JPH0482085A - スタティック型メモリセル - Google Patents

スタティック型メモリセル

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JPH0482085A
JPH0482085A JP2194982A JP19498290A JPH0482085A JP H0482085 A JPH0482085 A JP H0482085A JP 2194982 A JP2194982 A JP 2194982A JP 19498290 A JP19498290 A JP 19498290A JP H0482085 A JPH0482085 A JP H0482085A
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JP
Japan
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memory cell
internal node
word line
potential
bipolar transistor
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JP2194982A
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Masaki Matsui
松井 正貴
Kiyobumi Ochii
落井 清文
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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    • G11C11/21Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
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    • G11C11/40Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
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  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Static Random-Access Memory (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明はスタティック型メモリセル(SRAM)セルに
関し、特にバイポーラトランジスタとCMOS回路を同
一基板上に形成したBiCMO8技術に使用されるもの
である。
(従来の技術) 従来技術としてCMO5SRAMによく用いられる高抵
抗負荷型4トランジスタのスタティック型メモリセルの
回路図を第4図に示す。抵抗素子R1、R2と、交差接
続したNチャネル型MOSFET (NMO3FET)
Ql、Q2をそれぞれ正電位電源1、負電位電源(この
場合接地)との間に形成してフリップフロップとなし、
これを記憶要素(メモリセル)となしている。これにワ
ード線WLをアクセストランジスタQ3、Q4のゲート
に接続することでワード線により、選択制御され、トレ
インをフリップフロップの相補型出力をとる内部ノード
A、Bののいずれかの一端に接続し、ソースを相補型ビ
ット線対BLSBLのいずれかに接続したアクセストラ
ンジスタQ3、Q4が設けられているのがこの高抵抗負
荷型メモリセルの特徴である。
読み出し、書き込み両動作とも、選択するメモリセルの
接続したワード線WLを高電位にすることで行ない、読
み出し時は、ビット線対BL。
BLをセルデータの反転しない程度の高電位に充電して
おくことで、ビット線対BLSBLのうちノードA、B
の低電位側の方がセル電流が流れて低電位に引かれるこ
とで、BL、BL内に電位差が生し、これを差動増幅型
のセンスアンプで読み出す。一方、書き込み時は、ワー
ド線WLを選択した後、外部からBL、BLにどちらか
を高電位、反対側を低電位にした相補型信号を転送する
ことで、メモリセルのフリップフロップのデータ書き換
えを行なう。
この高抵抗負荷型メモリセルては、選択されないセルす
なわち待機時のセルのワード線は低電位側電源と同電位
にする必要かある。それは、それ以外の中間電位ではア
クセストランジスタQ3、Q4かオンしてしまい、ビッ
ト線からアクセストランジスタを通してセル電流か流れ
、待機時に消費電流の増大を招くためである。従ってワ
ード線の選択制御にはCMOS論理回路を使う必要かあ
る。
この状況は、近年、超高速大容量SRAMに用いられて
きたBiCMO5技術を用いても、このメモリセルを用
いている限り変わらない。BiCMO5SRAM、特に
入出力仕様をECLに合わせたECL  BiCMO5
SRAMでは、その読み出し速度をECLバイポーラS
RAMなみに高速化するためには周辺回路を全てCMO
3論理回路より高速なECL論理回路で構成することが
望ましい。
(発明か解決しようとする課題) しかしながら上記欠点があるために、ワード線を駆動す
る回路はCMO5論理回路を用いる必要がある。これは
ECL論理回路では、原理的に低電位電源と同電位の出
力が得られないためである。従ってワード線駆動回路を
0MO8とすると駆動回路の部分てECLを用いる場合
に比べ、遅くなる上に、ECL論理レベルをCMO3論
理レベルにレベル変換する回路が必要となり、この変換
時間分たけ、読み出し速度(アクセスタイム)が更に遅
れてしまう欠点がある。
この問題を解決する手段として、第5図の回路図のよう
なメモリセルが提案されている。これは、交差結合した
NMOSFETQI、Q2、PMOSFETQ5、Q6
でフリップフロップを構成している。NMOS F E
 Tのソースは負電位電源(この場合接地) 、PMO
SFETのソースは読み出し用ワード線RWLに接続さ
れている。更に、一方の内部ノードAは、ゲートを書き
込み用ワード線WWLに接続し、WWLによって選択制
御されるアクセストランジスタQ3を介して書き込み用
ビット線WBLに接続されている。またもう−方の内部
ノードBは、ベースを内部ノードB1コレクタを正電位
電源、エミッタを読み出し用ビット線RBLに接続され
たNPNバイポーラトランジスタT1を介して読み出し
用ビット線RBLに接続されている。このRBLには、
NPNトランジスタTREF、抵抗RREF、定電流源
12を有したセンスアンプ11が接続されている。
このセルの書き込み動作は第4図と同様で、書き込み時
には書き込み用ワード線WWLを高電位にすることで、
内部ノードAと書き込み用ビット線WBLを接続し、W
BLを外部から高電位または低電位とすることで、フリ
ップフロップの書き換えを行なう。書き込み時以外は、
書き込み用ワド線WWLを低電位電源と同電位にしてお
く。
このセルの読み出し動作は、第4図とかなり異なる。読
み出し時には、読み出し用ワード線RWLを待機時より
も高電位にすることで行なう。
読み出し用ビット線RBLは、センスアンプ回路11を
介してVREF  Vf(VfはNPN )ランジスタ
Tll、Fの順方向ベース−エミッタ間電位で約0.8
V)に充電されている。また、RWLの選択暗電位VR
WLI+はV。、より高電位に設定しておく。こうする
と、セル選択時、Bのノードが高電位の場合は、NPN
バイポーラトランジスタT1とセンスアンプTREEと
の間で差動増幅回路が構成され、読み出し用ビット線、
RBLの電位かrVRwLHV f >VREF  V
 f JとなってトランジスタT REFがカットオフ
し、出力OUTが負荷抵抗R1Pで充電されて、高電位
出力をだす。
一方、Bのノードか、低電位すなわち、低電位電源電位
の時は、読み出し用ビット線RBLはrVagp  V
、fJノままで、トランジスタTREFはオン、T1か
カットオフして出力OUTは低電位出力をだす。このよ
うにメモリセルの高電位電源を読み出し用ワード線RW
Lにして、中間電位で振幅させることで、このRWLは
ECL論理回路で駆動することが可能となる。従ってE
CLバイポーラSRAMと同程度の読み出し速度がEC
L  BiCMO5SRAMでも可能となる。
しかしながら、第5図のメモリセルは、第4図のメモリ
セルが4個(7)NMOSFETだけで構成されている
のに対し、3個(7)NMOSFET、2個のPMO3
FET、1個(7)NPNバイポーラトランジスタから
なるために、セルサイズがどうしても3〜4倍大きくな
り、バイポーラメモリセルよりはセルサイズが小さいと
はいっても、集積度向上の妨げとなる。中でも、1つの
メモリセル内にPMOSFET、NMOSFETを集積
することは、PMO3FETを入れるNウェル領域とN
MOSFETのPウェル領域をセル内で分離するため、
セルサイズ縮少の上では最大の欠点となる。
そこで本発明の目的は、ECL論理回路によりワード線
の駆動が可能で、しかもCMOSメモリセルなみの待機
時消費電力を持ち、メモリセルサイズが、CMOS用の
メモリセルに比べてそれほど太き(ならないスタティッ
ク型メモリセルを提供することにある。
(1)一端を第1電位電源に、他端を第1の内部ノード
に接続した第1の抵抗素子と、一端を第1電位電源に、
他端を第2の内部ノードに接続した第2の抵抗素子と、
ドレインを第1の内部ノードに、ソースを読み出し用ワ
ード線に、ゲートを第2の内部ノードに接続した第1の
第1チャネル型MOSFETと、ドレインを第2の内部
ノードに、ソースを読み出し用ワード線に、ゲートを第
1内部ノードに接続した第2の第1チャネル型MO8F
ETと、ドレインを第1の内部ノードに、ソースを第1
の書き込み用ビット線に、ゲートを書き込み用ワード線
に接続した第3の第1チャネル型MOSFETと、ドレ
インを第2の内部ノードに、ソースを第2の書き込み用
ビット線に、ゲートを書き込み用ワード線に接続した第
4の第1チャネル型MOSFETと、コレクタを第2電
位電源に、ベースを第2の内部ノードに、エミ・ツタを
第1の読み出し用ビット線に接続した第1の第1極性/
<イポーラトランジスタを具偏してなるスタテイ・ツク
型メモリセルである。また本発明は、エミ・ツタを第1
の読出し用ビット線に接続して第1の第1極性バイポー
ラトランジスタと共に比較増幅器を構成する第2の第1
極性バイポーラトランジスタを具備してなる上記(1)
に記載のスタテイ・ツク型メモリセルである。
即ち本発明は、1つのメモリセルが1つのチャネル型M
OSFETたけで構成されているため、ウェル分離領域
か不要で、セルサイズか縮少し、また、フリップフロッ
プの第2電位電源を読み出し用ワード線とすることで、
ECL論理回路による読み出し用ワード線駆動を可能に
するものである。
(実施例) 以下図面を参照して本発明の一実施例を説明する。第1
図は同実施例のスタティック型メモリセルの回路図であ
るが、これは前記従来例のものと対応させた場合の例で
あるから、対応個所には同一符号を用いる。ここで、抵
抗素子R1、R2と交差接続したPMO8FETQI、
Q2を負電位電源(ここでは接地)と読み出し用ワード
線RWLとの間に形成してフリップフロップとなし、こ
れを記憶要素(メモリセル)としている。AlBがフリ
ップフロップの相補型内部ノード対である。読み出し用
ワード線RWLは待機時、選択時を含めてメモリセルの
高電位側電源の役割をする。
(これはチップの高電位電源とは異なる。)これに書き
込み用ワード線WWLにより、ゲート選択制御されるア
クセストランジスタQ3、Q4が内部ノードA、Bと書
き込み用ビット線対WBL。
WBLとの間にそれぞれ接続されている。更に、NPN
型バイポーラトランジスタT1がメモリセル内に設けら
れ、ベースを内部ノードB1コレクタをチップの高電位
電源1、エミッタを読み出し用ビット線RBLに接続さ
れている。またセンスアンプ11がRBLに接続されて
いる。このように4PMOSFET、INPNバイポー
ラトランジスタ、2抵抗素子でスタティック型メモリセ
ルを構成するのが本実施例の特徴である。
このセルの書き込み動作はWWL、WBL。
WBLを介して行なう。即ち、選択されたメモリセルが
つながったWWLを低電位にすることで、メモリセルの
フリップフロップとビット線対WBL、WBLが接続さ
れ、ビット線対の一方を高電位、他方を低電位にするこ
とで、メモリセルの書き換えを行なう。書き込み時以外
はWWLを高電位電源と同電位にすることで、第4図の
ようなCMO5用メモリセルと同程度のセル待機時消費
電力を実現できる。
このセルの読み出し動作は、選択されたメモリセルがつ
ながったRWLを待機時よりも高電位にすることで行な
う。第1図中にはセンスアンプ回路11の一例も示した
が、RWLは、待機時はバイポーラトランジスタTR8
Fのベースに加えられた参照電位V REFを反映して
、rVREp−VfJに充電されている。RWLの制御
は、選択時にはV REFより高い高電位V REFH
(> V REF ) 、非選択時すなわち待機時には
、VREFより低い低電位■3゜FL (< VREF
 )とする。セル選択時、Bのノードが高電位(>VR
EP)の場合には、トランジスタT1とT REFで構
成される比較用差動増幅回路ではT]がオンし、TRE
Eか力・ソトオフするため、センスアンプ出力OUTは
抵抗負荷RREFて充電されて高電位出力を出す。これ
か“1′読みの場合の読み出し動作である。一方、Bの
ノードが、負電位(−VEE)の場合にはT1がオフし
、T REFがオンするため、センスアンプ出力OUT
は低電位出力を出す。これが読みの場合の読み出し動作
である。
このように読み出し時、待機時の制御はRWLを中間電
位で駆動すればよいため、この読み出しワード線RWL
はECL論理回路で駆動することが可能である。従って
ECLバイポーラRAMと同程度の読み出し時間が可能
となる。また抵抗素子R1、R2はポリシリコンなどを
用いてPMOSFET上に縦積みで形成することが可能
なので、NMOSEFTを用いた第5図に比較してセル
面積の増加につながらない。また、ノくイポーラトラン
ジスタのオン時のベース電流はPMOSFETから供給
されるので、この抵抗素子R1、R2の抵抗値は、内部
ノードA、Bの電荷を保持する程度に小さければよく、
高抵抗ポリシリコンを用いて第5図のセルなみに待機時
消費電力を下げることができる。更に高抵抗ポリシリコ
ンのかわりにN型薄膜トランジスタを用いれば、PMO
SFET上に構成でき、しかも、オン時の抵抗は高抵抗
ポリシリコンより2〜3桁小さいので、より安定動作が
できる。
また、NPN )ランジスタはコレクタ電位が高電位電
源と同電位に固定されているので、コレクタ分離領域が
不要で、PMOSFET(7)Nウェル領域と共用する
ことができる。従って、このメモリセルは、ウェル分離
領域を、第5図と異なり全く必要とせず、完全にNウェ
ル単一領域に形成できる。従って、第4図に示したよう
な従来の高抵抗負荷型4個のトランジスタメモリセルに
比べて、NPNバイポーラトランジスタのベース領域と
エミッタ領域針だけのメモリセルの増加で済むため、メ
モリセルサイズの増大は第4図に比べ約2倍程度で済み
、第5図のセルサイズに対して約25%〜50%小さい
。更に、PMOSFETQ2のドレインとバイポーラT
1の外部ベースを共用すれば、もっとセルサイズを縮少
することができる。
第2図に本発明の他の実施例によるメモリセルの回路図
を示す。これは第1図に加え、AのノードにもNPNバ
イポーラトランジスタT2を付加したもので、読み出し
用ビット線もRBL。
RBLの対になるバイポーラトランジスタが1個加わっ
た分だけセルサイズが大きくなるが、ビット線対RBL
、RBLで差動型の読み出し動作がセンスアンプ13で
て亀るため、第1図よりも高速な読み出し動作が可能に
なる。
第3図に本発明の他の実施例によるメモリセルの回路図
を示す。第3図ではNMOSFET4個。
PNPバイポーラトランジスタ1個、抵抗素子2個から
形成されている。このように同一基板上にNPN、PN
P、CMO5の素子が集積される完全B1MOS構造に
おいては、Pウェル中にメモリセルを構成することか可
能である。この時、電位の接続などは全て第1図の例と
双対である。
なお本発明は上記実施例のみに限られず種々の応用が可
能である。例えばPMOSFETをNMOSFETに、
NPNバイポーラトランジスタをPNPバイポーラトラ
ンジスタに、正電位電源を負電位電源に、負電位電源を
正電位電源に置き換える等、極性を逆転させたものを用
いてもよい。
[発明の効果] 以上のように本発明によるスタテック型メモリセルにお
いては、読み出し用のワード線がECL論理回路を用い
て中間電位で駆動できるため、従来のCMO3用メモリ
セルに比べ、間にCMO5論理回路が入らないので、高
速な読み出し動作か可能であり、また、メモリセルが、
4個の第1チャネル型MO3FET、1個の第1極性の
バイポーラトランジスタ、2個の抵抗素子から形成され
るため、単一の導電型ウェル内にメモリセルを形成でき
、従来のBiCMO3用メモリセルに比べ、セル面積が
大幅に小さくでき、高集積化及び大容量化が可能になる
等積々の効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図ないし第3図は本発明の各実施例の回路図、第4
図、第5図は従来例の回路図である。 Q1〜Q4・・・MOSFET、R,−R2・・・抵抗
、A、B・・・ノード、T1.T2 、TREP・・・
バイボラトランジスタ、WWL・・・書き込み用ワード
線、RWL・・・読み出し用ワード線、RBL、RBL
・・・読み出し用ビット線対、WBL、WBL・・・書
き込み用ビット線対、1・・・電源、11.13・・・
比較増幅器。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第4 図

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)一端を第1電位電源に、他端を第1の内部ノード
    に接続した第1の抵抗素子と、一端を第1電位電源に、
    他端を第2の内部ノードに接続した第2の抵抗素子と、
    ドレインを第1の内部ノードに、ソースを読み出し用ワ
    ード線に、ゲートを第2の内部ノードに接続した第1の
    第1チャネル型MOSFETと、ドレインを第2の内部
    ノードに、ソースを読み出し用ワード線に、ゲートを第
    1の内部ノードに接続した第2の第1チャネル型、MO
    SFETと、ドレインを第1の内部ノードに、ソースを
    第1の書き込み用ビット線に、ゲートを書き込み用ワー
    ド線に接続した第3の第1チャネル型MOSFETと、
    ドレインを第2の内部ノードに、ソースを第2の書き込
    み用ビット線に、ゲートを書き込み用ワード線に接続し
    た第4の第1チャネル型MOSFETと、コレクタを第
    2電位電源に、ベースを第2の内部ノードに、エミッタ
    を第1の読み出し用ビット線に接続した第1の第1極性
    バイポーラトランジスタを具備してなるスタティック型
    メモリセル。
  2. (2)エミッタを第1の読出し用ビット線に接続して第
    1の第1極性バイポーラトランジスタと共に比較増幅器
    を構成する第2の第1極性バイポーラトランジスタを具
    備してなる請求項1に記載のスタティック型メモリセル
  3. (3)コレクタを第2電位電源に、ベースを第1の内部
    ノードに、エミッタを第2の読み出し用ビット線に接続
    した第3の第1極性バイポーラトランジスタを具備して
    なる請求項1に記載のスタティック型メモリセル。
  4. (4)第1極性バイポーラトランジスタの第1導電型コ
    レクタ領域と第1チャネル型MOSFETの第1導電型
    ウェル領域を共用し、第1チャネル型MOSFET(7
    )Nウェル領域の電位を第2電位電源とすることを特徴
    とする請求項1または2に記載のスタティック型メモリ
    セル。
  5. (5)第1の第1チャネル型MOSFETのドレイン領
    域と第1の第1極性バイポーラトランジスタの外部ベー
    ス領域を共用することを特徴とする請求項1または2に
    記載のスタティック型メモリセル。
  6. (6)第2の第1チャネル型MOSFETのドレイン領
    域と第3の第1極性バイポーラトランジスタの外部ベー
    ス領域を共用することを特徴とする請求項3に記載のス
    タティック型メモリセル。
  7. (7)第1、第2の抵抗素子として、ゲートをドレイン
    が接続されているのと反対側の内部ノードに接続した薄
    膜トランジスタを用いることを特徴とした請求項1また
    は2に記載のスタティック型メモリセル。
  8. (8)第1、第2の抵抗素子として、高抵抗ポリシリコ
    ンを用いることを特徴とした請求項1または2に記載の
    スタティック型メモリセル。
  9. (9)書き込み時には書き込み用ワード線を第1電位電
    源と同電位にし、第1、第2の書き込み用ビット線に相
    補信号を与えて書き込みを行うことを特徴とする請求項
    1または2に記載のスタティック型メモリセル。
  10. (10)読み出し時には、選択された読み出し用ワード
    線を非選択ワード線の読み出し用ワード線電位よりも絶
    対値的に高電位にすることを特徴とする請求項1または
    2に記載のスタティック型メモリセル。
  11. (11)第1及び第2の読み出し用ビット線電位を比較
    するセンスアップを具備したことを特徴とする請求項3
    に記載のスタティック型メモリセル。
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