JPH05106562A - 進行波管壁式真空ポンプ - Google Patents
進行波管壁式真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH05106562A JPH05106562A JP29479491A JP29479491A JPH05106562A JP H05106562 A JPH05106562 A JP H05106562A JP 29479491 A JP29479491 A JP 29479491A JP 29479491 A JP29479491 A JP 29479491A JP H05106562 A JPH05106562 A JP H05106562A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- outer tube
- axial direction
- vacuum pump
- type vacuum
- actuating member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 油を使用することなく耐久性に優れ気体を確
実に排気できる。 【構成】 円筒又は円柱状の固定軸１の外周に弾性材か
らなる外管２を圧着嵌装し、該外管２の外方に、該外管
２を軸長方向に進行する波状に拡張或いは縮小させる作
動部材３を多数配設し、これら作動部材３の作動により
前記外管２と固定軸１との間に軸長方向に波状に進行す
る空間を形成して気体を移送する。
実に排気できる。 【構成】 円筒又は円柱状の固定軸１の外周に弾性材か
らなる外管２を圧着嵌装し、該外管２の外方に、該外管
２を軸長方向に進行する波状に拡張或いは縮小させる作
動部材３を多数配設し、これら作動部材３の作動により
前記外管２と固定軸１との間に軸長方向に波状に進行す
る空間を形成して気体を移送する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体の製造その他に使
用される油封を使用しないドライ真空ポンプに関する。
用される油封を使用しないドライ真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、油封を使用しないで大気圧まで圧
縮できるドライ真空ポンプとしては、回転式と往復動式
に大別され、前者の回転式には高速回転する渦流式や遠
心式及びねじ溝式があり、又低速回転するものにはルー
ツ式やクロー式がある。又後者の往復動式にはピストン
式やダイヤフラム式のものが知られている。
縮できるドライ真空ポンプとしては、回転式と往復動式
に大別され、前者の回転式には高速回転する渦流式や遠
心式及びねじ溝式があり、又低速回転するものにはルー
ツ式やクロー式がある。又後者の往復動式にはピストン
式やダイヤフラム式のものが知られている。
【０００３】一方弾性体を用いるぜん動型ポンプには図
５の如く波形に弾性体を押圧変形させ中心部に空間を有
するようにしたもの或いは図６の如く波形の弾性体を図
７の如く対向する内面が当接するように扁平に押圧変形
させる式のものがある。
５の如く波形に弾性体を押圧変形させ中心部に空間を有
するようにしたもの或いは図６の如く波形の弾性体を図
７の如く対向する内面が当接するように扁平に押圧変形
させる式のものがある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし上記回転式のも
のにおいては、回転体と固定壁との間隙を小さくする必
要があり、その加工精度を向上することが困難で、特に
高速回転式のものは回転体の軸長方向に多数の段数を設
けるため、該回転体が回転中の熱膨張により固定壁と接
触する事故が発生し易く、一方低速回転式のものは回転
体の形状が複雑であり、加工精度の点で問題を有してい
た。
のにおいては、回転体と固定壁との間隙を小さくする必
要があり、その加工精度を向上することが困難で、特に
高速回転式のものは回転体の軸長方向に多数の段数を設
けるため、該回転体が回転中の熱膨張により固定壁と接
触する事故が発生し易く、一方低速回転式のものは回転
体の形状が複雑であり、加工精度の点で問題を有してい
た。
【０００５】又往復動式のものは吸排気用の弁を有する
ため該弁或いはピストンとシリンダの摺動面或いはダイ
ヤフラムの耐久性において信頼性を欠く問題を有してい
た。
ため該弁或いはピストンとシリンダの摺動面或いはダイ
ヤフラムの耐久性において信頼性を欠く問題を有してい
た。
【０００６】又図５に示すぜん動型ポンプにおいては気
体の逆流が大きく高真空ポンプに適用することが困難で
あり、又図６に示すぜん動型ポンプは気体を排気するこ
とは可能であるが図７の矢印Ｆの方向に押圧した場合開
口部の両端に間隙ａが発生し、この間隙を少くするため
大きな圧力で弾性体を押圧すると長時間の使用に際して
該弾性体の側面に亀裂が生じ気体がもれる等の問題を有
していた。
体の逆流が大きく高真空ポンプに適用することが困難で
あり、又図６に示すぜん動型ポンプは気体を排気するこ
とは可能であるが図７の矢印Ｆの方向に押圧した場合開
口部の両端に間隙ａが発生し、この間隙を少くするため
大きな圧力で弾性体を押圧すると長時間の使用に際して
該弾性体の側面に亀裂が生じ気体がもれる等の問題を有
していた。
【０００７】本発明はこれらの問題点を解決し、耐久性
に優れ気体を確実に排気できる進行波管壁式ドライ真空
ポンプを提供することを目的とする。
に優れ気体を確実に排気できる進行波管壁式ドライ真空
ポンプを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明は円筒又は円柱状の固定軸の外周に弾性材か
らなる外管を圧着嵌装し、該外管の外方に、該外管を軸
長方向に進行する波状に拡張或いは縮小させる作動部材
を多数配設したことを特徴とする。
め、本発明は円筒又は円柱状の固定軸の外周に弾性材か
らなる外管を圧着嵌装し、該外管の外方に、該外管を軸
長方向に進行する波状に拡張或いは縮小させる作動部材
を多数配設したことを特徴とする。
【０００９】
【作用】作動部材に、軸長方向に進行する波形の拡張と
縮小を作用させると外管が軸長方向に進行する波形に変
形し、かくて該外管と固定軸との間に軸長方向に進行す
る波形の空間が形成されて気体を軸長方向に移送する。
縮小を作用させると外管が軸長方向に進行する波形に変
形し、かくて該外管と固定軸との間に軸長方向に進行す
る波形の空間が形成されて気体を軸長方向に移送する。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の１実施例を図１乃至図３によ
り説明する。
り説明する。
【００１１】１は円筒又は円柱状のアルミ材等からなる
固定軸を示し、該固定軸１は直線状に形成されている。
固定軸を示し、該固定軸１は直線状に形成されている。
【００１２】２は外管を示し、該外管２は合成樹脂、合
成ゴム又は極薄板の弾性金属板からなり、前記固定軸１
の外周に圧着嵌装されている。
成ゴム又は極薄板の弾性金属板からなり、前記固定軸１
の外周に圧着嵌装されている。
【００１３】３…３は作動部材を示し、該作動部材３は
例えば圧電アクチュエータからなり、その内方端３ａは
図２の如く前記外管２の外面に固着し放射状に且つ軸長
方向に所定の間隔ｌ1 、ｌ2 …ｌn を有して配設される
と共に、その外方端３ｂは前記固定軸１と同心の外筐４
の内面４ａに固着されている。
例えば圧電アクチュエータからなり、その内方端３ａは
図２の如く前記外管２の外面に固着し放射状に且つ軸長
方向に所定の間隔ｌ1 、ｌ2 …ｌn を有して配設される
と共に、その外方端３ｂは前記固定軸１と同心の外筐４
の内面４ａに固着されている。
【００１４】尚５…５は前記圧電アクチュエータ３…３
を作動させる入力線を示す。
を作動させる入力線を示す。
【００１５】次に上記構成からなる１実施例の作動を説
明する。
明する。
【００１６】各圧電アクチュエータ３において軸長方向
に従って位相を進めた状態の正弦波の電圧をそれぞれ印
加すると、外管２は軸長方向に進行する波形に変形し、
かくて該外管２と固定軸１との間に、軸長方向に進行す
る波形の空間が形成されて気体を軸長方向に移送し排気
する。
に従って位相を進めた状態の正弦波の電圧をそれぞれ印
加すると、外管２は軸長方向に進行する波形に変形し、
かくて該外管２と固定軸１との間に、軸長方向に進行す
る波形の空間が形成されて気体を軸長方向に移送し排気
する。
【００１７】次に図３を参照して排気速度を計算する。
【００１８】即ち、外管の振幅をａ（ｍ）、進行波伝播
速度をＶ（m/s)、波長をＬ（ｍ）、固定軸の半径をＲ
（ｍ）とすると排気速度Ｓ（m3/s）は、Ｓ＝２πａＲＶ
で示される。
速度をＶ（m/s)、波長をＬ（ｍ）、固定軸の半径をＲ
（ｍ）とすると排気速度Ｓ（m3/s）は、Ｓ＝２πａＲＶ
で示される。
【００１９】そこで例えば、Ｖ＝ 10(m/s)、Ｒ＝ 5×10
-2（ｍ）、ａ＝ 0.1×10-3（ｍ）とすると、Ｓ＝0.0003
（m3/s）＝0.3(L/s)となる。
-2（ｍ）、ａ＝ 0.1×10-3（ｍ）とすると、Ｓ＝0.0003
（m3/s）＝0.3(L/s)となる。
【００２０】波の周波数をｆ（HZ）とすればｆ＝ V/Lで
あり、Ｌ＝0.1(ｍ）とすると周波数は１００HZとなる。
あり、Ｌ＝0.1(ｍ）とすると周波数は１００HZとなる。
【００２１】図４は本発明の第２実施例を示し、前記外
管２を弾力を有する磁性薄鉄板とし作動部材３を電磁コ
イル６…６で形成してあり、該電磁コイル６の内方端６
ａは前記外管２と間隙ｔからなり、外方端６ｂは前記筐
体４に固定されている。
管２を弾力を有する磁性薄鉄板とし作動部材３を電磁コ
イル６…６で形成してあり、該電磁コイル６の内方端６
ａは前記外管２と間隙ｔからなり、外方端６ｂは前記筐
体４に固定されている。
【００２２】そして電磁コイル６…６に軸長方向に従っ
て位相を進めた正弦波電圧を印加することにより、該電
磁コイル６…６の吸引力が軸長方向に従って位相を進め
た正弦波状に増減し該外管２を軸方向に進行する波状に
変位させることができる。
て位相を進めた正弦波電圧を印加することにより、該電
磁コイル６…６の吸引力が軸長方向に従って位相を進め
た正弦波状に増減し該外管２を軸方向に進行する波状に
変位させることができる。
【００２３】尚、作動部材３は圧電アクチュエータ、電
磁コイルの他、機械的又は電気的に作動する部材を使用
することは可能である。
磁コイルの他、機械的又は電気的に作動する部材を使用
することは可能である。
【００２４】
【発明の効果】上記のように本発明によれば、固定軸の
外周に弾性材からなる外管を圧着嵌装し、該外管の外方
に、該外管を軸方向に進行する波状に拡張或いは縮小さ
せる作動部材を多数配設したので、該外管と前記固定軸
との間に軸長方向に進行する波状の空間が形成されて該
空間により気体の移送が可能となって排気でき、ドライ
系の耐久性に優れた真空ポンプを得ることができる効果
を有する。
外周に弾性材からなる外管を圧着嵌装し、該外管の外方
に、該外管を軸方向に進行する波状に拡張或いは縮小さ
せる作動部材を多数配設したので、該外管と前記固定軸
との間に軸長方向に進行する波状の空間が形成されて該
空間により気体の移送が可能となって排気でき、ドライ
系の耐久性に優れた真空ポンプを得ることができる効果
を有する。
【図１】本発明の１実施例の基本構成を示す断面図であ
る。
る。
【図２】図１のII-II 截断面図である。
【図３】本発明の真空ポンプのポンプ作用を説明する説
明図である。
明図である。
【図４】本発明の他の実施例の基本構成を示す断面図で
ある。
ある。
【図５】
【図６】従来のぜん動型ポンプの原理を示す断面図であ
る。
る。
【図７】図６のVII-VII 截断面図である。
１ 固定軸 ２ 外管 ３ 作動部材 ４ 外筐
Claims (3)
- 【請求項１】 円筒又は円柱状の固定軸の外周に弾性材
からなる外管を圧着嵌装し、該外管の外方に、該外管を
軸長方向に進行する波状に拡張或いは縮小させる作動部
材を多数配設したことを特徴とする進行波管壁式真空ポ
ンプ。 - 【請求項２】 前記作動部材は圧電アクチュエータから
なり、その内方端を前記外管の外面に固着すると共に外
方端を該外管の外方の筒状の外筐の内面に固着し、前記
作動部材に軸長方向に順次位相の相違する正弦波電圧を
印加することを特徴とする請求項１に記載の進行波管壁
式真空ポンプ。 - 【請求項３】 前記外管を磁性薄肉材により形成すると
共に前記作動部材を電磁石により形成し、該作動部材の
外方端を前記外管の外方の筒状の外筐に固着すると共に
内方端を前記外管の外面から所定の間隔を存するように
形成し、前記作動部材に軸長方向に順次位相の相違する
正弦波電圧を印加することを特徴とする請求項１に記載
の進行波管壁式真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29479491A JPH05106562A (ja) | 1991-10-16 | 1991-10-16 | 進行波管壁式真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29479491A JPH05106562A (ja) | 1991-10-16 | 1991-10-16 | 進行波管壁式真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05106562A true JPH05106562A (ja) | 1993-04-27 |
Family
ID=17812362
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29479491A Withdrawn JPH05106562A (ja) | 1991-10-16 | 1991-10-16 | 進行波管壁式真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05106562A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008508457A (ja) * | 2004-07-28 | 2008-03-21 | オットー・ボック・ヘルスケア・アイピー・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニー・カーゲー | 可動な壁装置を有するポンプおよびこのタイプのポンプの使用 |
| WO2009050998A1 (ja) * | 2007-10-15 | 2009-04-23 | Sanyo Electric Co., Ltd. | 流体移送装置及びこれを具えた燃料電池 |
| JP2014015930A (ja) * | 2012-07-11 | 2014-01-30 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | ポンプモジュール並びに容積形ポンプ |
-
1991
- 1991-10-16 JP JP29479491A patent/JPH05106562A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008508457A (ja) * | 2004-07-28 | 2008-03-21 | オットー・ボック・ヘルスケア・アイピー・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニー・カーゲー | 可動な壁装置を有するポンプおよびこのタイプのポンプの使用 |
| WO2009050998A1 (ja) * | 2007-10-15 | 2009-04-23 | Sanyo Electric Co., Ltd. | 流体移送装置及びこれを具えた燃料電池 |
| JP2014015930A (ja) * | 2012-07-11 | 2014-01-30 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | ポンプモジュール並びに容積形ポンプ |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990107 |