JPS6213796A - 空冷式タ−ボ分子ポンプ - Google Patents
空冷式タ−ボ分子ポンプInfo
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- JPS6213796A JPS6213796A JP60152762A JP15276285A JPS6213796A JP S6213796 A JPS6213796 A JP S6213796A JP 60152762 A JP60152762 A JP 60152762A JP 15276285 A JP15276285 A JP 15276285A JP S6213796 A JPS6213796 A JP S6213796A
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- Japan
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- fan
- air cooling
- cooling fan
- sensor
- air
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/58—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer
- F04D29/582—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/584—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer specially adapted for elastic fluid pumps cooling or heating the machine
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は空冷式ターボ分子ポンプに関するものである。
Ｌ従来の技術］
ターボ分子ポンプは、ロータ室内にロータ翼とステータ
五とを交互に配して構成されるターボ機構で気体分子を
機械的に吹き飛ばして排気するようにしたもので、＃Ｂ
高真空を得ることができるのが特徴である。
五とを交互に配して構成されるターボ機構で気体分子を
機械的に吹き飛ばして排気するようにしたもので、＃Ｂ
高真空を得ることができるのが特徴である。
ところで、この種ポンプでは、そのロータ翼をロータ室
内で高速回転させるロータ駆動軸を、ロータ室と隔てら
れたポンプ本体の機械室内で軸受により回転目出に支え
るようにしかつ内蔵モータで回転駆動力を与えるように
するとともに、この機械室に必要なオイルを貯留するオ
イルタンクを付帯しているのが普通である。すなわち、
オイルタンク内には軸受の潤滑油と冷媒を兼ねて所要量
のオイルが貯えられており、ポンプの作動時には軸受に
オイルタンクから絶えず新鮮なオイルが供給されて最適
潤滑状懲が付与されるとともに、軸受から溢出したオイ
ルを機械室内を通してタンクに戻し、軸受及びモータが
発生する熱を奪いとって機械室内の過熟を防Ｉ卜するよ
うにしている。そして、空冷式ターボ分子ポンプの場合
では、さらにこのオイルタンクに付設しであるファンで
タンクを強制空冷し、タンク中のオイルの油温上昇を防
止するようにしている。
内で高速回転させるロータ駆動軸を、ロータ室と隔てら
れたポンプ本体の機械室内で軸受により回転目出に支え
るようにしかつ内蔵モータで回転駆動力を与えるように
するとともに、この機械室に必要なオイルを貯留するオ
イルタンクを付帯しているのが普通である。すなわち、
オイルタンク内には軸受の潤滑油と冷媒を兼ねて所要量
のオイルが貯えられており、ポンプの作動時には軸受に
オイルタンクから絶えず新鮮なオイルが供給されて最適
潤滑状懲が付与されるとともに、軸受から溢出したオイ
ルを機械室内を通してタンクに戻し、軸受及びモータが
発生する熱を奪いとって機械室内の過熟を防Ｉ卜するよ
うにしている。そして、空冷式ターボ分子ポンプの場合
では、さらにこのオイルタンクに付設しであるファンで
タンクを強制空冷し、タンク中のオイルの油温上昇を防
止するようにしている。
［発明が解決しようとする問題点］
ところが、このような空冷式ターボ分子ポンプでは、カ
ーその空冷ファンが何らかの原因で有効に作動しないと
、タンク中のオイルの油温が上昇し、ひいては機械室内
の温度が異常に上昇して軸受に焼付を起すなどのトラブ
ルを生じ、ファンの不作動状態で長時間運転を持続すれ
ば、その到達圧力が低下するなどの性能劣化を来たし、
著しくは軸受が焼損してターボ分子ポンプの本体そのも
のが作動不能に陥る。そして、このような事故は在住に
発生しているところであり、このために高価なターボ分
子ポンプの廃棄取替処分を余儀なくされたり、場合によ
っては故障したターボ分子ポンプが組込まれている真空
装置までも故障してしまうという不都合を生じている。
ーその空冷ファンが何らかの原因で有効に作動しないと
、タンク中のオイルの油温が上昇し、ひいては機械室内
の温度が異常に上昇して軸受に焼付を起すなどのトラブ
ルを生じ、ファンの不作動状態で長時間運転を持続すれ
ば、その到達圧力が低下するなどの性能劣化を来たし、
著しくは軸受が焼損してターボ分子ポンプの本体そのも
のが作動不能に陥る。そして、このような事故は在住に
発生しているところであり、このために高価なターボ分
子ポンプの廃棄取替処分を余儀なくされたり、場合によ
っては故障したターボ分子ポンプが組込まれている真空
装置までも故障してしまうという不都合を生じている。
このような事故を引起す空冷ファンの故障の原因につい
てみると、例えばファンに異物が詰まって回転不能とな
る機械的原因の他、ファンの給電、 ５イ′お
ける断線など電気系統の事故ゝ起因する原因、さらに最
もやっかいな故障原因として空冷ファンに給電するため
のファンコードの接続忘れという人為的な原因が挙げら
れる（空冷式ターボ分子ポンプでは本体と空冷ファンの
電源コードは通常別々であり、空θファンに給電されな
くとも本体は独立して作動できるように構成されている
）。
てみると、例えばファンに異物が詰まって回転不能とな
る機械的原因の他、ファンの給電、 ５イ′お
ける断線など電気系統の事故ゝ起因する原因、さらに最
もやっかいな故障原因として空冷ファンに給電するため
のファンコードの接続忘れという人為的な原因が挙げら
れる（空冷式ターボ分子ポンプでは本体と空冷ファンの
電源コードは通常別々であり、空θファンに給電されな
くとも本体は独立して作動できるように構成されている
）。
しかし、その原因が上記の何れであれ、最も重要なこと
は、ポンプの運転時において空冷ファンが正常に作動し
ていない使用状態が起きた場合、その異常を−４も早く
察知できるようにすることである。しかるに、従来この
種のターボ分子ポンプでは、空冷ファンの異常を知るた
めの手段は別設設けられておらず、これがために前述の
ような大事故の発生を未然に防止できないものとなって
いた。
は、ポンプの運転時において空冷ファンが正常に作動し
ていない使用状態が起きた場合、その異常を−４も早く
察知できるようにすることである。しかるに、従来この
種のターボ分子ポンプでは、空冷ファンの異常を知るた
めの手段は別設設けられておらず、これがために前述の
ような大事故の発生を未然に防止できないものとなって
いた。
［問題点を解決するための手段］
本発明は、このような事情に着目して、その故障原因の
如何を問わず空冷ファンの異常に起因するターボ分子ポ
ンプの事故発生を確実に防止することを目的とし、この
ために、ターボ分子ポンプ本体と、このターボ分子ポン
プ本体の軸受の潤滑油を兼ねる冷却用オイルを貯留する
オイルタンクと、このオイルタンクを冷却する空冷ファ
ンと。
如何を問わず空冷ファンの異常に起因するターボ分子ポ
ンプの事故発生を確実に防止することを目的とし、この
ために、ターボ分子ポンプ本体と、このターボ分子ポン
プ本体の軸受の潤滑油を兼ねる冷却用オイルを貯留する
オイルタンクと、このオイルタンクを冷却する空冷ファ
ンと。
この空冷ファンの回転状態を検出するファンセンサとを
備えてなることを特徴とする空冷式ターボ分子ポンプを
提供するものである。
備えてなることを特徴とする空冷式ターボ分子ポンプを
提供するものである。
［作用］
このようなファンセンサを具備したものであれば、空冷
ファンに故障等を来たしたような場合、ファンセンサか
らの出力信号を入力してその異常を報知するシステムや
ターボ分子ポンプ本体を自動的に作動停止させるシステ
ムを採ることも容易であって、これによって空冷ファン
の異常に起因するターボ分子ポンプの故障を確実に回避
することができる。
ファンに故障等を来たしたような場合、ファンセンサか
らの出力信号を入力してその異常を報知するシステムや
ターボ分子ポンプ本体を自動的に作動停止させるシステ
ムを採ることも容易であって、これによって空冷ファン
の異常に起因するターボ分子ポンプの故障を確実に回避
することができる。
［実施例］
以下１本発明の一実施例を図面を参照して説明する。
第１図は本発明に係る空冷式ターボ分子ポンプの構成例
を示し、ターボ分子ポンプ本体ｌと、この本体ｌの機械
室Ｂに連設したオイルタンク２と、このタンク２を冷却
する空冷ファン３とを具備している。ターボ分子ポンプ
本体１は、上方のロータ室Ａにおいてロータ４の外周面
から突設したロータ翼４ａをステータ５の内周面から突
設したステータｇｔ５ ａと交互に配置してタービンｘ
列管構成している一方、下方の機械室Ｂにおいて前記ロ
ータ４を高速回転する駆動軸９を回転駆動するためのモ
ータ６ａ、６ｂを設置し、かつ該機械室Ｂ内の上下二箇
所で軸受（ポールベアリング）７．８により駆動軸９を
回転自由に支えている。
を示し、ターボ分子ポンプ本体ｌと、この本体ｌの機械
室Ｂに連設したオイルタンク２と、このタンク２を冷却
する空冷ファン３とを具備している。ターボ分子ポンプ
本体１は、上方のロータ室Ａにおいてロータ４の外周面
から突設したロータ翼４ａをステータ５の内周面から突
設したステータｇｔ５ ａと交互に配置してタービンｘ
列管構成している一方、下方の機械室Ｂにおいて前記ロ
ータ４を高速回転する駆動軸９を回転駆動するためのモ
ータ６ａ、６ｂを設置し、かつ該機械室Ｂ内の上下二箇
所で軸受（ポールベアリング）７．８により駆動軸９を
回転自由に支えている。
そして、この機械室Ｂに連接して潤滑兼冷却用のオイル
０を貯留するオイルタンク２を設け、このタンク２内に
下端が浸漬される駆動軸９の内部を通して吸い上げられ
るオイルが前記軸受７．８に逐次供給され、さらに機械
室Ｂ内を通ってタンク２に戻されるようになっている。
０を貯留するオイルタンク２を設け、このタンク２内に
下端が浸漬される駆動軸９の内部を通して吸い上げられ
るオイルが前記軸受７．８に逐次供給され、さらに機械
室Ｂ内を通ってタンク２に戻されるようになっている。
そして又、このオイルタンク２の下端には、オイルタン
ク２の外壁面にファンｆの送風を当てタンク即ちタンク
ｚ中のオイル０を冷却する空冷ファン３が、図示しない
駆動源と共に付設されている。なお、Ｉはこのポンプの
吸気口であり、ＩＩは同じく排気口である。
ク２の外壁面にファンｆの送風を当てタンク即ちタンク
ｚ中のオイル０を冷却する空冷ファン３が、図示しない
駆動源と共に付設されている。なお、Ｉはこのポンプの
吸気口であり、ＩＩは同じく排気口である。
かかる構成の空冷式ターボ分子ポンプにおける前記空冷
ファン３には、そのファンｆの回転状態を検出するファ
ンセンサ１１を付設している。このファンセンサ１１は
、図示の例においては、例えばファンｆの回転に伴なう
磁栄変化をパルス電圧の変化を通して直接検出しこれを
設定回転数と比較してその異常を検知するタイプのもの
を使用する場合を示している。しかして、このファンセ
ンサ１１を具備してなる空冷式ターボ分子ポンプでは、
第２図に示すように、その本体ｌ及び空冷ファン３が常
法の如く別体の電源ユニツ）１２と給電ラインａ、ｂを
もって接続され所要の作動電力が人力されるようになっ
ているとともに、この電源ユニット１２とファンセンサ
１１とが２対のラインｃ、ｄで接続されている。その片
方のラインＣは、センサ１１の検出動作に必要な電力を
供給する給電ラインであり、他方のラインｄはセンサ１
１がファンｆに正常な回転状態を検知しているときには
正常信号を、またその回転状態に異常を検知したときに
は異常信号を′ｉｔ源二ニア１・１２に出力する信号ラ
インである。そして、電源ユニット１２内には、給゛屯
ラインａからターボ分子ポンプ本体ｌに電力が送られて
いるとき即ち本体ｌが作動運転状態にあることを検知し
ているときにおいて、信号ラインｄから異常信号をλカ
している場合のみならず、＠号うインｄ、給電うインｂ
またはＣのいずれか一つでも導通が遮断された状態にあ
ることを検知した場合には、これに付設した警報＠１３
から警報を発信するように仕組まれた判別回路が内蔵さ
れている。
ファン３には、そのファンｆの回転状態を検出するファ
ンセンサ１１を付設している。このファンセンサ１１は
、図示の例においては、例えばファンｆの回転に伴なう
磁栄変化をパルス電圧の変化を通して直接検出しこれを
設定回転数と比較してその異常を検知するタイプのもの
を使用する場合を示している。しかして、このファンセ
ンサ１１を具備してなる空冷式ターボ分子ポンプでは、
第２図に示すように、その本体ｌ及び空冷ファン３が常
法の如く別体の電源ユニツ）１２と給電ラインａ、ｂを
もって接続され所要の作動電力が人力されるようになっ
ているとともに、この電源ユニット１２とファンセンサ
１１とが２対のラインｃ、ｄで接続されている。その片
方のラインＣは、センサ１１の検出動作に必要な電力を
供給する給電ラインであり、他方のラインｄはセンサ１
１がファンｆに正常な回転状態を検知しているときには
正常信号を、またその回転状態に異常を検知したときに
は異常信号を′ｉｔ源二ニア１・１２に出力する信号ラ
インである。そして、電源ユニット１２内には、給゛屯
ラインａからターボ分子ポンプ本体ｌに電力が送られて
いるとき即ち本体ｌが作動運転状態にあることを検知し
ているときにおいて、信号ラインｄから異常信号をλカ
している場合のみならず、＠号うインｄ、給電うインｂ
またはＣのいずれか一つでも導通が遮断された状態にあ
ることを検知した場合には、これに付設した警報＠１３
から警報を発信するように仕組まれた判別回路が内蔵さ
れている。
このように構成されたものであれば、例えばその空冷フ
ァン３が故障してもこれに付設したファンセンサ１１が
その異常を検知し、センサ１１の出力信号に応答して前
記電源ユニット１２の判別回路が警報を報知し、それを
即座に察知することができる。また、上記の警報システ
ムでは空冷７アン３が故障した場合のみならず、空冷フ
ァン３やファンセンサ１１へのコード接続忘れまたはそ
れらの断線事故等を生じた場合にもその異常を報知して
くれるし、ファンセンサ１１そのものが故障したような
場合も同様に異常を知らせるものとなっている。すなわ
ち、現実に空冷ファン３に故障を発生した場合だけでな
く、ターボ分子ポンプの無冷却運転につながる全ての異
常を報知してくれるのであって、それ故運転時に警報を
生じた場合には点検を行ない必要な部品の修理、取替え
や所定のコード接続を行なって常時正常な空冷運転を確
保することができるものとなる。
ァン３が故障してもこれに付設したファンセンサ１１が
その異常を検知し、センサ１１の出力信号に応答して前
記電源ユニット１２の判別回路が警報を報知し、それを
即座に察知することができる。また、上記の警報システ
ムでは空冷７アン３が故障した場合のみならず、空冷フ
ァン３やファンセンサ１１へのコード接続忘れまたはそ
れらの断線事故等を生じた場合にもその異常を報知して
くれるし、ファンセンサ１１そのものが故障したような
場合も同様に異常を知らせるものとなっている。すなわ
ち、現実に空冷ファン３に故障を発生した場合だけでな
く、ターボ分子ポンプの無冷却運転につながる全ての異
常を報知してくれるのであって、それ故運転時に警報を
生じた場合には点検を行ない必要な部品の修理、取替え
や所定のコード接続を行なって常時正常な空冷運転を確
保することができるものとなる。
本発明は、上記の実施例をその好適な一例とするが、次
のような諸点で変形実施することができる。まず、空冷
ファンに付設するファンセンサは、必ずしも実施例のよ
うにファンの回転を直接検出するタイプのものでなくと
もよく、例えば風圧やオイルの油温から間接的にその回
転状態を検出するようにしたものでもよい、また、実施
例ではファンセンサの出力信号を入力して警報を発する
システムを採用しているが、さらに進めて同時にターボ
分子ポンプ本体の作動を停止するようにしてもよい、な
お、実施例のように無空冷運転につながる全ての条件を
加味してシステムを構成するのが好適であるが、機種等
の条件では空冷ファンが故障する場合のみを想定した警
報又は運転停止システムを採用することも勿論可能であ
る。
のような諸点で変形実施することができる。まず、空冷
ファンに付設するファンセンサは、必ずしも実施例のよ
うにファンの回転を直接検出するタイプのものでなくと
もよく、例えば風圧やオイルの油温から間接的にその回
転状態を検出するようにしたものでもよい、また、実施
例ではファンセンサの出力信号を入力して警報を発する
システムを採用しているが、さらに進めて同時にターボ
分子ポンプ本体の作動を停止するようにしてもよい、な
お、実施例のように無空冷運転につながる全ての条件を
加味してシステムを構成するのが好適であるが、機種等
の条件では空冷ファンが故障する場合のみを想定した警
報又は運転停止システムを採用することも勿論可能であ
る。
［発明の効果］
本発明は、以上のような構成を具備してなるものである
から、その空冷ファンの故障等に起因してオイルタンク
に必要な冷却が行なわれずに誤って運転され、このため
にターボ分子ポンプが性能劣化したり故障する事故の発
生を確実に防止することができるものである。
から、その空冷ファンの故障等に起因してオイルタンク
に必要な冷却が行なわれずに誤って運転され、このため
にターボ分子ポンプが性能劣化したり故障する事故の発
生を確実に防止することができるものである。
第１図は本発明の一実施例を示す空冷式ターボ分子ポン
プの一部破断側面図であり、第２図はその警報システム
を示す概略図である。 ｌ−・・ターボ分子ポンプ本体、２・・・オイルタンク
、３１１・・空冷ファン、１１・・φファンセンサ、Ｏ
・・・オイル。
プの一部破断側面図であり、第２図はその警報システム
を示す概略図である。 ｌ−・・ターボ分子ポンプ本体、２・・・オイルタンク
、３１１・・空冷ファン、１１・・φファンセンサ、Ｏ
・・・オイル。
Claims (1)
- ターボ分子ポンプ本体と、このターボ分子ポンプ本体の
軸受の潤滑油を兼ねる冷却用オイルを貯留するオイルタ
ンクと、このオイルタンクを冷却する空冷ファンと、こ
の空冷ファンの回転状態を検出するファンセンサとを備
えてなることを特徴とする空冷式ターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60152762A JPH07111194B2 (ja) | 1985-07-10 | 1985-07-10 | 空冷式タ−ボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60152762A JPH07111194B2 (ja) | 1985-07-10 | 1985-07-10 | 空冷式タ−ボ分子ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6213796A true JPS6213796A (ja) | 1987-01-22 |
| JPH07111194B2 JPH07111194B2 (ja) | 1995-11-29 |
Family
ID=15547591
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60152762A Expired - Lifetime JPH07111194B2 (ja) | 1985-07-10 | 1985-07-10 | 空冷式タ−ボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07111194B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5577883A (en) * | 1992-06-19 | 1996-11-26 | Leybold Aktiengesellschaft | Gas friction vacuum pump having a cooling system |
| US6598070B1 (en) | 1998-11-24 | 2003-07-22 | Nec Corporation | Data sending/receiving system, data receiving device, and data receiving method based on generating a temporary file-name and temporary file-size according to a position information before storing on the receiving side |
| JP2011226377A (ja) * | 2010-04-20 | 2011-11-10 | Osaka Vacuum Ltd | 分子ポンプ装置の制御装置 |
| WO2019013118A1 (ja) * | 2017-07-14 | 2019-01-17 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、該真空ポンプに適用される温度調節用制御装置、検査用治具、及び温度調節機能部の診断方法 |
| JP2019019816A (ja) * | 2017-07-14 | 2019-02-07 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、該真空ポンプに適用される温度調節用制御装置、検査用治具、及び温度調節機能部の診断方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6214997U (ja) * | 1985-07-08 | 1987-01-29 |
-
1985
- 1985-07-10 JP JP60152762A patent/JPH07111194B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6214997U (ja) * | 1985-07-08 | 1987-01-29 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5577883A (en) * | 1992-06-19 | 1996-11-26 | Leybold Aktiengesellschaft | Gas friction vacuum pump having a cooling system |
| US6598070B1 (en) | 1998-11-24 | 2003-07-22 | Nec Corporation | Data sending/receiving system, data receiving device, and data receiving method based on generating a temporary file-name and temporary file-size according to a position information before storing on the receiving side |
| JP2011226377A (ja) * | 2010-04-20 | 2011-11-10 | Osaka Vacuum Ltd | 分子ポンプ装置の制御装置 |
| WO2019013118A1 (ja) * | 2017-07-14 | 2019-01-17 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、該真空ポンプに適用される温度調節用制御装置、検査用治具、及び温度調節機能部の診断方法 |
| JP2019019816A (ja) * | 2017-07-14 | 2019-02-07 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ、該真空ポンプに適用される温度調節用制御装置、検査用治具、及び温度調節機能部の診断方法 |
| US11549515B2 (en) | 2017-07-14 | 2023-01-10 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump, temperature adjustment controller used for vacuum pump, inspection tool, and method of diagnosing temperature-adjustment function unit |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07111194B2 (ja) | 1995-11-29 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |