JPH05138101A - 高粘性コーテイング剤の滴下装置 - Google Patents
高粘性コーテイング剤の滴下装置Info
- Publication number
- JPH05138101A JPH05138101A JP30603591A JP30603591A JPH05138101A JP H05138101 A JPH05138101 A JP H05138101A JP 30603591 A JP30603591 A JP 30603591A JP 30603591 A JP30603591 A JP 30603591A JP H05138101 A JPH05138101 A JP H05138101A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coating agent
- bottle
- viscosity coating
- dropping
- viscosity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Coating Apparatus (AREA)
- Devices For Dispensing Beverages (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】高粘性コーティング剤が容器の底部に残った
り、気泡が混入したり、配管内に残留したり、又はノズ
ル内で乾燥固化するのを防止する。 【構成】高粘性コーティング剤１を収納した瓶２を倒立
した状態で保持装置１０と排出装置２０との間に保持す
る。瓶２の出口の周囲はシール部２１を備え、シールが
保たれる。排出装置２０には滴下パイプ２３が瓶内の高
粘性コーティング剤を滴下させるように取付けてある。
この滴下パイプは電磁弁２４を備え、瓶２内の高粘性コ
ーティング剤１を適量づつ滴下させる。
り、気泡が混入したり、配管内に残留したり、又はノズ
ル内で乾燥固化するのを防止する。 【構成】高粘性コーティング剤１を収納した瓶２を倒立
した状態で保持装置１０と排出装置２０との間に保持す
る。瓶２の出口の周囲はシール部２１を備え、シールが
保たれる。排出装置２０には滴下パイプ２３が瓶内の高
粘性コーティング剤を滴下させるように取付けてある。
この滴下パイプは電磁弁２４を備え、瓶２内の高粘性コ
ーティング剤１を適量づつ滴下させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高粘性コーティング剤
の滴下装置に関する。
の滴下装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ウエハの表面に各種の高粘性コーティン
グ剤のを塗布する場合に、１ｋｇ又は１ガロン入りの瓶
に入っている高粘性コーティング剤をベローズポンプに
よって圧送するか、又は窒素ガス等によって加圧して圧
送する方式でウエハ上に供給している。例えば、ウエハ
に塗布するポリイミドは１００ｃｐ（センチポアズ）を
越える高い粘度を有し、通常は１〜５ｋｇ／ｃｍ2 の圧
力の窒素ガスによる圧送方式で供給されている。この場
合、 （ａ）容器の形状により容器の底部に高粘性コーティン
グ剤が残る。 （ｂ）高粘性コーティング剤中に気泡が混入すると使用
できない。 （ｃ）瓶からノズルまでの配管内に残留するコーティン
グ剤が無駄となる。この量は装置によっては、２０〜３
０％にも達する場合がある。 （ｄ）高粘性コーティング剤がノズル内で乾燥固化する
のを防止するために、高粘性コーティング剤を時折放出
しなければならない。
グ剤のを塗布する場合に、１ｋｇ又は１ガロン入りの瓶
に入っている高粘性コーティング剤をベローズポンプに
よって圧送するか、又は窒素ガス等によって加圧して圧
送する方式でウエハ上に供給している。例えば、ウエハ
に塗布するポリイミドは１００ｃｐ（センチポアズ）を
越える高い粘度を有し、通常は１〜５ｋｇ／ｃｍ2 の圧
力の窒素ガスによる圧送方式で供給されている。この場
合、 （ａ）容器の形状により容器の底部に高粘性コーティン
グ剤が残る。 （ｂ）高粘性コーティング剤中に気泡が混入すると使用
できない。 （ｃ）瓶からノズルまでの配管内に残留するコーティン
グ剤が無駄となる。この量は装置によっては、２０〜３
０％にも達する場合がある。 （ｄ）高粘性コーティング剤がノズル内で乾燥固化する
のを防止するために、高粘性コーティング剤を時折放出
しなければならない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来の上記
高粘性コーティング剤の供給装置の欠点を改善した装置
を提供することを目的とする。
高粘性コーティング剤の供給装置の欠点を改善した装置
を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、高粘性コーテ
ィング剤の収納瓶を倒立させて保持する保持装置と、こ
の瓶の出口の周囲をシールすると共に、高粘性コーティ
ング剤滴下パイプ及び不活性ガスを瓶内に導入するパイ
プを備えた排出装置とからなることを特徴とする高粘性
コーティング剤の滴下装置である。この装置は、装置全
体を天地反転させる反転装置を備えることが好ましく、
また、ウエハスピンナの表面に高粘性コーティング剤を
滴下する装置として用いると好適である。
ィング剤の収納瓶を倒立させて保持する保持装置と、こ
の瓶の出口の周囲をシールすると共に、高粘性コーティ
ング剤滴下パイプ及び不活性ガスを瓶内に導入するパイ
プを備えた排出装置とからなることを特徴とする高粘性
コーティング剤の滴下装置である。この装置は、装置全
体を天地反転させる反転装置を備えることが好ましく、
また、ウエハスピンナの表面に高粘性コーティング剤を
滴下する装置として用いると好適である。
【０００５】
【作用】本発明の装置は、高粘性コーティング剤の収納
瓶を倒立させて保持し、その瓶の出口の周囲をシールす
ると共に、高粘性コーティング剤の滴下パイプを備え
る。この滴下パイプは、倒立した瓶内の高粘性コーティ
ング剤を重力によって滴下させる。従って原則的には格
別の動力装置を要しない。また、瓶内の高粘性コーティ
ング剤を残らず全部完全に利用することができる。もち
ろん高粘性コーティング剤中に気泡が混入することもな
い。もし滴下しにくい高粘性コーティング剤の場合には
補助的に不活性ガスを瓶内に導入するパイプを備える。
滴下パイプは短いパイプとすることができ、ポンプ圧送
などのように長い圧送経路を必要としないし、パイプ内
に残留するロスを生じない。また滴下させるのでノズル
は先端を細く形成する必要はなく、ノズル内で高粘性コ
ーティング剤が乾燥固化することがない。
瓶を倒立させて保持し、その瓶の出口の周囲をシールす
ると共に、高粘性コーティング剤の滴下パイプを備え
る。この滴下パイプは、倒立した瓶内の高粘性コーティ
ング剤を重力によって滴下させる。従って原則的には格
別の動力装置を要しない。また、瓶内の高粘性コーティ
ング剤を残らず全部完全に利用することができる。もち
ろん高粘性コーティング剤中に気泡が混入することもな
い。もし滴下しにくい高粘性コーティング剤の場合には
補助的に不活性ガスを瓶内に導入するパイプを備える。
滴下パイプは短いパイプとすることができ、ポンプ圧送
などのように長い圧送経路を必要としないし、パイプ内
に残留するロスを生じない。また滴下させるのでノズル
は先端を細く形成する必要はなく、ノズル内で高粘性コ
ーティング剤が乾燥固化することがない。
【０００６】本発明の装置は、装置全体を天地反転させ
る反転装置を備えると、瓶を正立の状態で装着し、つい
で天地反転させることができ、瓶の取付け取外しが極め
て容易となる。本発明の装置はウエハスピンナの表面に
高粘性コーティング剤を滴下する装置として用いると従
来のポンプ装置等に比べ、操作性、経済性において優れ
ている。
る反転装置を備えると、瓶を正立の状態で装着し、つい
で天地反転させることができ、瓶の取付け取外しが極め
て容易となる。本発明の装置はウエハスピンナの表面に
高粘性コーティング剤を滴下する装置として用いると従
来のポンプ装置等に比べ、操作性、経済性において優れ
ている。
【０００７】
【実施例】図１は本発明の実施例の高粘性コーティング
剤の滴下装置の使用状態における要部を示す側面図であ
る。高粘性コーティング剤１を収納した瓶２は、倒立し
た状態で保持装置１０と排出装置２０との間に保持され
ている。排出装置２０は瓶２の出口３の出口端の周囲を
シール部２１を備えた円盤２２を備えている。シール部
２１にはシール材が施され、保持装置１０との間に適切
な押圧力で瓶２を挟持しているので、シールが保たれ
る。この円盤２２は図示しない支持装置によって保持装
置１０と連結し、背後を支持されている。この円盤２２
には滴下パイプ２３が瓶内の高粘性コーティング剤を滴
下させるように取付けてある。この滴下パイプは電磁弁
２４を備え、瓶２内の高粘性コーティング剤１を適量づ
つ滴下させる。この滴下パイプ２３の先端はノズル２５
を形成しているが、ノズルは開口を斜に切断した形状の
直管としている。このことによって、高粘性コーティン
グ剤がノズル内から切れ良く滴下し、ノズル内に残らな
い。従って、高粘性コーティング剤がノズル内で乾燥固
化することがない。また、万一ノズル詰まりが発生した
ときの掃除のために不活性高圧ガスを導入する掃除パイ
プ２６を備えている。
剤の滴下装置の使用状態における要部を示す側面図であ
る。高粘性コーティング剤１を収納した瓶２は、倒立し
た状態で保持装置１０と排出装置２０との間に保持され
ている。排出装置２０は瓶２の出口３の出口端の周囲を
シール部２１を備えた円盤２２を備えている。シール部
２１にはシール材が施され、保持装置１０との間に適切
な押圧力で瓶２を挟持しているので、シールが保たれ
る。この円盤２２は図示しない支持装置によって保持装
置１０と連結し、背後を支持されている。この円盤２２
には滴下パイプ２３が瓶内の高粘性コーティング剤を滴
下させるように取付けてある。この滴下パイプは電磁弁
２４を備え、瓶２内の高粘性コーティング剤１を適量づ
つ滴下させる。この滴下パイプ２３の先端はノズル２５
を形成しているが、ノズルは開口を斜に切断した形状の
直管としている。このことによって、高粘性コーティン
グ剤がノズル内から切れ良く滴下し、ノズル内に残らな
い。従って、高粘性コーティング剤がノズル内で乾燥固
化することがない。また、万一ノズル詰まりが発生した
ときの掃除のために不活性高圧ガスを導入する掃除パイ
プ２６を備えている。
【０００８】さらに、円盤２２には高粘性コーティング
剤の粘度が高く滴下しにくいときに瓶２内に不活性ガス
２８を導入する不活性ガス導入パイプ２７を備えてい
る。この不活性ガス導入パイプにはスエージロック等の
着脱可能な継手２９を介してベローズニップルまたはテ
フロンチューブなどの可撓管２９ａを結合し、不活性ガ
ス２８を導入する。
剤の粘度が高く滴下しにくいときに瓶２内に不活性ガス
２８を導入する不活性ガス導入パイプ２７を備えてい
る。この不活性ガス導入パイプにはスエージロック等の
着脱可能な継手２９を介してベローズニップルまたはテ
フロンチューブなどの可撓管２９ａを結合し、不活性ガ
ス２８を導入する。
【０００９】図２は、本発明装置の瓶の取付け操作を説
明する説明図である。保持装置１０は瓶２を正立状態で
載せるような姿勢で保たれている。高粘性コーティング
剤の収納瓶２を保持装置１０の上に載せ、上方に引き上
げてある排出装置２０を下降し、円盤２２を瓶２の口元
に押し付け、シール部２１が瓶２の口元をシールするよ
うにセットする。図２（ｂ）はこのセットが完了した状
態を示している。ついで、滴下装置全体を天地反転させ
る。反転した状態は図２（ｃ）に示されている。この反
転したときノズル２５がその直下にウエハスピンナ３０
の回転装置３１上に位置するようにし、ウエハスピンナ
３０に高粘性コーティング剤を滴下し、ウエハに塗膜を
形成する。
明する説明図である。保持装置１０は瓶２を正立状態で
載せるような姿勢で保たれている。高粘性コーティング
剤の収納瓶２を保持装置１０の上に載せ、上方に引き上
げてある排出装置２０を下降し、円盤２２を瓶２の口元
に押し付け、シール部２１が瓶２の口元をシールするよ
うにセットする。図２（ｂ）はこのセットが完了した状
態を示している。ついで、滴下装置全体を天地反転させ
る。反転した状態は図２（ｃ）に示されている。この反
転したときノズル２５がその直下にウエハスピンナ３０
の回転装置３１上に位置するようにし、ウエハスピンナ
３０に高粘性コーティング剤を滴下し、ウエハに塗膜を
形成する。
【００１０】瓶の取外しはこの逆順に手順を進めれば良
い。本発明の実施例装置を用いてウエハにポリイミドの
塗膜を形成した。ノズルの内径は３ｍｍφとした。Ｎ−
メチル−２−ピロリドンを溶媒とする粘度１００ｃｐを
越えるポリイミドをウエハ上に１回に３ｃｃ滴下した。
従来、１ｋｇ入りの瓶で４インチのウエハ１５０枚を塗
布することができたが、実施例では２００枚を塗布可能
となった。また従来問題となっていたノズル詰まりは全
く生じなかった。
い。本発明の実施例装置を用いてウエハにポリイミドの
塗膜を形成した。ノズルの内径は３ｍｍφとした。Ｎ−
メチル−２−ピロリドンを溶媒とする粘度１００ｃｐを
越えるポリイミドをウエハ上に１回に３ｃｃ滴下した。
従来、１ｋｇ入りの瓶で４インチのウエハ１５０枚を塗
布することができたが、実施例では２００枚を塗布可能
となった。また従来問題となっていたノズル詰まりは全
く生じなかった。
【００１１】
【発明の効果】本発明によれば、２０００ｃｐ程度まで
の高粘性コーティング剤を所望量づつ滴下させることが
できる。本発明の装置では、瓶内のコーティング剤を完
全に利用することができ、高粘性コーティング剤中に気
泡が混入することもない。また、滴下パイプ内に残留す
るロスを生じない。さらに、ノズル内で高粘性コーティ
ング剤が乾燥固化することがない。また、動力装置を必
要としないという利点もある。本発明の装置はウエハス
ピンナの表面に高粘性コーティング剤を滴下する装置と
して操作性、経済性に優れている。
の高粘性コーティング剤を所望量づつ滴下させることが
できる。本発明の装置では、瓶内のコーティング剤を完
全に利用することができ、高粘性コーティング剤中に気
泡が混入することもない。また、滴下パイプ内に残留す
るロスを生じない。さらに、ノズル内で高粘性コーティ
ング剤が乾燥固化することがない。また、動力装置を必
要としないという利点もある。本発明の装置はウエハス
ピンナの表面に高粘性コーティング剤を滴下する装置と
して操作性、経済性に優れている。
【図１】本発明の実施例の高粘性コーティング剤の滴下
装置を示す図である。
装置を示す図である。
【図２】本発明の実施例の滴下装置の取付け操作を説明
する説明図である。
する説明図である。
１ コーティイング剤 ２ 瓶 ３ 出口 １０ 保持装置 ２０ 排出装置 ２１ シール部 ２２ 円盤 ２３ 滴下パイ
プ ２４ 電磁弁 ２５ ノズル ２６ 掃除パイプ ２７ 不活性ガ
ス導入パイプ ２８ 不活性ガス ３０ ウエハス
ピンナ
プ ２４ 電磁弁 ２５ ノズル ２６ 掃除パイプ ２７ 不活性ガ
ス導入パイプ ２８ 不活性ガス ３０ ウエハス
ピンナ
Claims (3)
- 【請求項１】 高粘性コーティング剤の収納瓶を倒立さ
せて保持する保持装置と、該瓶の出口の周囲をシールす
ると共に、高粘性コーティング剤滴下パイプ及び不活性
ガス導入パイプを備えた滴下装置とからなることを特徴
とする高粘性コーティング剤の滴下装置。 - 【請求項２】 装置全体を天地反転させる反転装置を備
えたことを特徴とする請求項１記載の高粘性コーティン
グ剤の滴下装置。 - 【請求項３】 ウエハスピンナの表面に高粘性コーティ
ング剤を滴下する装置であることを特徴とする請求項１
又は２記載の高粘性コーティング剤の滴下装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30603591A JPH05138101A (ja) | 1991-11-21 | 1991-11-21 | 高粘性コーテイング剤の滴下装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30603591A JPH05138101A (ja) | 1991-11-21 | 1991-11-21 | 高粘性コーテイング剤の滴下装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05138101A true JPH05138101A (ja) | 1993-06-01 |
Family
ID=17952286
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30603591A Withdrawn JPH05138101A (ja) | 1991-11-21 | 1991-11-21 | 高粘性コーテイング剤の滴下装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05138101A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000269129A (ja) * | 1999-03-17 | 2000-09-29 | Huabang Electronic Co Ltd | フォトレジスト供給装置 |
| JP2016172587A (ja) * | 2014-04-11 | 2016-09-29 | スス マイクロテク リソグラフィー，ゲーエムベーハー | ボトル給液システム及びボトルキャップアダプター |
| JP2019116325A (ja) * | 2016-01-12 | 2019-07-18 | フレーツィオ アーゲー | 飲料を製造するためのカートリッジ受け、カートリッジシステム、飲料調製機械、および方法 |
-
1991
- 1991-11-21 JP JP30603591A patent/JPH05138101A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000269129A (ja) * | 1999-03-17 | 2000-09-29 | Huabang Electronic Co Ltd | フォトレジスト供給装置 |
| JP2016172587A (ja) * | 2014-04-11 | 2016-09-29 | スス マイクロテク リソグラフィー，ゲーエムベーハー | ボトル給液システム及びボトルキャップアダプター |
| JP2019116325A (ja) * | 2016-01-12 | 2019-07-18 | フレーツィオ アーゲー | 飲料を製造するためのカートリッジ受け、カートリッジシステム、飲料調製機械、および方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990204 |