JPH049613A - 磁気エンコーダ - Google Patents
磁気エンコーダInfo
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- JPH049613A JPH049613A JP11145290A JP11145290A JPH049613A JP H049613 A JPH049613 A JP H049613A JP 11145290 A JP11145290 A JP 11145290A JP 11145290 A JP11145290 A JP 11145290A JP H049613 A JPH049613 A JP H049613A
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 12
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 8
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 abstract description 5
- 239000003973 paint Substances 0.000 abstract description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明は、回転角度や直線変位を検出する磁気エンコ
ーダに関するものである。
ーダに関するものである。
「従来の技術」
周知のように、回転角度を検出するための磁気ロータリ
ーエンコーダは、回転軸に固定された円盤状の磁気記録
媒体に、その円周方向に沿って原点トラックとピッチ信
号トラックが設けられ、原点トラックの特定の１箇所に
は原点信号が記録され、また、ピッチ信号トラックには
一定間隔でピッチ信号が記録されている。そして、ピッ
チ信号トラックから磁気センサによって検出されたピッ
チ信号に基づいて得られるパルスをカウントすると共に
、原点トラックから別の磁気センサによって検出された
原点信号によってリセットされるカウンタを設け、この
カウンタのカウント値を、回転軸の回転角度に対応した
角度データとして出力するようになっている。
ーエンコーダは、回転軸に固定された円盤状の磁気記録
媒体に、その円周方向に沿って原点トラックとピッチ信
号トラックが設けられ、原点トラックの特定の１箇所に
は原点信号が記録され、また、ピッチ信号トラックには
一定間隔でピッチ信号が記録されている。そして、ピッ
チ信号トラックから磁気センサによって検出されたピッ
チ信号に基づいて得られるパルスをカウントすると共に
、原点トラックから別の磁気センサによって検出された
原点信号によってリセットされるカウンタを設け、この
カウンタのカウント値を、回転軸の回転角度に対応した
角度データとして出力するようになっている。
「発明が解決しようとする課題」
ところで、上述した磁気ロータリーエンコーダを、例え
ば、産業用ロボットに組み込んでアームの動作角度を検
出する場合、単にアームの動作角度を検出する以外に、
アームが所定の回転角度に到達する毎に、インデックス
パルスを得るよ“うにしたいという要求がある。そこで
、従来は、ディジタル比較器によってカウンタのカウン
ト値か所定値に到達し、たことを検出して、インデック
スパルスを出ノＪ（、ていた。し、かしなから、電源投
入時等、カウンタが原点信号によ、ってリセットされる
以前の状態においては、カウンタがリセットされ、所定
値までカウントした後でなければインデックスパルスが
出力されないため、アームを一度原点位置まで戻し、た
後、インデックスパルスが得られる位置まで動かさなけ
ればならず、即座にインデックスパルスが得られないと
いう問題があった。この場合、磁気記録媒体ζこ新たに
インデックスパルス用のトラックを設けるごとも考えら
れるが、装置全体の人形化が避けられないという問題が
生じる。
ば、産業用ロボットに組み込んでアームの動作角度を検
出する場合、単にアームの動作角度を検出する以外に、
アームが所定の回転角度に到達する毎に、インデックス
パルスを得るよ“うにしたいという要求がある。そこで
、従来は、ディジタル比較器によってカウンタのカウン
ト値か所定値に到達し、たことを検出して、インデック
スパルスを出ノＪ（、ていた。し、かしなから、電源投
入時等、カウンタが原点信号によ、ってリセットされる
以前の状態においては、カウンタがリセットされ、所定
値までカウントした後でなければインデックスパルスが
出力されないため、アームを一度原点位置まで戻し、た
後、インデックスパルスが得られる位置まで動かさなけ
ればならず、即座にインデックスパルスが得られないと
いう問題があった。この場合、磁気記録媒体ζこ新たに
インデックスパルス用のトラックを設けるごとも考えら
れるが、装置全体の人形化が避けられないという問題が
生じる。
この発明は上述した事情に鑑みてなされたもので、磁気
記録媒体の変位を検出するためのカウンタの動作に関係
ｔｊり、任意の位置でインデックスパルスを発生（るこ
とができ、さらに装置全体を小形に構成することがでΔ
る磁気エンコーダを提供することを目的と１．でいる。
記録媒体の変位を検出するためのカウンタの動作に関係
ｔｊり、任意の位置でインデックスパルスを発生（るこ
とができ、さらに装置全体を小形に構成することがでΔ
る磁気エンコーダを提供することを目的と１．でいる。
「課題を解決Ａるｔコめの手段１
この発明は、回転自在もシ、＜は直線移動自在に支持さ
れた磁気記録媒体と、前記磁気記録媒体に記録された磁
気情報を読み出して該磁気記録媒体の変位を検出する変
位検出手段と、前記磁気記録媒体上の任意の箇所に、光
の反射率を異ならせることによって記録されたインデッ
クスマー・りと、前記インデックスマークを光学的に検
出するインデックスマーク検出手段とを具備４′ること
を特徴としている。
れた磁気記録媒体と、前記磁気記録媒体に記録された磁
気情報を読み出して該磁気記録媒体の変位を検出する変
位検出手段と、前記磁気記録媒体上の任意の箇所に、光
の反射率を異ならせることによって記録されたインデッ
クスマー・りと、前記インデックスマークを光学的に検
出するインデックスマーク検出手段とを具備４′ること
を特徴としている。
「作用」
上述した構成ζζよれば、磁気記録媒体上、の任意の箇
所にインデックスマークを書き込むごとによって、磁気
記録媒体の変位を検出する変位検出手段の動作に一切関
係なく、任意の位置でインデックスパルスが得られる。
所にインデックスマークを書き込むごとによって、磁気
記録媒体の変位を検出する変位検出手段の動作に一切関
係なく、任意の位置でインデックスパルスが得られる。
［゛実施例」
以下、図面を参照し１、この発明の詳細な説明する１、
第１図はこの発明の一実施例の構成を示律゛図である。
この図において、■は図示ゼぬベアリングによって、図
に示す矢印Ｍ方向へ回転自在に支持されたシャフトであ
り、このシャフト１には円柱状の磁気記録媒体２が取り
付けられている。この磁気記録媒体２は、第２図に示す
ように、円柱状のベース２ａと、このベース２ａの外周
面上に形成された磁性層２ｂと、この磁性層２ｂの表面
に形成された非磁性層２ｃとから構成されている。この
場合、非磁性層２ｃはＡｆ２もしくはＣｒ等の金属を蒸
着することによって形成され、もしくは白色の合成樹脂
を塗孔することによって形成されている。
に示す矢印Ｍ方向へ回転自在に支持されたシャフトであ
り、このシャフト１には円柱状の磁気記録媒体２が取り
付けられている。この磁気記録媒体２は、第２図に示す
ように、円柱状のベース２ａと、このベース２ａの外周
面上に形成された磁性層２ｂと、この磁性層２ｂの表面
に形成された非磁性層２ｃとから構成されている。この
場合、非磁性層２ｃはＡｆ２もしくはＣｒ等の金属を蒸
着することによって形成され、もしくは白色の合成樹脂
を塗孔することによって形成されている。
この非磁性層２ｃは、磁性層２ｂの表面の反射率を高め
る目的で設置Ｊられており、磁性層２ｂが合金磁石（Ｆ
ｅ−Ｃｒ−Ｇ ｏ合金等）のよ・５に反射率が高い材
質で構成されている場合、あえて非磁性層２ｃを形成す
る必要はない。
る目的で設置Ｊられており、磁性層２ｂが合金磁石（Ｆ
ｅ−Ｃｒ−Ｇ ｏ合金等）のよ・５に反射率が高い材
質で構成されている場合、あえて非磁性層２ｃを形成す
る必要はない。
この磁気記録媒体２の外周面には、その全周に亙って、
原点トラックＴｚと、ピッチ信号トラックＴＰが設置づ
られている。原点ｌ・ラックＴｚには、磁気記録媒体２
の原点となる箇所に 、！４′一周期分の正弦波状の磁
気情報が原点信号とし°ζ紀録されＣおり、また、ピッ
チ信号トラック７゛ｐには、一定波長λの正弦波状の磁
気情報がビッヂ信号とし、て繰り返し記録されている。
原点トラックＴｚと、ピッチ信号トラックＴＰが設置づ
られている。原点ｌ・ラックＴｚには、磁気記録媒体２
の原点となる箇所に 、！４′一周期分の正弦波状の磁
気情報が原点信号とし°ζ紀録されＣおり、また、ピッ
チ信号トラック７゛ｐには、一定波長λの正弦波状の磁
気情報がビッヂ信号とし、て繰り返し記録されている。
また、磁気記録媒体２の外周面の任意の箇所には、イン
デックスマークＩＭが黒色塗料で書き込まれている。
デックスマークＩＭが黒色塗料で書き込まれている。
３は反射型フォトセンサであり、磁気記録媒体２の外周
面と一定の空隙を隔てて対向配置されている。そして、
磁気記録媒体２が回転し、インデックスマークＩＭが到
達する毎（、六反射型フォ）・センサ２から、インデッ
クスパルスが出ノＪされる。
面と一定の空隙を隔てて対向配置されている。そして、
磁気記録媒体２が回転し、インデックスマークＩＭが到
達する毎（、六反射型フォ）・センサ２から、インデッ
クスパルスが出ノＪされる。
また、４および５ ａ、 ５ ｂは、ガラス基板１−に
磁気抵抗素子を形成してなる磁気センサであり、磁気記
録媒体２の外周面と一定の空隙を隔てて各々対向配置さ
れている。、Ｌ記磁気抵抗素子は、磁界中に置かれた場
合、その磁界の強さに応じて固有抵抗が変化する現象、
いわゆる磁気抵抗効果が生じる素子材料にＪっで構成さ
れており、この磁気抵抗効果を利用して、原点トラック
Ｔｚ上に（記録された原点信号と、ピッチ信号トラック
ＴＩ）上に記録されたピッチ信号が読み取られるように
なっている。また、磁気センサ５８および５ｂは磁気記
録媒体２の移動方向Ｍに沿って互いに（ｍ±１７４）λ
（但し、ｍは整数）だけ離間して状態で、ピッチ信号ト
ラックＴｐに対向して配置されている。そして、磁気セ
ンサ５ａおよび５ｂの磁気抵抗素子パターンは、ピッチ
信号トラックＴｐから受ける磁界によって抵抗値が変化
し、この結果、磁気センサ５ａおよび５ｂからはピッチ
信号トラックＴｐとの位置関係に応じたレベルの信号が
得られるようになっている。すなわち、ピッチ信号トラ
ックＴｐ上の正弦波状の磁気情報１周期の区間をθ＝０
〜２πとすると、磁気センサ５ａからはｓｉｎθ、磁気
センサ５ｂからはｅＯ８θのレベル信号が得られる。
磁気抵抗素子を形成してなる磁気センサであり、磁気記
録媒体２の外周面と一定の空隙を隔てて各々対向配置さ
れている。、Ｌ記磁気抵抗素子は、磁界中に置かれた場
合、その磁界の強さに応じて固有抵抗が変化する現象、
いわゆる磁気抵抗効果が生じる素子材料にＪっで構成さ
れており、この磁気抵抗効果を利用して、原点トラック
Ｔｚ上に（記録された原点信号と、ピッチ信号トラック
ＴＩ）上に記録されたピッチ信号が読み取られるように
なっている。また、磁気センサ５８および５ｂは磁気記
録媒体２の移動方向Ｍに沿って互いに（ｍ±１７４）λ
（但し、ｍは整数）だけ離間して状態で、ピッチ信号ト
ラックＴｐに対向して配置されている。そして、磁気セ
ンサ５ａおよび５ｂの磁気抵抗素子パターンは、ピッチ
信号トラックＴｐから受ける磁界によって抵抗値が変化
し、この結果、磁気センサ５ａおよび５ｂからはピッチ
信号トラックＴｐとの位置関係に応じたレベルの信号が
得られるようになっている。すなわち、ピッチ信号トラ
ックＴｐ上の正弦波状の磁気情報１周期の区間をθ＝０
〜２πとすると、磁気センサ５ａからはｓｉｎθ、磁気
センサ５ｂからはｅＯ８θのレベル信号が得られる。
そして、ピッチ信号トラックＴｐが磁気センサ５ａおよ
び５ｂに対して移動すると、それに伴って磁気センサ５
ａおよび５ｂから位相がπ／２ずれた２相の検出信号ｓ
ｉｎθ（Ａ相）およびＣｏｇθ（Ｂ相）が得られる。
び５ｂに対して移動すると、それに伴って磁気センサ５
ａおよび５ｂから位相がπ／２ずれた２相の検出信号ｓ
ｉｎθ（Ａ相）およびＣｏｇθ（Ｂ相）が得られる。
６は角度計数回路であり、波形整形回路７．８および９
と、方向判別回路ＩＯと、アップダウン・カウンタ１１
とから構成されている。波形整形回路７および８では、
各々Ａ相およびＢ相の検出信号が、波形整形されて出力
される。この場合、波形整形回路７および８から各々出
力されるＡ相パルスＰａおよびＢ相パルスＰｂは、互い
に位相がπ／２ずれた矩形波となり、磁気記録媒体２の
回転方向が正方向の場合は、Ａ相パルスＰａが進み位相
となり、負方向の場合は、Ｂ相パルスＰｂが進み位相と
なる。そして、方向判別回路１０においては、例えば、
Ａ相パルスＰａの立ち上がり時にＢ相パルスＰｂのレベ
ルが′Ｈ”か°Ｌ“かによって回転方向が判別される。
と、方向判別回路ＩＯと、アップダウン・カウンタ１１
とから構成されている。波形整形回路７および８では、
各々Ａ相およびＢ相の検出信号が、波形整形されて出力
される。この場合、波形整形回路７および８から各々出
力されるＡ相パルスＰａおよびＢ相パルスＰｂは、互い
に位相がπ／２ずれた矩形波となり、磁気記録媒体２の
回転方向が正方向の場合は、Ａ相パルスＰａが進み位相
となり、負方向の場合は、Ｂ相パルスＰｂが進み位相と
なる。そして、方向判別回路１０においては、例えば、
Ａ相パルスＰａの立ち上がり時にＢ相パルスＰｂのレベ
ルが′Ｈ”か°Ｌ“かによって回転方向が判別される。
この方向判別回路ｌＯの出力信号Ｓｖは、カウンタ１１
のアップダウン切換端子Ｕ／ｆ５に供給される。そして
、カウンタ１１は、信号Ｓｖによってカウントモードが
アップもしくはダウンに切り換えられつつＡ相パルスＰ
ａがカウントされる。この場合、磁気記録媒体２が正方
向に回転している時にアップカウント、負方向に回転し
ている時にダウンカウントが行われるようになっている
。
のアップダウン切換端子Ｕ／ｆ５に供給される。そして
、カウンタ１１は、信号Ｓｖによってカウントモードが
アップもしくはダウンに切り換えられつつＡ相パルスＰ
ａがカウントされる。この場合、磁気記録媒体２が正方
向に回転している時にアップカウント、負方向に回転し
ている時にダウンカウントが行われるようになっている
。
一方、磁気記録媒体２の原点が磁気センサ４の設置箇所
を通過する毎に、この磁気センサ４によって、その原点
に記録された原点信号が検出され、これが波形整形回路
９を介して原点パルスＰｚとなり、カウンタ１１のリセ
ット端子Ｒに供給されるようになっている。この結果、
カウンタ１１は、磁気記録媒体２の原点が、磁気センサ
４の設置箇所に到達する毎にリセットされる。従って、
カウンタ１１のカウント値は、磁気記録媒体２の原点が
、磁気センサ４の設置箇所を通過してから、現在に至る
までの間において、磁気センサ５ ａｓ ５ ｂ上を通
過したピッチ信号トラックＴＩ）の磁化区間の数に対応
する値、すなわち、磁気記録媒体２の回転角度に対応し
た値となる。そして、このカウンタ１１のカウント値が
、シャフト２の回転角度に対応した角度データＤとして
出力される。
を通過する毎に、この磁気センサ４によって、その原点
に記録された原点信号が検出され、これが波形整形回路
９を介して原点パルスＰｚとなり、カウンタ１１のリセ
ット端子Ｒに供給されるようになっている。この結果、
カウンタ１１は、磁気記録媒体２の原点が、磁気センサ
４の設置箇所に到達する毎にリセットされる。従って、
カウンタ１１のカウント値は、磁気記録媒体２の原点が
、磁気センサ４の設置箇所を通過してから、現在に至る
までの間において、磁気センサ５ ａｓ ５ ｂ上を通
過したピッチ信号トラックＴＩ）の磁化区間の数に対応
する値、すなわち、磁気記録媒体２の回転角度に対応し
た値となる。そして、このカウンタ１１のカウント値が
、シャフト２の回転角度に対応した角度データＤとして
出力される。
このように、上述した一実施例によれば、磁気記録媒体
２の任意の箇所に、黒色塗料によってインデックスマー
クＩＭを書き込み、このインデックスマークＩＭを光学
的に検出する反射型フォトセンサ３を設けたので、電源
投入時等、カウンタ１１が原点信号によってリセットさ
れる以前の状態においても、反射型フォトセンサ３から
インデックスパルスが出力される。また、インデックス
マークＩＭは適当な溶剤を用いて拭き取れば簡単に消去
することができ、さらに別の箇所に書き込むこともでき
る。
２の任意の箇所に、黒色塗料によってインデックスマー
クＩＭを書き込み、このインデックスマークＩＭを光学
的に検出する反射型フォトセンサ３を設けたので、電源
投入時等、カウンタ１１が原点信号によってリセットさ
れる以前の状態においても、反射型フォトセンサ３から
インデックスパルスが出力される。また、インデックス
マークＩＭは適当な溶剤を用いて拭き取れば簡単に消去
することができ、さらに別の箇所に書き込むこともでき
る。
次に、第３図はこの発明の他の実施例の構成を示す図で
あり、この実施例においては、円盤状の磁気記録媒体１
２を用い、その上面に原点トラックＴｚと、ピッチ信号
トラックτｐが設けられ、さらに半径方向に沿ってイン
デックスマークＩＭが書き込まれている。そして、この
磁気記録媒体１２の上面と一定の空隙を隔てて磁気セン
サ４，５ａ。
あり、この実施例においては、円盤状の磁気記録媒体１
２を用い、その上面に原点トラックＴｚと、ピッチ信号
トラックτｐが設けられ、さらに半径方向に沿ってイン
デックスマークＩＭが書き込まれている。そして、この
磁気記録媒体１２の上面と一定の空隙を隔てて磁気セン
サ４，５ａ。
５ｂを含む磁気センサユニット１３と、反射型フォトセ
ッサ３が各々配置されている。
ッサ３が各々配置されている。
なお、上述した一実施例においては、インデックスマー
クＩＭを黒色塗料によ−）て書Δ込む、↓、うにしてい
たか、黒色テープを張り付けてもよく、要は、他の部分
と光の反射率が異なるようにし、ておけばよい。また、
回転角度を検出４る磁気１ｉｉｉ −タリーユンコーダ
を例に説明したが、直線変位を検出する磁気リニアＪン
コーダ？、二も勿論適用４′ることかできる。
クＩＭを黒色塗料によ−）て書Δ込む、↓、うにしてい
たか、黒色テープを張り付けてもよく、要は、他の部分
と光の反射率が異なるようにし、ておけばよい。また、
回転角度を検出４る磁気１ｉｉｉ −タリーユンコーダ
を例に説明したが、直線変位を検出する磁気リニアＪン
コーダ？、二も勿論適用４′ることかできる。
「発明の効果」
以上説明したように、この発明によ４れば、磁気記録媒
体上の任意の箇所にインデックスマークを書き込むこと
によって、磁気記録媒体の変位を検出する変位検出手段
の動作に一切関係なく、任意の位置でインデックスパル
スを得ることができ、さらにインデックス用のトラック
を別途設置３る必要がないので、装置全体を小形に構成
側ることができるという効果が得られる。
体上の任意の箇所にインデックスマークを書き込むこと
によって、磁気記録媒体の変位を検出する変位検出手段
の動作に一切関係なく、任意の位置でインデックスパル
スを得ることができ、さらにインデックス用のトラック
を別途設置３る必要がないので、装置全体を小形に構成
側ることができるという効果が得られる。
第１図はこの発明の一実施例の構成を示すブロック図、
第２図は同実施例の磁気記録媒体の構成を示す断面図、
第３図はこの発明の他の実施例の構成を示１斜視図であ
る１、 磁気記録媒体、 ２ａ・・・・・ベース、・磁性層、
２ｃ ・非磁性層１ 、インデックスマーク、 反射型フォｊ・セン号、 （インデックスマーク検出手段）、 Ｔｚ・・・・・原点トラ・ツク、 Ｔｐ・・・・ピッチ信号トラック、 ４．５ａ、５ｂ・・・・・磁気センサ、６・・・・角度
計数回路（以に、変位検出手段）、。 ２ ・・ ・ ２１）・ ｉＭ・・ ３ ・
第２図は同実施例の磁気記録媒体の構成を示す断面図、
第３図はこの発明の他の実施例の構成を示１斜視図であ
る１、 磁気記録媒体、 ２ａ・・・・・ベース、・磁性層、
２ｃ ・非磁性層１ 、インデックスマーク、 反射型フォｊ・セン号、 （インデックスマーク検出手段）、 Ｔｚ・・・・・原点トラ・ツク、 Ｔｐ・・・・ピッチ信号トラック、 ４．５ａ、５ｂ・・・・・磁気センサ、６・・・・角度
計数回路（以に、変位検出手段）、。 ２ ・・ ・ ２１）・ ｉＭ・・ ３ ・
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 回転自在もしくは直線移動自在に支持された磁気記録媒
体と、 前記磁気記録媒体に記録された磁気情報を読み出して該
磁気記録媒体の変位を検出する変位検出手段と、 前記磁気記録媒体上の任意の箇所に、光の反射率を異な
らせることによって記録されたインデックスマークと、 前記インデックスマークを光学的に検出するインデック
スマーク検出手段と、 を具備することを特徴とする磁気エンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11145290A JPH049613A (ja) | 1990-04-26 | 1990-04-26 | 磁気エンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11145290A JPH049613A (ja) | 1990-04-26 | 1990-04-26 | 磁気エンコーダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH049613A true JPH049613A (ja) | 1992-01-14 |
Family
ID=14561579
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11145290A Pending JPH049613A (ja) | 1990-04-26 | 1990-04-26 | 磁気エンコーダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH049613A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5347561A (en) * | 1991-11-01 | 1994-09-13 | Canon Kabushiki Kaisha | X-ray exposure apparatus and semiconductor-device manufacturing method |
| JP2007064755A (ja) * | 2005-08-30 | 2007-03-15 | Samutaku Kk | エンコーダの信号処理回路 |
| US9284703B2 (en) | 2010-07-02 | 2016-03-15 | Giletta S.P.A. | Spreader unit for de-icing material and respective vehicle |
-
1990
- 1990-04-26 JP JP11145290A patent/JPH049613A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5347561A (en) * | 1991-11-01 | 1994-09-13 | Canon Kabushiki Kaisha | X-ray exposure apparatus and semiconductor-device manufacturing method |
| JP2007064755A (ja) * | 2005-08-30 | 2007-03-15 | Samutaku Kk | エンコーダの信号処理回路 |
| US9284703B2 (en) | 2010-07-02 | 2016-03-15 | Giletta S.P.A. | Spreader unit for de-icing material and respective vehicle |
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