JPH048897A - ドライ真空ポンプのユーテイリテイ異常検出方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、排気口を大気圧とする真空ポンプに係り、特
に、半導体製造装置の排気ポンプとして好適なドライ真
空ポンプのユーテイリテイ異常検出方式に関する。

〔従来の技術〕

真空ポンプの構成の一例を第４図に示す。真空ポンプ本
体１は、ポンプ部２と駆動部３とに分かれ、駆動部には
、一般に交流電動機が用いられる。

ポンプ部は、吸気口４と排気口５をもつケーシング６の
内部に回転するロータと静止しているステータとがあり
、吸気口４から吸込まれた気体を圧縮して排気口５から
大気圧下へ排出する。ポンプ部の気体通過部には、油や
水などの液体はなく、このようなポンプは一般にドライ
真空ポンプと呼ばれている。ポンプ部にはいろいろな形
式のものがあるが、特に、小形で高速回転形のものには
、ターボ形、スクリュ形がある。このうち、ターボ形は
、その詳細は特開昭６１−２４７８９３号公報に記載さ
れている。このようなドライ真空ポンプは、冷却や軸封
のために水や油などの液体や、空気や窒素などの気体を
ユーテイリテイとして必要とするのが一般的である。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術は、ドライ真空ポンプのユーテイリテイで
ある。水や油などの液体、および、空気や窒素などの気
体の状態異常が発生した場合には、異常検出後、直ちに
、ドライ真空ポンプを停止させる方式となっているため
、ドライ真空ポンプを半導体製造装置等に使用した場合
、ポンプのユーテイリテイ、例えば、冷却水の水量低下
検出において、過渡的に水量が低下することはよくあり
、従来技術では、そのたびにポンプが停止し、半導体製
造ラインの停止となる。これにより製造中の半導体に多
大な損害を与える間層点があった。

本発明の目的は、ユーテイリテイ異常が発生してもポン
プのユーテイリテイ異常許容期間中ばポンプを運転継続
させ、半導体製造ライン等のポンプユーテイリテイ異常
による停止を出来るだけ減少させ稼働率を向上させるこ
とと、ユーテイリテイ異常を確実に検出し、真空ポンプ
の確実な保護を行うことにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、本発明はユーテイリテイ異
常検出の方式を、異常検出後直ちに真空ポンプを停止さ
せる場合と、異常マスク時間後、真空ポンプを停止させ
る場合と、異常検出しても真空ポンプを運転継続させる
場合を真空ポンプの運転状態によって使い分けるように
した。

〔作用〕

真空ポンプの加速時に、ユーテイリテイ異常検出は、異
常発生後、直ちに、真空ポンプを停止させる。この場合
、真空ポンプを用いた、半導体製造ラインも運転準備中
であり、真空ポンプを即停止させても半導体に損害を与
えることはなく、即停止させることによりユーテイリテ
イ異常の復旧をじん速に行うことができるため、半導体
製造ラインの稼働率を向上させることができる。また、
真空ポンプのユーテイリテイ異常からの保護を行うこと
が可能である。

真空ポンプの定常運転中は、異常検出後、異常マスク時
間経過後も異常が継続していれば、真空ポンプを停止さ
せる。この場合、ユーテイリテイ異常は数秒から数十秒
の間、過渡的に異常となる場合があるが、これを異常マ
スクして、異常としないため、真空ポンプが頻繁に停止
することがなく、半導体の損害を最少にすることができ
る。また、異常マスク時間は、真空ポンプのユーテイリ
テイに対する余裕度で決定されているため、異常マスク
時間経過後に、真空ポンプを停止させてもポンプに損害
を与えることはなく、ユーテイリテイ異常からポンプを
確実に保護することが可能である。

真空ポンプ減速時は、加速時と同様の動作により、半導
体製造ラインの稼動率向上と、真空ポンプの保護を行う
ことが可能である。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明する。

第４図において、真空ポンプ本体１は、ポンプ部２と駆
動部３とから成る。ポンプ部２は、ケーシング２の内部
に設けられた機構により、吸気口４から吸込まれた気体
を排気口５から大気圧下へ排気する。前述のケーシング
２の内部に設けられた機構は、駆動部３により駆動され
る。駆動部３は、駆動装［７と電気的に接続され、また
、駆動装置７は交流電源８に接続される。ユーテイリテ
イである液体、及び、気体は、ユーテイリテイ異常検出
装置９を介して真空ポンプ本体１に供給される。ユーテ
イリテイ異常検出装置９からのユーテイリテイ異常信号
は、駆動装［７へ入力され、異常発生の場合は、駆動装
置７により真空ポンプ本体１に内蔵される駆動部３を停
止させる。

第２図において、真空ポンプ１の運転状態別によるユー
テイリテイ異常検出方式について説明する。　真空ポン
プ１の運転状態は、停止中、加速中、減速中の四つがあ
り、それぞれの状態は、第２図中の加速、定常、減速に
相当する。停止中は、駆動部３が停止している状態であ
る。加速中は、起動信号がオンしてから駆動部３が回転
を始めて定格回転数に達するまでの状態である。定常中
は、駆動部３が、定格回転数に達してから停止信号がオ
ンするまでの状態である。減速中は、停止信号がオンし
てから駆動部３が停止するまでの状態である。ユーテイ
リテイ異常検出方式は、停止中を検出１、加速中、減速
中を検出２、定常中を検出３とし、それぞれ以下に説明
する。

検出１は、ユーテイリテイ異常検出装［９によりユーテ
イリテイの異常を検出した場合、駆動装置７は、ユーテ
イリテイ異常信号を無視、すなわち、全て異常信号をマ
スクする検出方式である。

これは、真空ポンプ１が停止している場合には、ユーテ
イリテイを必要としないため、ユーテイリテイに異常が
発生していても異常としないようにするためである。

検出２は第２図により説明する。検出２は、真空ポンプ
１が加速中および減速中に、ユーテイリテイ異常検出装
＠９がユーテイリテイの異常を検出すると、駆動装置７
にユーテイリテイ異常信号を出力し、駆動装置７は、そ
の信号が入力された時点で、真空ポンプ１を加速状態あ
るいは減速状態から減速状態へ移行させ、ポンプを停止
させユーテイリテイ異常からの保護を行う検出方式であ
る。これは、真空ポンプ１が加速中の場合には、それを
用いた半導体製造ラインも運転準備中にあるため、速や
かに停止させユーテイリテイ異常からの復旧を最短にす
ることができる。

検出３は、第３図により説明する。検出３の動作は、ユ
ーテイリテイ異常発生中の時間により、二つに分けられ
る。第一の動作は、ユーテイリテイ異常が、異常マスク
時開ｔより長く継続した場合で、この場合には、異常検
出から異常マスク時間経過後、検出２の場合と同様に、
真空ポンプ１を停止させる。第二の動作は、ユーテイリ
テイ異常が異常マスク時間内に異常復帰した場合、すな
わち、異常発生時間ｔ′が異常マスク時間を以内の場合
で、この場合には、異常検出はされず、真空ポンプは運
転継続となる。ここで異常マスク時間しは、各ユーテイ
リテイ（水、浦、空気、窒素等）により、各々設定可能
であり、これにより、真空ポンプの各ユーテイリテイに
対する余裕度が設定できるので、真空ポンプの確実な保
護が可能である。この動作により、ユーテイリテイの過
渡的な状態を異常として検出しても、真空ポンプは頻繁
に停止することはないので、製造中の半導体に与える損
害を最少にすることが可能となる。

〔発明の効果〕

本発明は、ユーテイリテイ異常検出後、直ちに、ポンプ
を停止させる方式と、異常マスク時間経過後、ポンプを
停止させる方式と、異常検出してもポンプを運転継続さ
せる方式を真空ポンプの運転状態により使い分けること
により、ポンプのユーテイリテイ異常からの確実な保護
が行え、また、ポンプを半導体製造装置等へ用いた場合
のポンプの使い勝手を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例のタイミングチャート、第
２図、第３図は、その詳細を示すタイミングチャート、
第４図は、真空ポンプのブロック図である。 １　・真空ポンプ、２・・・ポンプ部、３　駆動部、４
・・吸気口、５・・排気口、７・・駆動装置、８・・交
流第 ！ 図 第 ′ＪＡ３ 図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、吸気口と排気口をもつケーシング内に固定されたス
   テータと前記ケーシング内に回転自在に支承された駆動
   軸とからなり、前記駆動軸は、交流電動機により駆動さ
   れ、前記吸気口から吸込まれた気体を前記排気口から、
   直接、大気に排気するドライ真空ポンプにおいて、 前記ドライ真空ポンプの運転に必要なユーテイリテイで
   ある、液体及び気体の異常を検出する手段をもち、異常
   検出後、直ちに、異常判定を行い前記ドライ真空ポンプ
   を停止させる場合と、異常マスク時間経過後、異常判定
   を行い、前記ドライ真空ポンプを停止させる場合と、異
   常を検出しても前記ドライ真空ポンプを運転継続させる
   場合を、前記ドライ真空ポンプの運転状態に合せて使い
   分けるようにしたことを特徴とするドライ真空ポンプの
   ユーテイリテイ異常検出方式。