JPH0512820A - Magnetic head - Google Patents
Magnetic headInfo
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- JPH0512820A JPH0512820A JP16060191A JP16060191A JPH0512820A JP H0512820 A JPH0512820 A JP H0512820A JP 16060191 A JP16060191 A JP 16060191A JP 16060191 A JP16060191 A JP 16060191A JP H0512820 A JPH0512820 A JP H0512820A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は磁気ヘッドに係り、特
に、磁気ディスク等の磁気記録媒体に浮上状態で情報を
記録、再生する磁気ヘッドに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head, and more particularly to a magnetic head for recording and reproducing information in a floating state on a magnetic recording medium such as a magnetic disk.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に、ハードディスクドライブの磁気
ディスク等の磁気記録媒体の移動に伴って磁気ヘッドの
媒体対向面との間に形成される空気流の圧力を利用し
て、磁気ヘッドの媒体対向面を磁気記録媒体の表面より
所定間隔だけ浮上させた状態で、情報を記録、再生する
ようにした浮上型の磁気ヘッドが多く用いられている。2. Description of the Related Art Generally, the medium facing surface of a magnetic head is utilized by utilizing the pressure of an air flow formed between the magnetic recording medium such as a magnetic disk of a hard disk drive and the medium facing surface of the magnetic head. A floating magnetic head is often used in which information is recorded and reproduced in a state where the magnetic recording medium is levitated from the surface of the magnetic recording medium by a predetermined distance.
【０００３】図２および図３はこのような従来の一般的
な磁気ヘッドを示したもので、この磁気ヘッド１は、ス
ライダ２を有しており、このスライダ２のトレーディン
グエッジには、記録、再生素子としての薄膜ヘッド３が
固着されている。また、スライダ２の媒体対向面４のリ
ーディングエッジ側には、空気の流入を円滑にするため
の傾斜したベベル５が形成されており、前記スライダ２
の媒体対向面４両側には、磁気記録媒体６の移動方向と
平行に２本のレール７が形成されている。FIGS. 2 and 3 show such a conventional general magnetic head. This magnetic head 1 has a slider 2, and the trading edge of the slider 2 is used for recording, A thin film head 3 as a reproducing element is fixed. On the leading edge side of the medium facing surface 4 of the slider 2, an inclined bevel 5 for smoothing the inflow of air is formed.
Two rails 7 are formed on both sides of the medium facing surface 4 in parallel with the moving direction of the magnetic recording medium 6.
【０００４】そして、前記従来の磁気ヘッド１は、通常
は、磁気記録媒体６に当接されており、磁気記録媒体６
への情報の記録、再生時には、図３に示すように、前記
磁気ヘッド１を、薄膜ヘッド３が設けられているトレー
ディングエッジ部分が磁気記録媒体６に最接近するよう
にして浮上させるようになっている。The conventional magnetic head 1 is normally in contact with the magnetic recording medium 6, and the magnetic recording medium 6 is
At the time of recording / reproducing information to / from the magnetic head 1, as shown in FIG. 3, the magnetic head 1 is levitated so that the trading edge portion provided with the thin film head 3 comes closest to the magnetic recording medium 6. ing.
【０００５】前記従来の磁気ヘッド１においては、前記
スライダ２の媒体対向面４を鏡面仕上げとし、前記磁気
記録媒体６に対する損傷や、空気流の円滑な流れを図る
ようになっているものであるが、前記鏡面仕上げにより
前記スライダ２の媒体対向面４が磁気記録媒体６に吸着
してしまい、前記スライダ２が磁気記録媒体６から浮上
しなくなってしまうことがあるという問題があった。In the conventional magnetic head 1, the medium facing surface 4 of the slider 2 is mirror-finished so that damage to the magnetic recording medium 6 and smooth air flow can be achieved. However, there is a problem in that the medium facing surface 4 of the slider 2 may be attracted to the magnetic recording medium 6 by the mirror finish, and the slider 2 may not float above the magnetic recording medium 6.
【０００６】前記スライダ２は、例えば、チタンカーバ
イド（ＴｉＣ）を含有するアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）系セ
ラミック材料としてのアルチック（Ａｌ2 Ｏ3 ・Ｔｉ
Ｃ）等により形成されており、このスライダ２の表面
は、図４に示すように、アルミナ９の内部にチタンカー
バイド８が混在する組成となっている。The slider 2 is made of, for example, AlTiC (Al 2 O 3 .Ti) as an alumina (Al 2 O 3 ) ceramic material containing titanium carbide (TiC).
C) or the like, and the surface of the slider 2 has a composition in which titanium carbide 8 is mixed inside alumina 9 as shown in FIG.
【０００７】そして、前記問題を解決するため、従来か
ら、図５に示すように、前記アルチックからなるスライ
ダ２の媒体対向面４にプラズマエッチング等の等方性エ
ッチングを施し、スライダ２のチタンカーバイド８部分
のみを選択的に除去して前記スライダ２の媒体対向面４
に微小な凹凸を形成することにより、前記スライダ２面
の磁気記録媒体６への吸着を防止することが行なわれて
いる。In order to solve the above-mentioned problem, conventionally, as shown in FIG. 5, isotropic etching such as plasma etching is performed on the medium facing surface 4 of the slider 2 made of AlTiC so that the titanium carbide of the slider 2 is etched. By selectively removing only eight portions, the medium facing surface 4 of the slider 2
By forming minute unevenness on the magnetic recording medium 6, it is possible to prevent the slider 2 surface from being attracted to the magnetic recording medium 6.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記従来の磁
気ヘッドにおいては、前記等方性エッチングによりチタ
ンカーバイド８を除去してスライダ２の媒体対向面４に
凹凸を形成するものであり、図５に示すように、前記等
方性エッチングにおいては、活性イオン１０がスライダ
２の媒体対向面４に対して指向性なく入射されることに
なるので、スライダ２の媒体対向面４側に露出している
チタンカーバイド８がすべて除去されることになり、前
記アルミナ９の内部に、前記チタンカーバイド８が除去
された後のスライダ２の媒体対向面４に形成される開口
１１より大きな内部空洞１２が形成されてしまうことに
なる。そのため、この内部空洞１２により、アルミナ９
の開口周縁部１３が断面鋭角状に形成される場合があ
り、この開口周縁部１３の強度が極めて弱くなってしま
い、前記スライダ２の動作等により、前記開口周縁部１
３が欠けてしまうおそれがあるという問題を有してい
る。However, in the above-mentioned conventional magnetic head, the titanium carbide 8 is removed by the isotropic etching to form the unevenness on the medium facing surface 4 of the slider 2, as shown in FIG. As shown in FIG. 3, in the isotropic etching, the active ions 10 are incident on the medium facing surface 4 of the slider 2 without directivity, and thus are exposed to the medium facing surface 4 side of the slider 2. All the titanium carbide 8 present is removed, and an internal cavity 12 larger than the opening 11 formed in the medium facing surface 4 of the slider 2 after the titanium carbide 8 is removed is formed inside the alumina 9. Will be done. Therefore, due to this internal cavity 12, alumina 9
There is a case where the opening peripheral edge portion 13 is formed to have an acute-angled cross section, and the strength of the opening peripheral edge portion 13 becomes extremely weak.
There is a problem that 3 may be chipped.
【０００９】その結果、図６に示すように、前記欠けに
よる異物１４が、前記スライダ２と磁気記録媒体６との
間に入り込んでしまい、前記スライダ２および磁気記録
媒体６の損傷を招いてしまうという問題を有している。As a result, as shown in FIG. 6, the foreign matter 14 due to the chipping enters between the slider 2 and the magnetic recording medium 6 and causes damage to the slider 2 and the magnetic recording medium 6. I have a problem.
【００１０】本発明はこれらの点に鑑みてなされたもの
であり、チタンカーバイド除去後のアルミナの開口周縁
部の欠けの発生を確実に防止することができ、スライダ
あるいは磁気記録媒体の損傷を防止することのできる磁
気ヘッドを提供することを目的とするものである。The present invention has been made in view of these points, and it is possible to reliably prevent the occurrence of chipping at the peripheral edge of the opening of alumina after removal of titanium carbide, and prevent damage to the slider or the magnetic recording medium. It is an object of the present invention to provide a magnetic head that can be manufactured.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
本発明に係る磁気ヘッドは、チタンカーバイドを含有す
るアルミナ系のセラミックからなるスライダに記録、再
生素子を搭載し、前記スライダを磁気記録媒体に空気流
を介して対向させてなる磁気ヘッドにおいて、前記磁気
ヘッドの媒体対向面に、前記チタンカーバイトを異方性
エッチングにより除去してなる微小な凹凸を形成したこ
とをその特徴とするものである。To achieve the above object, a magnetic head according to the present invention has a slider made of an alumina-based ceramic containing titanium carbide, on which a recording / reproducing element is mounted, and the slider is used as a magnetic recording medium. In the magnetic head, which is opposed to the magnetic head via an air flow, minute irregularities formed by removing the titanium carbide by anisotropic etching are formed on the medium facing surface of the magnetic head. Is.
【００１２】[0012]
【作用】本発明によれば、スライダを構成するチタンカ
ーバイドを異方性エッチングにより選択的に除去してス
ライダの媒体対向面に凹凸を形成するようにしているの
で、チタンカーバイドのうち、スライダ表面に直交する
方向のみのエッチングが行なわれることになり、前記ア
ルミナの影になる部分のエッチングが行なわれないこと
から、前記チタンカーバイドが除去された後のスライダ
の媒体対向面に形成される開口より大きな内部空洞が形
成されてしまうことがなく、アルミナの開口周縁部にお
ける強度を確保することができ、前記アルミナの欠けの
発生を確実に防止することができ、その結果、前記欠け
により発生する異物によるスライダおよび磁気記録媒体
の損傷の発生を確実に防止することができるものであ
る。According to the present invention, the titanium carbide forming the slider is selectively removed by anisotropic etching to form irregularities on the medium facing surface of the slider. Since the etching is performed only in the direction orthogonal to the above, and the portion shadowing the alumina is not etched, the etching is performed from the opening formed on the medium facing surface of the slider after the titanium carbide is removed. A large internal cavity is not formed, the strength at the peripheral edge of the opening of alumina can be secured, and the occurrence of the alumina chipping can be reliably prevented. As a result, the foreign matter generated by the chipping It is possible to reliably prevent the slider and the magnetic recording medium from being damaged by the above.
【００１３】[0013]
【実施例】以下、本発明の実施例を図１を参照して説明
する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG.
【００１４】図１は本発明に係る磁気ヘッドのスライダ
部分の一実施例を示したもので、本実施例においては、
アルミナ９の内部にチタンカーバイド８が混在するアル
チックからなる磁気ヘッド１のスライダ２の媒体対向面
４に異方性エッチングを施すことにより、前記アルチッ
クのチタンカーバイド８のみを選択的に除去して、スラ
イダ２の表面に微小な凹凸を形成するようになってい
る。この異方性エッチングには、例えば、リアクティブ
イオンエッチング、反応性イオンビームエッチング等が
適用されるものであり、前記スライダ２の媒体対向面４
に対してほぼ直交する方向からエッチングを行なうよう
になっている。FIG. 1 shows an embodiment of a slider portion of a magnetic head according to the present invention. In this embodiment,
Anisotropic etching is performed on the medium facing surface 4 of the slider 2 of the magnetic head 1 made of AlTiC in which titanium carbide 8 is mixed in the alumina 9, to selectively remove only the AlTi titanium carbide 8. Micro unevenness is formed on the surface of the slider 2. For example, reactive ion etching, reactive ion beam etching, or the like is applied to this anisotropic etching, and the medium facing surface 4 of the slider 2 is used.
Etching is performed from a direction substantially orthogonal to the.
【００１５】次に、本実施例の作用を説明する。Next, the operation of this embodiment will be described.
【００１６】本実施例においては、前記スライダ２を構
成するアルチックのチタンカーバイド８のみを選択的に
除去してスライダ２の媒体対向面４に凹凸を形成する際
に、異方性エッチングを行なうものであるが、前記異方
性エッチングにおいては、図１に示すように、スライダ
２の媒体対向面４に直交する方向性を持たせた活性イオ
ン１０を入射させるものであるため、チタンカーバイド
８のうち、スライダ２表面に直交する方向のみのエッチ
ングが行なわれることになる。In this embodiment, anisotropic etching is carried out when only the AlTiC titanium carbide 8 constituting the slider 2 is selectively removed to form irregularities on the medium facing surface 4 of the slider 2. However, in the anisotropic etching, as shown in FIG. 1, since the active ions 10 having a directivity orthogonal to the medium facing surface 4 of the slider 2 are made incident, the titanium carbide 8 of Of these, etching is performed only in the direction orthogonal to the surface of the slider 2.
【００１７】そのため、前記アルミナ９の影になる部分
のエッチングが行なわれないので、前記チタンカーバイ
ド８が除去された後のスライダ２の媒体対向面４に形成
される開口１１より大きな内部空洞１２が形成されてし
まうことがない。Therefore, since the shadow of the alumina 9 is not etched, an internal cavity 12 larger than the opening 11 formed in the medium facing surface 4 of the slider 2 after the titanium carbide 8 is removed is formed. It will not be formed.
【００１８】したがって、本実施例においては、前記ス
ライダ２の媒体対向面４に微小な凹凸を形成するように
しているので、前記スライダ２面が磁気記録媒体（図示
せず）に吸着してしまうことを確実に防止することがで
きる。Therefore, in this embodiment, since minute irregularities are formed on the medium facing surface 4 of the slider 2, the slider 2 surface is attracted to the magnetic recording medium (not shown). This can be reliably prevented.
【００１９】また、本実施例においては、前記スライダ
２の媒体対向面４の凹凸を異方性エッチングにより形成
するようにしているので、アルミナ９の内部に大きな内
部空洞１２が形成されることがなく、アルミナ９の開口
周縁部１３における強度を確保することができ、前記ア
ルミナ９の欠けの発生を確実に防止することができ、そ
の結果、前記欠けにより発生する異物によるスライダ２
および磁気記録媒体の損傷の発生を確実に防止すること
ができる。Further, in this embodiment, since the unevenness of the medium facing surface 4 of the slider 2 is formed by anisotropic etching, a large internal cavity 12 may be formed inside the alumina 9. In other words, the strength of the alumina 9 in the opening peripheral portion 13 can be secured, and the occurrence of the chipping of the alumina 9 can be reliably prevented. As a result, the slider 2 due to the foreign matter generated by the chipping
And, it is possible to reliably prevent the occurrence of damage to the magnetic recording medium.
【００２０】なお、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、必要に応じて変更することができる。The present invention is not limited to the above embodiment, but can be modified as necessary.
【００２１】[0021]
【発明の効果】以上述べたように本発明に係る磁気ヘッ
ドは、スライダの媒体対向面に微小な凹凸を形成するよ
うにしているので、スライダ面が情報記録媒体に吸着し
てしまうことを確実に防止することができる。また、ス
ライダの媒体対向面の凹凸を異方性エッチングにより形
成するようにしているので、アルミナの内部に大きな内
部空洞が形成されることがなく、アルミナの開口周縁部
における強度を確保することができ、アルミナの欠けの
発生を確実に防止することができ、その結果、前記欠け
により発生する異物によるスライダおよび磁気記録媒体
の損傷の発生を確実に防止することができる等の効果を
奏する。As described above, in the magnetic head according to the present invention, minute irregularities are formed on the medium facing surface of the slider, so that the slider surface is surely attracted to the information recording medium. Can be prevented. Further, since the unevenness on the medium facing surface of the slider is formed by anisotropic etching, a large internal cavity is not formed inside the alumina and the strength at the peripheral edge of the opening of the alumina can be secured. Therefore, it is possible to reliably prevent the chipping of the alumina, and as a result, it is possible to reliably prevent the slider and the magnetic recording medium from being damaged by the foreign matter generated by the chipping.
【図１】本発明に係る磁気ヘッドの一実施例を示すスラ
イダの媒体対向面部分の拡大断面図FIG. 1 is an enlarged sectional view of a medium facing surface portion of a slider showing an embodiment of a magnetic head according to the present invention.
【図２】従来の磁気ヘッドを示す斜視図FIG. 2 is a perspective view showing a conventional magnetic head.
【図３】図２の磁気ヘッドの情報記録、再生状態を示す
説明図3 is an explanatory diagram showing information recording and reproducing states of the magnetic head of FIG.
【図４】従来の磁気ヘッドのスライダの媒体対向面部分
の拡大断面図FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of a medium facing surface portion of a slider of a conventional magnetic head.
【図５】従来の磁気ヘッドのスライダの媒体対向面の凹
凸形成部分の拡大断面図FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of an unevenness forming portion of a medium facing surface of a slider of a conventional magnetic head.
【図６】従来の磁気ヘッドの情報記録、再生時の異物混
入状態を示す説明図FIG. 6 is an explanatory diagram showing a state in which a foreign matter is mixed during information recording and reproduction of a conventional magnetic head.
１ 磁気ヘッド ２ スライダ ４ 媒体対向面 ８ チタンカーバイド ９ アルミナ １１ 開口 １２ 内部空洞 １３ 開口周縁部 1 Magnetic Head 2 Slider 4 Medium Facing Surface 8 Titanium Carbide 9 Alumina 11 Opening 12 Internal Cavity 13 Opening Perimeter
Claims (1)
のセラミックからなるスライダに記録、再生素子を搭載
し、前記スライダを磁気記録媒体に空気流を介して対向
させてなる磁気ヘッドにおいて、前記磁気ヘッドの媒体
対向面に、前記チタンカーバイトを異方性エッチングに
より除去してなる微小な凹凸を形成したことを特徴とす
る磁気ヘッド。Claim: What is claimed is: 1. A magnetic head in which a recording / reproducing element is mounted on a slider made of alumina-based ceramic containing titanium carbide, and the slider is opposed to a magnetic recording medium via an air flow. 2. The magnetic head according to claim 1, wherein minute irregularities formed by removing the titanium carbide by anisotropic etching are formed on the medium facing surface of the magnetic head.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16060191A JP2804642B2 (en) | 1991-07-01 | 1991-07-01 | Magnetic head and method of manufacturing magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16060191A JP2804642B2 (en) | 1991-07-01 | 1991-07-01 | Magnetic head and method of manufacturing magnetic head |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0512820A true JPH0512820A (en) | 1993-01-22 |
| JP2804642B2 JP2804642B2 (en) | 1998-09-30 |
Family
ID=15718471
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16060191A Expired - Fee Related JP2804642B2 (en) | 1991-07-01 | 1991-07-01 | Magnetic head and method of manufacturing magnetic head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2804642B2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5630193A (en) * | 1994-12-16 | 1997-05-13 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Power supply system for electronic instrument |
| US5939859A (en) * | 1997-01-23 | 1999-08-17 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Battery charger with body slot and catch arrangement to prevent incorrect battery orientation |
| US20110059336A1 (en) * | 2009-09-08 | 2011-03-10 | International Business Machines Corporation | Magnetic head with textured surfaces |
-
1991
- 1991-07-01 JP JP16060191A patent/JP2804642B2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5630193A (en) * | 1994-12-16 | 1997-05-13 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Power supply system for electronic instrument |
| US5939859A (en) * | 1997-01-23 | 1999-08-17 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Battery charger with body slot and catch arrangement to prevent incorrect battery orientation |
| US20110059336A1 (en) * | 2009-09-08 | 2011-03-10 | International Business Machines Corporation | Magnetic head with textured surfaces |
| US8416526B2 (en) * | 2009-09-08 | 2013-04-09 | International Business Machines Corporation | Magnetic head with textured surfaces |
| US9011704B2 (en) | 2009-09-08 | 2015-04-21 | International Business Machines Corporation | Methods for texturing magnetic head surface |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2804642B2 (en) | 1998-09-30 |
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