JPH0481889A - アクティブマトリクスアレイ基板の検査方法 - Google Patents
アクティブマトリクスアレイ基板の検査方法Info
- Publication number
- JPH0481889A JPH0481889A JP2198220A JP19822090A JPH0481889A JP H0481889 A JPH0481889 A JP H0481889A JP 2198220 A JP2198220 A JP 2198220A JP 19822090 A JP19822090 A JP 19822090A JP H0481889 A JPH0481889 A JP H0481889A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- active matrix
- liquid crystal
- array substrate
- matrix array
- counter electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 78
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 title claims abstract description 75
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 33
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims abstract description 48
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract 2
- 239000004983 Polymer Dispersed Liquid Crystal Substances 0.000 claims description 19
- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract description 20
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 17
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 abstract description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 5
- 239000004815 dispersion polymer Substances 0.000 abstract description 4
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 abstract description 4
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 abstract description 4
- 239000005060 rubber Substances 0.000 abstract description 4
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 8
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 6
- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 229920001328 Polyvinylidene chloride Polymers 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 239000012776 electronic material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000005033 polyvinylidene chloride Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Liquid Crystal Display Device Control (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、フィルム状のポリマー分散型液晶な用いた、
液晶ディスプレイパネルのアクティブマトリクスアレイ
基板の検査方法に関する。
液晶ディスプレイパネルのアクティブマトリクスアレイ
基板の検査方法に関する。
〈従来の技術〉
現在、液晶ディスプレイパネルは大別して単純マトリク
ス方式とアクティブマトリクス方式とがある。
ス方式とアクティブマトリクス方式とがある。
これらの方式のうち、アクティブマトリクス方式とは、
それぞれの表示画素にスイッチング素子を付加したもの
である。スイッチング素子としては薄膜トランジスタの
如き3端子素子とダイオード如き2端子素子とがある。
それぞれの表示画素にスイッチング素子を付加したもの
である。スイッチング素子としては薄膜トランジスタの
如き3端子素子とダイオード如き2端子素子とがある。
第4図は3端子素子の場合の例として薄膜トランジスタ
アクティブマトリクス方式の液晶ディスプレイパネルの
一部を拡大して示す模式図である。
アクティブマトリクス方式の液晶ディスプレイパネルの
一部を拡大して示す模式図である。
この図にあって、1は液晶ディスプレイパネルである。
この液晶ディスプレイパネル1は、偏光板2.3をそれ
ぞれ設けた2枚のガラス基板5.6の間にTNぐTwj
sted Nematic)液晶4を封入した構成で
ある。
ぞれ設けた2枚のガラス基板5.6の間にTNぐTwj
sted Nematic)液晶4を封入した構成で
ある。
また、ガラス基板6上には、データ信号線7と走査信号
tIA8とがマトリクス状に配設されている。
tIA8とがマトリクス状に配設されている。
また、これらの交点付近には薄膜トランジスタ(TFT
: Th1n Film Transistor)
10が配設されている。また、TFT 10のドレイン
電極側は透明な駆動電極(画素電極とも呼ばれる)9に
電気的に接続されている。以下、この駆動電極9とTP
T 10等を配設したガラス板3をアクティブマトリク
スアレイ基板という。
: Th1n Film Transistor)
10が配設されている。また、TFT 10のドレイン
電極側は透明な駆動電極(画素電極とも呼ばれる)9に
電気的に接続されている。以下、この駆動電極9とTP
T 10等を配設したガラス板3をアクティブマトリク
スアレイ基板という。
一方、ガラス基板5上には透明な対向電極11が配置さ
れている。
れている。
ところで、以上の構成の液晶ディスプレイパネル1にあ
って、アクティブマトリクスアレイ基板6の検査方法、
すなわちデータ信号線7や走査信号線8等の短絡、断線
やTFT 10の欠陥の検査方法としては、従来から探
針による検査方法や目視による検査方法等があった。
って、アクティブマトリクスアレイ基板6の検査方法、
すなわちデータ信号線7や走査信号線8等の短絡、断線
やTFT 10の欠陥の検査方法としては、従来から探
針による検査方法や目視による検査方法等があった。
探針による検査方法とは、探針(プローバー)用いて全
信号線7.8、および全駆動電極9を順次検査すること
により、アクティブマトリクスアレイ基板6の欠陥の有
無を判定するものである。
信号線7.8、および全駆動電極9を順次検査すること
により、アクティブマトリクスアレイ基板6の欠陥の有
無を判定するものである。
−例としては、まず、信号線7.8、または駆動電極9
に探針な押し当てる。次に、この探針を介して信号線7
.8、または駆動電極9に通電する。
に探針な押し当てる。次に、この探針を介して信号線7
.8、または駆動電極9に通電する。
そして、導通の仕方によって短絡、断線の有無、および
薄膜トランジスタの良、不良を判断する。
薄膜トランジスタの良、不良を判断する。
その後、不良箇所が修正できる場合は修正し、修正でき
ない場合は破棄していた。
ない場合は破棄していた。
たとえば、この方法については「電子情報通信学会Jの
1989年秋季全国大会の講演予稿集5−32に掲載さ
れている。
1989年秋季全国大会の講演予稿集5−32に掲載さ
れている。
目視による検査方法とは、アクティブマトリクスアレイ
基板6、TNM晶4、ガラス基板5等を液晶ディスプレ
イパネルとして組み立てたのち、その表示状態を目視に
より観察することにより、アクティブマトリクスアレイ
基板6の欠陥の有無を判定するものである。詳しくは、
まず、全部のデータ信号線7、走査信号線8、および対
向電極11に所定の電圧を印加したり印加しなかったり
する。そして、アクティブマトリクスアレイ基板6の方
から光を照射させ、その光の透過状態をガラス板5の側
から観察する。そして、TN液晶4の配向が所期の通り
変化して光の透過状態が変化するかを調べる。すなわち
、例えばある走査信号線8に断線が生じていて、それに
対応するTPTloが正常に動作しなかった場合、その
TPT 10に接続されている駆動電極(画素電極)9
に電圧が正常に印加されず、それに対応する表示画素を
通過する光の量は走査信号線8に印加した信号に応答し
ないので欠陥があることがわかる。
基板6、TNM晶4、ガラス基板5等を液晶ディスプレ
イパネルとして組み立てたのち、その表示状態を目視に
より観察することにより、アクティブマトリクスアレイ
基板6の欠陥の有無を判定するものである。詳しくは、
まず、全部のデータ信号線7、走査信号線8、および対
向電極11に所定の電圧を印加したり印加しなかったり
する。そして、アクティブマトリクスアレイ基板6の方
から光を照射させ、その光の透過状態をガラス板5の側
から観察する。そして、TN液晶4の配向が所期の通り
変化して光の透過状態が変化するかを調べる。すなわち
、例えばある走査信号線8に断線が生じていて、それに
対応するTPTloが正常に動作しなかった場合、その
TPT 10に接続されている駆動電極(画素電極)9
に電圧が正常に印加されず、それに対応する表示画素を
通過する光の量は走査信号線8に印加した信号に応答し
ないので欠陥があることがわかる。
次に、第5図は2端子素子の場合の例として、MIM
(Me ta 1−Insu lator−Metal
)素子を用いた液晶ディスプレイパネルの断面図を示し
、第6図はその画素パターン図をボす。
(Me ta 1−Insu lator−Metal
)素子を用いた液晶ディスプレイパネルの断面図を示し
、第6図はその画素パターン図をボす。
これらの図にあって、21はMIM素子を用いた液晶デ
ィスプレイパネルである。この液晶ディスプレイパネル
21は、2枚のガラス基板24.250間に液晶26を
封入し、その上下に偏光板22.23をそれぞれ設けた
構成である。このガラス基板25上には駆動電極27、
タイミング信号線28、およびMIM素子29が配設さ
れている。また、ガラス基板24には対向電極30が配
設されている。
ィスプレイパネルである。この液晶ディスプレイパネル
21は、2枚のガラス基板24.250間に液晶26を
封入し、その上下に偏光板22.23をそれぞれ設けた
構成である。このガラス基板25上には駆動電極27、
タイミング信号線28、およびMIM素子29が配設さ
れている。また、ガラス基板24には対向電極30が配
設されている。
このMIM素子を用いた液晶ディスプレイパネル21の
検査方法は、3端子素子の場合と略同じである。すなわ
ち、探針による検査方法においてはタイミング信号線2
8と駆動電極27とに探針をあて、印加した電圧と電流
の関係を検査することにより、MIM素子29の良否を
判定し、不良箇所を検出する。また、目視による検査方
法においては3端子素子の場合と同様に液晶ディスプレ
イパネル21を組み立てて、実際にこの液晶ディスプレ
イパネル21を動作させてMIM素子29の良否を判定
する。
検査方法は、3端子素子の場合と略同じである。すなわ
ち、探針による検査方法においてはタイミング信号線2
8と駆動電極27とに探針をあて、印加した電圧と電流
の関係を検査することにより、MIM素子29の良否を
判定し、不良箇所を検出する。また、目視による検査方
法においては3端子素子の場合と同様に液晶ディスプレ
イパネル21を組み立てて、実際にこの液晶ディスプレ
イパネル21を動作させてMIM素子29の良否を判定
する。
〈発明が解決しようとする課題〉
しかしながら、このような従来の探針による検査方法に
あっては、探針を用いて全信号線、または、1万〜10
0万程度ある駆動電極を順次検査し、アクティブマトリ
クスアレイ基板の欠陥の有無を判定していた。このため
、検査作業は非常に煩雑で、しかも作業効率が悪がった
。
あっては、探針を用いて全信号線、または、1万〜10
0万程度ある駆動電極を順次検査し、アクティブマトリ
クスアレイ基板の欠陥の有無を判定していた。このため
、検査作業は非常に煩雑で、しかも作業効率が悪がった
。
また、このような従来の目視による検査方法にあっては
、検査者がアクティブマトリクスアレイ基板、TN液晶
、ガラス基板等を液晶ディスプレイパネルとして朝み立
てたのち、この液晶ディスプレイパネルを目視によって
観察することによりアクティブマトリクスアレイ基板の
欠陥の有無を判定していた。アクティブマトリクスアレ
イ基板の欠陥を見い出しても、その液晶ディスプレイパ
ネルのアクティブマトリクスアレイ基板のみを取り替え
ることが大変であったため、外部からの修正ができない
場合、その液晶ディスプレイパネルを破棄していた。
、検査者がアクティブマトリクスアレイ基板、TN液晶
、ガラス基板等を液晶ディスプレイパネルとして朝み立
てたのち、この液晶ディスプレイパネルを目視によって
観察することによりアクティブマトリクスアレイ基板の
欠陥の有無を判定していた。アクティブマトリクスアレ
イ基板の欠陥を見い出しても、その液晶ディスプレイパ
ネルのアクティブマトリクスアレイ基板のみを取り替え
ることが大変であったため、外部からの修正ができない
場合、その液晶ディスプレイパネルを破棄していた。
なぜなら、TN液晶は液体であって、封入時ガラス基板
周囲のシールをしっかり行なう必要があり、絽み立てた
パネルを解体することが難しいはかりてなく、TFTア
レイ基板上に付着しているTN液晶を除去しないと修正
作業は難しいため、修正作業に非常に手間がかがってい
た。
周囲のシールをしっかり行なう必要があり、絽み立てた
パネルを解体することが難しいはかりてなく、TFTア
レイ基板上に付着しているTN液晶を除去しないと修正
作業は難しいため、修正作業に非常に手間がかがってい
た。
この結果、液晶ディスプレイパネルの製造コストの上昇
を招いていた。
を招いていた。
そこで、本発明の目的は、検査作業の効率を向上させる
とともに、液晶ディスプレイパネルの製造コストを下げ
るアクティブマトリクスアレイ基板の検査方法を提供す
るものである。
とともに、液晶ディスプレイパネルの製造コストを下げ
るアクティブマトリクスアレイ基板の検査方法を提供す
るものである。
〈課題を解決するための手段〉
本発明は、液晶ディスプレイ用アクティブマI・リクス
アレイ基板の検査方法であって、該アクティブマトリク
スアレイ基板と対向電極基板との間にフィルム状に形成
したポリマー分散型液晶を挟み検査用積層体とし、走査
信号線、データ信号線および対向電極に所定の電圧を印
加するとともに、当該積層体の一方から光を照射し、透
過する光を他方から観察することによって、このアクテ
ィブマトリクスアレイ基板が正常に動作するか否かを判
定することを特徴とするアクティブマトリクスアレイ基
板の検査方法である。
アレイ基板の検査方法であって、該アクティブマトリク
スアレイ基板と対向電極基板との間にフィルム状に形成
したポリマー分散型液晶を挟み検査用積層体とし、走査
信号線、データ信号線および対向電極に所定の電圧を印
加するとともに、当該積層体の一方から光を照射し、透
過する光を他方から観察することによって、このアクテ
ィブマトリクスアレイ基板が正常に動作するか否かを判
定することを特徴とするアクティブマトリクスアレイ基
板の検査方法である。
く作用〉
本発明に係るアクティブマトリクスアレイ基板の検査方
法は、まずアクティブマトリクスアレイ基板と対向電極
との間にフィルム状のポリマー分散型液晶を挟み積層体
とした後、なるべく電圧が均一に印加されるように積層
体を均一に加圧する。
法は、まずアクティブマトリクスアレイ基板と対向電極
との間にフィルム状のポリマー分散型液晶を挟み積層体
とした後、なるべく電圧が均一に印加されるように積層
体を均一に加圧する。
例えはクリップでこの積層体の4カ所を挟んで固定し液
晶ディスプレイパネルとする。この方法は従来の液体状
のTN液晶を封入する方法に比べて著しく簡単である。
晶ディスプレイパネルとする。この方法は従来の液体状
のTN液晶を封入する方法に比べて著しく簡単である。
次に、従来方法と同じく駆動電極と対向電極との間に電
圧を印加するとともに、積層体の一方から光を照射し、
他方から目視、またはTVカメラ等の手段によって透過
する光を観察する。
圧を印加するとともに、積層体の一方から光を照射し、
他方から目視、またはTVカメラ等の手段によって透過
する光を観察する。
上述した方法で検査した後、液晶ディスプレイパネルの
不良箇所を修正する場合、解体しなけれは゛ならないが
、例えばクリップを外すだけでよいので、従来の方法と
比べて著しく簡単である。また、修正不能で破棄する場
合もアクティブマトリクスアレイ基板だけを破棄すれば
よい。
不良箇所を修正する場合、解体しなけれは゛ならないが
、例えばクリップを外すだけでよいので、従来の方法と
比べて著しく簡単である。また、修正不能で破棄する場
合もアクティブマトリクスアレイ基板だけを破棄すれば
よい。
〈実施例〉
以下、本発明に係るアクティブマトリクスアレイ基板、
例えばTPTアクティブマトリクス方式の基板の検査方
法を説明する。なお、上述した従来例と同一の部分には
同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
例えばTPTアクティブマトリクス方式の基板の検査方
法を説明する。なお、上述した従来例と同一の部分には
同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
第1図はTFT形アクティブマトリクス駆動素子の構造
を模式化して示すブロック図である。
を模式化して示すブロック図である。
第1図にありで、31はアクティブマトリクスアレイ基
板である。第4図に示したように、このアクティブマト
リクスアレイ基板31は、支持体であるガラス基板6上
にデータ信号線7と走査信号線8とをマトリクス状に配
設したものである。
板である。第4図に示したように、このアクティブマト
リクスアレイ基板31は、支持体であるガラス基板6上
にデータ信号線7と走査信号線8とをマトリクス状に配
設したものである。
また、これらの交点付近にTPTIOを配設したもので
ある。詳しくは、第1図に示すように、TFTloのド
レイン41に駆動電極9、そのソース42にデータ信号
線7、そのゲート43には走査信号線8が、それぞれ接
続されている。したがって、走査信号をゲート43に入
力するとTFTloがON状態になる。
ある。詳しくは、第1図に示すように、TFTloのド
レイン41に駆動電極9、そのソース42にデータ信号
線7、そのゲート43には走査信号線8が、それぞれ接
続されている。したがって、走査信号をゲート43に入
力するとTFTloがON状態になる。
このようなアクティブマトリクスアレイ基板31上のデ
ータ信号線7、または走査信号線8の断線やショート、
およびTPTの良、不良等を検査する場合の検査方法を
以下に示す。
ータ信号線7、または走査信号線8の断線やショート、
およびTPTの良、不良等を検査する場合の検査方法を
以下に示す。
第2図は本発明の一実施例に係るアクティブマトリクス
アレイ基板の検査方法を説明するための積層体の断面図
である。
アレイ基板の検査方法を説明するための積層体の断面図
である。
まず、検査者は、第2図に示すようにアクティブマトリ
クスアレイ基板310表面に透明プラスチックフィルム
52を積層し、さらにフィルム状のポリマー分散型液晶
53、透明対向電極11、透明ゴム54、ガラス基板5
を順次積層する。そして、この積層体の各層が密着する
ようにクリップ等の固定器具で固定する。この際、ガラ
ス基板5を積層するだけで、該積層体の各層が密着する
のであれば、固定器具で固定する必要はない。
クスアレイ基板310表面に透明プラスチックフィルム
52を積層し、さらにフィルム状のポリマー分散型液晶
53、透明対向電極11、透明ゴム54、ガラス基板5
を順次積層する。そして、この積層体の各層が密着する
ようにクリップ等の固定器具で固定する。この際、ガラ
ス基板5を積層するだけで、該積層体の各層が密着する
のであれば、固定器具で固定する必要はない。
透明プラスチックフィルム52には、駆動電極9からの
電界の強さを弱めないために誘電率の高いフィルム(例
えば、ポリ塩化ビニリデン)を使用することが望ましい
。
電界の強さを弱めないために誘電率の高いフィルム(例
えば、ポリ塩化ビニリデン)を使用することが望ましい
。
フィルム状のポリマー分散型液晶δ3は、ポリマーのマ
トリクス中に液晶の球55が分散した構造のフィルムで
ある。
トリクス中に液晶の球55が分散した構造のフィルムで
ある。
このような構成のフィルム状のポリマー分散型液晶53
に電圧を印加していない場合、第3図(a)に示すよう
に、液晶分子56は液晶の球55の外壁に沿って並んで
いる。このときに一方の電極面から光を照射した場合、
この光は液晶分子56の複屈折性によって、液晶の球5
5内部で散乱する。その結果、このフィルム状のポリマ
ー分散型液晶53は乳白色に見える。
に電圧を印加していない場合、第3図(a)に示すよう
に、液晶分子56は液晶の球55の外壁に沿って並んで
いる。このときに一方の電極面から光を照射した場合、
この光は液晶分子56の複屈折性によって、液晶の球5
5内部で散乱する。その結果、このフィルム状のポリマ
ー分散型液晶53は乳白色に見える。
一方、フィルム状のポリマー分散型液晶53に電圧を印
加した場合、第3図(b)に示すように、液晶分子56
は電界方向(図中矢印E方向)に並ぶ。その結果、一方
の電極面から光を照射した場合、光は液晶の球55内部
で散乱せずに直進するため、このポリマー分散型液晶5
3はガラスのように透明に見える。
加した場合、第3図(b)に示すように、液晶分子56
は電界方向(図中矢印E方向)に並ぶ。その結果、一方
の電極面から光を照射した場合、光は液晶の球55内部
で散乱せずに直進するため、このポリマー分散型液晶5
3はガラスのように透明に見える。
なお、このようなポリマー分散型液晶53の詳細は、月
刊雑誌「電子材料jの1987年12月号別刷、および
r電子情報通信学会」の1990年2月15日発行の論
文EID89−89等に掲載されている。
刊雑誌「電子材料jの1987年12月号別刷、および
r電子情報通信学会」の1990年2月15日発行の論
文EID89−89等に掲載されている。
透明対向電極11は透明プラスチックフィルム57に金
属酸化物を蒸着したものである。
属酸化物を蒸着したものである。
透明ゴム54は、例えばシリコンゴムから形成されたも
のであり、アクティブマトリクスアレイ基板31とプラ
スチックフィルム52と、およびポリマー分散型液晶5
3と対向電極11と、の密着性を向上させるために積層
されている。
のであり、アクティブマトリクスアレイ基板31とプラ
スチックフィルム52と、およびポリマー分散型液晶5
3と対向電極11と、の密着性を向上させるために積層
されている。
なお、該積層したものの取扱を容易にするために、プラ
スチックフィルム52、ポリマー分散型液晶53、対向
電極11、透明ゴム54は一体に形成しである方が望ま
しい。さらにガラス基板5も上記積層したものと一体に
形成されている方が望ましい。
スチックフィルム52、ポリマー分散型液晶53、対向
電極11、透明ゴム54は一体に形成しである方が望ま
しい。さらにガラス基板5も上記積層したものと一体に
形成されている方が望ましい。
次に、検査者は走査信号を全TPTIOのゲート43に
入力することにより、全部の画素の駆動電極9と対向電
極11との間に所定電圧を印加させる。すなわち、全画
素にあって光が透過できる状態にしておく。なお、この
ときの印加電圧はポリマー分散型液晶の特性や厚さによ
って異なるが15V〜50V程度である。
入力することにより、全部の画素の駆動電極9と対向電
極11との間に所定電圧を印加させる。すなわち、全画
素にあって光が透過できる状態にしておく。なお、この
ときの印加電圧はポリマー分散型液晶の特性や厚さによ
って異なるが15V〜50V程度である。
そして、検査者はアクティブマトリクスアレイ基板31
の第2図中下方から光を照射し、図中上方から目視によ
って透過する光を観察する。
の第2図中下方から光を照射し、図中上方から目視によ
って透過する光を観察する。
この際、走査信号線8の断線で、一部の駆動電極9と対
向電極11との間に電圧を印加することができなかった
場合、例えばその駆動電極9と対応する画素だけが暗く
見える。そのため、検査者はこのアクティブマトリクス
アレイ基板31を不良であると判定することができる。
向電極11との間に電圧を印加することができなかった
場合、例えばその駆動電極9と対応する画素だけが暗く
見える。そのため、検査者はこのアクティブマトリクス
アレイ基板31を不良であると判定することができる。
そして、検査後、アクティブマトリクスアレイ基板31
からポリマー分散型液晶53等を離し、次のアクティブ
マトリクスアレイ基板31に積層し検査する。
からポリマー分散型液晶53等を離し、次のアクティブ
マトリクスアレイ基板31に積層し検査する。
したがって、検査者は、例えば目視によってアクティブ
マトリクスアレイ基板31を簡単に検査できるため、検
査作業の効率を向上させることができる。
マトリクスアレイ基板31を簡単に検査できるため、検
査作業の効率を向上させることができる。
また、ポリマー分散型液晶53、対向電極11等を固定
器具でアクティブマトリクスアレイ基板31に固定する
だけでアクティブマトリクスアレイ基板31を検査でき
る。よって、アクティブマトリクスアレイ基板31が不
良であった場合、固定器具を外すだけて容易にアクティ
ブマトリクスアレイ基板31のみを取り出すことができ
るため、修正するにしろ、破棄するにしろ検査作業の効
率向上と合わせ液晶ディスプレイパネルの製造コストを
下げることができる。
器具でアクティブマトリクスアレイ基板31に固定する
だけでアクティブマトリクスアレイ基板31を検査でき
る。よって、アクティブマトリクスアレイ基板31が不
良であった場合、固定器具を外すだけて容易にアクティ
ブマトリクスアレイ基板31のみを取り出すことができ
るため、修正するにしろ、破棄するにしろ検査作業の効
率向上と合わせ液晶ディスプレイパネルの製造コストを
下げることができる。
さらに、検査に使用する液晶は、フィルム状のポリマー
分散型液晶53であるため、取り扱いが簡単である。
分散型液晶53であるため、取り扱いが簡単である。
また、上記実施例では、TPTアクティブマトリクス方
式のアクティブマトリクスアレイ基板の検査方法であっ
たが、上述したMIMアクティブマトリクス方式のアク
ティブマトリクスアレイ基板にも実施できる。
式のアクティブマトリクスアレイ基板の検査方法であっ
たが、上述したMIMアクティブマトリクス方式のアク
ティブマトリクスアレイ基板にも実施できる。
なお、上記実施例では、プラスチックフィルム52と透
明ゴム54とを積層しているが、フィルム状のポリマー
分散型液晶53の種類やアクティブマトリクスアレイ基
板の構造によってはこれらがなくてもよい。この場合、
透明対向電極11はガラス基板5の上に形成される。
明ゴム54とを積層しているが、フィルム状のポリマー
分散型液晶53の種類やアクティブマトリクスアレイ基
板の構造によってはこれらがなくてもよい。この場合、
透明対向電極11はガラス基板5の上に形成される。
〈発明の効果〉
本発明のアクティブマトリクスアレイ基板の検査方法に
よれば、アクティブマトリクスアレイ基板と対向電極と
の間にポリマー分散型液晶等を挟むだけで、アクティブ
マトリクスアレイ基板の検査を行うことができる。すな
わち、例えは液晶ディスプレイパネルとして液晶を封入
して糾み立てることなく、目視によってアクティブマト
リクスアレイ基板の検査を行うことができる。
よれば、アクティブマトリクスアレイ基板と対向電極と
の間にポリマー分散型液晶等を挟むだけで、アクティブ
マトリクスアレイ基板の検査を行うことができる。すな
わち、例えは液晶ディスプレイパネルとして液晶を封入
して糾み立てることなく、目視によってアクティブマト
リクスアレイ基板の検査を行うことができる。
したがって、アクティブマトリクスアレイ基板を簡単に
、しかも短時間に検査できるため、アクティブマトリク
スアレイ基板の検査作業の効率を向上させるとともに、
アクティブマトリクスアレイ基板が不良であった場合、
容易に解体して積層体からアクティブマトリクスアレイ
基板のみを取り外し修正または廃棄すればよいので、液
晶ディスプレイパネルの製造コストを下げることができ
る。
、しかも短時間に検査できるため、アクティブマトリク
スアレイ基板の検査作業の効率を向上させるとともに、
アクティブマトリクスアレイ基板が不良であった場合、
容易に解体して積層体からアクティブマトリクスアレイ
基板のみを取り外し修正または廃棄すればよいので、液
晶ディスプレイパネルの製造コストを下げることができ
る。
第1図はTFT形アクティブマトリクス駆動素子の構造
の模式図、第2図は本発明の一実施例に係るアクティブ
マトリクスアレイ基板の検査方法を説明するための積層
体の断面図、第3図はポリマー分散型液晶の動作を説明
するための模式図、第4図はアクティブマトリクス方式
の液晶ディスプレイバネ/)の一部を拡大して示す模式
図、第5図はMIM素子を用いた液晶ディスプレイパネ
ルの断面図、第6図はMIM素子を拡大して示す画素パ
ターン図。 8・・・・・・・・・・走査信号線、 9.27・・・・・・・駆動電極、 10・・・・・・争・・TFT (スイッチング素子)
、 11.30・・・・・・対向電極、 28・・・・・・・・・タイミング信号線、29・◆◆
・・・・◆・MIM素子、 31・・・・・・・・・アクティブマトリクスアレイ基
板、 53・・・・・φ・・・フ、・ルム状のポリマー分散型
液晶。
の模式図、第2図は本発明の一実施例に係るアクティブ
マトリクスアレイ基板の検査方法を説明するための積層
体の断面図、第3図はポリマー分散型液晶の動作を説明
するための模式図、第4図はアクティブマトリクス方式
の液晶ディスプレイバネ/)の一部を拡大して示す模式
図、第5図はMIM素子を用いた液晶ディスプレイパネ
ルの断面図、第6図はMIM素子を拡大して示す画素パ
ターン図。 8・・・・・・・・・・走査信号線、 9.27・・・・・・・駆動電極、 10・・・・・・争・・TFT (スイッチング素子)
、 11.30・・・・・・対向電極、 28・・・・・・・・・タイミング信号線、29・◆◆
・・・・◆・MIM素子、 31・・・・・・・・・アクティブマトリクスアレイ基
板、 53・・・・・φ・・・フ、・ルム状のポリマー分散型
液晶。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 液晶ディスプレイ用アクティブマトリクスアレイ基板
の検査方法であって、 該アクティブマトリクスアレイ基板と対向電極基板との
間にフィルム状のポリマー分散型液晶を挟み積層体とし
、アクティブマトリクスアレイ基板上の駆動電極と対向
電極との間に電圧を印加するとともに、当該積層体の一
方から光を照射し、他方から透過する光を観察すること
によって、このアクティブマトリクスアレイ基板が正常
に動作するか否かを判定することを特徴とするアクティ
ブマトリクスアレイ基板の検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2198220A JPH0481889A (ja) | 1990-07-25 | 1990-07-25 | アクティブマトリクスアレイ基板の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2198220A JPH0481889A (ja) | 1990-07-25 | 1990-07-25 | アクティブマトリクスアレイ基板の検査方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0481889A true JPH0481889A (ja) | 1992-03-16 |
Family
ID=16387502
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2198220A Pending JPH0481889A (ja) | 1990-07-25 | 1990-07-25 | アクティブマトリクスアレイ基板の検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0481889A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04319909A (ja) * | 1991-04-19 | 1992-11-10 | Sharp Corp | アクティブマトリクス基板検査装置および方法 |
JPH0596801U (ja) * | 1992-06-01 | 1993-12-27 | 凸版印刷株式会社 | カラーフィルターの検査装置 |
SG109457A1 (en) * | 2001-07-17 | 2005-03-30 | Toshiba Kk | Array substrate, method of inspecting array substrate, and liquid crystal display |
JP2008519993A (ja) * | 2004-11-10 | 2008-06-12 | フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド | 耐擦傷性pdlc変調器 |
US8801964B2 (en) | 2010-12-22 | 2014-08-12 | Photon Dynamics, Inc. | Encapsulated polymer network liquid crystal material, device and applications |
-
1990
- 1990-07-25 JP JP2198220A patent/JPH0481889A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04319909A (ja) * | 1991-04-19 | 1992-11-10 | Sharp Corp | アクティブマトリクス基板検査装置および方法 |
JPH0596801U (ja) * | 1992-06-01 | 1993-12-27 | 凸版印刷株式会社 | カラーフィルターの検査装置 |
SG109457A1 (en) * | 2001-07-17 | 2005-03-30 | Toshiba Kk | Array substrate, method of inspecting array substrate, and liquid crystal display |
JP2008519993A (ja) * | 2004-11-10 | 2008-06-12 | フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド | 耐擦傷性pdlc変調器 |
JP4939426B2 (ja) * | 2004-11-10 | 2012-05-23 | フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド | 耐擦傷性pdlc変調器 |
TWI400535B (zh) * | 2004-11-10 | 2013-07-01 | Photon Dynamics Inc | 耐刮損的pdlc調節器 |
US8801964B2 (en) | 2010-12-22 | 2014-08-12 | Photon Dynamics, Inc. | Encapsulated polymer network liquid crystal material, device and applications |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100353955B1 (ko) | 신호라인 검사를 위한 액정표시장치 | |
EP0493025B1 (en) | An active matrix substrate inspecting device | |
EP1944648A2 (en) | Display panel, method of inspecting the display panel and method of manufacturing the display panel | |
CN108153007B (zh) | 液晶盒测试装置以及液晶显示面板的测试方法 | |
US7027123B2 (en) | Method of fabricating liquid crystal display device | |
KR101174156B1 (ko) | 평판 표시장치 | |
JPH0481889A (ja) | アクティブマトリクスアレイ基板の検査方法 | |
JP2001166327A (ja) | 素子基板装置、その製造方法及びそれを備えた電気光学装置 | |
JP4292770B2 (ja) | リーク検査装置及びリーク検査方法 | |
JP2613980B2 (ja) | アクティブマトリクス基板検査装置及びアクティブマトリクス基板の検査方法 | |
KR20040058899A (ko) | 액정표시장치의 어레이 기판 및 그 검사방법 | |
JP2622193B2 (ja) | アクティブマトリクス基板検査装置及びアクティブマトリクス基板の検査方法 | |
JP3245551B2 (ja) | 液晶表示装置の製造方法およびその製造装置 | |
JP2774704B2 (ja) | アクティブマトリクス基板検査装置および方法 | |
JPH063636A (ja) | 液晶表示パネルの検査方法 | |
KR20000038295A (ko) | 액정표시기의 배향막 불량 검사방법 | |
KR20050031278A (ko) | 액정 표시 장치 패널의 검사 장치 | |
JPH1173132A (ja) | 液晶パネルの導電性異物検出方法 | |
JP2953025B2 (ja) | 液晶表示パネル | |
KR100786753B1 (ko) | 평면표시장치의 화소상태 검출 장치 및 그 장치 제조 방법 | |
KR20060079039A (ko) | 액정표시장치의 어레이 기판 검사장치 | |
JPS62130347A (ja) | 液晶ディスプレイ用アクティブ基板検査方法およびその装置 | |
JPH04359226A (ja) | 液晶表示パネル | |
JPH10232378A (ja) | 液晶パネルの検査方法 | |
KR20050047003A (ko) | Ebt 장비의 검사신호 감시 장치 |