JPH0475361A - ウエハカセット検出装置 - Google Patents
ウエハカセット検出装置Info
- Publication number
- JPH0475361A JPH0475361A JP2187897A JP18789790A JPH0475361A JP H0475361 A JPH0475361 A JP H0475361A JP 2187897 A JP2187897 A JP 2187897A JP 18789790 A JP18789790 A JP 18789790A JP H0475361 A JPH0475361 A JP H0475361A
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- Japan
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- wafer cassette
- sensor
- cassette
- wafer
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 37
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 80
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 241000257465 Echinoidea Species 0.000 description 3
- 240000007594 Oryza sativa Species 0.000 description 1
- 235000007164 Oryza sativa Nutrition 0.000 description 1
- 235000013339 cereals Nutrition 0.000 description 1
- 235000009566 rice Nutrition 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、複数枚のウェハを収納するウェハカセットの
有無を検知する装置に関するものである。
有無を検知する装置に関するものである。
［従来の技術］
従来、ウェハを収納するウェハカセットの有無は、１つ
のセンサを用い、これがオンまたはオフするかによフて
検知している。
のセンサを用い、これがオンまたはオフするかによフて
検知している。
例えば、第６図に示すように、ウェハカセット１が１つ
のセンサ１０の検出領域１１内にあり、センサ１０の出
力がオンであれば、ウェハカセット１が存在しかつ正し
く置かれているとみなし、ウェハカセット１がセンサ１
０の検出領域１１外にあり、センサ１０の出力がオフで
あればウェハカセット１が存在しないとみなす。
のセンサ１０の検出領域１１内にあり、センサ１０の出
力がオンであれば、ウェハカセット１が存在しかつ正し
く置かれているとみなし、ウェハカセット１がセンサ１
０の検出領域１１外にあり、センサ１０の出力がオフで
あればウェハカセット１が存在しないとみなす。
［発明が解決しようとしている課題］
しかしながら、上記従来例では、センサのオンとオフの
２値でウェハカセットの有無およびそれが正しく置かれ
ているか否かを検知していたため、■ウェハカセットが
正しい位置には置かれていないが、ウェハカセットが存
在する場合には、センサがオフし、ウェハカセットの有
無を誤検知してしまう、■ウニバカセットが搭載されて
いる装置が振動した場合に、センサがオフし、ウェハカ
セットの有無を誤検知してしまうことがある、■オペレ
ータがウェハカセットを取り去る意思を持たない場合で
も、オペレータの操作によりセンサがオフし、ウエハカ
セ・ントの有無を誤検知してしまうことがある、などと
いった欠点がある。
２値でウェハカセットの有無およびそれが正しく置かれ
ているか否かを検知していたため、■ウェハカセットが
正しい位置には置かれていないが、ウェハカセットが存
在する場合には、センサがオフし、ウェハカセットの有
無を誤検知してしまう、■ウニバカセットが搭載されて
いる装置が振動した場合に、センサがオフし、ウェハカ
セットの有無を誤検知してしまうことがある、■オペレ
ータがウェハカセットを取り去る意思を持たない場合で
も、オペレータの操作によりセンサがオフし、ウエハカ
セ・ントの有無を誤検知してしまうことがある、などと
いった欠点がある。
本発明の目的は、このような従来技術の問題点に鑑み、
ウェハカセット検出装置において、ウェハカセットの有
無を誤検知しないようにすることにある。
ウェハカセット検出装置において、ウェハカセットの有
無を誤検知しないようにすることにある。
［課題を解決するための手段］
上記目的を達成するため本発明のウェハカセット検出装
置は、ウェハカセットが所定位置に正しく置かれている
か否かの検知と、ウェハカセットが存在するか否かの検
知とを異なる検知基準に基づいて行なうセンサ手段を具
備するようにしてし）る。センサ手段はウニバカセット
が所定位置に正しく置かれているか否かの検知と、ウェ
ハカセットが存在するか否かの検知とを１つのセンサで
行なうものであってもよく、または２つのセンサて行な
うものであってもよい。
置は、ウェハカセットが所定位置に正しく置かれている
か否かの検知と、ウェハカセットが存在するか否かの検
知とを異なる検知基準に基づいて行なうセンサ手段を具
備するようにしてし）る。センサ手段はウニバカセット
が所定位置に正しく置かれているか否かの検知と、ウェ
ハカセットが存在するか否かの検知とを１つのセンサで
行なうものであってもよく、または２つのセンサて行な
うものであってもよい。
［作用］
この構成によれば、ウェハカセットが正しく置かれてい
るかどうかと、ウェハカセットが存在するかどうかを、
異なる検知基準、例えば異なる検知領域を設定して検知
するため、ウェハカセットノ有無と、ウェハカセットが
正位置にあるか否かとが個別に検知され、したがってウ
エハカセ、ントが正位置にない場合においてもウェハカ
セットの有無が誤検知することなく検知される。
るかどうかと、ウェハカセットが存在するかどうかを、
異なる検知基準、例えば異なる検知領域を設定して検知
するため、ウェハカセットノ有無と、ウェハカセットが
正位置にあるか否かとが個別に検知され、したがってウ
エハカセ、ントが正位置にない場合においてもウェハカ
セットの有無が誤検知することなく検知される。
［実施例］
以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。
夾五班工
第１図は本発明の第１の実施例に係るウェハカセット検
出装置を示し、本発明の特徴を最も良く表わす図面てあ
り、同図に於いて、１はウェハカセット、２はウェハカ
セットを載せるためのカセット台、３はウェハカセット
が正しく置かれているかどうかを検知するためのセンサ
、４はウニバカセットが存在するかどうかを検知するた
めのセンサである。
出装置を示し、本発明の特徴を最も良く表わす図面てあ
り、同図に於いて、１はウェハカセット、２はウェハカ
セットを載せるためのカセット台、３はウェハカセット
が正しく置かれているかどうかを検知するためのセンサ
、４はウニバカセットが存在するかどうかを検知するた
めのセンサである。
１２はウェハカセット１が正しく置かれているかどうか
をセンサ３によフて検知する際の検知領域であって、セ
ンサ３は検知領域１２内にウェハカセット１が存在する
場合にオンとなり、検知領域１２内にウェハカセット１
が存在しない場合にオフとなる。すなわち検知領域１２
内にウェハカセット１が存在するか否かを検知基準とし
てウェハカセット１が正しく置かれているか否かを検知
するものである。
をセンサ３によフて検知する際の検知領域であって、セ
ンサ３は検知領域１２内にウェハカセット１が存在する
場合にオンとなり、検知領域１２内にウェハカセット１
が存在しない場合にオフとなる。すなわち検知領域１２
内にウェハカセット１が存在するか否かを検知基準とし
てウェハカセット１が正しく置かれているか否かを検知
するものである。
１３はウェハカセット１が存在するか否かをセンサ４に
よって検知する際の検知領域であって、センサ４は検知
領域１３内にウェハカセット１が存在する場合にオンと
なり、検知領域１３内にウェハカセット１が存在しない
場合にオフとなる。
よって検知する際の検知領域であって、センサ４は検知
領域１３内にウェハカセット１が存在する場合にオンと
なり、検知領域１３内にウェハカセット１が存在しない
場合にオフとなる。
すなわち検知領域１３内にウェハカセット１が存在する
か否かを検知基準としてウェハカセット１の有無を検知
するものである。
か否かを検知基準としてウェハカセット１の有無を検知
するものである。
検知領域１２は検知領域１３より狭く、しだがって、セ
ンサ３はウェハカセット１が正位置かられずかでもずれ
たり持上げられるとオフするが、センサ４はウェハカセ
ット１が完全になくなった時にのみオフし、ウェハカセ
ット１が正しい位置からずれた場合、振動した場合、持
ち上げられた場合のいずれにおいてもオン状態を保持す
る。
ンサ３はウェハカセット１が正位置かられずかでもずれ
たり持上げられるとオフするが、センサ４はウェハカセ
ット１が完全になくなった時にのみオフし、ウェハカセ
ット１が正しい位置からずれた場合、振動した場合、持
ち上げられた場合のいずれにおいてもオン状態を保持す
る。
したがって、第２図に示すようにウェハカセット１がカ
セット台２近傍の上方にない場合には、センサ３及びセ
ンサ４が両方ともオフであり、ウニバカセット１が存在
しないことが、判別できる。また、第３図に示すように
、ウェハカセット１がカセット台２上にはあるが、正し
い位置に置かれていない場合にはセンサ３はオフ、セン
サ４はオンであり、ウェハカセット１が存在するが正し
い位置に置かれていないことが判別できる。
セット台２近傍の上方にない場合には、センサ３及びセ
ンサ４が両方ともオフであり、ウニバカセット１が存在
しないことが、判別できる。また、第３図に示すように
、ウェハカセット１がカセット台２上にはあるが、正し
い位置に置かれていない場合にはセンサ３はオフ、セン
サ４はオンであり、ウェハカセット１が存在するが正し
い位置に置かれていないことが判別できる。
そして、ウェハカセット１が搭載されている装置が振動
し、センサ３がオフとなったとしても、センサ４の出力
はオンで安定しているため、ウェハカセット１の有無を
誤検知することはない。また、オペレータがウェハカセ
ット１に触れても、ウェハカセットは完全に取り去らな
い限り、センサ４の出力はオンで安定しているためウェ
ハカセット１の有無を誤検知することがない・第１図に
示すように、ウェハカセット１が正しい位置に置かれて
いる場合には、センサ３及びセンサ４の両方ともオンと
であり、これによってウェハカセット１が存在しかつ正
しい位置に位置していることが判別されるので、ウェハ
カセット１に対して、アクセスすることが可能であるこ
とが判別できる。
し、センサ３がオフとなったとしても、センサ４の出力
はオンで安定しているため、ウェハカセット１の有無を
誤検知することはない。また、オペレータがウェハカセ
ット１に触れても、ウェハカセットは完全に取り去らな
い限り、センサ４の出力はオンで安定しているためウェ
ハカセット１の有無を誤検知することがない・第１図に
示すように、ウェハカセット１が正しい位置に置かれて
いる場合には、センサ３及びセンサ４の両方ともオンと
であり、これによってウェハカセット１が存在しかつ正
しい位置に位置していることが判別されるので、ウェハ
カセット１に対して、アクセスすることが可能であるこ
とが判別できる。
衷」ＣΔス
第４図は本発明の他の実施例に係るウェハカセット検出
装置を示す。
装置を示す。
同図に於いて、１は、ウェハカセット、２はウェハカセ
ットを載せるためのカセット台、５はカセット台２から
ウェハカセット１までの距離を測定するためのセンサで
ある。
ットを載せるためのカセット台、５はカセット台２から
ウェハカセット１までの距離を測定するためのセンサで
ある。
センサ５に関しては、カセット台２からウェハカセット
１までの距離について２つのスライスレベル、スライス
１とスライス２とが設定してあり、図中の５１と３２は
それらに対応するウェハカセット１の下端位置を示すラ
インである。スライス１およびスライス２はそれぞれウ
ェハカセット１が正位置にあるか否かの検知基準および
ウニバカセット１有無の検知基準であり、カセット台２
からウェハカセット１までの距離がスライス２以上の場
合にはウェハカセット１が存在しないことが判別でき、
カセット台２からウェハカセット１までの距離がスライ
ス１以上でスライス２未満の場合にはウニバカセット１
がカセット台２上にはあるが、正しい位置に置かれてい
ないことが判別でき、また、カセット台２からウェハカ
セット１までの距離がスライス１未満の場合にはウェハ
カセット１が正しい位置に置かれており、それに対して
アクセス可能であることが判別できる。
１までの距離について２つのスライスレベル、スライス
１とスライス２とが設定してあり、図中の５１と３２は
それらに対応するウェハカセット１の下端位置を示すラ
インである。スライス１およびスライス２はそれぞれウ
ェハカセット１が正位置にあるか否かの検知基準および
ウニバカセット１有無の検知基準であり、カセット台２
からウェハカセット１までの距離がスライス２以上の場
合にはウェハカセット１が存在しないことが判別でき、
カセット台２からウェハカセット１までの距離がスライ
ス１以上でスライス２未満の場合にはウニバカセット１
がカセット台２上にはあるが、正しい位置に置かれてい
ないことが判別でき、また、カセット台２からウェハカ
セット１までの距離がスライス１未満の場合にはウェハ
カセット１が正しい位置に置かれており、それに対して
アクセス可能であることが判別できる。
夫隨±ユ
第５図は本発明の第３の実施例に係るウェハカセット検
出装置を示す。同図に於いて、１はウェハカセット、２
はウェハカセットを載せるためのカセット台、６は光源
、７は光源６が発する光を検出してウェハカセット１が
正しく置かれているかどうかを検知するための光検出器
、８は光源、９は光源８が発する光を検出してエバカセ
ット１が存在するかどうかを検知するための光検出器で
ある。光検出器７および９は光を検出していると籾オフ
、検出していないときオン状態である。
出装置を示す。同図に於いて、１はウェハカセット、２
はウェハカセットを載せるためのカセット台、６は光源
、７は光源６が発する光を検出してウェハカセット１が
正しく置かれているかどうかを検知するための光検出器
、８は光源、９は光源８が発する光を検出してエバカセ
ット１が存在するかどうかを検知するための光検出器で
ある。光検出器７および９は光を検出していると籾オフ
、検出していないときオン状態である。
この構成において、光検出器９がオフの場合には、ウェ
ハカセット１が存在しないことが判別できる。光検出器
９がオンでかつ光検出器７がオフの場合には、ウェハカ
セット１がカセット台２上にはあるが、正しい位置に置
かれていないことが判別できる。光検出器７がオンの場
合にはウェハカセット１が正しい位置に置かれており、
それに対してアクセス可能であることが判別できる。
ハカセット１が存在しないことが判別できる。光検出器
９がオンでかつ光検出器７がオフの場合には、ウェハカ
セット１がカセット台２上にはあるが、正しい位置に置
かれていないことが判別できる。光検出器７がオンの場
合にはウェハカセット１が正しい位置に置かれており、
それに対してアクセス可能であることが判別できる。
［発明の効果］
以上説明したように、ウニバカセットが所定位置に正し
く置かれているか否かの検知と、ウェハカセットが存在
するか否かの検知とを異なる検知基準に基づいて行なう
センサ手段を具備するようにしたため、ウェハカセット
の有無を誤検知することがなくなり、安全性、信頼性お
よび操作性の向上を図ることができる。
く置かれているか否かの検知と、ウェハカセットが存在
するか否かの検知とを異なる検知基準に基づいて行なう
センサ手段を具備するようにしたため、ウェハカセット
の有無を誤検知することがなくなり、安全性、信頼性お
よび操作性の向上を図ることができる。
第１図は、本発明の第１の実施例に係るウニバカセット
検出装置を示す模式図、 第２図は、第１図の装置においてウニバカセットが存在
しない状態を示す模式図、 第３図は、第１図の装置においてウェハカセットが正し
い位置に置かれていない状態を示す模式第４図は、本発
明の第２の実施例に係るウェハカセット検出機構を示す
模式図、 第５図は、本発明の第３の実施例に係るウェハカセット
検出機構を示す模式図、そして第６図は、従来例に係る
ウェハカセット検ｄ機構を示す模式図である。 ウェハカセット、 ２：カセツ ト台、 ４゜ １０：センサ、６．８ 光源、 ７ 。 ９ ： 光検出器、 ：検知領域。
検出装置を示す模式図、 第２図は、第１図の装置においてウニバカセットが存在
しない状態を示す模式図、 第３図は、第１図の装置においてウェハカセットが正し
い位置に置かれていない状態を示す模式第４図は、本発
明の第２の実施例に係るウェハカセット検出機構を示す
模式図、 第５図は、本発明の第３の実施例に係るウェハカセット
検出機構を示す模式図、そして第６図は、従来例に係る
ウェハカセット検ｄ機構を示す模式図である。 ウェハカセット、 ２：カセツ ト台、 ４゜ １０：センサ、６．８ 光源、 ７ 。 ９ ： 光検出器、 ：検知領域。
Claims (1)
- （１）ウェハカセットが所定位置に正しく置かれている
か否かの検知と、ウェハカセットが存在するか否かの検
知とを異なる検知基準に基づいて行なうセンサ手段を具
備することを特徴とするウェハカセット検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2187897A JPH0475361A (ja) | 1990-07-18 | 1990-07-18 | ウエハカセット検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2187897A JPH0475361A (ja) | 1990-07-18 | 1990-07-18 | ウエハカセット検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0475361A true JPH0475361A (ja) | 1992-03-10 |
Family
ID=16214110
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2187897A Pending JPH0475361A (ja) | 1990-07-18 | 1990-07-18 | ウエハカセット検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0475361A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19990027220A (ko) * | 1997-09-29 | 1999-04-15 | 윤종용 | 직렬로 연결된 복수개의 센서를 갖는 카세트 탑재부 |
| US5929766A (en) * | 1996-02-08 | 1999-07-27 | Stmicroelectronics, S.A. | Device for controlling semiconductor wafer transport cassettes |
| EP1158571A2 (en) * | 2000-05-25 | 2001-11-28 | Nikon Corporation | Carrier shape measurement device |
| KR100652286B1 (ko) * | 2004-12-24 | 2006-11-30 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 웨이퍼 카세트캐리어 이송시스템 |
| KR100791671B1 (ko) * | 2006-08-24 | 2008-01-03 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 웨이퍼카세트 이송용 그립퍼장치 및 이송방법 |
-
1990
- 1990-07-18 JP JP2187897A patent/JPH0475361A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5929766A (en) * | 1996-02-08 | 1999-07-27 | Stmicroelectronics, S.A. | Device for controlling semiconductor wafer transport cassettes |
| KR19990027220A (ko) * | 1997-09-29 | 1999-04-15 | 윤종용 | 직렬로 연결된 복수개의 센서를 갖는 카세트 탑재부 |
| EP1158571A2 (en) * | 2000-05-25 | 2001-11-28 | Nikon Corporation | Carrier shape measurement device |
| EP1158571A3 (en) * | 2000-05-25 | 2002-10-30 | Nikon Corporation | Carrier shape measurement device |
| US6760115B2 (en) | 2000-05-25 | 2004-07-06 | Nikon Corporation | Carrier shape measurement device |
| KR100652286B1 (ko) * | 2004-12-24 | 2006-11-30 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 웨이퍼 카세트캐리어 이송시스템 |
| KR100791671B1 (ko) * | 2006-08-24 | 2008-01-03 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 웨이퍼카세트 이송용 그립퍼장치 및 이송방법 |
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