JPH05138101A - 高粘性コーテイング剤の滴下装置 - Google Patents
高粘性コーテイング剤の滴下装置Info
- Publication number
- JPH05138101A JPH05138101A JP30603591A JP30603591A JPH05138101A JP H05138101 A JPH05138101 A JP H05138101A JP 30603591 A JP30603591 A JP 30603591A JP 30603591 A JP30603591 A JP 30603591A JP H05138101 A JPH05138101 A JP H05138101A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coating agent
- bottle
- viscosity coating
- dropping
- viscosity
- Prior art date
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- Coating Apparatus (AREA)
- Devices For Dispensing Beverages (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】高粘性コーティング剤が容器の底部に残った
り、気泡が混入したり、配管内に残留したり、又はノズ
ル内で乾燥固化するのを防止する。 【構成】高粘性コーティング剤1を収納した瓶2を倒立
した状態で保持装置10と排出装置20との間に保持す
る。瓶2の出口の周囲はシール部21を備え、シールが
保たれる。排出装置20には滴下パイプ23が瓶内の高
粘性コーティング剤を滴下させるように取付けてある。
この滴下パイプは電磁弁24を備え、瓶2内の高粘性コ
ーティング剤1を適量づつ滴下させる。
り、気泡が混入したり、配管内に残留したり、又はノズ
ル内で乾燥固化するのを防止する。 【構成】高粘性コーティング剤1を収納した瓶2を倒立
した状態で保持装置10と排出装置20との間に保持す
る。瓶2の出口の周囲はシール部21を備え、シールが
保たれる。排出装置20には滴下パイプ23が瓶内の高
粘性コーティング剤を滴下させるように取付けてある。
この滴下パイプは電磁弁24を備え、瓶2内の高粘性コ
ーティング剤1を適量づつ滴下させる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、高粘性コーティング剤
の滴下装置に関する。
の滴下装置に関する。
【0002】
【従来の技術】ウエハの表面に各種の高粘性コーティン
グ剤のを塗布する場合に、1kg又は1ガロン入りの瓶
に入っている高粘性コーティング剤をベローズポンプに
よって圧送するか、又は窒素ガス等によって加圧して圧
送する方式でウエハ上に供給している。例えば、ウエハ
に塗布するポリイミドは100cp(センチポアズ)を
越える高い粘度を有し、通常は1〜5kg/cm2 の圧
力の窒素ガスによる圧送方式で供給されている。この場
合、 (a)容器の形状により容器の底部に高粘性コーティン
グ剤が残る。 (b)高粘性コーティング剤中に気泡が混入すると使用
できない。 (c)瓶からノズルまでの配管内に残留するコーティン
グ剤が無駄となる。この量は装置によっては、20〜3
0%にも達する場合がある。 (d)高粘性コーティング剤がノズル内で乾燥固化する
のを防止するために、高粘性コーティング剤を時折放出
しなければならない。
グ剤のを塗布する場合に、1kg又は1ガロン入りの瓶
に入っている高粘性コーティング剤をベローズポンプに
よって圧送するか、又は窒素ガス等によって加圧して圧
送する方式でウエハ上に供給している。例えば、ウエハ
に塗布するポリイミドは100cp(センチポアズ)を
越える高い粘度を有し、通常は1〜5kg/cm2 の圧
力の窒素ガスによる圧送方式で供給されている。この場
合、 (a)容器の形状により容器の底部に高粘性コーティン
グ剤が残る。 (b)高粘性コーティング剤中に気泡が混入すると使用
できない。 (c)瓶からノズルまでの配管内に残留するコーティン
グ剤が無駄となる。この量は装置によっては、20〜3
0%にも達する場合がある。 (d)高粘性コーティング剤がノズル内で乾燥固化する
のを防止するために、高粘性コーティング剤を時折放出
しなければならない。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来の上記
高粘性コーティング剤の供給装置の欠点を改善した装置
を提供することを目的とする。
高粘性コーティング剤の供給装置の欠点を改善した装置
を提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、高粘性コーテ
ィング剤の収納瓶を倒立させて保持する保持装置と、こ
の瓶の出口の周囲をシールすると共に、高粘性コーティ
ング剤滴下パイプ及び不活性ガスを瓶内に導入するパイ
プを備えた排出装置とからなることを特徴とする高粘性
コーティング剤の滴下装置である。この装置は、装置全
体を天地反転させる反転装置を備えることが好ましく、
また、ウエハスピンナの表面に高粘性コーティング剤を
滴下する装置として用いると好適である。
ィング剤の収納瓶を倒立させて保持する保持装置と、こ
の瓶の出口の周囲をシールすると共に、高粘性コーティ
ング剤滴下パイプ及び不活性ガスを瓶内に導入するパイ
プを備えた排出装置とからなることを特徴とする高粘性
コーティング剤の滴下装置である。この装置は、装置全
体を天地反転させる反転装置を備えることが好ましく、
また、ウエハスピンナの表面に高粘性コーティング剤を
滴下する装置として用いると好適である。
【0005】
【作用】本発明の装置は、高粘性コーティング剤の収納
瓶を倒立させて保持し、その瓶の出口の周囲をシールす
ると共に、高粘性コーティング剤の滴下パイプを備え
る。この滴下パイプは、倒立した瓶内の高粘性コーティ
ング剤を重力によって滴下させる。従って原則的には格
別の動力装置を要しない。また、瓶内の高粘性コーティ
ング剤を残らず全部完全に利用することができる。もち
ろん高粘性コーティング剤中に気泡が混入することもな
い。もし滴下しにくい高粘性コーティング剤の場合には
補助的に不活性ガスを瓶内に導入するパイプを備える。
滴下パイプは短いパイプとすることができ、ポンプ圧送
などのように長い圧送経路を必要としないし、パイプ内
に残留するロスを生じない。また滴下させるのでノズル
は先端を細く形成する必要はなく、ノズル内で高粘性コ
ーティング剤が乾燥固化することがない。
瓶を倒立させて保持し、その瓶の出口の周囲をシールす
ると共に、高粘性コーティング剤の滴下パイプを備え
る。この滴下パイプは、倒立した瓶内の高粘性コーティ
ング剤を重力によって滴下させる。従って原則的には格
別の動力装置を要しない。また、瓶内の高粘性コーティ
ング剤を残らず全部完全に利用することができる。もち
ろん高粘性コーティング剤中に気泡が混入することもな
い。もし滴下しにくい高粘性コーティング剤の場合には
補助的に不活性ガスを瓶内に導入するパイプを備える。
滴下パイプは短いパイプとすることができ、ポンプ圧送
などのように長い圧送経路を必要としないし、パイプ内
に残留するロスを生じない。また滴下させるのでノズル
は先端を細く形成する必要はなく、ノズル内で高粘性コ
ーティング剤が乾燥固化することがない。
【0006】本発明の装置は、装置全体を天地反転させ
る反転装置を備えると、瓶を正立の状態で装着し、つい
で天地反転させることができ、瓶の取付け取外しが極め
て容易となる。本発明の装置はウエハスピンナの表面に
高粘性コーティング剤を滴下する装置として用いると従
来のポンプ装置等に比べ、操作性、経済性において優れ
ている。
る反転装置を備えると、瓶を正立の状態で装着し、つい
で天地反転させることができ、瓶の取付け取外しが極め
て容易となる。本発明の装置はウエハスピンナの表面に
高粘性コーティング剤を滴下する装置として用いると従
来のポンプ装置等に比べ、操作性、経済性において優れ
ている。
【0007】
【実施例】図1は本発明の実施例の高粘性コーティング
剤の滴下装置の使用状態における要部を示す側面図であ
る。高粘性コーティング剤1を収納した瓶2は、倒立し
た状態で保持装置10と排出装置20との間に保持され
ている。排出装置20は瓶2の出口3の出口端の周囲を
シール部21を備えた円盤22を備えている。シール部
21にはシール材が施され、保持装置10との間に適切
な押圧力で瓶2を挟持しているので、シールが保たれ
る。この円盤22は図示しない支持装置によって保持装
置10と連結し、背後を支持されている。この円盤22
には滴下パイプ23が瓶内の高粘性コーティング剤を滴
下させるように取付けてある。この滴下パイプは電磁弁
24を備え、瓶2内の高粘性コーティング剤1を適量づ
つ滴下させる。この滴下パイプ23の先端はノズル25
を形成しているが、ノズルは開口を斜に切断した形状の
直管としている。このことによって、高粘性コーティン
グ剤がノズル内から切れ良く滴下し、ノズル内に残らな
い。従って、高粘性コーティング剤がノズル内で乾燥固
化することがない。また、万一ノズル詰まりが発生した
ときの掃除のために不活性高圧ガスを導入する掃除パイ
プ26を備えている。
剤の滴下装置の使用状態における要部を示す側面図であ
る。高粘性コーティング剤1を収納した瓶2は、倒立し
た状態で保持装置10と排出装置20との間に保持され
ている。排出装置20は瓶2の出口3の出口端の周囲を
シール部21を備えた円盤22を備えている。シール部
21にはシール材が施され、保持装置10との間に適切
な押圧力で瓶2を挟持しているので、シールが保たれ
る。この円盤22は図示しない支持装置によって保持装
置10と連結し、背後を支持されている。この円盤22
には滴下パイプ23が瓶内の高粘性コーティング剤を滴
下させるように取付けてある。この滴下パイプは電磁弁
24を備え、瓶2内の高粘性コーティング剤1を適量づ
つ滴下させる。この滴下パイプ23の先端はノズル25
を形成しているが、ノズルは開口を斜に切断した形状の
直管としている。このことによって、高粘性コーティン
グ剤がノズル内から切れ良く滴下し、ノズル内に残らな
い。従って、高粘性コーティング剤がノズル内で乾燥固
化することがない。また、万一ノズル詰まりが発生した
ときの掃除のために不活性高圧ガスを導入する掃除パイ
プ26を備えている。
【0008】さらに、円盤22には高粘性コーティング
剤の粘度が高く滴下しにくいときに瓶2内に不活性ガス
28を導入する不活性ガス導入パイプ27を備えてい
る。この不活性ガス導入パイプにはスエージロック等の
着脱可能な継手29を介してベローズニップルまたはテ
フロンチューブなどの可撓管29aを結合し、不活性ガ
ス28を導入する。
剤の粘度が高く滴下しにくいときに瓶2内に不活性ガス
28を導入する不活性ガス導入パイプ27を備えてい
る。この不活性ガス導入パイプにはスエージロック等の
着脱可能な継手29を介してベローズニップルまたはテ
フロンチューブなどの可撓管29aを結合し、不活性ガ
ス28を導入する。
【0009】図2は、本発明装置の瓶の取付け操作を説
明する説明図である。保持装置10は瓶2を正立状態で
載せるような姿勢で保たれている。高粘性コーティング
剤の収納瓶2を保持装置10の上に載せ、上方に引き上
げてある排出装置20を下降し、円盤22を瓶2の口元
に押し付け、シール部21が瓶2の口元をシールするよ
うにセットする。図2(b)はこのセットが完了した状
態を示している。ついで、滴下装置全体を天地反転させ
る。反転した状態は図2(c)に示されている。この反
転したときノズル25がその直下にウエハスピンナ30
の回転装置31上に位置するようにし、ウエハスピンナ
30に高粘性コーティング剤を滴下し、ウエハに塗膜を
形成する。
明する説明図である。保持装置10は瓶2を正立状態で
載せるような姿勢で保たれている。高粘性コーティング
剤の収納瓶2を保持装置10の上に載せ、上方に引き上
げてある排出装置20を下降し、円盤22を瓶2の口元
に押し付け、シール部21が瓶2の口元をシールするよ
うにセットする。図2(b)はこのセットが完了した状
態を示している。ついで、滴下装置全体を天地反転させ
る。反転した状態は図2(c)に示されている。この反
転したときノズル25がその直下にウエハスピンナ30
の回転装置31上に位置するようにし、ウエハスピンナ
30に高粘性コーティング剤を滴下し、ウエハに塗膜を
形成する。
【0010】瓶の取外しはこの逆順に手順を進めれば良
い。本発明の実施例装置を用いてウエハにポリイミドの
塗膜を形成した。ノズルの内径は3mmφとした。N−
メチル−2−ピロリドンを溶媒とする粘度100cpを
越えるポリイミドをウエハ上に1回に3cc滴下した。
従来、1kg入りの瓶で4インチのウエハ150枚を塗
布することができたが、実施例では200枚を塗布可能
となった。また従来問題となっていたノズル詰まりは全
く生じなかった。
い。本発明の実施例装置を用いてウエハにポリイミドの
塗膜を形成した。ノズルの内径は3mmφとした。N−
メチル−2−ピロリドンを溶媒とする粘度100cpを
越えるポリイミドをウエハ上に1回に3cc滴下した。
従来、1kg入りの瓶で4インチのウエハ150枚を塗
布することができたが、実施例では200枚を塗布可能
となった。また従来問題となっていたノズル詰まりは全
く生じなかった。
【0011】
【発明の効果】本発明によれば、2000cp程度まで
の高粘性コーティング剤を所望量づつ滴下させることが
できる。本発明の装置では、瓶内のコーティング剤を完
全に利用することができ、高粘性コーティング剤中に気
泡が混入することもない。また、滴下パイプ内に残留す
るロスを生じない。さらに、ノズル内で高粘性コーティ
ング剤が乾燥固化することがない。また、動力装置を必
要としないという利点もある。本発明の装置はウエハス
ピンナの表面に高粘性コーティング剤を滴下する装置と
して操作性、経済性に優れている。
の高粘性コーティング剤を所望量づつ滴下させることが
できる。本発明の装置では、瓶内のコーティング剤を完
全に利用することができ、高粘性コーティング剤中に気
泡が混入することもない。また、滴下パイプ内に残留す
るロスを生じない。さらに、ノズル内で高粘性コーティ
ング剤が乾燥固化することがない。また、動力装置を必
要としないという利点もある。本発明の装置はウエハス
ピンナの表面に高粘性コーティング剤を滴下する装置と
して操作性、経済性に優れている。
【図1】本発明の実施例の高粘性コーティング剤の滴下
装置を示す図である。
装置を示す図である。
【図2】本発明の実施例の滴下装置の取付け操作を説明
する説明図である。
する説明図である。
1 コーティイング剤 2 瓶 3 出口 10 保持装置 20 排出装置 21 シール部 22 円盤 23 滴下パイ
プ 24 電磁弁 25 ノズル 26 掃除パイプ 27 不活性ガ
ス導入パイプ 28 不活性ガス 30 ウエハス
ピンナ
プ 24 電磁弁 25 ノズル 26 掃除パイプ 27 不活性ガ
ス導入パイプ 28 不活性ガス 30 ウエハス
ピンナ
Claims (3)
- 【請求項1】 高粘性コーティング剤の収納瓶を倒立さ
せて保持する保持装置と、該瓶の出口の周囲をシールす
ると共に、高粘性コーティング剤滴下パイプ及び不活性
ガス導入パイプを備えた滴下装置とからなることを特徴
とする高粘性コーティング剤の滴下装置。 - 【請求項2】 装置全体を天地反転させる反転装置を備
えたことを特徴とする請求項1記載の高粘性コーティン
グ剤の滴下装置。 - 【請求項3】 ウエハスピンナの表面に高粘性コーティ
ング剤を滴下する装置であることを特徴とする請求項1
又は2記載の高粘性コーティング剤の滴下装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30603591A JPH05138101A (ja) | 1991-11-21 | 1991-11-21 | 高粘性コーテイング剤の滴下装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30603591A JPH05138101A (ja) | 1991-11-21 | 1991-11-21 | 高粘性コーテイング剤の滴下装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05138101A true JPH05138101A (ja) | 1993-06-01 |
Family
ID=17952286
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30603591A Withdrawn JPH05138101A (ja) | 1991-11-21 | 1991-11-21 | 高粘性コーテイング剤の滴下装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05138101A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000269129A (ja) * | 1999-03-17 | 2000-09-29 | Huabang Electronic Co Ltd | フォトレジスト供給装置 |
JP2016172587A (ja) * | 2014-04-11 | 2016-09-29 | スス マイクロテク リソグラフィー,ゲーエムベーハー | ボトル給液システム及びボトルキャップアダプター |
JP2019116325A (ja) * | 2016-01-12 | 2019-07-18 | フレーツィオ アーゲー | 飲料を製造するためのカートリッジ受け、カートリッジシステム、飲料調製機械、および方法 |
-
1991
- 1991-11-21 JP JP30603591A patent/JPH05138101A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000269129A (ja) * | 1999-03-17 | 2000-09-29 | Huabang Electronic Co Ltd | フォトレジスト供給装置 |
JP2016172587A (ja) * | 2014-04-11 | 2016-09-29 | スス マイクロテク リソグラフィー,ゲーエムベーハー | ボトル給液システム及びボトルキャップアダプター |
JP2019116325A (ja) * | 2016-01-12 | 2019-07-18 | フレーツィオ アーゲー | 飲料を製造するためのカートリッジ受け、カートリッジシステム、飲料調製機械、および方法 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990204 |