量％以下であるような値である
    ことを特徴とする容器内の残留気体の収着方法。
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