JPH0477246B2 - - Google Patents
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- JPH0477246B2 JPH0477246B2 JP58021492A JP2149283A JPH0477246B2 JP H0477246 B2 JPH0477246 B2 JP H0477246B2 JP 58021492 A JP58021492 A JP 58021492A JP 2149283 A JP2149283 A JP 2149283A JP H0477246 B2 JPH0477246 B2 JP H0477246B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- magnetoresistive elements
- magnetoresistive
- detection circuits
- rotation sensor
- Prior art date
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 29
- 239000011295 pitch Substances 0.000 claims description 14
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/142—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
- G01D5/145—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Linear Or Angular Velocity Measurement And Their Indicating Devices (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は磁気回転センサ、特に回転体の全周に
配設した磁気記録媒体に等間隔で着磁した磁気パ
ターンから得られる磁気信号を、近接して配置し
た磁気抵抗素子により電気信号として読み取るこ
とによつて、回転体の回転角を検出する磁気回転
センサに関するものである。
配設した磁気記録媒体に等間隔で着磁した磁気パ
ターンから得られる磁気信号を、近接して配置し
た磁気抵抗素子により電気信号として読み取るこ
とによつて、回転体の回転角を検出する磁気回転
センサに関するものである。
一般にこの種の磁気回転センサにおいては、回
転体の１回転当りの出力信号数が多いほど高精度
の測定を行なうことが可能であり、そのためには
磁気記録媒体に着磁する磁気パターンのピツチを
小さくすれば良い。
転体の１回転当りの出力信号数が多いほど高精度
の測定を行なうことが可能であり、そのためには
磁気記録媒体に着磁する磁気パターンのピツチを
小さくすれば良い。
しかしながら、このように磁気パターンのピツ
チを小さくした場合にはそこから得られる磁気信
号も小さくなるため、これを検出する磁気抵抗素
子との間の間隔（スペーシング）を小さくする必
要が生じる。しかしながらこのスペーシングを小
さくすると、磁気記録媒体と磁気抵抗素子とがク
ラツシングする恐れが生じ、機械的な精度の上か
ら限界があつた。
チを小さくした場合にはそこから得られる磁気信
号も小さくなるため、これを検出する磁気抵抗素
子との間の間隔（スペーシング）を小さくする必
要が生じる。しかしながらこのスペーシングを小
さくすると、磁気記録媒体と磁気抵抗素子とがク
ラツシングする恐れが生じ、機械的な精度の上か
ら限界があつた。
ところで、この種の磁気回転センサにおいて、
磁気記録媒体の複数の磁極の数を増加させる代わ
りに、前記磁気記録媒体に対向配置させる磁気抵
抗素子の数を増大させ、各々の磁気抵抗素子から
得られる出力電圧を合成させることにより、高精
度で回転の検出を行なう手段が知られており、こ
の手段としては、例えば、実開昭55−51797号、
実開昭56−58513号に開示のものが挙げられる。
磁気記録媒体の複数の磁極の数を増加させる代わ
りに、前記磁気記録媒体に対向配置させる磁気抵
抗素子の数を増大させ、各々の磁気抵抗素子から
得られる出力電圧を合成させることにより、高精
度で回転の検出を行なう手段が知られており、こ
の手段としては、例えば、実開昭55−51797号、
実開昭56−58513号に開示のものが挙げられる。
しかるに、前記手段においても、機械的にまた
は精度的に増大させる磁気抵抗素子の数に限度が
あることはきわめて明らかなことである。
は精度的に増大させる磁気抵抗素子の数に限度が
あることはきわめて明らかなことである。
したがつて、本発明は、前記のような状況に鑑
みてなされたもので、その目的は、磁気記録媒体
と磁気抵抗素子との間の間隔を狭めることなく、
かつ、磁気抵抗素子の相互間隔を考慮することな
く多くの磁気抵抗素子を配置できる磁気回転セン
サを提供することにある。
みてなされたもので、その目的は、磁気記録媒体
と磁気抵抗素子との間の間隔を狭めることなく、
かつ、磁気抵抗素子の相互間隔を考慮することな
く多くの磁気抵抗素子を配置できる磁気回転セン
サを提供することにある。
前記目的を達成するために、本発明は、回転体
の全周面に設けられかつ一定のピツチをもつて交
互に着磁方向を異ならせた複数の磁極を有する磁
気記録媒体と、前記磁気記録媒体に対向した位置
に離間配置され、前記回転体の回転方向に一定間
隔で並置された複数の磁気抵抗素子とからなり、
前記複数の磁極により形成される磁気パターンに
基づく周期的な変動磁場を、前記複数の磁気抵抗
素子によつて周期的な電気抵抗の変化として検出
する磁気回転センサにおいて、前記複数の磁気抵
抗素子を、前記複数の磁極における複数ピツチに
またがり、かつ、絶縁体を介して多層構造になる
ようにそれぞれ並置させ、しかも、前記絶縁体を
介して隣接する磁気抵抗素子間の中心間隔が各磁
気抵抗素子の幅より小さくなるように選び、前記
複数の磁気抵抗素子の中の所定の順番のものを順
次ブリツジ接続して複数の磁気検出回路を構成
し、これら複数の磁気検出回路から互いに位相の
異なる複数の検出信号を得るようにしたものであ
る。
の全周面に設けられかつ一定のピツチをもつて交
互に着磁方向を異ならせた複数の磁極を有する磁
気記録媒体と、前記磁気記録媒体に対向した位置
に離間配置され、前記回転体の回転方向に一定間
隔で並置された複数の磁気抵抗素子とからなり、
前記複数の磁極により形成される磁気パターンに
基づく周期的な変動磁場を、前記複数の磁気抵抗
素子によつて周期的な電気抵抗の変化として検出
する磁気回転センサにおいて、前記複数の磁気抵
抗素子を、前記複数の磁極における複数ピツチに
またがり、かつ、絶縁体を介して多層構造になる
ようにそれぞれ並置させ、しかも、前記絶縁体を
介して隣接する磁気抵抗素子間の中心間隔が各磁
気抵抗素子の幅より小さくなるように選び、前記
複数の磁気抵抗素子の中の所定の順番のものを順
次ブリツジ接続して複数の磁気検出回路を構成
し、これら複数の磁気検出回路から互いに位相の
異なる複数の検出信号を得るようにしたものであ
る。
次に図面を用いて本発明の実施例を詳細に説明
する。
する。
第１図は本発明による磁気回転センサの一例を
示す要部断面側面図である。同図において、モー
タ１によつて駆動されるシヤフト２に、周面に全
周に亘つて一定のピツチλで着磁された磁気パタ
ーンを有する磁気記録媒体を備えた磁気ドラム３
が結合されている。また、回転体のハウジングに
固定された支持台４上には基板５が固定されてお
り、この基板５の表面上には薄膜状の磁気抵抗素
子６が形成され、この磁気抵抗素子６は前記磁気
ドラム３の周面上の磁気記録媒体と一定の間隔７
を隔てて対向している。
示す要部断面側面図である。同図において、モー
タ１によつて駆動されるシヤフト２に、周面に全
周に亘つて一定のピツチλで着磁された磁気パタ
ーンを有する磁気記録媒体を備えた磁気ドラム３
が結合されている。また、回転体のハウジングに
固定された支持台４上には基板５が固定されてお
り、この基板５の表面上には薄膜状の磁気抵抗素
子６が形成され、この磁気抵抗素子６は前記磁気
ドラム３の周面上の磁気記録媒体と一定の間隔７
を隔てて対向している。
第２図は前記磁気ドラム３と前記磁気抵抗素子
６との組合せ構成例を示したものである。同図に
おいて、矢印Ａは磁気ドラム３の回転方向を示
し、この磁気ドラム３上に形成された複数のＮ−
Ｓ磁極からなる磁気トラツク３ａの回転方向Ａに
沿つて１磁極ピツチλに対して14本の割合で磁気
抵抗素子６1〜６14，６1′〜６14′がそれぞれ形成配
置されている。そして、これらの磁気抵抗素子６
１〜６14，６1′〜６14′は連続配置されるＮ−Ｓ磁極
の２磁極にまたがつて７本周期毎の４本を１組と
して組合せ、第３図ａ，ｂに示すように、ブリツ
ジ接続して磁気抵抗素子６1，６8，６1′，６8′か
らなる磁気検出回路６Ａを、また、磁気抵抗素子
６2，６9，６2′，６9′からなる磁気検出回路６Ｂ
をそれぞれ同様にして７組構成されている。
６との組合せ構成例を示したものである。同図に
おいて、矢印Ａは磁気ドラム３の回転方向を示
し、この磁気ドラム３上に形成された複数のＮ−
Ｓ磁極からなる磁気トラツク３ａの回転方向Ａに
沿つて１磁極ピツチλに対して14本の割合で磁気
抵抗素子６1〜６14，６1′〜６14′がそれぞれ形成配
置されている。そして、これらの磁気抵抗素子６
１〜６14，６1′〜６14′は連続配置されるＮ−Ｓ磁極
の２磁極にまたがつて７本周期毎の４本を１組と
して組合せ、第３図ａ，ｂに示すように、ブリツ
ジ接続して磁気抵抗素子６1，６8，６1′，６8′か
らなる磁気検出回路６Ａを、また、磁気抵抗素子
６2，６9，６2′，６9′からなる磁気検出回路６Ｂ
をそれぞれ同様にして７組構成されている。
このような構成において、磁気ドラム３を回転
させると、磁気記録媒体に着磁された磁気パター
ンに対応して磁気抵抗素子６に加わる磁場が周期
的に変化する。この結果、７組の磁気検出回路７
Ａ，７Ｂ，…の電気抵抗も周期的に変化するた
め、これらの磁気検出回路７Ａ，７Ｂ，…に流す
電流を波形成形することにより、第５図ａ〜ｇに
示すように位相の異なる７種類のパルス波形の出
力信号が得られることになる。
させると、磁気記録媒体に着磁された磁気パター
ンに対応して磁気抵抗素子６に加わる磁場が周期
的に変化する。この結果、７組の磁気検出回路７
Ａ，７Ｂ，…の電気抵抗も周期的に変化するた
め、これらの磁気検出回路７Ａ，７Ｂ，…に流す
電流を波形成形することにより、第５図ａ〜ｇに
示すように位相の異なる７種類のパルス波形の出
力信号が得られることになる。
この場合、磁気パターンのピツチはλであるか
ら、得られる出力信号の周期もそれぞれλとなる
が、７組の磁気検出回路７Ａ，７Ｂ，…７Ｇは磁
気ドラム３の回転方向Ａに沿つて互いにλ／（２
×７）のピツチで配列されているため、位相が
25.7°づつずれた７組の出力信号が得られる。そ
して、第４図ａに示すように、７組の磁気検出回
路７Ａ，７Ｂ，…７Ｇを構成する28個の磁気抵抗
素子６1乃至６14，６1′乃至６14′を基板５上に配列
させる際に、各磁気抵抗素子６1乃至６14，６1′乃
至６14′の幅をＷとし、隣合う磁気抵抗素子６1乃
至６14，６1′乃至６14′間の中心間隔をＰとしたと
き、Ｗ＞Ｐに選んだ際には、各磁気抵抗素子６1
乃至６14，６1′乃至６14′が重なり合うようになる
が、本実施例においては、各磁気抵抗素子６1乃
至６14，６1′乃至６14′を絶縁体８を介して１つお
きに上下に配置して２層構造になるように、具体
的には、磁気抵抗素子６1，６3，６5，６7，…を
下側に、磁気抵抗素子６2，６4，６6，６8，…を
上側に配置するように構成しているものである。
ら、得られる出力信号の周期もそれぞれλとなる
が、７組の磁気検出回路７Ａ，７Ｂ，…７Ｇは磁
気ドラム３の回転方向Ａに沿つて互いにλ／（２
×７）のピツチで配列されているため、位相が
25.7°づつずれた７組の出力信号が得られる。そ
して、第４図ａに示すように、７組の磁気検出回
路７Ａ，７Ｂ，…７Ｇを構成する28個の磁気抵抗
素子６1乃至６14，６1′乃至６14′を基板５上に配列
させる際に、各磁気抵抗素子６1乃至６14，６1′乃
至６14′の幅をＷとし、隣合う磁気抵抗素子６1乃
至６14，６1′乃至６14′間の中心間隔をＰとしたと
き、Ｗ＞Ｐに選んだ際には、各磁気抵抗素子６1
乃至６14，６1′乃至６14′が重なり合うようになる
が、本実施例においては、各磁気抵抗素子６1乃
至６14，６1′乃至６14′を絶縁体８を介して１つお
きに上下に配置して２層構造になるように、具体
的には、磁気抵抗素子６1，６3，６5，６7，…を
下側に、磁気抵抗素子６2，６4，６6，６8，…を
上側に配置するように構成しているものである。
この場合は、第４図ｂに示すように、リード部
９を間にして、磁気抵抗素子６1，６3，６5，６
７，…を一方側に、磁気抵抗素子６2，６4，６6，
６8，…を他方側にというように、各磁気抵抗素
子６1乃至６14，６1′乃至６14′を交互に組合せ配列
させることも可能になる。このため、各７組の磁
気検出回路７Ａ，７Ｂ，…７Ｇからの出力の位相
差を正確に合わせることが可能になる。
９を間にして、磁気抵抗素子６1，６3，６5，６
７，…を一方側に、磁気抵抗素子６2，６4，６6，
６8，…を他方側にというように、各磁気抵抗素
子６1乃至６14，６1′乃至６14′を交互に組合せ配列
させることも可能になる。このため、各７組の磁
気検出回路７Ａ，７Ｂ，…７Ｇからの出力の位相
差を正確に合わせることが可能になる。
一般に工作機械等に使用される回転センサにお
いては、直径約50mmの磁気ドラム３で約5000ppr
（pulse per revolution）、磁気ドラム３と磁気抵
抗素子６との間の間隔７が約0.2mmの条件が要求
される。そして、磁気ドラム３に約5000pprを着
磁すると、着磁ピツチは約31.4μｍとなり、間隔
７を約0.2mmにとることは極めて困難である。そ
こで、前記構成によれば、着磁ピツチλを約
126μｍとして７相の出力信号で出力する（この
とき各相間の位相差は180／７＝25.71°となる）
ことにより、間隔７の寸法が約0.2mmでも約20ガ
ウス程度の磁場を検出して出力させることが可能
となつた。また、各出力信号の位相差を正常にコ
ントロールする必要があることから、位相差ある
いは７相の出力の順番を常に正しく保つため、第
２図および第３図で説明したように２磁極ピツチ
内にブリツジ検出方式の磁気検出回路７Ａ，７
Ｂ，…を配置することにより、位相差を正確にコ
ントロールすることができる。この場合、７相出
力なので、１磁極ピツチλ内に14本の磁気検出素
子６1〜６14を配置すると、各素子間ピツチは約
15.7μとなる。一方、磁気抵抗素子６の低磁場で
の検出感度を向上させるには磁気抵抗素子６のパ
ターン幅を約15μｍ以上必要とすることから、第
４図ａ，ｂで説明したように各磁気抵抗素子６1
〜６7を２層構造、交互に並列に配置する構造と
することにより、容易に実現することができる。
いては、直径約50mmの磁気ドラム３で約5000ppr
（pulse per revolution）、磁気ドラム３と磁気抵
抗素子６との間の間隔７が約0.2mmの条件が要求
される。そして、磁気ドラム３に約5000pprを着
磁すると、着磁ピツチは約31.4μｍとなり、間隔
７を約0.2mmにとることは極めて困難である。そ
こで、前記構成によれば、着磁ピツチλを約
126μｍとして７相の出力信号で出力する（この
とき各相間の位相差は180／７＝25.71°となる）
ことにより、間隔７の寸法が約0.2mmでも約20ガ
ウス程度の磁場を検出して出力させることが可能
となつた。また、各出力信号の位相差を正常にコ
ントロールする必要があることから、位相差ある
いは７相の出力の順番を常に正しく保つため、第
２図および第３図で説明したように２磁極ピツチ
内にブリツジ検出方式の磁気検出回路７Ａ，７
Ｂ，…を配置することにより、位相差を正確にコ
ントロールすることができる。この場合、７相出
力なので、１磁極ピツチλ内に14本の磁気検出素
子６1〜６14を配置すると、各素子間ピツチは約
15.7μとなる。一方、磁気抵抗素子６の低磁場で
の検出感度を向上させるには磁気抵抗素子６のパ
ターン幅を約15μｍ以上必要とすることから、第
４図ａ，ｂで説明したように各磁気抵抗素子６1
〜６7を２層構造、交互に並列に配置する構造と
することにより、容易に実現することができる。
なお、前述した実施例においては、２磁極ピツ
チ内にブリツジ検出方式の磁気検出回路を設けた
場合について説明したが本発明は２磁極ピツチに
限定されるものではなく、また１磁極ピツチ内に
差動検出方式の３端子構成からなる磁気検出回路
を設けても前述と全く同様の効果が得られること
は勿論である。
チ内にブリツジ検出方式の磁気検出回路を設けた
場合について説明したが本発明は２磁極ピツチに
限定されるものではなく、また１磁極ピツチ内に
差動検出方式の３端子構成からなる磁気検出回路
を設けても前述と全く同様の効果が得られること
は勿論である。
また、前述した実施例においては、磁気記録媒
体を磁気ドラム上に設けた場合について説明した
が、本発明はこれに限定されるものではなく、例
えば磁気デイスクを用いた場合に適用しても同様
の効果が得られることは言うまでもない。
体を磁気ドラム上に設けた場合について説明した
が、本発明はこれに限定されるものではなく、例
えば磁気デイスクを用いた場合に適用しても同様
の効果が得られることは言うまでもない。
以上説明したように、本発明によれば、複数の
磁気抵抗素子を絶縁体を介して多層構造になるよ
うに並置させているので、磁気記録媒体と磁気抵
抗素子との間の間隔を狭める必要はなく、前記並
置させる磁気抵抗素子の数を増大させることが可
能になる。そして、前記磁気抵抗素子の数を増大
させることにより、測定精度が向上し、高分解能
を得ることが可能になるという効果がある。さら
に、前記磁気抵抗素子の数を増大させる際にも、
機械的な加工条件や組立て条件に何等の制約を受
けずに行なうことができるという効果もある。
磁気抵抗素子を絶縁体を介して多層構造になるよ
うに並置させているので、磁気記録媒体と磁気抵
抗素子との間の間隔を狭める必要はなく、前記並
置させる磁気抵抗素子の数を増大させることが可
能になる。そして、前記磁気抵抗素子の数を増大
させることにより、測定精度が向上し、高分解能
を得ることが可能になるという効果がある。さら
に、前記磁気抵抗素子の数を増大させる際にも、
機械的な加工条件や組立て条件に何等の制約を受
けずに行なうことができるという効果もある。
第１図は本発明による磁気回転センサの一例を
示す要部断面構成図、第２図は磁気ドラムと磁気
抵抗素子との組合せ配列例を示す平面図、第３図
ａ，ｂは磁気検出回路の一例を示す図、第４図
ａ，ｂは磁気抵抗素子の配列例を示す要部断面
図、平面図、第５図ａ〜ｇは第２図、第３図の配
列例を用いた場合に得られる出力信号波形図であ
る。 １……モータ、２……シヤフト、３……磁気ド
ラム、４……支持台、５……基板、６，６1〜６
14，６1′〜６14′……磁気抵抗素子、６Ａ，６Ｂ…
…磁気検出回路、７……間隔、８……絶縁層、９
……リード部。
示す要部断面構成図、第２図は磁気ドラムと磁気
抵抗素子との組合せ配列例を示す平面図、第３図
ａ，ｂは磁気検出回路の一例を示す図、第４図
ａ，ｂは磁気抵抗素子の配列例を示す要部断面
図、平面図、第５図ａ〜ｇは第２図、第３図の配
列例を用いた場合に得られる出力信号波形図であ
る。 １……モータ、２……シヤフト、３……磁気ド
ラム、４……支持台、５……基板、６，６1〜６
14，６1′〜６14′……磁気抵抗素子、６Ａ，６Ｂ…
…磁気検出回路、７……間隔、８……絶縁層、９
……リード部。
Claims (1)
- １ 回転体の全周面に設けられかつ一定のピツチ
をもつて交互に着磁方向を異ならせた複数の磁極
を有する磁気記録媒体と、前記磁気記録媒体に対
向した位置に離間配置され、前記回転体の回転方
向に一定間隔で並置された複数の磁気抵抗素子と
からなり、前記複数の磁極により形成される磁気
パターンに基づく周期的な変動磁場を、前記複数
の磁気抵抗素子によつて周期的な電気抵抗の変化
として検出する磁気回転センサにおいて、前記複
数の磁気抵抗素子を、前記複数の磁極における複
数ピツチにまたがり、かつ、絶縁体を介して多層
構造になるようにそれぞれ並置させ、しかも、前
記絶縁体を介して隣接する磁気抵抗素子間の中心
間隔が各磁気抵抗素子の幅より小さくなるように
選び、前記複数の磁気抵抗素子の中の所定の順番
のものを順次ブリツジ接続して複数の磁気検出回
路を構成し、これら複数の磁気検出回路から互い
に位相の異なる複数の検出信号を得ることを特徴
とする磁気回転センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2149283A JPS59147213A (ja) | 1983-02-14 | 1983-02-14 | 磁気回転センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2149283A JPS59147213A (ja) | 1983-02-14 | 1983-02-14 | 磁気回転センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59147213A JPS59147213A (ja) | 1984-08-23 |
| JPH0477246B2 true JPH0477246B2 (ja) | 1992-12-07 |
Family
ID=12056464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2149283A Granted JPS59147213A (ja) | 1983-02-14 | 1983-02-14 | 磁気回転センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59147213A (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0719923B2 (ja) * | 1984-12-14 | 1995-03-06 | 日本電装株式会社 | 位置検出装置 |
| JPH06100477B2 (ja) * | 1984-12-18 | 1994-12-12 | 株式会社三協精機製作所 | 磁気抵抗素子 |
| JPS62289722A (ja) * | 1986-06-10 | 1987-12-16 | Yamaha Corp | 磁気エンコ−ダ用磁気抵抗センサ |
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1983
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| JPS5551797B2 (ja) * | 1973-09-19 | 1980-12-26 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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