JPH05113578A - アクテイブマトリクス表示装置 - Google Patents

アクテイブマトリクス表示装置

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JPH05113578A
JPH05113578A JP27292591A JP27292591A JPH05113578A JP H05113578 A JPH05113578 A JP H05113578A JP 27292591 A JP27292591 A JP 27292591A JP 27292591 A JP27292591 A JP 27292591A JP H05113578 A JPH05113578 A JP H05113578A
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JP
Japan
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electrode
active matrix
substrate
electrodes
display device
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Withdrawn
Application number
JP27292591A
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English (en)
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Takao Nomura
孝夫 野村
Masahiro Adachi
昌浩 足立
Tomoka Tamura
友香 田村
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Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 アクティブマトリクス表示装置の有効表示部
におけるディスクリネーションの発生を防止し、表示品
位を高くする。 【構成】 隣合う絵素電極17、17間の隙間に対して
真向いにある対向電極42部分が、絵素電極17の形成
されたアクティブマトリクス基板30側に突出した凸状
に形成され、その凸状部42aと絵素電極17との間の
距離L1が、隣合う絵素電極17、17間の離隔距離L
2と同等又はそれよりも短い寸法に設定されている。こ
のため、絵素電極17と対向電極42との間に働く電界
が強まり、隣合う絵素電極17、17間で働く電界の大
きさが相対的に小さくなる。よって、絵素電極17の端
部において生じる電気力線60がアクティブマトリクス
基板30に対して垂直な理想的な形に近くなり、有効表
示部におけるディスクリネーションの発生が防止され
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、薄膜トランジスタ(以
下ではTFTと称する)を用いたアクティブマトリクス
表示装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のアクティブマトリクス表示装置
は、図8(A)、図6及び図7に示すように構成された
ものが知られている。この表示装置は、図8(A)に示
すようにアクティブマトリクス基板150と、この基板
150に対向配設した対向基板160と、両基板150
と160の間に挟まれ、シール樹脂108にて封入され
た液晶層110とを備える。
【0003】アクティブマトリクス基板150は、ガラ
ス等からなる第1の絶縁性基板101上に、図6に示す
ようにTFT102がマトリクス状に設けられ、このT
FT102には走査信号を供給するゲートバス配線11
4及び映像信号を供給するソースバス配線115が接続
されている。ゲートバス配線114とソースバス配線1
15は、その途中の複数箇所が各TFT102のゲート
電極とソース電極を構成し、端部が前記シール樹脂10
8の外側で電極端子に接続されている。
【0004】このアクティブマトリクス基板150の上
の全面には、図8(A)に示すように保護膜109が形
成され、この保護膜109にはTFT102のドレイン
電極上部にコンタクトホール111が設けられている。
更に、保護膜109の上には、コンタクトホール111
を介して各TFT102のドレイン電極と接続したマト
リクス状の絵素電極103が設けられ、その上に通常ポ
リイミド膜からなる配向膜104が形成されている。配
向膜104はラビング法によって配向処理が施されてい
る。
【0005】一方、対向基板160は、図8(A)に示
すようにガラス等からなる第2の絶縁性基板105上に
遮光膜120が形成されている。この遮光膜120の形
成は、クロム膜をスパッタリング法で成膜し、図7に斜
線で示した形状にパターニングして行われる。この遮光
膜120はアクティブマトリクス基板150からの漏れ
光を遮断する機能を果たすものであり、これを部分的に
開口して形成された開口部121が有効表示部となる。
このような遮光膜120の上には、図8(A)に示すよ
うに更に透明電極からなる対向電極106がほぼ全面に
形成され、対向電極106上には配向処理が施された配
向膜107が形成されている。
【0006】かかる対向基板160と上記アクティブマ
トリクス基板150の間には、上述した液晶層110が
シール樹脂108によって封入され、更にスペーサとし
てのプラスチックビーズ170が挟まれている。このプ
ラスチックビーズ170により両基板150と160の
間隔が一定に保たれる。
【0007】このように構成されたアクティブマトリク
ス表示装置は、液晶層110を挟む絵素電極103と対
向電極106との間でコンデンサが形成されており、駆
動は次のようにして行われる。図6における最上段のゲ
ートバス配線114から順次走査パルス信号を入力し、
ゲートバス配線114に接続されたそれぞれのTFT1
02をオン状態とする。この走査パルス信号に同期し
て、ソースバス配線115から映像信号を入力すると、
上記コンデンサを形成する絵素電極103と対向電極1
06とに電圧が印加され、液晶層110内の液晶分子の
配向変化が起こり、表示が行われる。
【0008】上記配向変化を具体的に説明する。電圧を
印加しないときには、図8(B)に示すように液晶層1
10の液晶分子130は分子軸を一定方向に向けて、例
えば液晶層110の誘電率異方性が正の場合には絵素電
極103の表面に対してプレティルト角θをもって配向
している。ところが、電圧を印加すると、液晶分子13
0の分子軸は絵素電極103の表面に対して略垂直に配
向状態を変える。この配向変化により表示が行われる。
上記プレティルト角θは、電圧印加時に液晶分子130
の配向変化の方向を同一方向に揃え、均質な表示を行う
ために設定されている。
【0009】なお、上記誘電率異方性が負の場合には、
液晶分子130の分子軸の方向は、電圧が印加されたと
きと印加されないときとで逆になるが、液晶分子130
は同様に配向状態を変える。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来のアクティブマトリクス表示装置の場合は、図9(ゲ
ートバス配線114を横切る部分の断面図)に示すよう
に、絶縁性の保護膜109を挟んでゲートバス配線11
4と絵素電極103とが重なる構造となし、これにより
絵素電極の面積の増大化などを図るが、その一方で隣合
う絵素電極103、103の離隔距離L2が狭くなって
いる。
【0011】このように上記離隔距離L2が狭くなる
と、隣接する2つの絵素電極103、103間で電位が
相互に影響を及ぼし合い易くなる。このため、特に隣接
する絵素電極電位の極性が異なる場合、絵素電極103
の端部における液晶層110中の電界は、矢印で示す電
気力線132が第1の絶縁性基板101に対して垂直な
望ましい形から歪んで、基板101に平行な横方向成分
が強くなる。なお、絵素電極103の端部以外では、隣
接する絵素電極103、103間で電位が相互に影響を
及ぼしにくいので、前記コンデンサを構成する一方の絵
素電極103に向いて、或は他方の対向電極106に向
いて、電気力線132が形成される。
【0012】このように電気力線132に歪が発生する
と、図10に示すように、絵素電極103の端部の矢印
133で示す部分では、液晶分子130が正常に配向せ
ずにディスクリネーションが発生する。このディスクリ
ネーションが発生すると、その発生部分では液晶分子1
30による光制御が正常に行われず、コントラストの低
下等が生じる。このとき、ディスクリネーションの発生
する部分が、前記遮光膜120にて一部覆われた状態で
あるため、開口部121にて定まる有効表示部にディス
クリネーションの発生した部分が現れ、表示品位が損な
われるという問題があった。
【0013】本発明はこのような従来技術の課題を解決
するものであり、有効表示部におけるディスクリネーシ
ョンの発生を防止した表示品位の高いアクティブマトリ
クス表示装置を提供することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明のアクティブマト
リクス表示装置は、液晶層を挟んで対向配設された一対
の絶縁性基板の一方の内面に絵素電極が間隔を開けてマ
トリクス状に配列され、他方の基板の内面に対向電極が
形成されたアクティブマトリクス表示装置であって、該
他方の基板に形成された対向電極の、隣合う絵素電極間
の隙間に対して真向いにある部分が、該一方の基板側に
突出した凸状に形成され、その凸状部と絵素電極との間
の距離が、隣合う絵素電極間の離隔距離と同等又はそれ
よりも短い寸法に設定されており、そのことにより上記
目的が達成される。
【0015】
【作用】本発明にあっては、隣合う絵素電極間の隙間に
対して真向いにある対向電極部分が、絵素電極の形成さ
れた基板側に突出した凸状に形成され、その凸状部と絵
素電極との間の距離が、隣合う絵素電極間の離隔距離と
同等又はそれよりも短い寸法に設定されている。このた
め、絵素電極と対向電極との間に働く電界が強まり、隣
合う絵素電極間で働く電界の大きさが相対的に小さくな
る。よって、絵素電極端部において生じる電気力線が基
板に対して垂直な理想的な形に近くなり、表示部におけ
るディスクリネーションの発生が防止される。
【0016】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。
【0017】図1は本実施例のアクティブマトリクス表
示装置の断面図である。この表示装置は、アクティブマ
トリクス基板30と、この基板30に対向配設した対向
基板40と、両基板30と40の間に封入された液晶層
50とを備える。アクティブマトリクス基板30は従来
と同一構造に形成されているが、対向基板40は従来と
は異ならせて形成されている。
【0018】次に、本実施例のアクティブマトリクス表
示装置の詳細な構造を製造工程に従って説明する。
【0019】アクティブマトリクス基板30は、図4
(A)〜(E)及び図5(A)〜(E)(図4(A)〜
(E)のY−Y線による断面図)に示すようにして形成
される。即ち、図4(A)及び図5(A)に示すよう
に、ガラス基板10上の全面にTa等からなる金属薄膜
を形成し、パターニングすることによりゲートバス配線
2及びゲートバス支線2aを形状した。ゲートバス支線
2aの先端部は、後に形成されるTFT1(図4(D)
参照)のゲート電極として機能する。なお、この例では
金属薄膜の形成にはスパッタリング法を使用し、パター
ニングにはフォトリソグラフィ法を使用した。
【0020】次に、このガラス基板10上の全面に、例
えばプラズマCVD法により窒化シリコン膜、ノンドー
プアモルファスシリコン膜、n+アモルファスシリコン
膜を順次形成し、上側2層のアモルファスシリコン膜及
びn+アモルファスシリコン膜をパターニングした。上
記窒化シリコン膜は図5(B)に示すようにゲート絶縁
膜12になる。パターニングされたアモルファスシリコ
ン膜及びn+アモルファスシリコン膜は、図4(B)に
示すようにゲートバス支線2aの先端部に形成された半
導体層13及びコンタクト層14となる。
【0021】次に、この基板10上の全面にTi等から
なる金属薄膜を形成し、パターニングを行い、これによ
り図4(C)及び図5(C)に示す形状のソース電極1
5、ドレイン電極16及びソースバス配線20を形成し
た。このとき、コンタクト層14の中央部も同時にエッ
チング除去して、ソース電極15の下方の部分と、ドレ
イン電極16の下方の部分とを分割する。以上によりT
FT1が完成する。
【0022】次に、この基板10上の全面に窒化シリコ
ン膜をプラズマCVD法によって形成し、パターニング
を行って、図5(D)に示すようにドレイン電極16上
部のコンタクトホール19を除く全面に保護膜18を形
成した。この保護膜18の形成は、例えばスピンナーで
ポリイミドを塗布し、焼成パターニングすることにより
行った。
【0023】次に、この基板10上の全面にITO膜を
形成し、パターニングを行って、図5(E)に示す形状
の絵素電極17を形成した。この絵素電極17は、コン
タクトホール19を介してTFT1のドレイン電極16
と接続される。更に、その上に配向膜24を形成し、ア
クティブマトリクス基板30が完成する。
【0024】一方、上記アクティブマトリクス基板30
と組合せられる対向基板40は、図2(A)〜(B)及
び図3(A)〜(B)(図2(A)〜(B)のX−X線
による断面図)に示すように形成される。先ず、図2
(A)及び図3(A)に示すように、ガラス基板41上
にクロム膜をスパッタリング法で成膜し、パターニング
を行って開口部72を有する遮光膜71を形成する。次
に、ガラス基板41上に窒化シリコン膜をプラズマCV
D法によって形成し、パターニングを行って図3(B)
に示すごとく開口部72を除く遮光膜71部分の上に凸
部70を形成した。この凸部70は、隣合う2つの絵素
電極17、17間の隙間の真向いに配設される。
【0025】次に、この基板41上の全面にITO等か
らなる対向電極42を形成し、更に配向膜43を形成し
た。これにより対向基板40が完成する。
【0026】以上のようにして作製されたアクティブマ
トリクス基板30及び対向基板40は、各基板30、4
0に備わった配向膜24、43が共にラビング処理を施
された後、貼合わされる。ラビング処理は、両基板3
0、40の間に封入される液晶層50の液晶分子のプレ
ティルト角を設定するためになされる。また、貼合わせ
る際、ソースバス配線20、ゲートバス配線2はシール
樹脂の外側の電極端子に接続されている。更に、両基板
30、40間に液晶層50が封入される。これにより本
実施例のアクティブマトリクス表示装置が完成する。
【0027】したがって、本実施例のアクティブマトリ
クス表示装置においては、図1に示すように、アクティ
ブマトリクス基板30に形成された隣合う2つの絵素電
極17、17間の隙間に対して凸部70が真向いに存在
する。即ち、凸部70の上に形成された対向電極42
は、凸部70の箇所がアクティブマトリクス基板30側
に突出した凸状部42aを有し、この凸状部42aと前
記隙間とが対向する。これにより、絵素電極17と対向
電極42との間の距離L1を短くすることができる。
【0028】このとき、隣合う2つの絵素電極17、1
7の離隔距離L2に対し前記距離L1を同一又はそれよ
りも短くすると、絵素電極17の端部において絵素電極
17と対向電極42との間に働く電界が強まり、隣合う
絵素電極17、17間で働く電界の大きさが相対的に小
さくなる。よって、液晶層50の絵素電極端部において
生じる電気力線60が基板30又は40に対して垂直な
理想的な形に近くなり、有効表示部におけるディスクリ
ネーションの発生が防止される。これにより表示品位を
高めることが可能となる。
【0029】
【発明の効果】本発明による場合には、有効表示部での
ディスクリネーションの発生を防止できるので、コント
ラストが良好で、高い表示品位を有するアクティブマト
リクス表示装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施例のアクティブマトリクス表示装置の断
面図である。
【図2】(A)及び(B)は共に対向基板の製造工程を
示す平面図である。
【図3】(A)及び(B)は共に図2(A)及び図2
(B)のX−X線による断面図である。
【図4】(A)、(B)、(C)、(D)及び(E)は
共にアクティブマトリクス基板の製造工程を示す平面図
である。
【図5】(A)、(B)、(C)、(D)及び(E)は
共に図4(A)、図4(B)、図4(C)、図4(D)
及び図4(E)のY−Y線による断面図である。
【図6】従来のアクティブマトリクス基板を示す平面図
である。
【図7】従来の対向基板の平面図である。
【図8】(A)は従来のアクティブマトリクス表示装置
の断面図、(B)は従来のアクティブマトリクス表示装
置における液晶分子の配向方向を示す断面図である。
【図9】従来のアクティブマトリクス表示装置における
電気力線の方向を示す断面図である。
【図10】ディスクリネーションが有効表示部上に発生
した状態を示す断面図である。
【符号の説明】
1 TFT 10 ガラス基板 17 絵素電極 30 アクティブマトリクス基板 40 対向基板 41 ガラス基板 42 対向電極 42a 凸状部 50 液晶層 70 凸部 L1 絵素電極と対向電極との間の距離 L2 隣合う2つの絵素電極の離隔距離

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】液晶層を挟んで対向配設された一対の絶縁
    性基板の一方の内面に絵素電極が間隔を開けてマトリク
    ス状に配列され、他方の基板の内面に対向電極が形成さ
    れたアクティブマトリクス表示装置であって、 該他方の基板に形成された対向電極の、隣合う絵素電極
    間の隙間に対して真向いにある部分が、該一方の基板側
    に突出した凸状に形成され、その凸状部と絵素電極との
    間の距離が、隣合う絵素電極間の離隔距離と同等又はそ
    れよりも短い寸法に設定されたアクティブマトリクス表
    示装置。
JP27292591A 1991-10-21 1991-10-21 アクテイブマトリクス表示装置 Withdrawn JPH05113578A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6683592B1 (en) 1999-08-20 2004-01-27 Seiko Epson Corporation Electro-optical device
KR100462012B1 (ko) * 1996-12-19 2005-04-13 삼성전자주식회사 박막트랜지스터형액정표시소자
JP2020064192A (ja) * 2018-10-17 2020-04-23 日本放送協会 液晶光変調器、液晶表示装置、およびホログラフィ装置

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